JP4922338B2 - 位置制御システム、リソグラフィ装置、および可動オブジェクトの位置を制御する方法 - Google Patents
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Description
Claims (21)
- 可動オブジェクトの位置を制御する位置制御システムにおいて、
前記可動オブジェクトの位置をセンサおよびセンサターゲットで測定する位置測定システムであって、前記センサが前記可動オブジェクト上に配置され、前記センサターゲットが実質的に静止しており、または、前記センサターゲットが前記可動オブジェクト上に配置され、前記センサが実質的に静止しており、前記可動オブジェクトの被測定位置を表す被測定位置信号を出力する位置測定システムと、
誤差信号を供給するコンパレータと、
前記誤差信号に基づいて制御信号を供給するコントローラと、
所望の位置に関連する第1の信号に基づいてフィードフォワード信号を供給するフィードフォワードデバイスと、
前記制御信号および前記フィードフォワード信号に基づいて前記可動オブジェクトに作用する1つまたは複数のアクチュエータと、
コンプライアンス補償信号を供給するコンプライアンス補償デバイスと、を含み、
前記誤差信号が設定位置信号、前記被測定位置信号、および前記コンプライアンス補償信号に基づく、
位置制御システム。 - 前記補償信号を前記被測定位置信号から減算することによりフィードバック信号を供給し、前記フィードバック信号を前記設定位置信号から減算することによって、前記誤差信号が計算される、
請求項1に記載の位置制御システム。 - 前記コンプライアンス補償信号が、前記被測定位置への前記可動オブジェクトの内部変形の影響を近似するように選択される、
請求項1に記載の位置制御システム。 - 前記コンプライアンス補償信号が前記フィードフォワード信号に基づく、
請求項1に記載の位置制御システム。 - 前記コンプライアンス補償デバイスがコンプライアンス補償利得を含む、
請求項1に記載の位置制御システム。 - 前記位置測定システムが、複数のセンサを含み、前記センサは、そのうちの1つが位置測定に使用できない場合にも位置測定を可能にするために、前記センサの異なる組の間の切替えを行うように構成され、前記センサの各々がそれ自体のコンプライアンス補償利得を有する、
請求項1に記載の位置制御システム。 - 前記コンプライアンス補償利得が前記可動オブジェクトの内部モードの近似に基づく、
請求項6に記載の位置制御システム。 - 前記コンプライアンス補償利得が前記可動オブジェクトの内部モードの静的な部分の近似に基づく、
請求項6に記載の位置制御システム。 - 前記位置測定システムがエンコーダ型位置測定システムであり、前記位置測定システムが、前記可動オブジェクトに取り付けられた1つまたは複数のエンコーダヘッドと、グリッドまたは回折格子を含む実質的に静止しているセンサターゲットとを含む、
請求項1に記載の位置制御システム。 - 前記フィードフォワードデバイスが、前記可動オブジェクトの加速を表すフィードフォワード信号を供給する、
請求項1に記載の位置制御システム。 - 前記フィードフォワードデバイスが、前記可動オブジェクトのスナップを表す付加的なフィードフォワード信号を供給する、
請求項10に記載の位置制御システム。 - パターン付き放射ビームを形成するために放射ビームの断面にパターンを付与することができるパターニングデバイスを支持するパターニングデバイスサポートと、
基板を保持する基板サポートと、
前記基板のターゲット部分上に前記パターン付き放射ビームを投影する投影システムと、
可動オブジェクトの位置を制御する位置制御システムと、を含み、
前記位置制御システムが、
前記可動オブジェクトの位置をセンサおよびセンサターゲットで測定する位置測定システムであって、前記センサが可動オブジェクト上に配置され、前記センサターゲットが実質的に静止しており、または、前記センサターゲットが前記可動オブジェクト上に配置され、前記センサが実質的に静止しており、前記可動オブジェクトの被測定位置を表す被測定位置信号を出力する位置測定システムと、
誤差信号を供給するコンパレータと、
前記誤差信号に基づいて制御信号を供給するコントローラと、
所望の位置に関連する第1の信号に基づいてフィードフォワード信号を供給するフィードフォワードデバイスと、
前記制御信号および前記フィードフォワード信号に基づいて前記可動オブジェクトに作用する1つまたは複数のアクチュエータと、
コンプライアンス補償信号を供給するコンプライアンス補償器と、を含み、
前記誤差信号が設定位置信号、前記被測定位置信号、および前記コンプライアンス補償信号に基づいている、
リソグラフィ装置。 - 前記可動オブジェクトが前記サポートのうちの1つである、
請求項12に記載のリソグラフィ装置。 - 可動オブジェクトの位置を制御する方法であって、
前記可動オブジェクト上のセンサまたはセンサターゲットの位置を決定すること、
誤差信号を決定すること、
前記誤差信号に基づいて制御信号を発生させること、
前記可動オブジェクトの所望の位置に関連する第1の信号に基づいてフィードフォワード信号を発生させること、
前記制御信号および前記フィードフォワード信号に基づいて1つまたは複数のアクチュエータを作動させること、
コンプライアンス補償信号を供給すること、を含み、
前記誤差信号が、設定位置信号、前記可動オブジェクトの被測定位置を表す信号、および前記コンプライアンス補償信号を比較することによって決定される、
方法。 - 前記補償信号を前記被測定位置信号から減算することによりフィードバック信号を供給し、前記フィードバック信号を前記設定位置から減算することによって、前記誤差信号が計算される、
請求項14に記載の方法。 - 前記コンプライアンス補償信号が、前記被測定位置への前記可動オブジェクトの内部変形の影響を近似するように選択される、
請求項14に記載の方法。 - 前記可動オブジェクトの位置が、冗長な一組のセンサを使用して決定され、また前記方法は、前記可動オブジェクトの位置に応じて異なるセンサ間の切替えを行うことをさらに含む、
請求項14に記載の方法。 - 前記可動オブジェクトの内部モードの静的な部分の近似に基づいてコンプライアンス補償利得を供給することをさらに含む、
請求項14に記載の方法。 - 前記コンプライアンス補償信号が前記可動サポートの移動の主方向で使用される、
請求項14に記載の方法。 - 前記フィードフォワード信号が、加速フィードフォワード信号とスナップフィードフォワード信号とを含む、
請求項14に記載の方法。 - 前記スナップフィードフォワード信号が残留誤差に関して調整される、
請求項20に記載の方法。
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