JP4820266B2 - エッチング廃液の再生方法及び再生装置 - Google Patents
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Description
前記エッチング廃液を、そのpHが0.5〜0.9となるように水で希釈する希釈工程と、
前記希釈エッチング廃液を、官能末端基がH基であるポーラス型の強酸性陽イオン交換樹脂と接触させ、該強酸性陽イオン交換樹脂にAl成分を吸着させて、該希釈エッチング廃液からAl成分を除去するAl成分除去工程と、
前記希釈エッチング廃液を、官能末端基がOH基であるポーラス型の強塩基性陰イオン交換樹脂と接触させ、該強塩基性陰イオン交換樹脂にMo成分を吸着させて、該希釈エッチング廃液からMo成分を除去するMo成分除去工程と、
Al成分及びMo成分を除去した後の希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮工程とを備えたエッチング廃液の再生方法に係る。
前記廃液貯留槽に水を供給して、該廃液貯留槽内のエッチング廃液をそのpHが0.5〜0.9となるように希釈する希釈手段と、
密閉された容器体からなり、該容器体内に、官能末端基がH基であるポーラス型の強酸性陽イオン交換樹脂が装填されてなるAl成分吸着塔と、
同じく密閉された容器体からなり、該容器体内に、官能末端基がOH基であるポーラス型の強塩基性陰イオン交換樹脂が装填されてなるMo成分吸着塔と、
前記廃液貯留槽に貯留されたエッチング廃液をAl成分吸着塔に供給する廃液供給手段と、
前記Al成分吸着塔とMo成分吸着塔とを接続する接続管と、
前記Mo成分吸着塔に接続し、該Mo成分吸着塔から流出する希釈エッチング廃液を受容し、受容した希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮手段とを備えた再生装置によって、これを好適に実施することができる。
まず、前記制御装置(図示せず)による制御の下で送液ポンプ3が駆動され、エッチング液循環槽101から廃液貯留槽4に、送液管2を介してエッチング廃液が送液され、この廃液貯留槽4にエッチング廃液が貯留される。
前述したエッチング廃液希釈工程が終了すると、次に、送液ポンプ11が駆動され、希釈したエッチング廃液(希釈廃液)が廃液貯留槽4から吸着塔14又は15に選択的に送液される。即ち、吸着塔14に希釈廃液が供給される場合には、電磁弁12,18,25が開かれ、電磁弁13,19,26は閉じられる。逆に、吸着塔15に希釈廃液が供給される場合には、電磁弁13,19,26は開かれ、電磁弁12,18,25は閉じられる。
この洗浄工程は、休止状態にある吸着塔に対して行われる。即ち、吸着塔14,20に希釈廃液が供給されている場合には、吸着塔15,21に対して洗浄が実施され、吸着塔15,21に希釈廃液が供給されている場合には、吸着塔14,20に対して洗浄が実施される。
吸着塔14,20又は吸着塔15,21を流通して送出された、金属成分除去後の希釈廃液(これを、希釈再生液という)は、送液管24,23又は送液管23を介して、再生液貯留槽27に送液され、貯留される。
4 廃液貯留槽
5 希釈部
8 廃液供給部
14,15,20,21 吸着塔
16,17 接続管
22 濃縮部
33,48 洗浄部
100 エッチング液供給装置
101 エッチング液循環槽
Claims (5)
- 少なくともリン酸を含むエッチング廃液からMo成分及びAl成分を除去して、該エッチング廃液を再生する方法であって、
前記エッチング廃液を、そのpHが0.5〜0.9となるように水で希釈する希釈工程と、
前記希釈エッチング廃液を、官能末端基がH基であるポーラス型の強酸性陽イオン交換樹脂と接触させ、該強酸性陽イオン交換樹脂にAl成分を吸着させて、該希釈エッチング廃液からAl成分を除去するAl成分除去工程と、
前記希釈エッチング廃液を、官能末端基がOH基であるポーラス型の強塩基性陰イオン交換樹脂と接触させ、該強塩基性陰イオン交換樹脂にMo成分を吸着させて、該希釈エッチング廃液からMo成分を除去するMo成分除去工程と、
Al成分及びMo成分を除去した後の希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮工程とを備えてなることを特徴とするエッチング廃液の再生方法。 - 少なくともリン酸を含むエッチング廃液からMo成分及びAl成分を除去して、該エッチング廃液を再生する方法であって、
前記エッチング廃液を、そのpHが0.5〜0.9となるように水で希釈する希釈工程と、
前記希釈エッチング廃液を、官能末端基がH基であるポーラス型の強酸性陽イオン交換樹脂、及び官能末端基がOH基であるポーラス型の強塩基性陰イオン交換樹脂に接触させ、前記強酸性陽イオン交換樹脂にAl成分を吸着させるとともに、前記強塩基性陰イオン交換樹脂にMo成分を吸着させて、該希釈エッチング廃液からAl成分及びMo成分を除去する除去工程と、
Al成分及びMo成分を除去した後の希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮工程とを備えてなることを特徴とするエッチング廃液の再生方法。 - 少なくともリン酸を含むエッチング廃液からMo成分及びAl成分を除去して、該エッチング廃液を再生する装置であって、
前記エッチング廃液を貯留する廃液貯留槽と、
前記廃液貯留槽に水を供給して、該廃液貯留槽内のエッチング廃液をそのpHが0.5〜0.9となるように希釈する希釈手段と、
密閉された容器体からなり、該容器体内に、官能末端基がH基であるポーラス型の強酸性陽イオン交換樹脂が装填されてなるAl成分吸着塔と、
同じく密閉された容器体からなり、該容器体内に、官能末端基がOH基であるポーラス型の強塩基性陰イオン交換樹脂が装填されてなるMo成分吸着塔と、
前記廃液貯留槽に貯留されたエッチング廃液をAl成分吸着塔に供給する廃液供給手段と、
前記Al成分吸着塔とMo成分吸着塔とを接続する接続管と、
前記Mo成分吸着塔に接続し、該Mo成分吸着塔から流出する希釈エッチング廃液を受容し、受容した希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮手段とを備えてなることを特徴とするエッチング廃液の再生装置。 - 少なくともリン酸を含むエッチング廃液からMo成分及びAl成分を除去して、該エッチング廃液を再生する装置であって、
前記エッチング廃液を貯留する廃液貯留槽と、
前記廃液貯留槽に水を供給して、該廃液貯留槽内のエッチング廃液をそのpHが0.5〜0.9となるように希釈する希釈手段と、
密閉された容器体からなり、該容器体内に、官能末端基がH基であるポーラス型の強酸性陽イオン交換樹脂が装填されてなるAl成分吸着塔と、
同じく密閉された容器体からなり、該容器体内に、官能末端基がOH基であるポーラス型の強塩基性陰イオン交換樹脂が装填されてなるMo成分吸着塔と、
前記廃液貯留槽に貯留されたエッチング廃液をMo成分吸着塔に供給する廃液供給手段と、
前記Al成分吸着塔とMo成分吸着塔とを接続する接続管と、
前記Al成分吸着塔に接続し、該Al成分吸着塔から流出する希釈エッチング廃液を受容し、受容した希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮手段とを備えてなることを特徴とするエッチング廃液の再生装置。 - 少なくともリン酸を含むエッチング廃液からMo成分及びAl成分を除去して、該エッチング廃液を再生する装置であって、
前記エッチング廃液を貯留する廃液貯留槽と、
前記廃液貯留槽に水を供給して、該廃液貯留槽内のエッチング廃液をそのpHが0.5〜0.9となるように希釈する希釈手段と、
密閉された容器体からなり、該容器体内に、官能末端基がH基であるポーラス型の強酸性陽イオン交換樹脂、及び官能末端基がOH型基であるポーラス型の強塩基性陰イオン交換樹脂が装填されてなる吸着塔と、
前記廃液貯留槽に貯留されたエッチング廃液を前記吸着塔に供給する廃液供給手段と、
前記吸着塔に接続して、該吸着塔から流出する希釈エッチング廃液を受容し、受容した希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮手段とを備えてなることを特徴とするエッチング廃液の再生装置。
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