JP4912056B2 - プローバ用チャック - Google Patents
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Description
32 絶縁部材
32A 導電層
32B ガード層
33 ヒータ
34 バックプレート
35 ガードリング
Claims (9)
- 載置されたウエハを保持するプローバ用チャックであって、
導電材料で作られ、前記ウエハが載置されるチャックトップと、
絶縁材料で作られ、前記チャックトップの底面を支持する絶縁部材と、
前記絶縁部材の下側に設けられ、内部に部材を収容するように構成され、少なくとも表面の一部が導電性であるバックプレートと、を備え、
前記絶縁部材は、上面に設けられた上面導電層と、下面に設けられた下面導電層と、を備え、
前記上面導電層と前記下面導電層は互いに絶縁されており、
前記上面導電層は前記チャックトップの底面に接触し、
前記下面導電層は、前記バックプレートの導電性の表面に接触することを特徴とするプローバ用チャック。 - 前記上面導電層及び前記下面導電層は、メッキ又はイオンプレーティングにより形成される請求項1に記載のプローバ用チャック。
- 前記絶縁部材は、酸化系の高純度アルミナ・セラミックス製である請求項1又は2に記載のプローバ用チャック。
- 当該プローバ用チャックの側面をリング状に覆い、前記バックプレートの導電性の表面に接続され、前記チャックトップからは絶縁されている導電性ガードリングを更に備える請求項1から3のいずれか1項に記載のプローバ用チャック。
- 載置されたウエハを保持するプローバ用チャックであって、
絶縁材料で作られ、上面に前記ウエハが載置されるチャックトップと、
導電材料で作られ、前記チャックトップの底面を支持する導電部材と、
前記導電部材の下側に設けられ、内部に部材を収容するように構成され、少なくとも表面の一部が導電性であるバックプレートと、を備え、
前記チャックトップは、下面に設けられた下面導電層を備え、
前記下面導電層は、前記導電部材の表面に接触することを特徴とするプローバ用チャック。 - 前記チャックトップは、上面に設けられた上面導電層を備える請求項5に記載のプローバ用チャック。
- 前記上面導電層及び前記下面導電層は、メッキ又はイオンプレーティングにより形成される請求項6に記載のプローバ用チャック。
- 前記チャックトップは、酸化系の高純度アルミナ・セラミックス製である請求項5から7のいずれか1項に記載のプローバ用チャック。
- 当該プローバ用チャックの側面をリング状に覆い、前記導電部材に接続され、前記チャックトップの前記上面導電層からは絶縁されている導電性ガードリングを更に備える請求項6又は7に記載のプローバ用チャック。
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