JP4927670B2 - エッチング廃液の再生方法及び再生装置 - Google Patents
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Description
少なくともリン酸を含むエッチング廃液からMo成分及びAl成分を除去して、該エッチング廃液を再生する方法であって、
前記エッチング廃液を、そのpHが0〜1.0となるように水で希釈する希釈工程と、
前記希釈エッチング廃液を、リン酸基がH型であるアミノリン酸型キレート樹脂と接触させ、該アミノリン酸型キレート樹脂にMo成分及びAl成分を吸着させて、該希釈エッチング廃液からMo成分及びAl成分を除去する除去工程と、
Mo成分及びAl成分を除去した後の希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮工程とを備えてなることを特徴とするエッチング廃液の再生方法に係る。
前記エッチング廃液を貯留する廃液貯留槽と、
前記廃液貯留槽に水を供給して、該廃液貯留槽内のエッチング廃液をそのpHが0〜1.0となるように希釈する希釈手段と、
密閉された容器体からなり、該容器体内に前記アミノリン酸型キレート樹脂が装填されてなる吸着塔と、
前記廃液貯留槽に貯留されたエッチング廃液を前記吸着塔に供給する廃液供給手段と、
前記吸着塔に接続し、該吸着塔から流出する希釈エッチング廃液を受容し、受容した希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮手段とを備えた再生装置によって、これを好適に実施することができる。
まず、前記制御装置(図示せず)による制御の下で送液ポンプ3が駆動され、エッチング液循環槽101から廃液貯留槽4に、送液管2を介してエッチング廃液が送液され、この廃液貯留槽4にエッチング廃液が貯留される。
前述したエッチング廃液希釈工程が終了すると、次に、送液ポンプ11が駆動され、希釈したエッチング廃液(希釈廃液)が廃液貯留槽4から吸着塔14又は15に選択的に送液される。即ち、吸着塔14に希釈廃液が供給される場合には、電磁弁12,23が開かれ、電磁弁13,24は閉じられる。逆に、吸着塔15に希釈廃液が供給される場合には、電磁弁13,24は開かれ、電磁弁12,23は閉じられる。
このキレート樹脂再生工程は、休止状態にある吸着塔14,15に対して実施される。即ち、吸着塔14に希釈廃液が供給されている場合には、吸着塔15内のアミノリン酸型キレート樹脂が再生され、吸着塔15に希釈廃液が供給されている場合には、吸着塔14内のアミノリン酸型キレート樹脂が再生される。
吸着塔14又は吸着塔15を流通して送出された、金属成分除去後の希釈廃液(これを、希釈再生液という)は、送液管23,21又は送液管21を介して、再生液貯留槽25に送液され、貯留される。
4 廃液貯留槽
5 希釈部
8 廃液供給部
14,15 吸着塔
20 濃縮部
35 キレート樹脂再生部
100 エッチング液供給装置
101 エッチング液循環槽
Claims (4)
- 前記請求項1に記載のエッチング廃液の再生方法において、
前記除去工程を予め定めた時間実施した後、又は予め定めた量の前記希釈エッチング廃液に対して前記除去工程を実施した後、
Mo成分及びAl成分を吸着した前記アミノリン酸型キレート樹脂とNaOH水溶液又はKOH水溶液とを接触させて、前記アミノリン酸型キレート樹脂からMo成分及びAl成分を溶離させ、ついで、前記アミノリン酸型キレート樹脂とH2SO4水溶液,HCl水溶液又はH3PO4水溶液とを接触させて、前記アミノリン酸型キレート樹脂のリン酸基をH型にして、該アミノリン酸型キレート樹脂を再生するようにしたことを特徴とするエッチング廃液の再生方法。 - 少なくともリン酸を含むエッチング廃液からMo成分及びAl成分を除去して、該エッチング廃液を再生する装置であって、
前記エッチング廃液を貯留する廃液貯留槽と、
前記廃液貯留槽に水を供給して、該廃液貯留槽内のエッチング廃液をそのpHが0〜1.0となるように希釈する希釈手段と、
密閉された容器体からなり、該容器体内に、下記構造式で表される、リン酸基がH型であるアミノリン酸型キレート樹脂が装填されてなる吸着塔と、
前記廃液貯留槽に貯留されたエッチング廃液を前記吸着塔に供給する廃液供給手段と、
前記吸着塔に接続し、該吸着塔から流出する希釈エッチング廃液を受容し、受容した希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮手段とを備えてなることを特徴とするエッチング廃液の再生装置。
- 前記請求項3記載のエッチング廃液の再生装置において、
前記吸着塔にNaOH水溶液又はKOH水溶液を供給して、該吸着塔内を通液させる第1樹脂再生手段と、
前記吸着塔にH2SO4水溶液,HCl水溶液又はH3PO4水溶液を供給して、該吸着塔内を通液させる第2樹脂再生手段とを更に備えてなることを特徴とするエッチング廃液の再生装置。
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