JP4909253B2 - センサモジュールの検査方法、及び、センサモジュール検査装置 - Google Patents
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Description
つまり、基準センサを保持部と一体に設ける代わりに、検査の対象となるセンサモジュール(以下、被検査モジュールという)に備えられているセンサ(以下、被測定センサという)の検出軸が筐体側基準面に対してあるべき方向(以下、基準方向という)と一致するように被測定センサの数と同じだけ筐体に内設されたセンサ(以下、マスタセンサという)を用いて行う方法である。なお、マスタセンサとしては、例えば第一のセンサモジュールの検査方法によって検査に合格(パス)した被保持モジュール(センサモジュール)に備えられているセンサを採用すればよい。
<センサモジュール>
図1は、センサモジュール検査装置の検査対象となるセンサモジュールの斜視図である。
次に、図2(a)は、本発明が適用されたセンサモジュール検査装置の構成を示すブロック図、図2(b)は、当該装置を模式的に表して各構成要素の配置を示す模式図である。なお、センサモジュール検査装置1は、センサモジュール10の検査を行うための装置であり、本実施形態では、センサモジュール10の生産ラインに設けられている。
ここで、制御部7が実行するセンサモジュール検査処理を、図3に示すフローチャートに沿って詳しく説明する。なお、本処理は、操作部5を介して本処理を開始するための操作指令が入力されたことを検知すると起動され、本処理を終了するための操作指令が入力されるまで繰り返し実行される。
続くS130では、各基準センサ6a〜6cからの出力電圧の測定と、保持部2に保持されているセンサモジュール10の筐体側コネクタ部15から装置側コネクタ部3を介して、各センサ11〜13からの出力電圧の測定を開始し、この測定により得られた両者の出力電圧のデータ(以下、測定データという)を順次RAMに記憶する。
S140では、S135で算出した測定誤差を、予め設定された測定時間監視すると共に、この測定時間内に予め設定された閾値を超える測定誤差を検出したか否かを判断し、肯定判断した場合にはS150に進み、否定判断した場合にはS160に進む。
以上説明したように、本実施形態のセンサモジュール検査装置1では、各基準センサ6a〜6cが、保持部2の装置側基準面2a及びチャック面2bのそれぞれに対して直交する軸(基準軸)と一致する検出軸を有した状態で保持部2と一体に設置され、駆動部4が保持部2を立体的に移動させている間に、センサモジュール10の各センサ11〜13及び各基準センサ6a〜6cからの出力電圧を測定している。
以上、本発明の実施形態の参考となる実施形態について説明したが、本発明は以下のように実施することが可能である。
また、上記実施形態では、センサモジュール10が二軸のGセンサと一軸のヨーセンサで構成されているが、これに限らず、センサモジュール10に備えられるセンサの種類(Gセンサ又はヨーセンサ)と検出軸の数(一軸〜三軸)との組合せのバリエーションが考えられる。そして、センサモジュール検査装置1が、これらのバリエーションに対応した基準センサを備えるようにすればよい。或いは、これらの組合せに対応したマスタセンサを備えるマスタモジュールを用いた方法を採用すればよい。
Claims (1)
- 互いに直交する二つ又は三つの検出軸方向の加速度を検出するセンサを少なくとも一つ備えたセンサモジュールを内包する筐体の一つの外面を筐体側基準面として、該筐体側基準面を、予め設定された装置側基準面に当接させた状態に該筐体を保持する保持部と、該保持部を立体的に移動させるための動作を行う複数のモータを有する駆動部と、検査の対象となるセンサモジュールを被検査モジュール、被検査モジュールに備えられている前記センサを被測定センサとして、前記筐体側基準面が前記装置側基準面に当接された状態で前記保持部により保持された前記被測定センサからの出力を取得する出力取得手段とを備えたセンサモジュール検査装置を用いるセンサモジュールの検査方法であって、
前記センサ、前記センサモジュール、前記筐体とそれぞれ同一構造であり、相互の配置関係が同一であり、全体構造も同一であるマスタセンサ、マスタセンサモジュール、マスタ筐体であって、前記マスタ筐体の外面のうち前記筐体側基準面に対応する外面をマスタ筐体側基準面として、
前記マスタ筐体側基準面が前記装置側基準面に当接するように、前記マスタセンサモジュールが内包された前記マスタ筐体を前記保持部に保持させる第一保持工程と、
前記第一保持工程後に、前記駆動部に前記保持部を予め規定された前記複数のモータの駆動動作によって立体的に移動させ、前記出力取得手段を介して取得した前記マスタセンサからの出力を記憶する記憶工程と、
前記筐体側基準面が前記装置側基準面に当接するように、前記被測定センサモジュールが内包された前記筐体を前記保持部に保持させる第二保持工程と、
前記第二保持工程後に、前記駆動部に前記保持部を前記駆動動作と同じ駆動動作によって立体的に移動させ、前記出力取得手段を介して前記被測定センサからの出力を取得する出力取得工程と、
前記出力取得工程で取得した前記被測定センサからの出力と、前記記憶工程で記憶した前記マスタセンサからの出力との出力差が、予め設定された閾値以内であるか否かによって、前記被検査モジュールの合否を判定する判定工程と、
を備えることを特徴とするセンサモジュールの検査方法。
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JP2001305156A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサの特性測定装置とこれを用いた加速度センサの特性選別方法 |
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DE112005002094T5 (de) | 2004-08-31 | 2007-07-26 | Kelsey-Hayes Co., Livonia | Verfahren zur Korrektur von Montageversatz bei einem Trägheitssensor |
JP4534741B2 (ja) * | 2004-12-10 | 2010-09-01 | 株式会社デンソー | ジャイロセンサ |
DE102005033237B4 (de) * | 2005-07-15 | 2007-09-20 | Siemens Ag | Verfahren zur Bestimmung und Korrektur von Fehlorientierungen und Offsets der Sensoren einer Inertial Measurement Unit in einem Landfahrzeug |
JP2007178402A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Toyota Industries Corp | センサーユニット検査装置 |
US7398704B2 (en) * | 2006-01-04 | 2008-07-15 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Sensor assembly and method of assembling a sensor module in a transmission |
JP2007198789A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Sharp Corp | 加速度センサの試験装置および試験方法 |
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JP2009002735A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Epson Toyocom Corp | 角速度検出装置 |
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