JP4909373B2 - フォーカス光学系および光ディスク原盤露光装置 - Google Patents
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Description
光変調部により変調または偏光された出射光を、光ディスクに対して集光させる対物レンズと、
光ディスクよりの反射光を、出射光の光路より分岐する光路分岐部と、
集光レンズと、シリンドリカルレンズと、互いに直交する分割線上に不感帯が配置された4分割ディテクタとを有し、光路分岐部より分岐された反射光を、集光レンズおよびシリンドリカルレンズを介して非点収差法を用いて4分割ディテクタに受光させる非点収差光学系と、
4分割ディテクタでの反射光の検知結果に基づいて、対物レンズを介して光ディスク上に集光された出射光のスポット形状が所定の合焦点形状に近づくように、対物レンズの位置を調整するレンズ駆動装置とを備え、
非点収差光学系において、4分割ディテクタ上に現れる反射光の干渉縞を不感帯に重ねるように、非点収差光学系の光軸に対して4分割ディテクタが位置決めされるとともに、シリンドリカルレンズの円柱軸が、4分割ディテクタの分割線に対して45度傾斜して配置されるように、非点収差光学系の光軸に対してシリンドリカルレンズが位置決めされている、光ディスクフォーカス光学系を提供する。
光ディスクは、記録層が配置された光ディスク原盤であって、
記録すべき情報に応じて光変調部により変調または偏光が施された出射光を、光ディスク原盤の記録層に対して対物レンズを介して集光させて露光し、光ディスク原盤の記録層に情報が記録される、光ディスク原盤露光装置を提供する。
図1および図3に示す本実施形態のフォーカス光学系の構成を光ディスク原盤露光装置20に適用した実施例について説明する。
2 パワーコントロール用光変調素子
3 光変調部
4 ビーム成形部
5、12、16 ミラー
6、8 ハーフミラー
7 ビームモニタ光学系
7a 凸レンズ
7b CCDディテクタ
9 ダイクロイックミラー
10 アクチュエータ
10a 対物レンズ
11 光ディスク原盤
11a レジスト層
11b ガラス原盤
13 非点収差光学系
13a 凸レンズ
13b シリンドリカルレンズ
13c 4分割ディテクタ
17 補助フォーカスサーボ光学系
20 光ディスク原盤露光装置
21 不感帯
22 回転駆動装置
23 移動装置
M 反射ビームのスポット
M1 干渉縞
Claims (4)
- 光源からの出射光に対して変調または偏光を施す光変調部と、
光変調部により変調または偏光された出射光を、光ディスクに対して集光させる対物レンズと、
光ディスクよりの反射光を、出射光の光路より分岐する光路分岐部と、
集光レンズと、シリンドリカルレンズと、互いに直交する分割線上に不感帯が配置された4分割ディテクタとを有し、光路分岐部より分岐された反射光を、集光レンズおよびシリンドリカルレンズを介して非点収差法を用いて4分割ディテクタに受光させる非点収差光学系と、
4分割ディテクタでの反射光の検知結果に基づいて、対物レンズを介して光ディスク上に集光された出射光のスポット形状が合焦点形状に近づくように、対物レンズの位置を調整するレンズ駆動装置とを備え、
非点収差光学系において、4分割ディテクタ上に現れる反射光の干渉縞を不感帯に重ねるように、非点収差光学系の光軸に対して4分割ディテクタが位置決めされるとともに、シリンドリカルレンズの円柱軸が、4分割ディテクタの分割線に対して45度傾斜して配置されるように、非点収差光学系の光軸に対してシリンドリカルレンズが位置決めされている、光ディスクフォーカス光学系。 - 非点収差光学系において、シリンドリカルレンズおよび4分割ディテクタを、光軸を中心に回転させる回転駆動装置をさらに備える、請求項1に記載の光ディスクフォーカス光学系。
- 非点収差光学系において、光軸に直交する平面内にて互いに直交する第1および第2の方向と、光軸と平行な第3の方向とに、シリンドリカルレンズおよび4分割ディテクタを移動させる移動装置をさらに備える、請求項1に記載の光ディスクフォーカス光学系。
- 請求項1から3のいずれか1つに記載の光ディスクフォーカス光学系を備え、
光ディスクは、記録層が配置された光ディスク原盤であって、
記録すべき情報に応じて光変調部により変調または偏光が施された出射光を、光ディスク原盤の記録層に対して対物レンズを介して集光させて露光し、光ディスク原盤の記録層に情報が記録される、光ディスク原盤露光装置。
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