JP2004335351A - Method, program, and apparatus for manufacturing electrooptic panel, method of manufacturing electrooptic device and method of manufacturing electronic equipment - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress poor discharge of a droplet discharge nozzle and to stably discharge liquid. <P>SOLUTION: In an embodiment 1 of this invention, each pixel formation region 10A<SB>2n+1</SB>divided in the drawing direction (X direction) of the droplet discharge head is drawn by a group 54<SB>2n+1</SB>of nozzles of pitch 2P' of a nozzle corresponding to a drawing pitch Pp. Then, when the drawing of the pixel formation region 10A<SB>2n+1</SB>is completed, a nozzle row 54 is moved by a nozzle pitch of P' in a line feed direction (Y direction). After that, the pixel formation region 10A<SB>2n+2</SB>is drawn by a group 54<SB>2n+2</SB>of nozzles of the pitch 2P' of the nozzle corresponding to the drawing pitch Pp. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液滴吐出により電気光学パネルの基板を製造する方法に関し、さらに詳しくは、液滴吐出ノズルの吐出不良を抑え、安定して液体を吐出できる電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電気光学装置の製造方法及び電子機器の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年におけるパーソナルコンピュータや携帯電話等の発達にともなって、カラー表示のできる液晶表示パネル、有機ＥＬパネルその他の電気光学パネルの需要が増加する傾向にある。このような電気光学パネルの製造においては、近年インクジェット法に代表される液滴吐出法によってカラーフィルタやカラーの発光材料液を塗布することにより、カラー画素を作りこむ技術が提案されている。特許技術文献１には、一定のピッチで複数のノズルが直線状に配列されたノズル列を備えるインクジェットヘッドを用い、ノズル列の角度を変化させることによって様々な画素ピッチに対応できるようにした技術が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−１３８３０６号公報 Ｐ２０、２１ 図１９
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示された技術は、画素ピッチとノズルピッチとの関係によっては、液滴を全く吐出しないノズルや、ある走査では液滴を吐出しないが次の走査では液滴を吐出するノズルが発生する。このようなノズルが存在すると、液滴を吐出していない間にノズル近傍にカラーフィルタインクや有機発光材料インク中の固形分が析出してしまう。そして、このノズルから次に液滴を吐出する場合には、液滴の飛行曲がりやドット抜け等の吐出不良が発生して、安定して液滴を吐出できない。特に、ある走査では液滴を吐出しないが次の走査では液滴を吐出するノズルがあると、１枚の基板に対する塗布において吐出欠陥が発生することになり、製品の歩留まりを低下させてしまう。また、使用しないノズルの存在により、特定ノズルの使用頻度が高くなるので、ヘッド全体の寿命を短くしてしまう。これらの問題は、基板が大きくなるほど顕著に発生する。
【０００５】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、液滴吐出ノズルの吐出不良を抑え、安定して液体を吐出すること、すべてのノズルをできるだけ均等に使用して、ヘッドの寿命を延ばすことのうち、少なくとも一つを達成できる電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電気光学装置の製造方法及び電子機器の製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る電気光学パネルの製造方法は、複数のノズルから機能液を基材に吐出させ、機能膜を形成する電気光学パネルの製造方法において、所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する工程と、前記ノズルと前記基材とを前記ピッチに対応させて相対的に移動させる工程と、前記機能液が塗布された前記所定領域に隣接する他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する工程と、を含むことを特徴とする。
【０００７】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造プログラムは、ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造プログラムにおいて、所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する手順と、前記ノズルと前記基材とを前記ピッチに対応させて相対的に移動させる工程と、前記機能液が塗布された前記所定領域に隣接する他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する手順と、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【０００８】
この電気光学パネルの製造方法は、基材である画素基板等を、描画方向に対して複数の領域に区分し、描画方向に直交する方向におけるノズルと基材との相対的な位置を変更することにより、それぞれの領域に対して異なるノズル群によって機能液を吐出する。ここで、前記相対的な位置の移動距離は、描画方向に対して直交する方向のノズルピッチ分が好ましい。これによって、１行描画する間にすべてのノズルから機能液を吐出することができるので、固形分の析出に起因する吐出不良を抑え、安定して機能液を吐出するができる。寸法の大きな基板の場合には、領域の区分を多くすることで、ノズルの吐出不良を十分に抑えることができる。また、すべてのノズルを可能な限り均等に使用できるので、液滴吐出ヘッドの寿命を延ばすこともできる。ここで、ノズルピッチとは、図１（ｄ）に示すように、隣接するノズル同士の間隔をいう。ノズル列が描画方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）に対して角度θだけ傾いていた場合には、見かけのノズルピッチＰ’はＰ×ｃｏｓθで表すことができる。このＰ’が描画方向に対して直交する方向のノズルピッチに相当する（以下同様）。
【０００９】
また、本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムによれば、本発明に係る電気光学パネルの製造方法をコンピュータに実行させることができる。なお、本発明でいうコンピュータには、いわゆるパーソナルコンピュータやワークステーションあるいはＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）の他、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）とメモリその他の電子素子によって構成されるハードウェアも含む（以下同様）。
【００１０】
なお、次の発明に係る電気光学パネルの製造方法のように、前記複数のノズル群が配列するノズル列が、前記ノズルを走査し前記機能液を塗布する描画方向に対して交差する方向に傾斜している場合には、前記所定領域に隣接する他の所定領域へ機能液を塗布する前に、前記機能液の塗布が終了した前記所定領域まで前記ノズル列が戻るように操作することが好ましい。このようにすれば、描画ピッチの関係からノズル列を傾けていても、これから機能液を塗布する領域に対して不要な機能液を塗布するおそれがなくなる。
【００１１】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造方法は、複数のノズルから機能液を基材に吐出させ、機能膜を形成する電気光学パネルの製造方法において、所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する工程と、前記機能液が塗布された前記所定領域の前記描画方向に存在し、かつ前記描画方向と直交する方向にずらして区画した他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１２】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造プログラムは、ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造プログラムにおいて、所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する手順と、前記機能液が塗布された前記所定領域の前記描画方向に存在し、かつ前記描画方向と直交する方向にずらして区画した他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する手順と、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１３】
この電気光学パネルの製造方法は、基材である画素基板等を、描画方向に対してそれぞれ描画方向に対して直交する方向のノズルピッチＰ’の整数倍ずらして、複数の領域に区分する。そして、それぞれの領域に対して異なるノズル群によって機能液を吐出する。これによって、１行描画する間にすべてのノズルから機能液を吐出することができるので、固形分の析出に起因する吐出不良を抑え、安定して液体を吐出するができる。また、すべてのノズルをできるだけ均等に使用できるので、液滴吐出ヘッドの寿命を延ばすこともできる。また、本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムによれば、本発明に係る電気光学パネルの製造方法をコンピュータに実行させることができる。
【００１４】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造方法のように、前記ノズルから前記基材に対して機能液を吐出させる前に、前記基材の前記領域、及び、前記他の所定領域に、前記ノズルから吐出される機能液が付着すべき部分を予め形成する前処理工程を含むようにすることが好ましい。この前処理工程とは、例えば画素を区画するバンク（隔壁）の形成工程や、ＩＴＯパターンの形成工程、あるいは陽極の形成工程が含まれる。
【００１５】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造装置は、ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造装置において、所定のピッチで配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、前記機能液が吐出される基材を載置するテーブルと、前記複数のノズルのうち、前記基材上の所定領域に対応する第１のノズル群から機能液を吐出させ、前記所定領域に対して機能液の塗布が終了したら、前記液滴吐出ヘッドと前記テーブルとの位置を、前記描画方向に対して直交する方向へ相対的に移動させ、すでに機能液を塗布した前記所定領域の描画方向に隣接する他の所定領域へ、前記ノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出させる制御部と、を有することを特徴とする。
【００１６】
この電気光学パネルの製造装置は、基材である画素基板等を、描画方向に対して複数の領域に区分し、描画方向に直交する方向におけるノズルと基材との相対的な位置を変更することにより、それぞれの領域に対して異なるノズル群によって機能液を吐出する。ここで、前記相対的な位置の移動距離は、描画方向に対して直交する方向のノズルピッチ分が好ましい。これによって、１行描画する間にすべてのノズルから機能液を吐出することができるので、固形分の析出に起因する吐出不良を抑え、安定して液体を吐出するができる。寸法の大きな基板の場合には、領域の区分を多くすることで、ノズルの吐出不良を十分に抑えることができる。その結果、この製造装置においては、製造される製品の歩留まりを向上させることができる。また、すべてのノズルをできるだけ均等に使用できるので、液滴吐出ヘッドの寿命を延ばすこともできる。これにより、液滴吐出ヘッド交換の頻度を低減できるのでメンテナンスが容易になり、また、製造装置のランニングコストも低減できる。
【００１７】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造装置は、ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造装置において、所定のピッチで配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、前記機能液が吐出される基材を載置するテーブルと、前記複数のノズルのうち、前記基材上の所定領域に対応する第１のノズル群から機能液を吐出させ、すでに機能液を塗布した前記所定領域の描画方向側に存在し、かつ描画方向に対して直交する方向にずらして区画した他の所定領域へ、前記ノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出させる制御部と、を有することを特徴とする。
【００１８】
この電気光学パネルの製造方法は、基材である画素基板等を、描画方向に対してそれぞれ描画方向に対して直交する方向におけるノズルピッチＰ’の整数倍ずらして、複数の領域に区分する。そして、それぞれの領域に対して異なるノズル群によって機能液を吐出する。これによって、１行描画する間にすべてのノズルから機能液を吐出することができるので、固形分の析出に起因する吐出不良を抑え、安定して液体を吐出するができる。その結果、この製造装置においては、製造される製品の歩留まりを向上させることができる。また、すべてのノズルをできるだけ均等に使用できるので、液滴吐出ヘッドの寿命を延ばすこともできる。これにより、液滴吐出ヘッド交換の頻度を低減できるのでメンテナンスが容易になり、また、製造装置のランニングコストも低減できる。
【００１９】
また、次の発明に係る電気光学装置の製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法を含むことを特徴とする。また、次の発明に係る電子機器の製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法を含むことを特徴とする。これにより、ノズルの吐出不良に起因する電気光学パネルの品質不良を低減できるので、信頼性の高い電気光学装置あるいは電子機器を得ることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの或いは実質的に同一のものが含まれる。なお、本発明に係る電気光学パネルとしては、例えば、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル、液晶表示パネル等が挙げられる。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る液滴吐出装置を示す説明図である。図２、３は、実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図である。また、図４は、実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示すフローチャートである。この電気光学パネルの製造方法は、電気光学パネルの基板に機能液を塗布して機能膜からなる画素を形成するにあたり、当該基板の画素形成領域を描画方向に対して複数の領域に区画し、画素ピッチに対応するノズルピッチを有する、異なるノズル群によってそれぞれの領域に描画する点に特徴がある。まず、図１を用いて、実施の形態１において本発明を適用する液滴吐出装置について説明する。
【００２２】
実施の形態１においては、液滴吐出方式にインクジェットを適用する。電気光学パネルの製造装置５０は、液滴吐出ヘッド５２とステージ６０とを備えている。液滴吐出ヘッド５２には、タンク５６から供給チューブ５８を介して、吐出物である機能液が供給される。機能液は、液滴吐出ヘッド５２から吐出される液体であり、カラーフィルタや画素等を形成する機能材料を溶媒成分中に含む液体である。そして、機能液中の溶媒成分を蒸発させることにより基材上へ機能膜を形成して、カラーフィルタや画素等となる。液滴吐出ヘッド５２から吐出させる機能液は、製造対象物によって適宜変更することができる。例えば、有機ＥＬ表示パネルを製造する場合は、機能液として高分子材料のポリフェニレンビニレン（ＰＰＶ（Ｐｏｌｙ Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅ Ｖｉｎｙｌｅｎｅ））等を溶媒に溶解させた液体を用いる。また、液晶表示パネル等に使用するカラーフィルタを形成する場合には、機能液として顔料粒子を液体に分散させた分散液を使用する。
【００２３】
なお、フルカラー表示可能な有機ＥＬ表示パネルあるいは液晶表示パネル等の電気光学パネルを製造する場合には、Ｒ（Ｒｅｄ）、Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）、Ｂ（Ｙｅｌｌｏｗ）三色の画素を形成する。この電気光学パネルの製造装置５０に備えられる液滴吐出ヘッドは１個であるが、このような場合には、それぞれの色に対応した発光材料液やカラーフィルタ材料を吐出する液滴吐出ヘッドを備える。
【００２４】
図１（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５２は、配列幅（描画幅）Ｈの間に複数のノズル５４が一定のピッチＰで配列されている。また、それぞれのノズル５４はピエゾ素子（図示せず）を備えており、制御装置６５からの指令によって、任意のノズル５４から発光材料液の液滴を吐出する。ピエゾ素子に与える駆動パルスを変化させることにより、ノズル５４から吐出される発光材料液の吐出量を変化させることができる。なお、制御装置６５は、パーソナルコンピュータやワークステーションを使用してもよい。
【００２５】
なお、制御装置６５には記憶部を備えてもよく、この場合に記憶部は、ハードディスク装置や光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリや、ＣＤ−ＲＯＭ等のような読み出しのみが可能な記憶媒体、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）のような揮発性のメモリ、あるいはこれらの組み合わせにより構成されるものとする。また、この制御装置６５は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、この制御装置６５はメモリ及びＣＰＵ（中央演算装置）により構成され、制御装置６５の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。また、この制御装置６５には、周辺機器として入力装置、表示装置などを接続し（いずれも図示省略）、これらの制御プログラムをメモリにロードして実行することにより前記周辺機器の機能を実現させるものであってもよい。さらに、制御装置６５には、周辺機器として入力装置、表示装置など（いずれも図示省略）を接続してもよい。ここで、入力装置とはキーボード、マウス等の入力デバイスのことをいう。表示装置とはＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）や液晶表示装置等のことをいう。
【００２６】
液滴吐出ヘッド５２は、当該ヘッド中心に垂直な回転軸Ａを回転中心として回転軸Ａの周りを回転可能となっている。例えば、図１（ｄ）に示すように液滴吐出ヘッド５２を回転軸Ａの周りに回転させて、ノズル５４の配列方向とＸ方向とに角度θを与えると、見かけ上ノズル５４のピッチをＰ’＝Ｐ×ｃｏｓθとすることができる。これにより、機能液を吐出する対象の基材である画素基板１０等の塗布領域、あるいは機能液の種類その他の塗布条件に応じて、ノズル５４のピッチを変更することができる。画素基板１０はステージ６０に設置されている。ステージ６０は、Ｙ方向（副走査方向）に移動でき、また、ステージ６０中心に垂直な回転軸Ｂを回転中心として回転軸Ｂの周りに回転できる。
【００２７】
液滴吐出ヘッド５２は、図中Ｘ方向（主走査方向）に往復して、その間に機能液を吐出対象である画素基板１０上へ吐出する。一回の走査で機能液を塗布したら、ステージ６０がＹ方向にＨ×ｃｏｓθだけ移動して、液滴吐出ヘッド５２は次の領域へ機能液を吐出する。液滴吐出ヘッド５２の動作、ノズル５４の吐出及びステージ６０の動作は、制御装置６５によって制御される。これらの動作パターンを予めプログラムしておけば、画素基板１０の塗布領域あるいは機能液の種類その他の塗布条件に応じて塗布パターンを変更することも容易である。上記の動作を繰り返して、画素基板１０の全領域に機能液を塗布することができる。これと同様に、ステージ６０がＹ方向に移動している時に液滴吐出ヘッド５２から機能液を吐出し、その後、液滴吐出ヘッド５２をＸ方向に移動させ、次の領域へ機能液を吐出することも可能である。
【００２８】
また、機能液と板状部材であるノズルプレート５４ｐとの接触角α（図１（ｃ）参照）は３０度〜１７０度の範囲が好ましい。機能液とノズルプレート５４ｐとの接触角αが小さすぎると、機能液がノズル５４から吐出する際に、機能液がノズルプレート５４ｐへ引き寄せられる。その結果、機能液の液滴が画素基板１０上へ付着する位置がずれてしまい、製品の品質を低下させるおそれがあるからである。接触角αが上記範囲であれば、機能液がノズルプレート５４ｐへ引き寄せられることもなく、機能液の液滴は画素基板１０上の所定位置へ付着する。さらに安定して機能液の液滴を所定位置へ付着させるには、上記接触角αは５０度以上が好ましく、さらには８０度以上が好ましい。接触角αを上記範囲とするには、例えばフッ素を含むシランカップリング剤のような、液体に対する濡れ性を悪くするような物質をノズルプレート５４ｐへコーティングする手段がある。
【００２９】
次に、図２〜４を用いて、本発明の実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を説明する。なお、実施の形態１では、有機ＥＬ表示パネルを構成する画素基板上の所定位置に、Ｒ、Ｇ、Ｂの発光材料液を塗布して、これらの表示画素を形成する例について説明する。図３（ａ）に示すように、画素基板１０の画素形成領域１０Ａは、描画方向（Ｘ方向）に対して複数（ここでは４）の画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１、１０Ａ_２ｎ＋２に区画されている。ここで、画素基板１０の描画方向に対する寸法が大きくなるにしたがって、画素形成領域１０Ａの描画方向に対する区画数を多くすることが好ましい。ノズルの不吐出時間が長くなると、それだけ吐出不良の発生する危険性は増加するので、ノズルの不吐出時間をある限度以下に抑えることが望ましいからである。
【００３０】
液滴吐出ヘッド５２は、画素基板１０上を描画方向へ走査する間に機能液である発光材料液の液滴を吐出して、画素基板１０上へ各画素を形成する。１行の描画が終了したら、液滴吐出ヘッド５２と画素基板１０とを改行方向（Ｙ方向）へ相対的に移動させる。次に、液滴吐出ヘッド５２は１行の描画が終了した側から先に描画を開始した側ヘ向かって同様に描画する。この動作を繰り返して、画素基板１０上の画素形成領域１０Ａへ各画素を形成する。
【００３１】
次に、図２を用いて、画素形成領域１０Ａの１行を描画する手順について説明する。この発明の実施の形態１においては、液滴吐出ヘッド５２の描画方向に区画したそれぞれの画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１、１０Ａ_２ｎ＋２が、描画ピッチＰｐに対応するノズルのピッチ２Ｐ’の異なるノズル群５４_２ｎ＋１、５４_２ｎ＋２によって描画される。なお、画素形成領域は、添え字の符号が共通するノズル群によって描画される。例えば、本実施の形態において２個存在する画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１は、いずれもノズル群５４_２ｎ＋１で描画される（以下同様）。
【００３２】
ここで、描画ピッチＰｐは、同じ色の画素２０ｒ同士に対応する画素ピッチであり、隣接する画素２０ｒと２０ｇとの画素ピッチＰｐ１の３倍である。図１に示す電気光学パネルの製造装置５０では、異なる画素ピッチの画素基板等に対応できるように、液滴吐出ヘッド５２を回転軸Ａの周りに回転させることで、見かけ上ノズル５４のピッチをＰ’＝Ｐ×ｃｏｓθとして変化させることができる。同じ発光材料液を吐出するノズル５４_２ｎ＋１、５４_２ｎ＋２で構成されるノズル列５４ｌにおけるノズルのピッチＰは一定である。したがって、画素２０ｒ間の描画ピッチＰｐに対応させるためには、ノズル列５４ｌをθ傾けて、ノズル群５４_２ｎ＋１によって描画する。例えば、図２（ａ）に示す例においては、ノズル群５４_２ｎ＋１によってＲ画素２０ｒを描画する。
【００３３】
しかし、ノズル群５４_２ｎ＋１のみを使用して１行全体を走査すると、ノズル群５４_２ｎ＋２からは、発光材料液の液滴は全く吐出されない。その結果、発光材料液がノズル近傍で固化等することにより、発光材料液の吐出不良を招いてしまう。したがって、図２に示すように、画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１においてはノズル群５４_２ｎ＋１で、画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋２ではノズル群５４_２ｎ＋２でそれぞれ描画することにより、１行の描画において不吐出ノズルが存在しないようにする。
【００３４】
図２〜図４を用いてこの描画手順を詳細に説明する。なお、図２には、Ｒ画素２０ｒを形成するノズル列５４ｌしか記載していないが、Ｇ画素２０ｇ、Ｂ画素２０ｂを形成するノズル列をノズル列５４ｌと平行に配置して、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素を同時に形成する。まず、画素形成領域１０Ａの描画方向全領域に発光材料液の液滴を塗布したか否かを判断する（ステップＳ１０１）。塗布していなければ（ステップＳ１０１：Ｎｏ）、描画方向に液滴を塗布する（ステップＳ１０２；図２（ａ））。このとき、ノズル列５４ｌは改行方向（Ｙ方向）に対して角度θだけ傾いているので、ノズル群５４_２ｎ＋１のノズルピッチ２Ｐ’は２×Ｐ×ｃｏｓθとなり、画素２０ｒ間の描画ピッチＰｐと等しくなる。
【００３５】
次に、描画方向における所定の画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１全体に発光材料液の液滴を塗布していない場合には（ステップＳ１０３：Ｎｏ）、引き続き液滴を塗布する（ステップＳ１０２）。なお、ノズル列５４ｌが傾いているので、画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１全体を描画するとノズル列５４ｌは、次の画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋２上へ位置することになる（図２（ｂ）参照）。このため、画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋２上ではノズルから発光材料液の液滴を吐出させないように制御装置６５（図１参照）で制御する。
【００３６】
前記画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１全体に発光材料液の液滴を塗布した場合には（ステップＳ１０３：Ｙｅｓ；図２（ｂ））、ノズルと画素形成領域１０Ａとの位置を、描画方向に対して直交する方向のノズルピッチＰ’だけ移動させる（ステップＳ１０４；図２（ｃ））。すなわち改行方向（Ｙ方向）に対して見かけのノズルピッチＰ’分だけ移動させる。そして、画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１を描画したノズル群５４_２ｎ＋１とは異なるノズル群５４_２ｎ＋２で、次の画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋２へ描画を開始する（ステップＳ１０１：Ｎｏ）。なお、ノズル列５４ｌが傾いているので、画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１全体を描画すると、ノズル列５４ｌは次の画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋２上へ位置することになる（図２（ｂ）参照）。このため、画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋２を描画する場合には、画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１上まで一旦ノズル列５４ｌ全体を移動させてから、画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋２の描画を開始する。なお、ノズル列５４ｌの傾き角であるθが略０度である場合には、ノズル列５４ｌは次の画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋２上へ位置することはない。このため、ノズル列５４ｌを画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１上へ移動させる動作は不要である。これにより、描画速度が向上する。
【００３７】
上記ステップＳ１０１〜Ｓ１０４を繰り返して、描画方向全領域に対する液滴の塗布、すなわち１行全体の描画が終了したら（ステップＳ１０１：Ｙｅｓ）、液滴吐出ヘッド５２（図３参照）を改行する（ステップＳ１０５）。画素形成領域１０Ａの全領域へ発光材料液の液滴を塗布していない場合には（ステップＳ１０６：Ｎｏ）、次の行に対しても上記ステップＳ１０１〜Ｓ１０４を繰り返す。画素形成領域１０Ａの全領域へ液滴を塗布したら（ステップＳ１０６：Ｙｅｓ）、画素基板１０に対する描画が終了する。このようにして製造した画素基板１０に対して、駆動電極の形成、ドライバＩＣの実装等を施すことにより、電気光学パネルを製造することができる。
【００３８】
ここで、画素形成領域１０Ａの区画について説明する。上記描画手順においては、描画方向（Ｘ方向）に対して画素形成領域１０Ａを４領域に区画した（図３（ａ））。画素形成領域１０Ａは、図３（ｃ）に示すような２領域に区画してもよい。また、図３（ｂ）に示すように画素形成領域１０Ａの行方向両端部とその中間部とに区画して、両端部と中央部とでそれぞれ異なるノズル群５４_２ｎ＋１と５４_２ｎ＋２を用いて描画してもよい。区画数を少なくすると、ノズル列５４ｌが傾いている場合にはノズル列５４ｌを描画方向反対側へ移動させる回数が少なくなるので、それだけ描画時間を短くできる。すなわち、ノズルの不吐出時間を短くできるので、それだけ発光材料液等の乾燥等に起因する吐出不良を低減できる。一方、図３（ａ）のように、異なるノズル群５４_２ｎ＋１と５４_２ｎ＋２とを交互に使用するように、画素形成領域１０Ａを画素形成領域１０Ａ_２ｎ＋１と１０Ａ_２ｎ＋２とに区画してもよい。このようにすれば、ノズル群が不吐出である時間を短くできるので、それだけ発光材料液等の乾燥等に起因する吐出不良を低減できる。
【００３９】
図５は、画素形成領域の区画とこれに対応するノズル群との他の例を示す説明図である。図５（ａ）に示すように、ノズル列５４ｌを構成するノズルを、ノズル群５４_３ｎ＋１、５４_３ｎ＋２、５４_３ｎ＋３の３群に分けて、それぞれのノズル群で３領域に区画した画素形成領域１０Ａ_３ｎ＋１、１０Ａ_３ｎ＋２、１０Ａ_３ｎ＋３を描画してもよい。また、図５（ｂ）に示すように、ノズル列５４ｌを構成するノズルを、ノズル群５４_４ｎ＋１、５４_４ｎ＋２、５４_４ｎ＋３、５４_４ｎ＋４の４群に分けて、それぞれのノズル群で４領域に区画した画素形成領域１０Ａ_４ｎ＋１、１０Ａ_４ｎ＋２、１０Ａ_４ｎ＋３、１０Ａ_４ｎ＋４を描画してもよい。画素基板１０における画素形成領域１０Ａの大きさや画素ピッチ等によって、画素形成領域の区画及びノズル群の分割を適宜変更することができる。
【００４０】
以上、本発明の実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法の構成によれば、液滴吐出ヘッド５２が１行描画する間において、不吐出ノズルは存在しなくなる。これにより、ノズル近傍に固形分が凝固することを防止できるので、液滴のドット抜けや飛行曲がりを極めて少なくすることができ、製品の歩留まりが向上する。特に、寸法の大きい画素基板等に対して画素を描画する場合にこの効果は大きい。また、描画中にすべてのノズルを均等に使用することができるので、特定のノズルのみが使用される頻度を低減できる。これにより、液滴吐出ヘッドの寿命を伸ばすことができ、また液滴吐出ヘッドの交換回数も低減できるので、ランニングコストも低減できる。
【００４１】
（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２に係る画素形成基板を示す説明図である。図７は、実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図である。図８は、実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示すフローチャートである。図９は、画素基板上における画素チップ配置を示す説明図である。この電気光学パネルの製造方法は、１枚の画素基板１０上に複数の画素チップ１０Ｃを形成するにあたり、改行方向に対するノズルピッチＰ’の整数倍だけ、描画方向の画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１、１０Ｃ_２ｎ＋２を改行方向に対してずらして形成する点に特徴がある。
【００４２】
実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法は、携帯電話やＰＤＡ等の携帯電子機器に用いられる表示パネルを構成するための、比較的小さい画素チップ１０Ｃを１枚の画素基板１０上に複数形成するものである。図６（ａ）に示すように、画素チップ１０Ｃは、描画方向（Ｘ方向）に対して複数形成される。図６（ｂ）は、画素チップ１０Ｃの隣接部分（図６（ａ）のＤ部分）を拡大したものである。同図に示すように、この例においては隣接する画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１、１０Ｃ_２ｎ＋２は、改行方向に対するノズルピッチＰ’（図１（ｄ））だけ改行方向にずらしてある。すなわち、各色の発光材料液やカラーフィルタ材料等を所定の各画素へ塗布する前に、各画素を仕切るバンク（隔壁）やブラックマトリックス等が前記画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１、１０Ｃ_２ｎ＋２が形成される位置に予め形成されている。なお、改行方向に対するずれ量は、Ｐ’の整数倍であればよい。
【００４３】
次に、図７を用いて、実施の形態２に係る各画素の形成手順について説明する。説明に使用するノズル列５４ｌの構成は実施の形態１と同様である。実施の形態２においては、画素基板１０上に形成される各画素チップ１０Ｃが、予め描画方向に対して改行方向に対するノズルピッチＰ’だけ同方向にずらしてある。したがって、改行方向に対して同じ大きさのノズルピッチＰ’を有するノズル列５４ｌをそのまま描画方向に走査する。このとき、画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１のＲ画素２０ｒに対してはノズル群５４_２ｎ＋１で、画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋２のＲ画素２０ｒ対してはノズル群５４_２ｎ＋２で画素を描画すれば（図７（ａ）、（ｂ））、画素チップ毎に交互にノズル群を使用することになる。ここで、画素チップ毎に交互にノズル群を使用するため、改行方向に対する各画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１、１０Ｃ_２ｎ＋２は、図９（ａ）に示すように、描画方向に対して１画素チップおきに、改行方向に対してずらして配置されている。これによって、１行の走査間において不吐出ノズルは発生しないことになる。なお、図９（ｂ）に示すように、描画方向に対して２画素チップおきに、改行方向に対してずらして配置してもよい。
【００４４】
図７、図８を用いてこの描画手順を詳細に説明する。なお、図７には、Ｒ画素２０ｒを形成するノズル列５４ｌしか記載していないが、Ｇ画素２０ｇ、Ｂ画素２０ｂを形成するノズル列をノズル列５４ｌと平行に配置して、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素を同時に形成する。まず、画素基板１０の描画方向におけるすべての画素チップ１０Ｃに発光材料液の液滴を塗布したか否かを判断する（ステップＳ２０１）。塗布していなければ（ステップＳ２０１：Ｎｏ）、描画方向に対する画素チップに液滴を塗布する（ステップＳ２０２；図７（ａ））。このとき、ノズル列５４ｌは改行方向（Ｙ方向）に対して角度θだけ傾いているので、ノズル群５４_２ｎ＋１のノズルピッチ２Ｐ’は２×Ｐ×ｃｏｓθとなり、画素２０ｒ間の描画ピッチＰｐと等しくなる。
【００４５】
描画方向における所定の画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１全体に発光材料液の液滴を塗布していない場合には（ステップＳ２０３：Ｎｏ）、引き続き当該画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１に液滴を塗布する（ステップＳ２０２）。前記画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１全体に発光材料液の液滴を塗布した場合には（ステップＳ２０３：Ｙｅｓ）、次の画素チップ（この場合は隣接して配置される画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋２）に対して、液滴を塗布する。このときには、画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１を描画したノズル群５４_２ｎ＋１とは異なるノズル群５４_２ｎ＋２に切り替えて（ステップＳ２０４）、次の画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋２へ描画を開始する（ステップＳ２０１：Ｎｏ）。
【００４６】
なお、ノズル列５４ｌが傾いているので、画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋１全体を描画すると、ノズル群を切り替える前にノズル列５４ｌの一部が次の画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋２上へ位置する場合がある。このような場合は、画素チップ１０Ｃ_２ｎ＋２上では吐出が不要なノズル群５４_２ｎ＋１からは液滴を吐出させないように制御装置６５（図１参照）で制御する。実施の形態２に係る描画手順では、画素チップ間においては液滴を吐出するノズル群を切り替えるだけであり、ノズル列５４ｌの走査は停止しないので、実施の形態１と比較して描画速度が向上する。
【００４７】
上記ステップＳ２０１〜Ｓ２０４を繰り返して、描画方向すべての画素チップ１０Ｃに対する液滴の塗布、すなわち１行全体の描画が終了したら（ステップＳ２０１：Ｙｅｓ）、液滴吐出ヘッド５２（図３参照）を改行する（ステップＳ２０５）。描画方向すべての画素チップ１０Ｃに発光材料液の液滴を塗布していない場合には（ステップＳ２０６：Ｎｏ）、次の行に対しても上記ステップＳ２０１〜Ｓ２０４を繰り返す。画素基板１０の全画素チップに発光材料液の液滴を塗布したら（ステップＳ２０６：Ｙｅｓ）、画素基板１０に対する描画が終了する。このようにして製造した画素基板１０に対して、駆動電極の形成、ドライバＩＣの実装等を施すことにより、電気光学パネルを製造することができる。なお、画素基板１０に対する部品の実装その他の後工程においては、図９（ａ）に示す点線ｃｃに沿って画素基板１０を切断して取り扱うことが好ましい。
【００４８】
図１０は、画素チップ配置とこれに対応するノズル群との他の例を示す説明図である。図１０（ａ）に示すように、ノズル列５４ｌを構成するノズルをノズル群５４_３ｎ＋１、５４_３ｎ＋２、５４_３ｎ＋３の３群に分ける。そして、それぞれずらして配置した画素チップ１０Ｃ_３ｎ＋１、１０Ｃ_３ｎ＋２、１０Ｃ_３ｎ＋３をそれぞれの前記ノズル群で描画してもよい。また、図１０（ｂ）に示すように、ノズル列５４ｌを構成するノズルを、ノズル群５４_４ｎ＋１、５４_４ｎ＋２、５４_４ｎ＋３、５４_４ｎ＋４の４群に分ける。そして、それぞれずらして配置した画素チップ１０Ｃ_４ｎ＋１、１０Ｃ_４ｎ＋２、１０Ｃ_４ｎ＋３、１０Ｃ_４ｎ＋４をそれぞれの前記ノズル群で描画してもよい。画素基板１０の大きさや画素ピッチ等によって、画素チップ配置とこれに対応するノズル群との関係を適宜変更することができる。
【００４９】
図１１は、画素がデルタ配列の場合における描画を示した説明図である。ここで、同図に示すノズル列５４ｌは、Ｒ画素を形成する発光材料液やカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。同図に示すように、デルタ配列の場合には、ノズル列５４ｌのノズル群５４_２ｎ＋１によって１、３、５・・・番のＲ画素を、ノズル群５４_２ｎ＋２によって２、４・・・番のＲ画素を形成する。このため、デルタ配列の場合は、ノズル列５４ｌが描画方向に走査する間に、常にすべてのノズルから液滴が吐出されるので、ノズル近傍における固化分の付着に起因する吐出不良を最小限に抑えることができる。
【００５０】
以上、本発明の実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法の構成によれば、液滴吐出ヘッド５２が１行描画する間において、不吐出ノズルは存在しなくなる。これにより、ノズル近傍に固形分が凝固することを防止できるので、液滴のドット抜けや飛行曲がりを極めて少なくすることができる。この電気光学パネルの製造方法は、携帯機器に使用されるような比較的寸法の小さい画素基板等に対するものであり、前記作用によってこのような製品の歩留まりが向上する。また、描画中にすべてのノズルを均等に使用することができるので、特定のノズルのみが使用される頻度を低減できる。これにより、液滴吐出ヘッドの寿命を伸ばすことができ、また液滴吐出ヘッドの交換回数も低減できるので、ランニングコストも低減できる。
【００５１】
（実施の形態３）
実施の形態３においては、上記電気光学パネルの製造方法を含む電気光学装置又は電子機器の製造方法について説明する。図１２は、実施の形態３に係る電気光学装置又は電子機器の製造方法を示す説明図である。図１３は、液晶パネルの構造を示す概略図である。図１４は、実施の形態３に係る電気光学装置又は電子機器の製造方法を示すフローチャートである。次の説明においては、原則として電気光学パネルとして有機ＥＬ表示パネルを例に説明するが、必要に応じて液晶表示パネルについても説明する。
【００５２】
ガラス等の透明な材料で作られる画素基板１０に、フォトリソグラフィー等によって予めＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）で形成する陽極２３、バンク（隔壁）２２、カソードセパレータ２４及び正孔注入層２６を形成する（ステップＳ３０１）。次に、バンク２２で仕切られた領域内に、実施の形態１又は２で説明したいずれかの方法によって、液滴吐出ヘッド５２により発光材料液３０ｒを塗布する（ステップＳ３０２；図１２（ａ））。ここで、発光材料液３０ｒを塗布すると同時に、発光材料液３０ｇ、３０ｂを塗布する。なお、発光材料液３０ｒ、３０ｇ、３０ｂはそれぞれ別個の工程で塗布してもよい。このとき、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッド５２の１滴あたりの吐出量は８ｎｇとし、１画素あたりの塗布量は１６０ｎｇとしてある。したがって、１画素あたり２０滴の発光材料液３０ｒが塗布される。なお、図１３に示す液晶表示パネル１０１、及び１０１’についても、実施の形態１又は２で説明したいずれかの方法によって、カラーフィルタ３２ｒ、３２ｇ、３２ｂを形成することができる。液晶表示パネル１０１’は、バンク４０によって画素を区分したものである。
【００５３】
液滴吐出においては、液滴吐出ヘッド５２のノズル５４（図１参照）から安定して発光材料液等の液滴を吐出する必要がある。このため、前記発光材料液等は、溶媒によって液滴吐出に適した物性値に調整されている。具体的には、２０℃における粘度が１〜２０ｍＰａ・ｓ、同じく２０℃における表面張力が２０〜７０ｍＮ／ｍの範囲である。この範囲であれば、安定してノズル５４へ発光材料液等を供給でき、また、ノズル５４出口における発光材料液等のメニスカスも安定する。これによって、ノズル５４から安定して発光材料液等の液滴を吐出して、高品質の発光層やカラーフィルタを形成することができる。また、この粘度及び表面張力の範囲であれば、液滴吐出に要するエネルギーも無闇に高くならないので、液滴吐出ヘッド５２を駆動するピエゾ素子の吐出能力を超えることもない。
【００５４】
さらには、２０℃における粘度が４〜８ｍＰａ・ｓ、同じく２０℃における表面張力が２５〜３５ｍＮ／ｍの範囲がより好ましい。この範囲であれば、さらに安定してノズル５４へ発光材料液等を供給でき、また、ノズル５４出口における発光材料液等のメニスカスも安定する。これによって、ノズル５４から吐出する発光材料液等の液滴はさらに安定し、さらに高品質の発光層やカラーフィルタを形成することができる。
【００５５】
また、バンク２２、４０は、この発光材料液の液体に対する濡れ性を悪くしておくことが好ましい。このようにすれば、発光材料液の液滴がバンク２２で仕切られた領域内に向けて多少ずれて吐出された場合でも、濡れ性の悪いバンク２２によって、発光材料液を前記区画内へ塗布することができる。同様の理由から、カソードセパレータ２４も、前記発光材料液に対する濡れ性を悪くしておくことが好ましい。
【００５６】
画素基板１０上へ発光材料液３０ｒ、３０ｇ、３０ｂを塗布したら、発光材料液中の溶媒を揮発させるため、発光材料液を乾燥させる（ステップＳ３０３）。本実施の形態においては、図１２（ｂ）に示すように、発光材料液の液滴を塗布した画素基板１０をホットプレート６７上へ載せて、発光材料液中の溶媒を揮発させる。このとき、発光材料層の表面を平滑にするために、比較的低温度で、ある程度の時間をかけて乾燥させることが好ましい。なお、乾燥はホットプレート６７に限られず、赤外線ヒータの加熱により乾燥させたり、オーブン内で乾燥させたりしてもよい。このようにして保護膜材料中の溶媒を揮発させて、画素基板１０へ発光材料層が形成される。
【００５７】
次に、図１２（ｃ）に示すように発光材料層の上に電子輸送層２８を形成する（ステップＳ３０４）。そして、図１２（ｄ）に示すように、電子輸送層２８上には陰極２１を真空蒸着法により形成して（ステップＳ３０５）、電気光学パネルである有機ＥＬ表示パネル１００が完成する。図１３に示す液晶表示パネル１０１、及び１０１’の場合は、保護層４２、ＩＴＯ４４及び配向膜４６を形成する。そして、配向膜４６にラビング処理した後、画素基板１１と対向基板と貼り合わせ、液晶４８を封入して液晶表示パネル１０１、１０１’が完成する。
【００５８】
完成した有機ＥＬ表示パネル１００又は液晶表示パネル１０１、１０１’にハーネスやＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）７、あるいはドライバＩＣ５が実装されて（ステップＳ３０６；図１２（ｅ））、電気光学装置２００が完成する。さらに、図１２（ｆ）に示すように、この電気光学装置２００を携帯電話やＰＤＡ等の電子機器９へ取り付けて、これらの電子機器が完成する（ステップＳ３０７）。
【００５９】
なお、実施の形態１〜３に係る本発明の電気光学パネル、電気光学装置、電子機器の製造方法は、予め用意されたプログラムを上記制御装置６５へロードして実行することによって実現することができる。このプログラムは、インターネットなどのネットワークを介して配布することもできる。また、このプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、所定のインターフェースを介して上記制御装置６５へロードすることによって実行することもできる。ここで、コンピュータで読み取り可能な記録媒体とは、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤ等の可搬媒体、あるいはコンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記録装置をいう。
【００６０】
（本発明の適用対象）
本発明に係る電気光学パネルが適用できる電子機器としては、携帯電話機の他に、例えば、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等、電気光学装置である電気光学パネルを用いる機器が挙げられる。したがって、これらの電子機器における電気的接続構造であっても、本発明が適用可能であることはいうまでもない。
【００６１】
また、この発明が適用できる液晶表示パネルは、透過型又は反射型の電気光学パネルであり、図示しない照明装置をバックライトとして用いる。なお、アクティブマトリックス型のカラー液晶表示パネルであっても同様である。また、パッシブマトリクス型の液晶表示パネルでも、アクティブマトリクス型の液晶表示パネル（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた電気光学パネル）にも同様に本発明を適用することができる。また、本発明は、このような電気光学パネルとしての液晶表示パネルに適用できるだけでなく、上述したように有機エレクトロルミネッセンス装置にも適用できる。さらに、これに限られず、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置などのように、複数の画素毎に表示状態を制御可能な各種の電気光学装置においても本発明を同様に適用することができる。特に、エレクトロルミネッセンス装置（有機、無機）においては、発光色を白色とし、装置の前面にカラーフィルタを配置することによりフルカラー表示を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る液滴吐出装置を示す説明図。
【図２】実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図。
【図３】実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図。
【図４】実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示すフローチャート。
【図５】画素形成領域の区画とこれに対応するノズル群との他の例を示す説明図。
【図６】本発明の実施の形態２に係る画素形成基板を示す説明図。
【図７】実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図。
【図８】実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示すフローチャート。
【図９】画素基板上における画素チップ配置を示す説明図。
【図１０】画素チップ配置とこれに対応するノズル群との他の例を示す説明図。
【図１１】画素がデルタ配列の場合における描画を示した説明図。
【図１２】実施の形態３に係る電気光学装置又は電子機器の製造方法を示す説明図。
【図１３】液晶パネルの構造を示す概略図。
【図１４】実施の形態３に係る電気光学装置又は電子機器の製造方法を示すフローチャート。
【符号の説明】
９ 電子機器、 １０、１１ 画素基板、 １０Ｃ 画素チップ、 １０Ａ 画素形成領域、 １０Ｃ 画素チップ、 ５０ 電気光学パネルの製造装置、 ５２ 滴吐出ヘッド、 ５４ ノズル、 ５４ｌ ノズル列、 ６０ ステージ、 ６５ 制御装置、 １００ 有機ＥＬ表示パネル、 １０１、１０１’ 液晶表示パネル、 ２００ 電気光学装置[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method of manufacturing a substrate of an electro-optical panel by discharging droplets, and more particularly, to a method of manufacturing an electro-optical panel capable of suppressing a discharge failure of a droplet discharging nozzle and stably discharging a liquid, and an electro-optical panel. And an apparatus for manufacturing an electro-optical panel, a method for manufacturing an electro-optical device, and a method for manufacturing an electronic apparatus.
[0002]
[Prior art]
With the recent development of personal computers, mobile phones, and the like, the demand for liquid crystal display panels, organic EL panels, and other electro-optical panels capable of performing color display tends to increase. In the manufacture of such an electro-optical panel, a technique has recently been proposed in which a color pixel is formed by applying a color filter or a color luminescent material liquid by a droplet discharge method represented by an ink jet method. Patent Literature 1 discloses a technology in which an inkjet head including a nozzle row in which a plurality of nozzles are linearly arranged at a constant pitch is used, and various pixel pitches can be handled by changing the angle of the nozzle row. Is disclosed.
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-9-138306 P20, 21 FIG.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to the technique disclosed in Patent Document 1, depending on the relationship between the pixel pitch and the nozzle pitch, a nozzle that does not eject a droplet at all, or a droplet that does not eject a droplet in one scan but ejects a droplet in the next scan Nozzles are generated. When such a nozzle is present, solid components in the color filter ink and the organic light emitting material ink are deposited near the nozzle while the droplet is not being ejected. When the next droplet is ejected from the nozzle, ejection failure such as flight deflection of the droplet or missing dots occurs, and the droplet cannot be ejected stably. In particular, if there is a nozzle that does not discharge a droplet in one scan but discharges a droplet in the next scan, a discharge defect occurs in application to one substrate, and the product yield is reduced. In addition, the frequency of use of the specific nozzles increases due to the presence of unused nozzles, thereby shortening the life of the entire head. These problems occur more remarkably as the substrate becomes larger.
[0005]
In view of the above, the present invention has been made in view of the above, and it is possible to suppress a discharge failure of a droplet discharge nozzle and to discharge a liquid stably, to use all nozzles as evenly as possible, and to reduce the life of a head. To provide an electro-optical panel manufacturing method, an electro-optical panel manufacturing program, an electro-optical panel manufacturing apparatus, an electro-optical device manufacturing method, and an electronic apparatus manufacturing method that can achieve at least one of the following methods: With the goal.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above-described object, a method of manufacturing an electro-optical panel according to the present invention includes the steps of: discharging a functional liquid from a plurality of nozzles onto a substrate to form a functional film; A step of discharging the functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined area for discharging the functional liquid, among the plurality of nozzles arranged in the step, and causing the nozzles and the base material to correspond to the pitch. A step of relatively moving and a step of discharging a functional liquid from a second nozzle group different from the first nozzle group to another predetermined area adjacent to the predetermined area on which the functional liquid is applied And characterized in that:
[0007]
Further, the electro-optical panel manufacturing program according to the next invention is characterized in that, in the electro-optical panel manufacturing program for discharging a functional liquid from a nozzle and applying the functional liquid to a portion to be a pixel provided on a base material, A procedure for discharging the functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined area for discharging the functional liquid among a plurality of nozzles arranged at a pitch of Causing the liquid to be relatively moved, and discharging the functional liquid from a second nozzle group different from the first nozzle group to another predetermined area adjacent to the predetermined area to which the functional liquid has been applied. And causing the computer to execute the steps.
[0008]
In this method of manufacturing an electro-optical panel, a pixel substrate or the like as a base material is divided into a plurality of regions with respect to a drawing direction, and a relative position between the nozzle and the base material in a direction orthogonal to the drawing direction is changed. Thus, the functional liquid is discharged to the respective regions by different nozzle groups. Here, the moving distance of the relative position is preferably a nozzle pitch in a direction orthogonal to the drawing direction. Thus, the functional liquid can be discharged from all the nozzles during one-line drawing, so that a discharge failure caused by solid deposition can be suppressed, and the functional liquid can be discharged stably. In the case of a substrate having a large size, by increasing the number of areas, it is possible to sufficiently suppress the ejection failure of the nozzle. Further, since all the nozzles can be used as uniformly as possible, the life of the droplet discharge head can be extended. Here, the nozzle pitch refers to an interval between adjacent nozzles as shown in FIG. If the nozzle row is inclined by an angle θ with respect to a direction (Y direction) orthogonal to the drawing direction (X direction), the apparent nozzle pitch P ′ can be represented by P × cos θ. This P 'corresponds to a nozzle pitch in a direction orthogonal to the drawing direction (the same applies hereinafter).
[0009]
Further, according to the program for manufacturing an electro-optical panel according to the present invention, it is possible to cause a computer to execute the method for manufacturing an electro-optical panel according to the present invention. The computer according to the present invention includes not only a so-called personal computer, workstation, or PDA (Personal Digital Assistant), but also hardware including a CPU (Central Processing Unit), a memory, and other electronic elements (the same applies hereinafter). .
[0010]
Note that, as in the method of manufacturing an electro-optical panel according to the next invention, the nozzle row in which the plurality of nozzle groups are arranged is inclined in a direction intersecting a drawing direction in which the nozzle is scanned and the functional liquid is applied. If so, before applying the functional liquid to another predetermined area adjacent to the predetermined area, it is preferable to operate the nozzle array to return to the predetermined area where the application of the functional liquid has been completed. . In this way, even if the nozzle row is tilted due to the drawing pitch, there is no danger that an unnecessary functional liquid will be applied to the area where the functional liquid will be applied.
[0011]
Further, in the method for manufacturing an electro-optical panel according to the next invention, in the method for manufacturing an electro-optical panel in which a functional liquid is discharged from a plurality of nozzles onto a base material to form a functional film, a plurality of nozzles are arranged at a predetermined pitch. A step of discharging the functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined area for discharging the functional liquid, among the nozzles, wherein the functional liquid is present in the drawing direction of the predetermined area where the functional liquid is applied, and Discharging a functional liquid from a second nozzle group different from the first nozzle group to another predetermined area which is shifted in a direction perpendicular to the drawing direction.
[0012]
Further, the electro-optical panel manufacturing program according to the next invention is characterized in that, in the electro-optical panel manufacturing program for discharging a functional liquid from a nozzle and applying the functional liquid to a portion to be a pixel provided on a base material, Among a plurality of nozzles arranged at a pitch of, a procedure of discharging the functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined area for discharging the functional liquid, and a step of discharging the functional liquid from the predetermined area to which the functional liquid is applied. Ejecting a functional liquid from a second nozzle group different from the first nozzle group to another predetermined region that exists in the drawing direction and is shifted in a direction orthogonal to the drawing direction, Is executed by a computer.
[0013]
According to this method of manufacturing an electro-optical panel, a pixel substrate or the like as a base material is divided into a plurality of regions by being shifted by an integral multiple of a nozzle pitch P ′ in a direction perpendicular to the drawing direction with respect to the drawing direction. Then, the functional liquid is discharged to the respective regions by different nozzle groups. Thus, the functional liquid can be discharged from all the nozzles during one-line drawing, so that a discharge failure due to solid deposition can be suppressed, and the liquid can be discharged stably. Further, since all the nozzles can be used as evenly as possible, the life of the droplet discharge head can be extended. Further, according to the program for manufacturing an electro-optical panel according to the present invention, it is possible to cause a computer to execute the method for manufacturing an electro-optical panel according to the present invention.
[0014]
Further, as in the method for manufacturing an electro-optical panel according to the next invention, before discharging a functional liquid from the nozzle to the base material, the region of the base material, and the other predetermined region, It is preferable to include a pre-processing step of forming in advance a portion to which the functional liquid discharged from the nozzle should adhere. The pre-processing step includes, for example, a step of forming a bank (partition) that partitions pixels, a step of forming an ITO pattern, or a step of forming an anode.
[0015]
Further, in the electro-optical panel manufacturing apparatus according to the next invention, in the electro-optical panel manufacturing apparatus for discharging a functional liquid from a nozzle and applying the functional liquid to a portion to be a pixel provided on a base material, A droplet discharge head having a plurality of nozzles arranged at a pitch of: a table on which a substrate onto which the functional liquid is discharged is placed; and a table corresponding to a predetermined region on the substrate among the plurality of nozzles When the functional liquid is discharged from the first nozzle group and the application of the functional liquid to the predetermined area is completed, the positions of the droplet discharge head and the table are relatively moved in a direction orthogonal to the drawing direction. A control unit that discharges the functional liquid from a second nozzle group different from the nozzle group to another predetermined area adjacent to the predetermined area where the functional liquid has already been applied in the drawing direction. Characterized by .
[0016]
This electro-optical panel manufacturing apparatus divides a pixel substrate or the like as a base material into a plurality of regions with respect to a drawing direction, and changes a relative position between the nozzle and the base material in a direction orthogonal to the drawing direction. Thus, the functional liquid is discharged to the respective regions by different nozzle groups. Here, the moving distance of the relative position is preferably a nozzle pitch in a direction orthogonal to the drawing direction. Thus, the functional liquid can be discharged from all the nozzles during one-line drawing, so that a discharge failure due to solid deposition can be suppressed, and the liquid can be discharged stably. In the case of a substrate having a large size, by increasing the number of areas, it is possible to sufficiently suppress the ejection failure of the nozzle. As a result, in this manufacturing apparatus, the yield of manufactured products can be improved. Further, since all the nozzles can be used as evenly as possible, the life of the droplet discharge head can be extended. As a result, the frequency of replacement of the droplet discharge head can be reduced, so that maintenance is facilitated, and the running cost of the manufacturing apparatus can also be reduced.
[0017]
Further, in the electro-optical panel manufacturing apparatus according to the next invention, in the electro-optical panel manufacturing apparatus for discharging a functional liquid from a nozzle and applying the functional liquid to a portion to be a pixel provided on a base material, A droplet discharge head having a plurality of nozzles arranged at a pitch of: a table on which a substrate onto which the functional liquid is discharged is placed; and a table corresponding to a predetermined region on the substrate among the plurality of nozzles The functional liquid is discharged from the first nozzle group, and is present on the drawing direction side of the predetermined area to which the functional liquid has already been applied, and is shifted to another predetermined area partitioned in a direction orthogonal to the drawing direction. A control unit configured to discharge the functional liquid from a second nozzle group different from the nozzle group.
[0018]
In this method of manufacturing an electro-optical panel, a pixel substrate or the like as a base material is divided into a plurality of regions by being shifted by an integral multiple of a nozzle pitch P ′ in a direction perpendicular to the drawing direction with respect to the drawing direction. Then, the functional liquid is discharged to the respective regions by different nozzle groups. Thus, the functional liquid can be discharged from all the nozzles during one-line drawing, so that a discharge failure due to solid deposition can be suppressed, and the liquid can be discharged stably. As a result, in this manufacturing apparatus, the yield of manufactured products can be improved. Further, since all the nozzles can be used as evenly as possible, the life of the droplet discharge head can be extended. As a result, the frequency of replacement of the droplet discharge head can be reduced, so that maintenance is facilitated, and the running cost of the manufacturing apparatus can also be reduced.
[0019]
According to another aspect of the invention, a method of manufacturing an electro-optical device includes the above-described method of manufacturing an electro-optical panel. According to another aspect of the invention, there is provided a method of manufacturing an electronic device including the above-described method of manufacturing an electro-optical panel. This can reduce the quality defect of the electro-optical panel due to the defective ejection of the nozzle, so that a highly reliable electro-optical device or electronic device can be obtained.
[0020]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that the present invention is not limited by the embodiment. In addition, constituent elements in the following embodiments include those that can be easily assumed by those skilled in the art or those that are substantially the same. Note that examples of the electro-optical panel according to the present invention include an organic EL (Electro Luminescence) display panel and a liquid crystal display panel.
[0021]
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a droplet discharge device according to Embodiment 1 of the present invention. 2 and 3 are explanatory diagrams illustrating a method for manufacturing the electro-optical panel according to the first embodiment. FIG. 4 is a flowchart illustrating a method for manufacturing the electro-optical panel according to the first embodiment. In the method of manufacturing an electro-optical panel, in forming a pixel formed of a functional film by applying a functional liquid to a substrate of the electro-optical panel, a pixel forming region of the substrate is divided into a plurality of regions in a drawing direction, It is characterized in that a different nozzle group having a nozzle pitch corresponding to the pixel pitch draws in each area. First, a droplet discharge device to which the present invention is applied in Embodiment 1 will be described with reference to FIG.
[0022]
In the first embodiment, inkjet is applied to the droplet discharge method. The electro-optical panel manufacturing apparatus 50 includes a droplet discharge head 52 and a stage 60. The liquid discharge head 52 is supplied with a functional liquid as a discharge from a tank 56 via a supply tube 58. The functional liquid is a liquid discharged from the droplet discharge head 52, and is a liquid containing a functional material for forming a color filter, a pixel, and the like in a solvent component. Then, a functional film is formed on the base material by evaporating the solvent component in the functional liquid, thereby forming a color filter, a pixel, and the like. The functional liquid discharged from the droplet discharge head 52 can be appropriately changed depending on the object to be manufactured. For example, when an organic EL display panel is manufactured, a liquid obtained by dissolving a polymer material such as polyphenylene vinylene (PPV) in a solvent is used as the functional liquid. When a color filter used for a liquid crystal display panel or the like is formed, a dispersion in which pigment particles are dispersed in a liquid is used as the functional liquid.
[0023]
When an electro-optical panel such as an organic EL display panel or a liquid crystal display panel capable of full-color display is manufactured, pixels of three colors of R (Red), G (Green), and B (Yellow) are formed. The electro-optical panel manufacturing apparatus 50 includes one droplet discharge head. In such a case, the droplet discharge head that discharges a luminescent material liquid or a color filter material corresponding to each color is used. Prepare.
[0024]
As shown in FIG. 1B, in the droplet discharge head 52, a plurality of nozzles 54 are arranged at a constant pitch P between arrangement widths (drawing widths) H. Each of the nozzles 54 includes a piezo element (not shown), and discharges a droplet of the luminescent material liquid from an arbitrary nozzle 54 in accordance with a command from the control device 65. By changing the drive pulse applied to the piezo element, the discharge amount of the luminescent material liquid discharged from the nozzle 54 can be changed. Note that the control device 65 may use a personal computer or a workstation.
[0025]
The control device 65 may include a storage unit. In this case, the storage unit can only read data from a non-volatile memory such as a hard disk device, a magneto-optical disk device, or a flash memory, or read data from a CD-ROM or the like. It is assumed that the storage device is constituted by a possible storage medium, a volatile memory such as a RAM (Random Access Memory), or a combination thereof. The control device 65 may be realized by dedicated hardware. The control device 65 is configured by a memory and a CPU (Central Processing Unit) to realize the functions of the control device 65. The function may be realized by loading the program into a memory and executing the program. Further, an input device, a display device, and the like are connected as peripheral devices to the control device 65 (all are not shown), and the functions of the peripheral devices are realized by loading these control programs into a memory and executing the programs. It may be something. Further, an input device, a display device, and the like (all not shown) may be connected to the control device 65 as peripheral devices. Here, the input device refers to an input device such as a keyboard and a mouse. The display device refers to a CRT (Cathode Ray Tube), a liquid crystal display device, or the like.
[0026]
The droplet discharge head 52 is rotatable around the rotation axis A about a rotation axis A perpendicular to the center of the head. For example, as shown in FIG. 1D, when the droplet discharge head 52 is rotated around the rotation axis A to give an angle θ between the arrangement direction of the nozzles 54 and the X direction, the apparent pitch of the nozzles 54 becomes P ′ = P × cos θ. This makes it possible to change the pitch of the nozzles 54 according to the application area of the pixel substrate 10 or the like, which is the target to which the functional liquid is to be discharged, or the type of the functional liquid and other application conditions. The pixel substrate 10 is set on the stage 60. The stage 60 can move in the Y direction (sub-scanning direction), and can rotate around the rotation axis B with the rotation axis B perpendicular to the center of the stage 60 as the rotation center.
[0027]
The droplet discharge head 52 reciprocates in the X direction (main scanning direction) in the figure, during which the functional liquid is discharged onto the pixel substrate 10 to be discharged. After the functional liquid is applied in one scan, the stage 60 moves by H × cos θ in the Y direction, and the droplet discharge head 52 discharges the functional liquid to the next area. The operation of the droplet discharge head 52, the discharge of the nozzle 54, and the operation of the stage 60 are controlled by the control device 65. If these operation patterns are programmed in advance, it is easy to change the application pattern according to the application area of the pixel substrate 10, the type of the functional liquid, and other application conditions. By repeating the above operation, the functional liquid can be applied to the entire area of the pixel substrate 10. Similarly, when the stage 60 is moving in the Y direction, the functional liquid is discharged from the droplet discharge head 52, and then the liquid droplet discharge head 52 is moved in the X direction to discharge the functional liquid to the next area. It is also possible.
[0028]
Further, the contact angle α (see FIG. 1C) between the functional liquid and the nozzle plate 54p, which is a plate-like member, is preferably in a range of 30 degrees to 170 degrees. If the contact angle α between the functional liquid and the nozzle plate 54p is too small, the functional liquid is drawn to the nozzle plate 54p when the functional liquid is discharged from the nozzle 54. As a result, the position where the droplet of the functional liquid adheres to the pixel substrate 10 is shifted, and there is a possibility that the quality of the product is deteriorated. When the contact angle α is within the above range, the functional liquid is not attracted to the nozzle plate 54p, and the droplet of the functional liquid adheres to a predetermined position on the pixel substrate 10. The contact angle α is preferably 50 degrees or more, and more preferably 80 degrees or more, for more stably attaching the functional liquid droplets to the predetermined positions. In order to set the contact angle α in the above range, there is a means for coating the nozzle plate 54p with a substance that deteriorates the wettability to a liquid, such as a silane coupling agent containing fluorine.
[0029]
Next, a method for manufacturing the electro-optical panel according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. In the first embodiment, an example will be described in which R, G, and B luminescent material liquids are applied to predetermined positions on a pixel substrate included in an organic EL display panel to form these display pixels. As shown in FIG. 3A, the pixel formation region 10A of the pixel substrate 10 has a plurality (here, four) of pixel formation regions 10A in the drawing direction (X direction). _{2n + 1} , 10A _{2n + 2} Is divided into Here, as the size of the pixel substrate 10 in the drawing direction increases, it is preferable to increase the number of sections of the pixel formation region 10A in the drawing direction. This is because the longer the non-ejection time of the nozzle is, the greater the risk of the occurrence of ejection failure increases. Therefore, it is desirable to suppress the non-ejection time of the nozzle to a certain limit or less.
[0030]
The droplet discharge head 52 discharges droplets of a luminescent material liquid, which is a functional liquid, while scanning the pixel substrate 10 in the drawing direction to form each pixel on the pixel substrate 10. When drawing of one row is completed, the droplet discharge head 52 and the pixel substrate 10 are relatively moved in the line feed direction (Y direction). Next, the droplet discharge head 52 performs similar drawing from the side where the drawing of one row is completed to the side where the drawing is started first. This operation is repeated to form each pixel in the pixel formation region 10A on the pixel substrate 10.
[0031]
Next, a procedure for drawing one row of the pixel formation region 10A will be described with reference to FIG. In the first embodiment of the present invention, each pixel forming area 10A partitioned in the drawing direction of the droplet discharge head 52 _{2n + 1} , 10A _{2n + 2} Are nozzle groups 54 having different nozzle pitches 2P ′ corresponding to the drawing pitch Pp. _{2n + 1} , 54 _{2n + 2} Is drawn by The pixel formation area is drawn by a nozzle group having a common subscript. For example, in the present embodiment, there are two pixel forming regions 10A. _{2n + 1} Is the nozzle group 54 _{2n + 1} (The same applies hereinafter).
[0032]
Here, the drawing pitch Pp is a pixel pitch corresponding to the pixels 20r of the same color, and is three times the pixel pitch Pp1 between the adjacent pixels 20r and 20g. In the electro-optical panel manufacturing apparatus 50 shown in FIG. 1, the droplet discharge head 52 is rotated around the rotation axis A so that the pitch of the nozzles 54 can be apparently adjusted so that pixel substrates having different pixel pitches can be accommodated. P ′ = P × cos θ can be changed. Nozzle 54 for discharging the same luminescent material liquid _{2n + 1} , 54 _{2n + 2} Is constant in the nozzle row 54l composed of Therefore, in order to correspond to the drawing pitch Pp between the pixels 20r, the nozzle row 54l is _{2n + 1} Draw by. For example, in the example shown in FIG. _{2n + 1} To draw the R pixel 20r.
[0033]
However, the nozzle group 54 _{2n + 1} Scanning an entire row using only _{2n + 2} No droplets of the luminescent material liquid are ejected at all. As a result, the light-emitting material liquid solidifies in the vicinity of the nozzle, thereby causing a discharge failure of the light-emitting material liquid. Therefore, as shown in FIG. _{2n + 1} In the nozzle group 54 _{2n + 1} And the pixel formation region 10A _{2n + 2} Then, the nozzle group 54 _{2n + 2} In this case, non-ejection nozzles do not exist in one line of drawing.
[0034]
This drawing procedure will be described in detail with reference to FIGS. Although FIG. 2 shows only the nozzle row 54l that forms the R pixel 20r, the nozzle rows that form the G pixel 20g and the B pixel 20b are arranged in parallel with the nozzle row 54l, and R, G, B pixels are formed simultaneously. First, it is determined whether or not a droplet of the luminescent material liquid has been applied to the entire area in the drawing direction of the pixel forming area 10A (step S101). If it is not applied (Step S101: No), the droplet is applied in the drawing direction (Step S102; FIG. 2A). At this time, since the nozzle row 54l is inclined by the angle θ with respect to the line feed direction (Y direction), the nozzle group 54l _{2n + 1} Is 2 × P × cos θ, which is equal to the drawing pitch Pp between the pixels 20r.
[0035]
Next, a predetermined pixel forming area 10A in the drawing direction _{2n + 1} If the droplets of the luminescent material liquid have not been applied to the entire surface (Step S103: No), the droplets are subsequently applied (Step S102). Since the nozzle row 54l is inclined, the pixel formation region 10A _{2n + 1} When the entire image is drawn, the nozzle row 541 becomes the next pixel forming area 10A. _{2n + 2} It will be located upward (see FIG. 2B). Therefore, the pixel formation region 10A _{2n + 2} Above, control is performed by the control device 65 (see FIG. 1) so as not to discharge droplets of the luminescent material liquid from the nozzle.
[0036]
The pixel forming area 10A _{2n + 1} When the luminescent material liquid droplet is applied to the entire surface (Step S103: Yes; FIG. 2B), the position of the nozzle and the pixel formation region 10A is set to the nozzle pitch P in the direction orthogonal to the drawing direction. '(Step S104; FIG. 2C). That is, it is moved by the apparent nozzle pitch P ′ in the line feed direction (Y direction). Then, the pixel formation region 10A _{2n + 1} Nozzle group 54 that draws _{2n + 1} Nozzle group 54 different from _{2n + 2} Then, the next pixel formation region 10A _{2n + 2} Is started (step S101: No). Since the nozzle row 54l is inclined, the pixel formation region 10A _{2n + 1} When the entire image is drawn, the nozzle row 541 becomes the next pixel forming area 10A. _{2n + 2} It will be located upward (see FIG. 2B). Therefore, the pixel formation region 10A _{2n + 2} Is drawn, the pixel formation region 10A _{2n + 1} Once the entire nozzle row 54l is moved up, the pixel formation area 10A _{2n + 2} Start drawing. When the inclination angle θ of the nozzle row 54l is substantially 0 degree, the nozzle row 54l is moved to the next pixel forming area 10A. _{2n + 2} There is no up position. For this reason, the nozzle row 54l is connected to the pixel formation region 10A. _{2n + 1} No upward movement is required. Thereby, the drawing speed is improved.
[0037]
The above steps S101 to S104 are repeated, and when the application of the droplets to the entire region in the drawing direction, that is, the drawing of the entire line is completed (step S101: Yes), the droplet discharge head 52 (refer to FIG. 3) starts a new line (step S101). S105). When the droplet of the luminescent material liquid has not been applied to the entire area of the pixel formation area 10A (Step S106: No), the above-described Steps S101 to S104 are repeated for the next row. When the droplet is applied to the entire area of the pixel formation area 10A (Step S106: Yes), the drawing on the pixel substrate 10 is completed. An electro-optical panel can be manufactured by forming a drive electrode, mounting a driver IC, and the like on the pixel substrate 10 manufactured as described above.
[0038]
Here, the section of the pixel formation region 10A will be described. In the drawing procedure, the pixel forming region 10A is divided into four regions in the drawing direction (X direction) (FIG. 3A). The pixel formation region 10A may be divided into two regions as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 3B, the pixel formation region 10A is divided into both ends in the row direction and an intermediate portion thereof, and different nozzle groups 54 are provided at the both ends and the central portion. _{2n + 1} And 54 _{2n + 2} May be drawn using. When the number of sections is reduced, when the nozzle row 54l is inclined, the number of times the nozzle row 54l is moved to the opposite side in the drawing direction is reduced, so that the drawing time can be shortened accordingly. That is, since the non-ejection time of the nozzle can be shortened, the ejection failure due to drying of the luminescent material liquid or the like can be reduced accordingly. On the other hand, as shown in FIG. _{2n + 1} And 54 _{2n + 2} Are alternately used in the pixel formation region 10A. _{2n + 1} And 10A _{2n + 2} And may be partitioned. By doing so, the time during which the nozzle group does not discharge can be shortened, so that a discharge failure due to drying of the luminescent material liquid or the like can be reduced accordingly.
[0039]
FIG. 5 is an explanatory diagram showing another example of the partition of the pixel formation region and the nozzle group corresponding to the partition. As shown in FIG. 5A, the nozzles forming the nozzle row 54l are divided into nozzle groups 54l. _{3n + 1} , 54 _{3n + 2} , 54 _{3n + 3} Pixel formation area 10A divided into three areas by each nozzle group _{3n + 1} , 10A _{3n + 2} , 10A _{3n + 3} May be drawn. Further, as shown in FIG. 5B, the nozzles forming the nozzle row 54l are _{4n + 1} , 54 _{4n + 2} , 54 _{4n + 3} , 54 _{4n + 4} And a pixel forming area 10A divided into four areas by each nozzle group. _{4n + 1} , 10A _{4n + 2} , 10A _{4n + 3} , 10A _{4n + 4} May be drawn. The division of the pixel formation region and the division of the nozzle groups can be changed as appropriate depending on the size of the pixel formation region 10A on the pixel substrate 10, the pixel pitch, and the like.
[0040]
As described above, according to the configuration of the method of manufacturing the electro-optical panel according to Embodiment 1 of the present invention, the non-discharge nozzle does not exist while the droplet discharge head 52 draws one row. As a result, solids can be prevented from solidifying in the vicinity of the nozzle, so that dropout of dots and flight bending of liquid droplets can be extremely reduced, and the yield of products is improved. This effect is particularly significant when pixels are drawn on a pixel substrate or the like having a large size. Further, since all the nozzles can be used evenly during drawing, the frequency of using only specific nozzles can be reduced. As a result, the life of the droplet discharge head can be extended, and the number of replacements of the droplet discharge head can be reduced, so that the running cost can be reduced.
[0041]
(Embodiment 2)
FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating a pixel formation substrate according to Embodiment 2 of the present invention. FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating the method for manufacturing the electro-optical panel according to the second embodiment. FIG. 8 is a flowchart illustrating a method for manufacturing an electro-optical panel according to the second embodiment. FIG. 9 is an explanatory diagram showing a pixel chip arrangement on a pixel substrate. In the method of manufacturing the electro-optical panel, when forming a plurality of pixel chips 10C on one pixel substrate 10, the pixel chips 10C in the drawing direction are set to an integral multiple of the nozzle pitch P 'with respect to the line feed direction. _{2n + 1} , 10C _{2n + 2} Is formed shifted from the line feed direction.
[0042]
The method for manufacturing an electro-optical panel according to the second embodiment includes a plurality of relatively small pixel chips 10C on a single pixel substrate 10 for forming a display panel used in a portable electronic device such as a mobile phone or a PDA. To form. As shown in FIG. 6A, a plurality of pixel chips 10C are formed in the drawing direction (X direction). FIG. 6B is an enlarged view of a portion adjacent to the pixel chip 10C (portion D in FIG. 6A). As shown in the figure, in this example, the adjacent pixel chip 10C _{2n + 1} , 10C _{2n + 2} Are shifted in the line feed direction by the nozzle pitch P ′ (FIG. 1D) with respect to the line feed direction. That is, before applying the luminescent material liquid of each color, the color filter material, and the like to each predetermined pixel, a bank (partition), a black matrix, and the like that partition each pixel are formed in the pixel chip 10C. _{2n + 1} , 10C _{2n + 2} Is formed in advance at the position where is formed. Note that the shift amount in the line feed direction may be an integer multiple of P ′.
[0043]
Next, a procedure for forming each pixel according to the second embodiment will be described with reference to FIG. The configuration of the nozzle row 54l used for the description is the same as in the first embodiment. In the second embodiment, each pixel chip 10C formed on the pixel substrate 10 is shifted in the same direction in advance by the nozzle pitch P ′ with respect to the line feed direction with respect to the drawing direction. Therefore, the nozzle row 541 having the same nozzle pitch P 'in the line feed direction is directly scanned in the drawing direction. At this time, the pixel chip 10C _{2n + 1} Nozzle group 54 for the R pixel 20r _{2n + 1} And the pixel chip 10C _{2n + 2} Nozzle group 54 for the R pixel 20r _{2n + 2} (FIGS. 7A and 7B), the nozzle groups are used alternately for each pixel chip. Here, since the nozzle groups are alternately used for each pixel chip, each pixel chip 10C in the line feed direction is used. _{2n + 1} , 10C _{2n + 2} As shown in FIG. 9A, are arranged every other pixel chip with respect to the drawing direction and shifted with respect to the line feed direction. As a result, a non-ejection nozzle does not occur during the scanning of one row. Note that, as shown in FIG. 9B, every two pixel chips in the drawing direction may be shifted from the line feed direction.
[0044]
This drawing procedure will be described in detail with reference to FIGS. Although FIG. 7 shows only the nozzle row 54l that forms the R pixel 20r, the nozzle rows that form the G pixel 20g and the B pixel 20b are arranged in parallel with the nozzle row 54l, and R, G, B pixels are formed simultaneously. First, it is determined whether droplets of the luminescent material liquid have been applied to all the pixel chips 10C in the drawing direction of the pixel substrate 10 (step S201). If it is not applied (step S201: No), a droplet is applied to the pixel chip in the drawing direction (step S202; FIG. 7A). At this time, since the nozzle row 54l is inclined by the angle θ with respect to the line feed direction (Y direction), the nozzle group 54l _{2n + 1} Is 2 × P × cos θ, which is equal to the drawing pitch Pp between the pixels 20r.
[0045]
Predetermined pixel chip 10C in the drawing direction _{2n + 1} If the luminescent material liquid droplet has not been applied to the entire surface (step S203: No), the pixel chip 10C continues _{2n + 1} Is applied to the substrate (step S202). The pixel chip 10C _{2n + 1} When the luminescent material liquid droplet is applied to the entire surface (Step S203: Yes), the next pixel chip (in this case, the adjacently arranged pixel chip 10C) _{2n + 2} ) Is applied with a droplet. At this time, the pixel chip 10C _{2n + 1} Nozzle group 54 that draws _{2n + 1} Nozzle group 54 different from _{2n + 2} (Step S204), and the next pixel chip 10C _{2n + 2} Is started (step S201: No).
[0046]
Since the nozzle row 54l is inclined, the pixel chip 10C _{2n + 1} When the entire image is drawn, a part of the nozzle row 54l is switched to the next pixel chip 10C before switching the nozzle group. _{2n + 2} May be located up. In such a case, the pixel chip 10C _{2n + 2} Nozzle group 54 that does not need to be discharged above _{2n + 1} Is controlled by the control device 65 (see FIG. 1) so as not to discharge droplets. In the drawing procedure according to the second embodiment, the nozzle group for discharging droplets is merely switched between pixel chips, and the scanning of the nozzle row 541 is not stopped. Therefore, the drawing speed is improved as compared with the first embodiment. I do.
[0047]
Steps S201 to S204 are repeated to apply the liquid droplets to the pixel chips 10C in all drawing directions, that is, when drawing of the entire row is completed (step S201: Yes), the line-feeding head 52 (see FIG. 3) is moved to a new line. (Step S205). If droplets of the luminescent material liquid have not been applied to the pixel chips 10C in all drawing directions (step S206: No), the above steps S201 to S204 are repeated for the next row. When the droplets of the luminescent material liquid are applied to all the pixel chips of the pixel substrate 10 (Step S206: Yes), the drawing on the pixel substrate 10 ends. An electro-optical panel can be manufactured by forming a drive electrode, mounting a driver IC, and the like on the pixel substrate 10 manufactured as described above. In the mounting of components on the pixel substrate 10 and other subsequent processes, it is preferable to handle the pixel substrate 10 by cutting it along the dotted line cc shown in FIG.
[0048]
FIG. 10 is an explanatory diagram showing another example of a pixel chip arrangement and a corresponding nozzle group. As shown in FIG. 10A, the nozzles forming the nozzle row 54l are _{3n + 1} , 54 _{3n + 2} , 54 _{3n + 3} Divided into three groups. Then, the pixel chips 10C which are respectively shifted are arranged. _{3n + 1} , 10C _{3n + 2} , 10C _{3n + 3} May be drawn by each of the nozzle groups. Further, as shown in FIG. 10B, the nozzles forming the nozzle row 54l are _{4n + 1} , 54 _{4n + 2} , 54 _{4n + 3} , 54 _{4n + 4} Divided into four groups. Then, the pixel chips 10C which are respectively shifted are arranged. _{4n + 1} , 10C _{4n + 2} , 10C _{4n + 3} , 10C _{4n + 4} May be drawn by each of the nozzle groups. Depending on the size of the pixel substrate 10, the pixel pitch, and the like, the relationship between the pixel chip arrangement and the corresponding nozzle group can be appropriately changed.
[0049]
FIG. 11 is an explanatory diagram showing drawing when pixels are arranged in a delta arrangement. Here, the nozzle row 54l shown in the figure discharges a liquid crystal material or a color filter material droplet for forming the R pixel. As shown in the figure, in the case of the delta arrangement, the nozzle group 54 of the nozzle row 54l _{2n + 1} The R pixels 1, 3, 5,... _{2n + 2} Thus, R pixels of 2, 4,... Are formed. For this reason, in the case of the delta arrangement, droplets are always ejected from all the nozzles while the nozzle row 54l scans in the drawing direction, so that ejection failure due to the adhesion of solidified components near the nozzles is minimized. Can be suppressed.
[0050]
As described above, according to the configuration of the method of manufacturing the electro-optical panel according to the second embodiment of the present invention, the non-discharge nozzle does not exist while the droplet discharge head 52 draws one line. This can prevent solids from solidifying in the vicinity of the nozzle, so that dropout of dots and flight bending of droplets can be extremely reduced. This method of manufacturing an electro-optical panel is for a pixel substrate or the like having a relatively small size used in a portable device, and the above-described operation improves the yield of such products. Further, since all the nozzles can be used evenly during drawing, the frequency of using only specific nozzles can be reduced. As a result, the life of the droplet discharge head can be extended, and the number of replacements of the droplet discharge head can be reduced, so that the running cost can be reduced.
[0051]
(Embodiment 3)
In a third embodiment, a method for manufacturing an electro-optical device or an electronic apparatus including the method for manufacturing an electro-optical panel will be described. FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating the method for manufacturing the electro-optical device or the electronic apparatus according to the third embodiment. FIG. 13 is a schematic diagram showing the structure of the liquid crystal panel. FIG. 14 is a flowchart illustrating a method for manufacturing the electro-optical device or the electronic apparatus according to the third embodiment. In the following description, an organic EL display panel will be described as an example of an electro-optical panel in principle, but a liquid crystal display panel will also be described as necessary.
[0052]
On the pixel substrate 10 made of a transparent material such as glass, an anode 23, a bank (partition) 22, a cathode separator 24, and a hole injection layer 26, which are formed in advance by ITO (Indium Tin Oxide) by photolithography or the like, are formed ( Step S301). Next, the light-emitting material liquid 30r is applied to the area partitioned by the bank 22 by the droplet discharge head 52 by any of the methods described in Embodiment 1 or 2 (Step S302; FIG. 12A). ). Here, simultaneously with the application of the luminescent material liquid 30r, the luminescent material liquids 30g and 30b are applied. The luminescent material liquids 30r, 30g, and 30b may be applied in separate steps. At this time, in the present embodiment, the ejection amount per droplet of the droplet ejection head 52 is 8 ng, and the application amount per pixel is 160 ng. Therefore, 20 drops of the luminescent material liquid 30r are applied per pixel. Note that the color filters 32r, 32g, and 32b can be formed on the liquid crystal display panels 101 and 101 'shown in FIG. 13 by any of the methods described in Embodiment Modes 1 and 2. The liquid crystal display panel 101 ′ is one in which pixels are divided by banks 40.
[0053]
In the droplet discharge, it is necessary to stably discharge the droplets of the luminescent material liquid or the like from the nozzle 54 (see FIG. 1) of the droplet discharge head 52. For this reason, the luminescent material liquid or the like is adjusted to a physical property value suitable for droplet discharge by a solvent. Specifically, the viscosity at 20 ° C. is in the range of 1 to 20 mPa · s, and the surface tension at 20 ° C. is in the range of 20 to 70 mN / m. Within this range, the luminescent material liquid or the like can be stably supplied to the nozzle 54, and the meniscus of the luminescent material liquid or the like at the nozzle 54 outlet is also stabilized. This makes it possible to stably eject droplets of a luminescent material liquid or the like from the nozzles 54 and form a high-quality luminescent layer or color filter. Further, in the range of the viscosity and the surface tension, the energy required for discharging the droplet does not increase unnecessarily, so that the discharging capability of the piezo element for driving the droplet discharging head 52 is not exceeded.
[0054]
More preferably, the viscosity at 20 ° C. is in the range of 4 to 8 mPa · s, and the surface tension at 20 ° C. is in the range of 25 to 35 mN / m. Within this range, the light emitting material liquid or the like can be more stably supplied to the nozzle 54, and the meniscus of the light emitting material liquid or the like at the nozzle 54 outlet is also stabilized. Accordingly, the droplets of the light emitting material liquid or the like discharged from the nozzles 54 are further stabilized, and a higher quality light emitting layer or color filter can be formed.
[0055]
Further, it is preferable that the banks 22 and 40 have poor wettability of the luminescent material liquid to the liquid. In this way, even when the droplets of the luminescent material liquid are ejected with a slight shift toward the area partitioned by the bank 22, the luminescent material liquid is applied to the compartment by the bank 22 having poor wettability. can do. For the same reason, it is preferable that the cathode separator 24 also has poor wettability to the luminescent material liquid.
[0056]
After the luminescent material liquids 30r, 30g, and 30b are applied on the pixel substrate 10, the luminescent material liquid is dried to volatilize the solvent in the luminescent material liquid (Step S303). In the present embodiment, as shown in FIG. 12B, the pixel substrate 10 on which the droplets of the luminescent material liquid are applied is placed on the hot plate 67 to volatilize the solvent in the luminescent material liquid. At this time, in order to smooth the surface of the light emitting material layer, it is preferable to dry at a relatively low temperature for a certain period of time. The drying is not limited to the hot plate 67, but may be performed by heating with an infrared heater or drying in an oven. In this way, the solvent in the protective film material is volatilized, and a light emitting material layer is formed on the pixel substrate 10.
[0057]
Next, as shown in FIG. 12C, the electron transport layer 28 is formed on the light emitting material layer (Step S304). Then, as shown in FIG. 12D, the cathode 21 is formed on the electron transport layer 28 by a vacuum evaporation method (Step S305), and the organic EL display panel 100 as an electro-optical panel is completed. In the case of the liquid crystal display panels 101 and 101 'shown in FIG. 13, a protective layer 42, an ITO 44 and an alignment film 46 are formed. After the rubbing process is performed on the alignment film 46, the pixel substrate 11 and the counter substrate are bonded to each other, and the liquid crystal 48 is sealed therein, thereby completing the liquid crystal display panels 101 and 101 '.
[0058]
A harness, a FPC (Flexible Printed Circuit) 7, or a driver IC 5 is mounted on the completed organic EL display panel 100 or the liquid crystal display panels 101, 101 '(step S306; FIG. 12E), and the electro-optical device 200 is completed. I do. Further, as shown in FIG. 12F, the electro-optical device 200 is attached to electronic devices 9 such as a mobile phone and a PDA, and these electronic devices are completed (step S307).
[0059]
The method of manufacturing the electro-optical panel, the electro-optical device, and the electronic apparatus according to the first to third embodiments of the present invention can be realized by loading a prepared program into the control device 65 and executing the program. it can. This program can be distributed via a network such as the Internet. Further, the program can be executed by being recorded on a computer-readable recording medium and loaded into the control device 65 via a predetermined interface. Here, the computer-readable recording medium refers to a portable medium such as a flexible disk (FD), a CD-ROM, an MO, a DVD, or a recording device such as a hard disk built in a computer system.
[0060]
(Applicable object of the present invention)
Examples of the electronic device to which the electro-optical panel according to the present invention can be applied include, in addition to a mobile phone, for example, a portable information device called a PDA (Personal Digital Assistants), a portable personal computer, a personal computer, a digital still camera, and a vehicle. Electro-optical devices such as monitors, digital video cameras, liquid crystal televisions, viewfinders, monitor direct-view video tape recorders, car navigation devices, pagers, electronic organizers, calculators, word processors, workstations, videophones, POS terminals, etc. An apparatus using an electro-optical panel is given. Therefore, it is needless to say that the present invention is applicable to an electrical connection structure in these electronic devices.
[0061]
The liquid crystal display panel to which the present invention can be applied is a transmissive or reflective electro-optical panel, and uses a lighting device (not shown) as a backlight. The same applies to an active matrix type color liquid crystal display panel. The present invention is similarly applied to a passive matrix type liquid crystal display panel and an active matrix type liquid crystal display panel (for example, an electro-optical panel having a TFT (thin film transistor) or TFD (thin film diode) as a switching element). be able to. Further, the present invention can be applied not only to a liquid crystal display panel as such an electro-optical panel, but also to an organic electroluminescence device as described above. Furthermore, the display state can be controlled for each of a plurality of pixels, such as an inorganic electroluminescence device, a plasma display device, an electrophoretic display device, a field emission display device, and an LED (light emitting diode) display device. The present invention can be similarly applied to various kinds of electro-optical devices. In particular, in an electroluminescence device (organic or inorganic), full-color display can be performed by setting the emission color to white and disposing a color filter on the front surface of the device.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a droplet discharge device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a method for manufacturing the electro-optical panel according to the first embodiment.
FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating the method for manufacturing the electro-optical panel according to the first embodiment.
FIG. 4 is a flowchart showing a method for manufacturing the electro-optical panel according to the first embodiment.
FIG. 5 is an explanatory diagram showing another example of a section of a pixel forming area and a nozzle group corresponding to the section.
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a pixel formation substrate according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 7 is an explanatory view showing the method for manufacturing the electro-optical panel according to the second embodiment.
FIG. 8 is a flowchart showing a method for manufacturing the electro-optical panel according to the second embodiment.
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a pixel chip arrangement on a pixel substrate.
FIG. 10 is an explanatory diagram showing another example of a pixel chip arrangement and a corresponding nozzle group.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing drawing when pixels are in a delta arrangement.
FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating the method for manufacturing the electro-optical device or the electronic apparatus according to the third embodiment.
FIG. 13 is a schematic view showing the structure of a liquid crystal panel.
FIG. 14 is a flowchart illustrating a method for manufacturing the electro-optical device or the electronic apparatus according to the third embodiment.
[Explanation of symbols]
9 electronic device, 10, 11 pixel substrate, 10C pixel chip, 10A pixel forming area, 10C pixel chip, 50 electro-optical panel manufacturing device, 52 droplet ejection head, 54 nozzle, 54l nozzle row, 60 stage, 65 control device, Reference Signs List 100 organic EL display panel, 101, 101 'liquid crystal display panel, 200 electro-optical device

Claims (10)

複数のノズルから機能液を基材に吐出させ、機能膜を形成する電気光学パネルの製造方法において、
所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する工程と、
前記ノズルと前記基材とを前記ピッチに対応させて相対的に移動させる工程と、
前記機能液が塗布された前記所定領域に隣接する他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する工程と、
を含むことを特徴とする電気光学パネルの製造方法。In a method of manufacturing an electro-optical panel for discharging a functional liquid from a plurality of nozzles to a substrate and forming a functional film,
Of a plurality of nozzles arranged at a predetermined pitch, a step of discharging the functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined area for discharging the functional liquid,
A step of relatively moving the nozzle and the substrate in accordance with the pitch,
Discharging a functional liquid from a second nozzle group different from the first nozzle group to another predetermined area adjacent to the predetermined area to which the functional liquid has been applied;
A method for manufacturing an electro-optical panel, comprising: 前記複数のノズル群が配列するノズル列が、前記ノズルを走査し前記機能液を塗布する描画方向に対して交差する方向に傾斜している場合には、前記所定領域に隣接する他の所定領域へ機能液を塗布する前に、前記機能液の塗布が終了した前記所定領域まで前記ノズル列が戻ることを特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの製造方法。When a nozzle row in which the plurality of nozzle groups are arranged is inclined in a direction intersecting a drawing direction in which the nozzle is scanned and the functional liquid is applied, another predetermined area adjacent to the predetermined area 2. The method according to claim 1, wherein the nozzle array returns to the predetermined area where the application of the functional liquid has been completed before the functional liquid is applied. 3. 複数のノズルから機能液を基材に吐出させ、機能膜を形成する電気光学パネルの製造方法において、
所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する工程と、
前記機能液が塗布された前記所定領域の前記描画方向に存在し、かつ前記描画方向と直交する方向にずらして区画した他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する工程と、
を含むことを特徴とする電気光学パネルの製造方法。In a method of manufacturing an electro-optical panel for discharging a functional liquid from a plurality of nozzles to a substrate and forming a functional film,
Of a plurality of nozzles arranged at a predetermined pitch, a step of discharging the functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined area for discharging the functional liquid,
A second region different from the first nozzle group is provided for another predetermined region that exists in the drawing direction of the predetermined region to which the functional liquid is applied and is separated by being shifted in a direction orthogonal to the drawing direction. Discharging a functional liquid from a group of nozzles;
A method for manufacturing an electro-optical panel, comprising: 前記ノズルから前記基材に対して機能液を吐出させる前に、前記基材の前記領域、及び、前記他の所定領域に、前記ノズルから吐出される機能液が付着すべき部分を予め形成する前処理工程を含むことを特徴とする請求項３に記載の電気光学パネルの製造方法。Before discharging the functional liquid from the nozzle to the substrate, a portion to which the functional liquid discharged from the nozzle is to be attached is formed in the region of the substrate and the other predetermined region in advance. The method for manufacturing an electro-optical panel according to claim 3, further comprising a pre-processing step. ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造プログラムにおいて、
所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する手順と、
前記ノズルと前記基材とを前記ピッチに対応させて相対的に移動させる工程と、
前記機能液が塗布された前記所定領域に隣接する他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする電気光学パネルの製造プログラム。In a program for manufacturing an electro-optical panel that discharges a functional liquid from a nozzle and applies the functional liquid to a portion serving as a pixel provided on a base material,
A procedure of discharging the functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined area for discharging the functional liquid, among a plurality of nozzles arranged at a predetermined pitch;
A step of relatively moving the nozzle and the substrate in accordance with the pitch,
A step of discharging the functional liquid from a second nozzle group different from the first nozzle group to another predetermined area adjacent to the predetermined area to which the functional liquid has been applied;
A program for manufacturing an electro-optical panel, which causes a computer to execute the program. ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造プログラムにおいて、
所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する手順と、
前記機能液が塗布された前記所定領域の前記描画方向に存在し、かつ前記描画方向と直交する方向にずらして区画した他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする電気光学パネルの製造プログラム。In a program for manufacturing an electro-optical panel that discharges a functional liquid from a nozzle and applies the functional liquid to a portion serving as a pixel provided on a base material,
A procedure of discharging the functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined area for discharging the functional liquid, among a plurality of nozzles arranged at a predetermined pitch;
A second predetermined area different from the first nozzle group is provided for another predetermined area which exists in the drawing direction of the predetermined area to which the functional liquid is applied and is shifted in a direction orthogonal to the drawing direction. A procedure for discharging the functional liquid from the nozzle group;
A program for manufacturing an electro-optical panel, which causes a computer to execute the program. ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造装置において、
所定のピッチで配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、
前記機能液が吐出される基材を載置するテーブルと、
前記複数のノズルのうち、前記基材上の所定領域に対応する第１のノズル群から機能液を吐出させ、
前記所定領域に対して機能液の塗布が終了したら、前記液滴吐出ヘッドと前記テーブルとの位置を、前記描画方向に対して直交する方向へ相対的に移動させ、
すでに機能液を塗布した前記所定領域の描画方向に隣接する他の所定領域へ、前記ノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出させる制御部と、
を有することを特徴とする電気光学パネルの製造装置。In a manufacturing apparatus of an electro-optical panel for discharging a functional liquid from a nozzle and applying the functional liquid to a portion serving as a pixel provided on a base material,
A droplet discharge head having a plurality of nozzles arranged at a predetermined pitch,
A table on which a substrate on which the functional liquid is discharged is placed,
Of the plurality of nozzles, discharge a functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined region on the base material,
When the application of the functional liquid to the predetermined area is completed, the positions of the droplet discharge head and the table are relatively moved in a direction orthogonal to the drawing direction,
A control unit that discharges the functional liquid from a second nozzle group different from the nozzle group to another predetermined area adjacent to the drawing direction of the predetermined area where the functional liquid has already been applied,
An electro-optical panel manufacturing apparatus, comprising: ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造装置において、
所定のピッチで配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、
前記機能液が吐出される基材を載置するテーブルと、
前記複数のノズルのうち、前記基材上の所定領域に対応する第１のノズル群から機能液を吐出させ、
すでに機能液を塗布した前記所定領域の描画方向側に存在し、かつ描画方向に対して直交する方向にずらして区画した他の所定領域へ、前記ノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出させる制御部と、
を有することを特徴とする電気光学パネルの製造装置。In a manufacturing apparatus of an electro-optical panel for discharging a functional liquid from a nozzle and applying the functional liquid to a portion serving as a pixel provided on a base material,
A droplet discharge head having a plurality of nozzles arranged at a predetermined pitch,
A table on which a substrate on which the functional liquid is discharged is placed,
Of the plurality of nozzles, discharge a functional liquid from a first nozzle group corresponding to a predetermined region on the base material,
The second nozzle group, which is different from the nozzle group, functions to another predetermined region which is present on the drawing direction side of the predetermined region already coated with the functional liquid and is shifted in a direction perpendicular to the drawing direction. A control unit for discharging the liquid,
An electro-optical panel manufacturing apparatus, comprising: 請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気光学パネルの製造方法を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。A method of manufacturing an electro-optical device, comprising the method of manufacturing an electro-optical panel according to claim 1. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気光学パネルの製造方法を含むことを特徴とする電子機器の製造方法。A method for manufacturing an electronic device, comprising the method for manufacturing an electro-optical panel according to claim 1.

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