JP4923253B2 - Siバルク多結晶の作製方法 - Google Patents
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Description
(1)ルツボを用いたSiバルク多結晶の融液成長において、Si融液に0.1mol%〜1mol%の範囲でGeを添加し、成長初期にルツボ底面に沿って<112>方向に伸びるデンドライト結晶を発現させ、デンドライト結晶の上面を{110}面とした後、上記デンドライト結晶の上面にSiバルク多結晶を成長させることを特徴とする、結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
(2)ルツボを用いたSiバルク多結晶の融液成長において、Si融液に0.1mol%〜1mol%の範囲でGeを添加し、成長初期にルツボ底面に沿って<112>方向に伸びるデンドライト結晶を発現させ、デンドライト結晶の上面を{110}面とした後、上記デンドライト結晶の上面に、Siバルク多結晶を一方向に凝固成長させることを特徴とする、結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
(3)Si融液の入ったルツボを、5℃/cm〜50℃/cmの範囲で制御した温度勾配中を、移動速度0.2mm/min〜2.0mm/minで低温側に移動させることにより、Siバルク多結晶を一方向に凝固成長させることを特徴とする、(2)の結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
(4)ルツボを用いたSiバルク多結晶の融液成長において、Si融液に0.1mol%〜1mol%の範囲でGeを添加し、Si融液の入ったルツボを、5℃/cm〜50℃/cmの範囲で制御した温度勾配中を、はじめに移動速度1mm/min〜10mm/minでルツボ底面の温度がSiの融点より2℃以上低い場所に移動させ、その場所で1分以上保持することによりルツボ底面に沿って<112>方向に伸びるデンドライト結晶を発現させルツボ底面直上の融液を結晶化させ、その後、移動速度0.2mm/min〜2.0mm/minで低温側に移動させることにより、Siバルク多結晶を一方向に凝固成長させることを特徴とする、結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
(5)バルク多結晶の成長用融液を入れる上記ルツボの材質を石英としたことを特徴とする、(1)から(4)のいずれかの結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
図5からも分かるように、{110}面をテクスチャー化することにより、表面反射率が減少するため、太陽電池の変換効率が向上する。
またGeの添加量が1mol%を越えると結晶中に転位などの欠陥が増加するため、キャリアのライフタイムが低下するとともに太陽電池の開放電圧の低下の影響が現れ、太陽電池特性を劣化させる。
したがってSi融液中への最適なGe添加量は、0.1mol%〜1mol%の範囲である。
これは、温度勾配が5℃/cm未満ではデンドライト結晶が発現せず、また50℃/cmを超えると、デンドライト結晶がルツボ底面に揃わなくなるからである。
Claims (5)
- ルツボを用いたSiバルク多結晶の融液成長において、Si融液に0.1mol%〜1mol%の範囲でGeを添加し、成長初期にルツボ底面に沿って<112>方向に伸びるデンドライト結晶を発現させ、デンドライト結晶の上面を{110}面とした後、上記デンドライト結晶の上面にSiバルク多結晶を成長させることを特徴とする、結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
- ルツボを用いたSiバルク多結晶の融液成長において、Si融液に0.1mol%〜1mol%の範囲でGeを添加し、成長初期にルツボ底面に沿って<112>方向に伸びるデンドライト結晶を発現させ、デンドライト結晶の上面を{110}面とした後、上記デンドライト結晶の上面に、Siバルク多結晶を一方向に凝固成長させることを特徴とする、結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
- Si融液の入ったルツボを、5℃/cm〜50℃/cmの範囲で制御した温度勾配中を、移動速度0.2mm/min〜2.0mm/minで低温側に移動させることにより、Siバルク多結晶を一方向に凝固成長させることを特徴とする、請求項2に記載の結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
- ルツボを用いたSiバルク多結晶の融液成長において、Si融液に0.1mol%〜1mol%の範囲でGeを添加し、Si融液の入ったルツボを、5℃/cm〜50℃/cmの範囲で制御した温度勾配中を、はじめに移動速度1mm/min〜10mm/minでルツボ底面の温度がSiの融点より2℃以上低い場所に移動させ、その場所で1分以上保持することによりルツボ底面に沿って<112>方向に伸びるデンドライト結晶を発現させルツボ底面直上の融液を結晶化させ、その後、移動速度0.2mm/min〜2.0mm/minで低温側に移動させることにより、Siバルク多結晶を一方向に凝固成長させることを特徴とする、結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
- バルク多結晶の成長用融液を入れる上記ルツボの材質を石英としたことを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の結晶粒方位の揃ったSiバルク多結晶の作製方法。
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JP2006244013A JP4923253B2 (ja) | 2006-09-08 | 2006-09-08 | Siバルク多結晶の作製方法 |
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