JP4917981B2 - 検査方法及び検査方法を記録したプログラム記録媒体 - Google Patents
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Description
このプローブ装置10は、例えば図1に示すように、被検査体であるウエハWの搬送を行うローダ室11と、ローダ室11に隣接し、ローダ室11からのウエハWの電気的特性検査を行うプローバ室12とを備えている。プローバ室12は、ウエハWをロードしX、Y、Z及びθ方向に移動するメインチャック13と、メインチャック13の上方に配置されるプローブカード14と、プローブカード14とインサートリング15を介して電気的に接触するテストヘッドTと、プローブカード14のプローブ14Aとメインチャック13上のウエハWの電極パッドとのアライメントを行うアライメント機構16と、メインチャック13及びアライメント機構16を含む各種の構成機器を制御するコンピュータを主体とする制御装置17と、を備え、制御装置17の制御下でアライメント機構16が駆動して、メインチャック13上のウエハWとプローブカード14の複数のプローブ14Aとのアライメントを行った後、複数のプローブ14AとウエハWとを電気的に接触させてウエハWの高温検査または低温検査を行うように構成されている。
13 メインチャック(載置台)
13A 温調器(温度調節器)
17 制御装置(コンピュータ)
17A 制御部
W ウエハ(被検査体)
Claims (6)
- 検査装置の移動可能な載置台に被検査体を載置し、載置台に内蔵された温度調節器によって上記被検査体を目標温度に設定して上記被検査体の電気的特性検査を行う検査方法において、
上記被検査体を上記載置台に搬送する間、上記被検査体の品種データを読み取る工程と、
上記被検査体を品種データの読み取りにより上記被検査体の予め登録された上記被検査体の物性データ及び容積データに基づいて上記被検査体を上記載置台への載置前の温度から上記目標温度まで加熱または冷却するために必要な熱量を計算する工程と、
上記載置台に上記被検査体を載置する前に、上記温度調節器を介して上記目標温度に設定された上記載置台に上記必要な熱量を付与して上記載置台を加算制御する工程と、
を備えたことを特徴とする検査方法。 - 検査装置の移動可能な載置台に被検査体を載置し、載置台に内蔵された温度調節器によって上記被検査体を目標温度に設定して上記被検査体の電気的特性検査を行う検査方法において、
最初の被検査体の検査を行う時には、
上記被検査体を上記載置台に搬送する間、上記被検査体の品種データを読み取る工程と、
上記被検査体を品種データの読み取りにより上記被検査体の予め登録された上記被検査体の物性データ及び容積データに基づいて上記被検査体を上記載置台への載置前の温度から上記目標温度まで加熱または冷却するために必要な熱量を計算する工程と、
上記載置台に上記被検査体を載置する前に、上記温度調節器を介して上記目標温度に設定された上記載置台に上記必要な熱量を付与して上記載置台を加算制御する工程と、を備え、
また、二番目以降の被検査体の検査を行う時には、
直前の被検査体から得られた実測容積データ及び上記加算制御時の上記載置台から得られた温度プロファイルに基づいて上記被検査体を加熱または冷却するために必要な熱量を第2の加算制御量として計算する工程と、
上記載置台に上記二番目以降の被検査体を載置する前に、上記温度調節器を介して上記目標温度に設定された上記載置台に上記熱量を付与して上記載置台を加算制御する工程と、
を備えたことを特徴とする検査方法。 - 上記直前の被検査体の実測容量データは、上記直前の被検査体のアライメントを行って得られる上記被検査体の平面寸法及び厚みを用いて求められることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査方法。
- 上記温度プロファイルは、上記加算制御時に上記載置台からフィードバックされることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の検査方法。
- 上記被検査体を上記載置台に載置した後は、上記載置台の検出温度及び上記目標温度に基づいて上記載置台の温度を制御する工程を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の検査方法。
- コンピュータを駆動させて、検査装置の移動可能な載置台に被検査体を載置し、載置台に内蔵された温度調節器によって上記被検査体を目標温度に設定して上記被検査体の電気的特性検査を行う検査方法を実行するプログラムを記録したプログラム記録媒体であって、上記プログラムは、上記コンピュータを駆動させて、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の検査方法を実行することを特徴とするプログラム記録媒体。
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