JP4918003B2 - 診断装置、診断方法、および検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、被検査製品を撮影した検査画像に基づいて前記被検査製品を検査する検査装置の診断を行う診断装置およびその診断方法に関し、さらに、その診断を実施可能な検査装置に関する。

食品や飲料などの製品の製造ラインにおいて、製品の外観などを高速に検査し合否判定する目的で、被検査製品を撮影した検査画像に基づいて画像処理を行い被検査製品を検査する検査装置が普及している。検査装置は、据付調整時に、検査装置のメーカによって、検査装置の検査精度や検査動作について一括して検証が行われ、利用者に提供されている。利用者は、検査装置の検査精度が維持され検査動作が正常であることを、検査装置を診断することによって確認している。

従来技術としては、特許文献１などには被検査製品を撮影する際に被検査製品を照らす照明ヘッドの照度を可変較正することを特徴とする外観検査システムの検査精度の補償装置が提案されている。また、特許文献２などには照明ヘッドの照度低下に基づく検査精度の低下を計測し、照度低下が限度を越えたら警報を出し照明ヘッドの保守を促す方法が提案されている。
特開平８−４３０４８号公報 特開平７−１４００９２号公報

しかし、従来技術においては、照明ヘッドの照度劣化に着目しているが、照明ヘッドは検査装置の局部要素であるので、検査装置の検査精度と検査動作について必要十分な診断がなされているとはいえない。利用者は、検査装置が被検査製品の外観不良を見逃さないように十分な診断を行う必要があるが、必要以上に診断に時間をかけることで被検査製品の生産性を下げることは避けなければならない。しかし、利用者は必ずしも検査装置について習熟しているわけでなく、必要十分な診断を行うことは困難である。

そこで、本発明の課題は、検査装置に習熟していない利用者でも容易に検査装置の検査精度又は検査動作についての必要十分な診断が可能な診断装置および診断方法を提供し、さらに、その診断を実施可能な検査装置を提供することにある。

前記課題を解決した本発明は、被検査製品を撮影した検査画像を生成する光学系と、
前記検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部と、
前記検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部と、
前記検査用判定結果に応じて前記被検査製品を排出する排出装置とを有する検査装置の診断を行う診断装置において、
前記診断時に、前記画像計測部と前記検査結果判定部を稼動させて、前記画像計測部と前記検査結果判定部の診断を行う検査精度診断部を備え、
前記検査精度診断部は、
前記被検査製品の検査の基準となる検査基準製品から光学系によって撮影された基準画像と、前記画像計測部によって前記基準画像から前記特性を計測して取得された基準計測値と、前記検査結果判定部によって前記基準計測値を前記判定閾値と比較して取得された基準判定結果とを互いに関係付けて、前記診断前に記憶する第１記憶部と、
前記診断時に、前記画像計測部によって前記第１記憶部から読み出された前記基準画像から前記特性を計測して取得された診断用計測値が、前記基準画像に関係付けられた前記基準計測値に一致するか否かの判定と、前記診断時に、前記検査結果判定部によって前記診断用計測値を前記判定閾値と比較して取得された診断用判定結果が、前記基準画像に関係付けられた前記基準判定結果に一致するか否かの判定との少なくとも１つを行う第１判定部と、
前記診断時に、少なくとも1つの前記判定の結果が不一致なら、警告を表示する第１表示部とを有することを特徴とする。
また、前記診断時に、前記排出装置を稼動させて、前記排出装置の診断を行う検査動作診断部を備え、
前記検査動作診断部は、
前記検査用判定結果に対応し前記被検査製品を排出可能な擬似判定結果を、前記診断前に記憶する第２記憶部と、
前記診断時に、前記排出装置の前記第２記憶部から入力された擬似判定結果に応じた検査済被検査製品の排出動作により、オペレータに、前記排出動作が前記擬似判定結果に一致しているか否かの判定の入力を促す第２表示部とを有することを特徴とする。
なお、本発明の検査精度診断部を備える診断装置の発明及び検査動作診断部を備える診断装置の発明が、従来技術との対比において有する技術上の意義は、どちらも、前記光学系と前記画像計測部と前記検査結果判定部と前記排出装置とを有する検査装置に対して、習熟していない利用者でも容易に必要十分な診断が可能な診断装置を提供することであり、共通している。本発明の検査精度診断部を備える診断装置の発明と検査動作診断部を備える診断装置の発明は、対応する特別な技術的特徴を有している。よって、本発明の検査精度診断部を備える診断装置の発明及び検査動作診断部を備える診断装置の発明は、単一性の要件を満たす。また、後記する診断方法の発明と検査装置の発明も同様の理由により単一性の要件を満たす。

また、本発明は、被検査製品を撮影した検査画像を生成する光学系と、
前記検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部と、
前記検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部と、
前記検査用判定結果に応じて前記被検査製品を排出する排出装置とを有する検査装置の診断を行う診断方法において、
前記診断時に、前記画像計測部と前記検査結果判定部を稼動させて、前記画像計測部と前記検査結果判定部の診断を行う検査精度診断ステップを有し、
前記検査精度診断ステップは、
前記被検査製品の検査の基準となる検査基準製品から光学系によって撮影された基準画像と、前記画像計測部によって前記基準画像から前記特性を計測して取得された基準計測値と、前記検査結果判定部によって前記基準計測値を前記判定閾値と比較して取得された基準判定結果とを互いに関係付けて、前記診断前に記憶部に記憶させるステップと、
前記診断時に、前記画像計測部によって前記記憶部から読み出された前記基準画像から前記特性を計測して取得された診断用計測値が、前記基準画像に関係付けられた前記基準計測値に一致するか否かの判定と、前記診断時に、前記検査結果判定部によって前記診断用計測値を前記判定閾値と比較して取得された診断用判定結果が、前記基準画像に関係付けられた前記基準判定結果に一致するか否かの判定との少なくとも１つを行うステップと、
前記診断時に、少なくとも1つの前記判定の結果が不一致なら、警告を表示部に表示するステップとを有することを特徴とする。
さらに、前記診断時に、前記排出装置を稼動させて、前記排出装置の診断を行う検査動作診断ステップと、
前記診断時に、前記光学系を稼動させて、前記光学系の診断を行う光学系診断ステップとの少なくともどちらか一方を有することを特徴とする。

また、本発明は、被検査製品を撮影した検査画像を生成する光学系と、
前記検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部と、
前記検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部と、
前記検査用判定結果に応じて前記被検査製品を排出する排出装置とを有する検査装置において、
前記検査装置の診断を行う診断時に、前記画像計測部と前記検査結果判定部を稼動させて、前記画像計測部と前記検査結果判定部の診断を行う検査精度診断部を備え、
前記検査精度診断部は、
前記被検査製品の検査の基準となる検査基準製品から光学系によって撮影された基準画像と、前記画像計測部によって前記基準画像から前記特性を計測して取得された基準計測値と、前記検査結果判定部によって前記基準計測値を前記判定閾値と比較して取得された基準判定結果とを互いに関係付けて、前記診断前に記憶する第１記憶部と、
前記診断時に、前記画像計測部によって前記第１記憶部から読み出された前記基準画像から前記特性を計測して取得された診断用計測値が、前記基準画像に関係付けられた前記基準計測値に一致するか否かの判定と、前記診断時に、前記検査結果判定部によって前記診断用計測値を前記判定閾値と比較して取得された診断用判定結果が、前記基準画像に関係付けられた前記基準判定結果に一致するか否かの判定との少なくとも１つを行う第１判定部と、
前記診断時に、少なくとも1つの前記判定の結果が不一致なら、警告を表示する第１表示部とを有することを特徴とする。
さらに、前記診断時に、前記排出装置を稼動させて、前記排出装置の診断を行う検査動作診断部と、
前記診断時に、前記光学系を稼動させて、前記光学系の診断を行う光学系診断部との少なくともどちらか一方を備えることを特徴とする。

本発明によれば、検査装置に習熟していない利用者でも容易に検査装置の検査精度と検査動作についての必要十分な診断が可能な診断装置および診断方法を提供でき、さらに、そのような診断を実施可能な検査装置を提供できる。

次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。

（第１の実施形態）
図１に、本発明の第１の実施形態に係る検査装置１の構成図を示す。検査装置１は、食品や飲料などの被検査製品７の製造ラインの下流の工程に設けられ、ベルトコンベアのような製品搬送装置８上に被検査製品７が載せられ高速で移動していくなかで、被検査製品７の検査を行う。検査内容としては、被検査製品７の外観検査や、賞味期限や製造ロットなどの印字の形状検査などが行われる。検査装置１では、被検査製品７が流れているので、製品搬送装置８上を搬送されてくる被検査製品７を、検査起動センサ４で検知して検知信号を検査起動制御部１１に送信する。検査起動制御部１１は、検知信号を受信すると、起動信号をカメラ２と照明電源５に送信する。カメラ２は、起動信号を受信すると、シャッターを切り、前記被検査製品７を撮影して検査画像を生成する。また、照明電源５が起動信号を受信すると前記撮影のタイミングで照明ヘッド３にフラッシュ光がともされるので、被検査製品７が製品搬送装置８によって動いていてもブレのない検査画像を取得することができる。検査画像は、Ａ／Ｄ変換部１２により、アナログ画像からデジタル画像に変換され、画像メモリ１３に記憶される。カメラ２、照明ヘッド３、照明電源５、Ａ／Ｄ変換部１２と画像メモリ１３から光学系が構成されている。この光学系が、後記する光学系診断の対象範囲（光学系診断範囲）になる。

変数／閾値設定部１５では、検査装置１のオペレータが変数と閾値を設定するのを支援する。変数としては、検査画像を画像処理する際の変数、具体的には、検査画像に写った被検査製品７のエッジを定義するための二値化処理の閾値変数等が考えられる。閾値としては、後記する判定閾値等が考えられる。変数／閾値設定部１５では、ＧＵＩを介して、オペレータが変数と閾値を容易に設定することができる。設定された変数と閾値は変数／閾値メモリ１６に記憶される。

画像計測部１４では、変数／閾値メモリ１６に記憶された変数を用いて、検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する。たとえば、変数を用いてエッジを抽出し、エッジ間距離すなわち被検査製品７の幅を検査用計測値として取得する。
検査結果判定部１７では、検査用計測値を、変数／閾値メモリ１６に記憶された変数（判定閾値）と比較して検査用判定結果を取得する。この検査用判定結果が、被検査製品７の検査による合否判定になる。変数／閾値設定部１５、変数／閾値メモリ１６、画像計測部１４と検査結果判定部１７が、後記する検査精度診断の対象範囲（検査精度診断範囲）になる。

排出装置６では、検査用判定結果に応じて不合格判定となった被検査製品７を製品搬送装置８から排出する。なお、排出装置６は、合格判定の被検査製品７と、不合格判定の被検査製品７との分類を行う選別装置であってもよい。そして、製品搬送装置８、検査起動センサ４、検査起動制御部１１と排出装置６が、後記する検査動作診断の対象範囲（検査動作診断範囲）になる。

図１に示すように、検査装置１は、診断装置１０を有している。診断装置１０は、検査精度診断部１０ａと、検査動作診断部１０ｂと、光学系診断部１０ｃとを有している。

検査精度診断部１０ａは、診断時に、前記光学系２、３、５、１２、１３を用いる（機能させる）ことなく、また、前記排出装置６を含む検査動作診断範囲を用いる（機能させる）ことなく、前記画像計測部１４と前記検査結果判定部１７を稼動させて、画像計測部１４と検査結果判定部１７を含む検査精度診断範囲の診断を行うことができる。具体的な診断の内容は後記するが、この診断によれば、照明ヘッド３等を含む光学系診断範囲と、排出装置６を含む検査動作診断範囲との影響を考慮することなく、画像計測部１４と検査結果判定部１７とを含む検査精度診断範囲のみの診断を行うことができる。照明ヘッド３等を含む光学系診断範囲と、排出装置６を含む検査動作診断範囲との影響を考慮しないので、交互作用が省け、診断の内容を単純化でき、必要十分な診断を構成しやすく、短時間の診断が可能である。また、診断の結果に異常があった場合に異常の原因の特定が容易である。

検査動作診断部１０ｂは、診断時に、画像計測部１４と検査結果判定部１７を含む検査精度診断範囲を用いる（機能させる）ことなく、前記排出装置６を含む検査動作診断範囲を稼動させて、排出装置６を含む検査動作診断範囲の診断を行っている。具体的な診断の内容は後記するが、この診断によれば、画像計測部１４と検査結果判定部１７を含む検査精度診断範囲の影響を考慮することなく、排出装置６を含む検査動作診断範囲のみの診断を行うことができる。画像計測部１４と検査結果判定部１７を含む検査精度診断範囲の影響を考慮しないので、交互作用が省け、診断の内容を単純化でき、必要十分な診断を構成しやすく、短時間の診断が可能である。また、診断の結果に異常があった場合に異常の原因の特定が容易である。

光学系診断部１０ｃは、診断時に、画像計測部１４と検査結果判定部１７を含む検査精度診断範囲を用いる（機能させる）ことなく、また、排出装置６を含む検査動作診断範囲を用いる（機能させる）ことなく、前記光学系２、３、５、１２、１３を稼動させて、光学系２、３、５、１２、１３の診断を行っている。具体的な診断の内容は後記するが、この診断によれば、画像計測部１４と検査結果判定部１７を含む検査精度診断範囲と、排出装置６を含む検査動作診断範囲との影響を考慮することなく、光学系２、３、５、１２、１３のみの診断を行うことができる。画像計測部１４と検査結果判定部１７を含む検査精度診断範囲と、排出装置６を含む検査動作診断範囲との影響を考慮しないので、交互作用が省け、診断の内容を単純化でき、必要十分な診断を構成しやすく、短時間の診断が可能である。また、診断の結果に異常があった場合に異常の原因の特定が容易である。

そして、検査精度診断部１０ａで検査精度診断範囲を診断し、検査動作診断部１０ｂで検査動作診断範囲を診断し、光学系診断部１０ｃで光学系２、３、５、１２、１３（光学系診断範囲）を診断することにより、検査装置１の全体を診断することができる。

なお、図１に示すように、診断装置１０は、検査装置１に組み込まれて一体不可分になっていてもよいが、これに限らず、検査装置１から分離可能になっていてもよい。この場合、診断装置１０は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）において診断方法のソフトウエアを起動することによって実現することができる。そして、ＰＣと検査装置１を接続することにより、検査装置１の診断を行うことができる。診断装置１０が検査装置１から分離できれば、複数の検査装置１を１つの診断装置１０で診断でき、検査装置１の相互間の検査精度の統一が可能である。

また、検査装置１の診断では、常に、検査精度診断と、検査動作診断と、光学系診断との全てを実施する必要があるとは限らない。たとえば、実施頻度が異なることが考えられる。検査精度診断は毎日実施しなければならないが、検査動作診断は月に１回実施すればよく、光学系診断は週に１回実施すればよいような場合である。このような場合、１つの診断装置１０が、検査精度診断部１０ａと、検査動作診断部１０ｂと、光学系診断部１０ｃとを全て備えている必要はなく。複数の診断装置１０に、分散させて有していてもよい。すなわち、診断装置１０は、検査精度診断部１０ａ、検査動作診断部１０ｂ、光学系診断部１０ｃの少なくとも１つを有していればよい。特に、検査精度診断と検査動作診断とは、従来行われていなかった診断であり、診断装置１０が、検査精度診断部１０ａ、検査動作診断部１０ｂの少なくとも１つを有することにより、検査精度と検査動作の少なくとも１つの診断を必要十分に実施することができる。

（第２の実施形態）
図２に、本発明の第２の実施形態に係る検査装置１の構成図を示す。第２の実施形態の検査装置１は、検査精度診断部１０ａの構成が理解しやすいように、検査装置１内の他の構成要素との関係を明確にして記載したものである。そのため、第１の実施形態の検査装置１には記載されていた照明ヘッド３等は、第２の実施形態の検査装置１でも備えているが、検査精度診断部１０ａの説明を容易にするために、記載を省略している。

図２に示すように、検査精度診断部１０ａは、検査精度診断で行う項目とその実施順を制御管理する検査精度診断制御部２２と、基準画像２５ａをオペレータが設定する支援をする基準画像設定部２４と、基準画像２５ａと基準計測値２５ｂと基準判定結果２５ｃとを互いに関係付けて記憶する基準画像メモリ２５とを有している。

また、検査精度診断部１０ａは、入力ソース切替部２３と、検査精度判定部２６と、機能確認記録部２１とを有している。入力ソース切替部２３は、画像メモリ１３に記憶させる画像として、診断時には、基準画像メモリ２５から基準画像２５ａを入力させ、診断時以外（検査時や診断前の事前準備時等）では、Ａ／Ｄ変換部１２から検査画像を入力させるような、切り替えを行う。検査精度判定部２６は、診断時の画像計測部１４の出力結果（診断用計測値）と、基準画像メモリ２５に記憶された基準計測値との、一致不一致の判定と、診断時の検査結果判定部１７の出力結果（診断用判定結果）と、基準画像メモリ２５に記憶された基準判定結果との、一致不一致の判定とを行う。機能確認記録部２１は、判定の結果が不一致なら警告を表示してオペレータに対策の実施を促し、また、判定の結果の一致不一致を記録する。

図３に、本発明の第２の実施形態に係る検査装置の診断方法（検査精度診断用）のフローチャートを示す。

まず、検査精度診断用の診断方法を実施するための事前準備を行う。事前準備としては、基準画像２５ａ、基準計測値２５ｂ、基準判定結果２５ｃの登録を行う。具体的にまず、オペレータは、検査基準製品を用意する。検査基準製品としては、検査装置１の据付調整時の確認に使用した複数のＯＫ基準サンプルおよび複数のＮＧ限度サンプルを用いることができる。検査装置１で、検査基準製品の検査を実施する。この検査の実施により、光学系で検査基準製品の基準画像２５ａが撮影される。入力ソース切替部２３を介して基準画像２５ａが光学系の画像メモリ１３に書き込まれる。画像計測部１４は、基準画像２５ａを用いて所定の特性を計測して基準計測値２５ｂを取得する。検査結果判定部１７は、基準計測値２５ｂを、変数／閾値メモリ１６に記憶された判定閾値と比較して合格または不合格という基準判定結果２５ｃを取得する。

基準画像設定部２４では、ＧＵＩを介して、オペレータにこの基準画像２５ａを記憶しておくか否かの判断を促す。オペレータは、記憶しておくとの判断をした場合は、ＧＵＩを介してその旨を入力する。この入力により、基準画像設定部２４は、その基準画像２５ａと、その基準画像２５ａに対応する基準計測値２５ｂと、その基準画像２５ａに対応する基準判定結果２５ｃを、基準画像２５ａの識別記号とともに互いに関係付けて、基準画像メモリ２５に記憶させる。通常、ＯＫ基準サンプルおよびＮＧ限度サンプルはそれぞれ複数個作られるので、基準画像２５ａも複数生成される。以上で事前準備が終了する。

次に、検査精度診断の診断時について説明する。

まず、ステップＳ１で、入力ソース切替部２３は切り替えられ、基準画像メモリ２５から画像メモリ１３へ基準画像２５ａを送信する（呼び出す）。

ステップＳ２で、画像メモリ１３が、基準画像２５ａを記憶する。画像メモリ１３が基準画像２５ａを記憶することによって、基準画像２５ａのいわゆる検査が再実行される。いわゆる検査と記載したのは、再実行される検査では、光学系での撮影が省かれているからである。また、後記するが、再実行される検査では、排出装置６等の検査動作も省かれている。

そして、画像計測部１４では、基準画像２５ａを用いて所定の特性を計測して診断用計測値を取得する。診断用計測値と前記基準計測値２５ｂとは、同一の基準画像２５ａの同一の特性を計測したものであるので、一致すべきものである。このことを逆に利用すれば、すなわち、診断用計測値と基準計測値２５ｂとが不一致であれば、検査精度が変動したと考えることができる。第２の実施形態では、診断用計測値と基準計測値２５ｂとの一致不一致を判定することにより、検査精度の診断をしている。

検査結果判定部１７では、診断用計測値を、変数／閾値メモリ１６に記憶された判定閾値と比較して合格または不合格という診断用判定結果を取得する。診断用判定結果と基準判定結果２５ｃとは、同一の基準画像２５ａに撮影された同一の検査基準製品に対する合格または不合格というものであるので、たとえば基準判定結果２５ｃが合格なら診断用判定結果も合格で一致すべきものである。このことを逆に利用すれば、すなわち、診断用判定結果と基準判定結果２５ｃとが不一致であれば、検査精度が変動したと考えることができる。第２の実施形態では、診断用判定結果と基準判定結果２５ｃとの一致不一致を判定することにより、検査精度の診断をしている。

そこで、ステップＳ３では、検査精度判定部２６が、基準画像２５ａに関係付けられた基準判定結果２５ｃを読み出し、診断用判定結果が基準判定結果２５ｃに許容範囲を加味して一致するか否かの判定（照合）を行う。一致する場合はステップＳ６へ進み（ステップＳ３、Ｙｅｓ）、不一致の場合はステップＳ４へ進む（ステップＳ３、Ｎｏ）。

ステップＳ４では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致である旨の警告を表示し、オペレータに対策の実施を促す。ステップＳ５では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致であった旨と、基準画像２５ａの識別記号と、基準判定結果２５ｃと、診断用判定結果と、診断日時を帳票に記録する。なお、帳票への記録は、印刷のようなものでも、電子的な記録であってもかまわない。以下の帳票への記録も同様である。

ステップＳ６に進むと、検査精度判定部２６が、基準画像２５ａに関係付けられた基準計測値２５ｂを読み出し、診断用計測値が基準計測値２５ｂに許容範囲を加味して一致するか否かの判定（照合）を行う。一致する場合はステップＳ９へ進み（ステップＳ６、Ｙｅｓ）、不一致の場合はステップＳ７へ進む（ステップＳ６、Ｎｏ）。

ステップＳ７では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致である旨の警告を表示し、オペレータに対策の実施を促す。ステップＳ８では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致であった旨と、基準画像２５ａの識別記号と、基準計測値２５ｂと、診断用計測値と、診断日時とを帳票に記録する。

ステップＳ９に進むと、検査精度診断制御部２２が、基準画像メモリ２５に記憶された全ての基準画像２５ａについて、ステップＳ１乃至ステップＳ８が実施されたか否か判定する。全ての基準画像２５ａについて実施された場合はステップＳ１０へ進み（ステップＳ９、Ｙｅｓ）、全ての基準画像２５ａについて実施されていない場合はステップＳ１へ戻る（ステップＳ９、Ｎｏ）。

ステップＳ１０では、機能確認記録部２１が、全ての基準画像２５ａについて実施した旨と、診断日時とを帳票に記録する。以上で、検査精度診断の診断方法が終了する。検査精度診断の診断方法では、光学系（光学系診断範囲）と排出装置６等の検査動作診断範囲が用いられることなく診断が行われていることがわかる。このため、検査精度診断の診断方法では、光学系診断範囲と検査動作診断範囲の影響を受けることがない。

検査精度診断の診断方法においては、記憶されている基準画像２５ａを用いているので、実際に被検査製品７を製品搬送装置８に流す必要がない。このため、容易にかつ短時間に診断を実施することができる。被検査製品７は診断の度に何度も製品搬送装置８に流せば劣化するが、基準画像２５ａは基準画像メモリ２５に記憶されたままであるの劣化することがない。基準画像２５ａがデジタル画像であればなおさらである。このため、劣化しない基準画像２５ａを用いた検査精度の診断を経た検査装置１であれば、その検査精度を一定に保つことができる。

検査精度診断の診断方法においては、被検査製品７を実際に流す必要がないので、検査装置１が製造設備に組み込まれて、その製造設備の設置や機構特性上の制約で診断が行えなかったような場合においても、検査精度診断の診断方法であれば実施することができる。

また、被検査製品７に新たな欠陥が発生した場合、オペレータはこの欠陥を持った被検査製品７を検査装置１で排出できるように、検査画像から新規な特性を計測して新規な検査用計測値を設定する場合があり、これに対応して変数／閾値メモリ１６に記憶された変数と閾値とが変更させるときがある。このようなときでも、基準画像メモリ２５に既に記憶された基準画像２５ａに写された既知の欠陥を有する被検査製品７に対応して、検査装置１は排出可能になっていなければならない。検査精度診断の診断方法によれば、検査装置１が既知の欠陥を排出可能になっているか否か容易に確認（診断）することができる。また、新たな欠陥も、基準画像２５ａ、基準計測値２５ｂ、基準判定結果２５ｃとして登録すれば、次回の診断からは、新たな欠陥も検査装置１で検出可能か診断することができる。

また、診断が、基準判定結果２５ｃに対する一致不一致と、基準計測値２５ｂに対する一致不一致のように、判定に恣意を挟む余地がなく、明確で容易であるので、オペレータの個人差をなくすことができる。そして、検査装置１に習熟していないオペレータでも容易に検査装置１の検査精度診断をすることができる。

また、診断の結果を帳票に記録できるので、検査装置１の検査性能を保障することが可能になり、検査装置１の信頼性を高めることができる。

（第３の実施形態）
図４に、本発明の第３の実施形態に係る検査装置１の構成図を示す。第３の実施形態の検査装置１は、光学系診断部１０ｃの構成が理解しやすいように、検査装置１内の他の構成要素との関係を明確にして記載したものである。そのため、第１の実施形態の検査装置１には記載されていた排出装置６等は、第３の実施形態の検査装置１でも備えているが、光学系診断部１０ｃの説明を容易にするために、記載を省略している。

図４に示すように、光学系診断部１０ｃは、光学系診断で行う項目とその実施順を制御管理する光学系診断制御部２７と、特徴計測／判定部（特許請求の範囲の特徴計測部と第６判定部に相当）２８と、基準データ記憶部２９と、機能確認記録部２１と、連続映像入力制御部３０とを有している。

特徴計測／判定部２８は、光学系によって所定の位置に置かれた光学系診断専用試料９を撮影して取得された光学系画像を用いて、所定の特徴を計測して光学系計測値を取得し、診断の事前準備時と診断時とで、光学系計測値が一致するか否かの判定を行う。

基準データ記憶部２９は、事前準備時の光学系計測値を記憶する。

機能確認記録部２１は、判定の結果が不一致なら警告を表示してオペレータに対策の実施を促し、また、判定の結果の一致不一致を記録する。

連続映像入力制御部３０は、検査起動センサ４（図１参照）が出力する検知信号に換わる信号を、自己周期で検査起動制御部１１に連続入力させている。この連続入力に対応して、光学系での連続撮影を可能にしている。

被検査製品７は一般的に形状が複雑であり、光学系計測値を正確に測定するのには適さないので、被検査製品７の換わりに、光学系診断専用試料９が用いられる。光学系診断専用試料９としては、標準反射板やテスト形状成型物を用いることが望ましい。これは被検査製品７の劣化や被検査製品７のロットばらつきの影響を除外するためである。図４では光学系診断専用試料９としてグレーの矩形パターンを使用した例を示している。光学系診断専用試料９の上面９ｂには、グレーで矩形（長方形）の診断専用パターン９ａが設けられている。

図５（ａ）に、光学系診断専用試料９を撮影した光学系画像３２を示す。光学系画像３２の全域におよぶ枠の長方形と、診断専用パターン９ａの長方形とは、対向する辺が平行になるように配置され撮影されている。診断専用パターン９ａを含めて上面９ｂが撮影され光学系画像３２が生成され、光学系計測値は、光学系画像３２に写った診断専用パターン９ａから計測されることになる。そして、光学系計測値としては、光学系画像３２の長方形の左上角を原点Ｏとし、原点Ｏから紙面上を右に伸びる辺をＸ軸とし、原点Ｏから紙面上を下に伸びる辺をＹ軸とした場合の、診断専用パターン９ａの左上角Ｏ１の座標（ＳＸ，ＳＹ）が採用されている。座標（ＳＸ，ＳＹ）によれば、カメラ２の位置を評価することができる。また、別の光学系計測値として、診断専用パターン９ａの傾き角度θが採用されている。傾き角度θによってもカメラ２の位置を評価することができる。また、別の光学系計測値として、入力視野を規定する情報となる診断専用パターン９ａの長方形の紙面の横方向の横幅ＤＸと、縦方向の縦幅ＤＹとが採用されている。また、別の光学系計測値として、照度（明るさ）を規定する情報となる診断専用パターン９ａ内の輝度平均値が採用されている。さらに、別の光学系計測値として、図５（ｂ）に示すように、診断専用パターン９ａの外に位置するＸ軸方向位置ｘ１から内に位置するＸ軸方向位置ｘ２までの点線で囲まれた領域内の投影分布傾き最大値が採用されている。この投影分布傾き最大値は、ピントおよびコントラストの指標となる。これらの光学系計測値は、光学系画像３２の歪みを数値化して表すことができる。

図６に、本発明の第３の実施形態に係る検査装置の診断方法（光学系診断用）のフローチャートを示す。

まず、光学系診断用の診断方法を実施するための事前準備を行う。事前準備としては、光学系基準画像を取得し、光学系基準計測値を計測し登録する。具体的にまず、オペレータは、光学系診断専用試料９を用意し、図４に示すような所定の位置に厳密に配置する。

連続映像入力制御部３０で自己周期での連続入力動作を実施し、カメラ２、照明ヘッド３等を用いて、光学系診断専用試料９を撮像し、光学系基準画像を取得する。光学系基準画像は、Ａ／Ｄ変換部１２でアナログ画像からデジタル画像へ変換され、画像メモリ１３に記憶される。

特徴計測／判定部２８が、光学系基準画像を用いて所定の特徴を計測して光学系基準計測値を取得する。基準データ記憶部２９は、光学系基準計測値を記憶する。以上で事前準備が終了する。

次に、光学系診断の診断時について説明する。

まず、ステップＳ１１で、 オペレータが、光学系診断専用試料９を、事前準備と同じ所定の位置に厳密に配置する。連続映像入力制御部３０で自己周期での連続入力動作を実施し、カメラ２、照明ヘッド３等を用いて、光学系診断専用試料９を撮像し、光学系診断用画像を取得する。光学系診断用画像は、Ａ／Ｄ変換部１２でアナログ画像からデジタル画像へ変換され、画像メモリ１３に記憶される。

ステップＳ１２で、特徴計測／判定部２８が、光学系診断用画像を用いて所定の特徴を計測して光学系診断用計測値を取得する。光学系診断用計測値と前記光学系基準計測値とは、同一の光学系診断専用試料９を同じ所定の位置に配置して撮影された光学系診断用画像と光学系基準画像の同一の特徴を計測したものであるので、一致すべきものである。このことを逆に利用すれば、すなわち、光学系診断用計測値と光学系基準計測値とが不一致であれば、光学系が変動したと考えることができる。第３の実施形態では、光学系診断用計測値と光学系基準計測値との一致不一致を判定することにより、光学系の診断をしている。

ステップＳ１３で、特徴計測／判定部２８が、光学系診断用計測値に対応する光学系基準計測値を、基準データ記憶部２９から順次読み出す。特徴計測／判定部２８が、光学系診断用計測値が光学系基準計測値に許容範囲を加味して一致するか否かの判定（照合）を行う。一致する場合はステップＳ１７へ進み（ステップＳ１３、Ｙｅｓ）、不一致の場合はステップＳ１４へ進む（ステップＳ１３、Ｎｏ）。

ステップＳ１４では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致である旨の警告を表示し、オペレータに対策の実施を促す。ステップＳ１５では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致であった旨と、不一致と判定された光学系診断用計測値と光学系基準計測値と、診断日時とを帳票に記録する。なお、ステップＳ１６で、オペレータは、不一致と判定された光学系診断用計測値と光学系基準計測値に対応する所定の特徴を、変更可能な変更パラメータを変更し、所定の特徴を較正してもよい。そして、この較正の結果を確認するために、ステップＳ１１に戻る。

ステップＳ１７では、機能確認記録部２１が、ステップＳ１６での較正前後の変更パラメータの設定値を帳票に記録する。また、機能確認記録部２１は、全ての特徴（光学系基準計測値）について診断を実施した旨と、診断日時とを帳票に記録する。以上で、光学系診断の診断方法が終了する。光学系診断の診断方法では、検査精度診断範囲（図１参照）と、検査起動制御部１１を除いた検査動作診断範囲（図１参照）が用いられることなく診断が行われていることがわかる。このため、光学系診断の診断方法では、検査精度診断範囲と、検査起動制御部１１を除いた検査動作診断範囲の影響を受けることがない。

なお、ステップＳ１６の較正としては、通常運用で想定されるものとして、照明ヘッド３の劣化による照度低下に対応するための、照明ボリューム調整やレンズ絞り調整が考えられる。また、カメラ２のレンズ面の汚れによるピントおよびコントラストの較正としてレンズ面の清掃が考えられる。また、カメラ２の設置位置の較正としては、カメラ２が故障して取り外して修理した際の復元作業などが考えられる。以上のように、光学系劣化予防保全のために光学系診断が有効に動作する。そして、前記検査精度診断では、検査画像のデジタル処理の範疇の診断を行ったが、光学系診断では、検査画像のアナログ処理の範疇の診断を行っていると考えられる。そして、前記検査精度診断と光学系診断とにより、検査画像の画像処理全般を診断していると考えられる。

また、光学系診断の診断方法においては、実際に被検査製品７を製品搬送装置８に流す必要がない。このため、容易かつ短時間で診断ができ、劣化しやすくロットのばらつきの影響を受けやすい被検査製品７を用いることもないので、診断の再現性を向上できる。
また、診断が、光学系基準計測値に対する一致不一致のように、判定に恣意を挟む余地がなく、明確で容易であるので、オペレータの個人差をなくすことができる。そして、検査装置１に習熟していないオペレータでも容易に検査装置１の光学系診断をすることができる。

また、診断の結果を帳票に記録できるので、検査装置１の光学系の性能を保障することが可能になり、検査装置１の信頼性を高めることができる。

（第４の実施形態）
図７に、本発明の第４の実施形態に係る検査装置１の構成図を示す。第４の実施形態の検査装置１は、検査動作診断部１０ｂの構成が理解しやすいように、検査装置１内の他の構成要素との関係を明確にして記載したものである。そのため、第１の実施形態の検査装置１には記載されていた検査精度診断部１０ａと光学系診断部１０ｃは、第４の実施形態の検査装置１でも備えているが、検査動作診断部１０ｂの説明を容易にするために、記載を省略している。

図７に示すように、検査動作診断部１０ｂは、検査動作診断で行う項目とその実施順を制御管理する検査動作診断制御部１８と、判定部１９と、基準データ記憶部２０と、機能確認記録部２１と、出力切替部３１を有している。

図８に、本発明の第４の実施形態に係る検査装置の診断方法（検査動作診断用）のフローチャートを示す。検査動作診断では、ハードウエアの自己診断をする第１の小診断と、検査起動センサ４への入力タイミングを自己診断する第２の小診断と、検査結果出力を擬似確認する第３の小診断と、インターロックを擬似確認する第４の小診断から構成されている。以下では、これらの４つの小診断を順に説明する。

まず、ハードウエアの自己診断をする第１の小診断について説明する。なお、ハードウエアの自己診断としては、例えば、メモリにテストパターンを書込／読込／照合するメモリテストや、画像処理ＬＳＩの動作テスト、各種センサの通電テスト、カメラ２の応答テスト、排出装置６の応答テストなどが考えられる。

ハードウエアの自己診断をする第１の小診断では、まず、この第１の小診断を実施するための事前準備を行う。事前準備としては、ハードウエアのテストプログラムで合格した場合に出力されるハードウエア合格信号を、テストプログラムの識別記号と関係付けて基準データ記憶部２０に記憶する。以上で事前準備が終了する。

次に、ハードウエアの自己診断をする第１の小診断の、診断時について説明する。

ステップＳ２１で、ハードウエアに自己診断処理としてテストプログラムを実行させ、ハードウエア診断用信号を取得する。

ステップＳ２２で、判定部１９が、テストプログラムの識別記号に関係付けられたハードウエア合格信号を、基準データ記憶部２０から順次読み出す。判定部１９は、ハードウエア診断用信号がハードウエア合格信号に一致するか否かを判定する。一致する場合はステップＳ２５（検査起動センサ４への入力タイミングを自己診断する第２の小診断）へ進み（ステップＳ２２、Ｙｅｓ）、不一致の場合はステップＳ２３へ進む（ステップＳ２２、Ｎｏ）。

ステップＳ２３では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致である旨の警告を表示し、オペレータに対策の実施を促す。ステップＳ２４では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致であった旨と、不一致と判定されたハードウエア合格信号に関係付けられたテストプログラムの識別記号と、診断日時とを帳票に記録する。

次に、検査起動センサ４への入力タイミングを自己診断する第２の小診断について説明する。検査起動センサ４への入力タイミングを自己診断する第２の小診断では、まず、この第２の小診断を実施するための事前準備を行う。事前準備としては、まず、オペレータが、任意の検査済被検査製品を用意する。検査装置１で、検査済被検査製品の検査を実施する。この検査において、光学系は、検査済被検査製品が検査画像の全体枠の中でどこに配置されているかを示す基準全体枠画像を撮影する。すなわち、通常に検査画像を撮影し、その検査画像を基準全体枠画像として、基準データ記憶部２０に記憶させる。なお、基準全体枠画像を撮影する換わりに、検査画像上の理想位置にガイダンス枠を検査済被検査製品の像に換えて設けてもよい。

次に、検査起動センサ４への入力タイミングを自己診断する第２の小診断の、診断時について説明する。

ステップＳ２５で、オペレータが、任意の検査済被検査製品を用意する。検査装置１で、検査済被検査製品の検査を実施する。この検査において、光学系は、検査済被検査製品の検査画像を撮影する。その検査画像を診断用全体枠画像とする。

ステップＳ２６で、判定部１９が、基準全体枠画像を、基準データ記憶部２０から読み出す。判定部１９は、診断用全体枠画像を基準全体枠画像に重ねる。すなわち、診断用全体枠画像と基準全体枠画像との座標系を一致させる。

ステップＳ２７で、判定部１９が、診断用全体枠画像内と基準全体枠画像内との検査済被検査製品の画像が許容範囲を加味して重なるか否かの判定をする。具体的には、診断用全体枠画像内の検査済被検査製品の座標と、基準全体枠画像内の検査済被検査製品の座標とが許容範囲を加味して一致するか否かの判定をする。一致する場合はステップＳ３０（検査結果出力を擬似確認する第３の小診断）へ進み（ステップＳ２７、Ｙｅｓ）、不一致の場合はステップＳ２８へ進む（ステップＳ２７、Ｎｏ）。

ステップＳ２８では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致である（座標が重ならない）旨の警告を表示し、オペレータに対策の実施を促す。ステップＳ２９では、機能確認記録部２１が、判定の結果が不一致である（座標が重ならない）旨と、診断用全体枠画像内と基準全体枠画像内それぞれにおける検査済被検査製品の座標と、診断日時とを帳票に記録する。検査起動センサ４への入力タイミングを自己診断する第２の小診断によれば、検査起動センサ４の位置ずれや、製品搬送装置８の搬送条件の変動などを予防保全することができる。

次に、検査結果出力を擬似確認する第３の小診断について説明する。検査結果出力を擬似確認する第３の小診断では、まず、この第３の小診断を実施するための事前準備を行う。事前準備としては、まず、オペレータが、検査結果判定部１７の出力を擬似した擬似判定結果を作成し決定する。そして、オペレータは、基準データ記憶部２０に、擬似判定結果を記憶させる。以上で事前準備が終了する。

次に、検査結果出力を擬似確認する第３の小診断の、診断時について説明する。

ステップＳ３０で、オペレータが、擬似判定結果パターン分の検査済被検査製品を用意し、検査装置１で検査を実施する。この検査において、検査起動センサ４は、擬似判定結果パターン分の検査済被検査製品を検知し検知信号を、検査起動制御部１１へ送信する。検査起動制御部１１は、検知信号の受信により、起動信号を、基準データ記憶部２０へ、擬似判定結果の読み出し信号として、送信する。基準データ記憶部２０では、起動信号に同期して、擬似判定結果を、出力切替部３１へ出力する。出力切替部３１では、診断時には擬似判定結果を入力し排出装置６へ出力する。なお、出力切替部３１は、診断時以外、たとえば検査時には、検査結果判定部１７からの判定結果を入力し排出装置６へ出力する。排出装置６は、擬似判定結果（パターン分）に応じて検査済被検査製品の排出動作を行う。

ステップＳ３１で、オペレータは、排出装置６の排出動作の合格不合格の順列動作が、擬似判定結果（パターン分）に一致しているか否かを目視確認により判定する。一致する場合はステップＳ３３（インターロックを擬似確認する第４の小診断）へ進み（ステップＳ３１、Ｙｅｓ）、不一致の場合はステップＳ３２へ進む（ステップＳ３１、Ｎｏ）。

ステップＳ３２では、オペレータが、ＧＵＩを介して判定の結果として「不一致（排出動作の不合格）」の旨を入力する。機能確認記録部２１は、判定の結果が「不一致（排出動作の不合格）」の旨と、診断日時とを帳票に記録する。

次に、インターロックを擬似確認する第４の小診断について説明する。インターロックを擬似確認する第４の小診断では、まず、この第４の小診断を実施するための事前準備を行う。事前準備としては、まず、オペレータが、インターロックが作動する検査結果判定部１７の出力を擬似した擬似判定結果を作成し決定する。そして、オペレータは、基準データ記憶部２０に、インターロックが作動する擬似判定結果を記憶させる。インターロックごとに擬似判定結果を作成すれば、もれなく、インターロックの作動確認をすることもできる。以上で事前準備が終了する。

次に、インターロックを擬似確認する第４の小診断の、診断時について説明する。

ステップＳ３３で、オペレータが、インターロックが作動する擬似判定結果パターン分の検査済被検査製品を用意し、検査装置１で検査を実施する。この検査において、検査起動センサ４は、インターロックが作動する擬似判定結果パターン分の検査済被検査製品を検知し検知信号を、検査起動制御部１１へ送信する。検査起動制御部１１は、検知信号の受信により、起動信号を、基準データ記憶部２０へ、擬似判定結果の読み出し信号として、送信する。基準データ記憶部２０では、起動信号に同期して、インターロックが作動する擬似判定結果を、出力切替部３１へ出力する。出力切替部３１では、診断時には擬似判定結果を入力し排出装置６へ出力する。排出装置６は、インターロックが作動する擬似判定結果（パターン分）に応じて検査済被検査製品の排出動作を行う。この排出動作により、インターロックが正常であれば、インターロックが作動し、製品搬送装置８が停止する。

ステップＳ３４で、オペレータは、製品搬送装置８が停止するか否かを目視確認により判定する。停止する場合はステップＳ３６へ進み（ステップＳ３４、Ｙｅｓ）、停止しない場合はステップＳ３５へ進む（ステップＳ３４、Ｎｏ）。

ステップＳ３５では、オペレータが、ＧＵＩを介して判定の結果として「停止せず（インターロック動作の不合格）」の旨を入力する。機能確認記録部２１は、判定の結果が「停止せず（インターロック動作の不合格）」の旨と、診断日時とを帳票に記録する。

ステップＳ３６に進むと、検査動作診断制御部１８が、全動作確認が完了したか否か判定する。完了した場合はステップＳ３７へ進み（ステップＳ３６、Ｙｅｓ）、未完了の場合はステップＳ２１へ戻る（ステップＳ３６、Ｎｏ）。

ステップＳ３７では、機能確認記録部２１が、全動作確認が完了した旨と、診断日時とを帳票に記録する。以上で、検査動作診断の診断方法が終了する。検査動作診断では、排出装置６の論理的動作を擬似的に実施させることで、検査精度診断範囲（図１参照）を用いることなく診断を行っている。このため、検査動作診断では、検査精度診断範囲の影響を受けることはない。

インターロックについては、検査装置１ごとに内容が異なるが、インターロックを作動させる項目について網羅することで確認モレを防止できる。たとえば、排出ミスを検知して製品搬送装置８を停止する検査装置１においては、擬似的に排出装置６をストップさせる機能確認制御を行うことで、排出ミス検知の周辺設備（たとえば排出ミス検知センサなど）による正しい検知が行えることを確認するなどの確認モデルにも対応できる。

また、診断が、判定に恣意を挟む余地がなく、明確で容易であるので、オペレータの個人差をなくすことができる。そして、検査装置１に習熟していないオペレータでも容易に検査装置１の検査動作診断をすることができる。
また、診断の結果を帳票に記録できるので、検査装置１の検査動作の性能を保障することが可能になり、検査装置１の信頼性を高めることができる。

本発明の第１の実施形態に係る検査装置（検査精度診断、検査動作診断、および光学系診断用）の構成図である。 本発明の第２の実施形態に係る検査装置（検査精度診断用）の構成図である。 本発明の第２の実施形態に係る検査装置の診断方法（検査精度診断用）のフローチャートである。 本発明の第３の実施形態に係る検査装置（光学系診断用）の構成図である。 （ａ）は光学系診断専用試料を撮影した光学系画像であり、（ｂ）は光学系画像に写った診断専用パターン内外における輝度分布を示すグラフである。 本発明の第３の実施形態に係る検査装置の診断方法（光学系診断用）のフローチャートである。 本発明の第４の実施形態に係る検査装置（検査動作診断用）の構成図である。 本発明の第４の実施形態に係る検査装置の診断方法（検査動作診断用）のフローチャートである。

符号の説明

１ 検査機
２ カメラ
３ 照明ヘッド
４ 検査起動センサ
５ 照明電源
６ 排出装置または選別装置
７ 被検査製品
８ 製品搬送装置
９ 光学系診断専用試料
９ａ 診断専用パターン
９ｂ 光学系診断専用試料の上面
１０ 診断装置
１０ａ 検査精度診断部
１０ｂ 検査動作診断部
１０ｃ 光学系診断部
１１ 検査起動制御部
１２ Ａ／Ｄ変換部
１３ 画像メモリ
１４ 画像計測演算処理部
１５ 変数／閾値設定部
１６ 変数／閾値メモリ
１７ 検査結果判定部
１８ 検査動作診断制御部
１９ 判定部（第２判定部、第３判定部）
２０ 基準データ記憶部（第２記憶部、第３記憶部、第４記憶部、第５記憶部）
２１ 機能確認記録部（第１表示部、第２表示部、第３表示部、第４表示部、第５表示部、第６表示部）
２２ 検査精度診断制御部
２３ 入力ソース切替部
２４ 基準画像設定部
２５ 基準画像メモリ（第１記憶部）
２６ 検査精度判定部（第１判定部）
２７ 光学系診断制御部
２８ 特徴計測／判定部（特徴計測部、第６判定部）
２９ 基準データ記憶部（第６記憶部）
３０ 連続映像入力制御部
３１ 出力切替部
３２ 光学系画像

Claims (11)

1. 被検査製品を撮影した検査画像を生成する光学系と、
   前記検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部と、
   前記検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部と、
   前記検査用判定結果に応じて前記被検査製品を排出する排出装置とを有する検査装置の診断を行う診断装置において、
   前記診断時に、前記画像計測部と前記検査結果判定部を稼動させて、前記画像計測部と前記検査結果判定部の診断を行う検査精度診断部を備え、
   前記検査精度診断部は、
   前記被検査製品の検査の基準となる検査基準製品から光学系によって撮影された基準画像と、前記画像計測部によって前記基準画像から前記特性を計測して取得された基準計測値と、前記検査結果判定部によって前記基準計測値を前記判定閾値と比較して取得された基準判定結果とを互いに関係付けて、前記診断前に記憶する第１記憶部と、
   前記診断時に、前記画像計測部によって前記第１記憶部から読み出された前記基準画像から前記特性を計測して取得された診断用計測値が、前記基準画像に関係付けられた前記基準計測値に一致するか否かの判定と、前記診断時に、前記検査結果判定部によって前記診断用計測値を前記判定閾値と比較して取得された診断用判定結果が、前記基準画像に関係付けられた前記基準判定結果に一致するか否かの判定との少なくとも１つを行う第１判定部と、
   前記診断時に、少なくとも1つの前記判定の結果が不一致なら、警告を表示する第１表示部とを有することを特徴とする診断装置。
2. 被検査製品を撮影した検査画像を生成する光学系と、
   前記検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部と、
   前記検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部と、
   前記検査用判定結果に応じて前記被検査製品を排出する排出装置とを有する検査装置の診断を行う診断装置において、
   前記診断時に、前記排出装置を稼動させて、前記排出装置の診断を行う検査動作診断部を備え、
   前記検査動作診断部は、
   前記検査用判定結果に対応し前記被検査製品を排出可能な擬似判定結果を、前記診断前に記憶する第２記憶部と、
   前記診断時に、前記排出装置の前記第２記憶部から入力された擬似判定結果に応じた検査済被検査製品の排出動作により、オペレータに、前記排出動作が前記擬似判定結果に一致しているか否かの判定の入力を促す第２表示部とを有することを特徴とする診断装置。
3. 被検査製品を撮影した検査画像を生成する光学系と、
   前記検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部と、
   前記検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部と、
   前記検査用判定結果に応じて前記被検査製品を排出する排出装置とを有する検査装置の診断を行う診断装置において、
   前記診断時に、前記排出装置を稼動させて、前記排出装置の診断を行う検査動作診断部を備え、
   前記検査動作診断部は、
   前記検査用判定結果に対応し前記被検査製品を排出可能でインターロックが作動する擬似判定結果を、前記診断前に記憶する第３記憶部と、
   前記診断時において、前記排出装置の前記第３記憶部から入力された前記インターロックが作動する擬似判定結果に応じた検査済被検査製品の排出動作により、前記インターロックが作動し、オペレータに、前記インターロックが作動したか否かの判定の入力を促す第３表示部とを有することを特徴とする診断装置。
4. 前記検査動作診断部は、
   前記検査装置を構成するハードウエアのテストプログラムで合格した場合に出力されるハードウエア合格信号を、前記診断前に記憶する第４記憶部と、
   前記診断時に、前記ハードウエアに前記テストプログラムを実行させ取得したハードウエア診断用信号が、前記ハードウエア合格信号に一致するか否かの判定を行う第２判定部と、
   前記診断時に、前記判定の結果が不一致なら、警告を表示する第４表示部とを有することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の診断装置。
5. 前記検査動作診断部は、
   前記光学系によって任意の検査済被検査製品を撮影して取得された基準全体枠画像を、前記診断前に記憶する第５記憶部と、
   前記診断時に、前記光学系によって任意の検査済被検査製品を再度撮影して取得された診断用全体枠画像の座標系を前記基準全体枠画像の座標系に一致させ、前記診断用全体枠画像内と前記基準全体枠画像内との検査済被検査製品の画像の座標が一致するか否かの判定を行う第３判定部と、
   前記診断時に、前記判定の結果が不一致なら、警告を表示する第５表示部とを有することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の診断装置。
6. 前記診断時に、前記光学系を稼動させて、前記光学系の診断を行う光学系診断部を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の診断装置。
7. 前記光学系診断部は、
   前記光学系によって所定の位置に置かれた光学系診断専用試料を撮影して取得された光学系基準画像を用いて所定の特徴を計測して光学系基準計測値を、前記診断前に取得する特徴計測部と、
   前記光学系基準計測値を、前記診断前に記憶する第６記憶部と、
   前記診断時において、前記光学系によって前記所定の位置と同じ位置に置かれた前記光学系診断専用試料を撮影して取得された光学系診断用画像を用いて、前記特徴計測部が前記所定の特徴を計測して取得する光学系診断用計測値が、前記光学系基準計測値に一致するか否かの判定を行う第６判定部と、
   前記診断時において、前記判定の結果が不一致なら、警告を表示する第６表示部とをさらに有することを特徴とする請求項６に記載の診断装置。
8. 被検査製品を撮影した検査画像を生成する光学系と、
   前記検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部と、
   前記検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部と、
   前記検査用判定結果に応じて前記被検査製品を排出する排出装置とを有する検査装置の診断を行う診断方法において、
   前記診断時に、前記画像計測部と前記検査結果判定部を稼動させて、前記画像計測部と前記検査結果判定部の診断を行う検査精度診断ステップを有し、
   前記検査精度診断ステップは、
   前記被検査製品の検査の基準となる検査基準製品から光学系によって撮影された基準画像と、前記画像計測部によって前記基準画像から前記特性を計測して取得された基準計測値と、前記検査結果判定部によって前記基準計測値を前記判定閾値と比較して取得された基準判定結果とを互いに関係付けて、前記診断前に記憶部に記憶させるステップと、
   前記診断時に、前記画像計測部によって前記記憶部から読み出された前記基準画像から前記特性を計測して取得された診断用計測値が、前記基準画像に関係付けられた前記基準計測値に一致するか否かの判定と、前記診断時に、前記検査結果判定部によって前記診断用計測値を前記判定閾値と比較して取得された診断用判定結果が、前記基準画像に関係付けられた前記基準判定結果に一致するか否かの判定との少なくとも１つを行うステップと、
   前記診断時に、少なくとも1つの前記判定の結果が不一致なら、警告を表示部に表示するステップとを有することを特徴とする診断方法。
9. 前記診断時に、前記排出装置を稼動させて、前記排出装置の診断を行う検査動作診断ステップと、
   前記診断時に、前記光学系を稼動させて、前記光学系の診断を行う光学系診断ステップとの少なくともどちらか一方を有することを特徴とする請求項８に記載の診断方法。
10. 被検査製品を撮影した検査画像を生成する光学系と、
    前記検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部と、
    前記検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部と、
    前記検査用判定結果に応じて前記被検査製品を排出する排出装置とを有する検査装置において、
    前記検査装置の診断を行う診断時に、前記画像計測部と前記検査結果判定部を稼動させて、前記画像計測部と前記検査結果判定部の診断を行う検査精度診断部を備え、
    前記検査精度診断部は、
    前記被検査製品の検査の基準となる検査基準製品から光学系によって撮影された基準画像と、前記画像計測部によって前記基準画像から前記特性を計測して取得された基準計測値と、前記検査結果判定部によって前記基準計測値を前記判定閾値と比較して取得された基準判定結果とを互いに関係付けて、前記診断前に記憶する第１記憶部と、
    前記診断時に、前記画像計測部によって前記第１記憶部から読み出された前記基準画像から前記特性を計測して取得された診断用計測値が、前記基準画像に関係付けられた前記基準計測値に一致するか否かの判定と、前記診断時に、前記検査結果判定部によって前記診断用計測値を前記判定閾値と比較して取得された診断用判定結果が、前記基準画像に関係付けられた前記基準判定結果に一致するか否かの判定との少なくとも１つを行う第１判定部と、
    前記診断時に、少なくとも1つの前記判定の結果が不一致なら、警告を表示する第１表示部とを有することを特徴とする検査装置。
11. 前記診断時に、前記排出装置を稼動させて、前記排出装置の診断を行う検査動作診断部と、
    前記診断時に、前記光学系を稼動させて、前記光学系の診断を行う光学系診断部との少なくともどちらか一方を備えることを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。

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