JP4930713B2 - 熱サイクル試験装置及び熱サイクル試験方法 - Google Patents
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Description
2 加熱部
3 ヒータ
4 冷却台
5 熱抵抗体
6 駆動手段
7 真空容器
Claims (7)
- 加熱部からの輻射により試料を加熱し得る加熱部と、冷却台と、当該冷却台に試料を取り付ける熱抵抗体と、試料の温度を測定するセンサと、加熱部からの輻射行為と輻射の遮へい行為の繰り返しによる試料への加熱と冷却を繰り返す手段とを備えてなることを特徴とする熱サイクル試験装置。
- 加熱部からの輻射により試料を加熱し得るヒータと、液冷構造の冷却台と、当該冷却台に試料を取り付ける熱抵抗体と、試料の温度を測定するセンサと、前記ヒータを加熱部が試料に向く姿勢、あるいは加熱部が試料から外れた姿勢に設定し得る駆動手段とを備えてなることを特徴とする熱サイクル試験装置。
- 加熱部、冷却台、及び熱抵抗体を真空容器に内装した請求項1または2に記載の熱サイクル試験装置。
- 冷却台に熱抵抗体を介した試料を複数固定した請求項1から3に記載の熱サイクル試験装置。
- 熱抵抗体を介して冷却台に固定された試料の温度を測定し、ヒータの加熱部を試料に向けて試料を加熱し、当該試料の温度が予め定めてある上限値に達したならば、ヒータによる試料の加熱を止めたうえ、試料の温度が予め定めてある下限値に達したならば、ヒータによる試料の加熱をする行程を持ち、これらの操作を繰り返して試料の温度を下限値と上限値との間で変動させる熱サイクル試験方法。
- 熱抵抗体を介して冷却台に固定された試料の温度を測定し、ヒータの加熱部を試料に向けて試料を加熱し、当該試料の温度が予め定めてある上限値に達したならば、ヒータによる試料の加熱を止めたうえ、ヒータと試料の間に試料に面するように冷却盤を挿入して輻射熱が試料へ届かない構成にする行程と、当該試料の温度が予め定めてある下限値に達したならば、冷却盤をヒータと試料の間から引き抜き、ヒータ加熱部が試料に面する構成にし、ヒータによる試料の加熱をする行程を持ち、これらの操作を繰り返して試料の温度を下限値と上限値との間で変動させる熱サイクル試験方法。
- 熱抵抗体を介して冷却台に固定された試料の温度を測定し、ヒータの加熱部を試料に向けて試料を加熱し、当該試料の温度が予め定めてある上限値に達したならば、ヒータによる試料の加熱を止めたうえ、ヒータの姿勢を加熱部が試料から外れる姿勢にする行程と、当該試料の温度が予め定めてある下限値に達したならば、ヒータの姿勢を加熱部が試料を向く姿勢にし、ヒータによる試料の加熱する行程を持ち、これらの操作を繰り返して試料の温度を下限値と上限値との間で変動させる熱サイクル試験方法。
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