JP2009002735A - 角速度検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】角速度を高精度に検出する角速度検出装置を提供する。
【解決手段】角速度検出装置10は、角速度の検出軸となる第1検出軸および第2検出軸を備え、第1検出軸および第2検出軸が互いに交差してなるセンサ部12と、第1検出軸回りの角速度の検出出力と第2検出軸回りの角速度の検出出力とをそれぞれオフセット調整および感度調整するセンサ出力補正回路20と、第1検出軸および第2検出軸のうちいずれか一方の検出軸における角速度の回転方向の符号を求める符号判定回路30と、センサ出力補正回路20が出力した第1検出軸および第2検出軸回りの角速度の検出出力を2乗和平均した結果と、符号判定回路30が出力した符号とを乗算する振幅演算回路32とを備えている。また角速度検出装置10は、バンク角度を求める位相演算回路42を備えている。
【選択図】図1
【解決手段】角速度検出装置10は、角速度の検出軸となる第1検出軸および第2検出軸を備え、第1検出軸および第2検出軸が互いに交差してなるセンサ部12と、第1検出軸回りの角速度の検出出力と第2検出軸回りの角速度の検出出力とをそれぞれオフセット調整および感度調整するセンサ出力補正回路20と、第1検出軸および第2検出軸のうちいずれか一方の検出軸における角速度の回転方向の符号を求める符号判定回路30と、センサ出力補正回路20が出力した第1検出軸および第2検出軸回りの角速度の検出出力を2乗和平均した結果と、符号判定回路30が出力した符号とを乗算する振幅演算回路32とを備えている。また角速度検出装置10は、バンク角度を求める位相演算回路42を備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、角速度検出装置に関するものである。
移動体が移動している最中の挙動を高精度に検出して、ナビゲーションシステムや安全装置、移動データ収集装置等に利用するには、この移動体のヨー角およびバンク(ロール)角を求める必要がある。ヨー角を求めるには、ジャイロセンサを用いることが一般的であるが、移動体の種類によっては正確なヨー角を得ることができない場合があった。例えば、移動体が二輪車である場合には、ジャイロセンサを二輪車の車体に固定することになるが、二輪車がバンクすることによって角速度の検出軸が傾いてしまい、二輪車の正確なヨー角を得ることができなかった。
このように走行時にロール角が大きく変化する二輪車等の場合には、ヨー角に対するロール角の影響が無視できないため、このヨー角を高精度に検出する必要がある。このために特許文献1に開示されたナビゲーション装置では、2つの音叉型のジャイロセンサを用いることにより、ロール角が変化しても旋回角速度を測定できるようにしている。すなわちナビゲーション装置は、移動体の正立状態における垂直な方向に対して左右方向に、且つ、各ジャイロセンサの検出軸を互いに逆方向に同一角度を傾けて左右対称にして、ジャイロセンサを設置している。そしてナビゲーション装置は、移動体が傾いたときに、各ジャイロセンサから出力する信号の変化を得て、これの演算を行うことによりロール角を求め、さらにこのロール角を用いて旋回角速度を求めている。
特開2006−126178号公報
しかしながら前述した特許文献1に記載された発明(以下「文献1発明」という。)は、ジャイロセンサを傾斜させて移動体に搭載した場合、ジャイロセンサの検出軸を移動体の垂直方向から傾けて使用することになり、角速度の変化に対する検出感度能力を犠牲にすることになってしまう。すなわち図9に1つのジャイロセンサの感度と傾き角度との関係を示すように、ジャイロセンサの検出軸の傾き角度が大きくなると、ジャイロセンサの検出感度が落ちることになる。そして特に、ジャイロセンサが音叉型の場合では、駆動腕および検出腕がそれぞれ1本づつしか存在しないので、検出感度がもともと低くなっている。このため文献1発明は、2つのジャイロセンサ間の傾き角を大きく設定することは、検出感度の点から難しくなっている。
一方、音叉型のジャイロセンサを高感度にするには、ジャイロセンサの駆動腕および検出腕(振動腕)を長くする方法がある。しかし、この方法では、ジャイロセンサが大型になってしまい、また音叉型ジャイロセンサの角速度検出軸が振動腕の延長方向であるから、文献1発明では、ナビゲーション装置自体の高背化(大型化)を避けることができない。また音叉型のジャイロセンサを高感度にするには、ゲインを上げる(信号の増幅率を上げる)ことによっても可能であるが、この場合、ノイズ信号も増幅されるので信号/雑音(S/N)比の悪化により検出精度の低下を招いてしまうおそれがある。
また文献1発明は、2つのジャイロセンサが同一感度でなければならなかったり、移動体の正立状態においてジャイロセンサを左右対称に配設しなければならなかったりする。このため各ジャイロセンサの感度に差が有ると、この感度差は旋回角速度の誤差となり、ナビゲーション装置の精度が劣る原因になる。またジャイロセンサの構造設計上、直立や水平にセンサを配設することは比較的容易であるが、ある角度で左右対称に配設しなければならない場合では、取り付けられる土台等を工夫しなければならないので、製造コストが高くなってしまう。
本発明は、角速度を高精度に検出する角速度検出装置を提供するものを目的とする。
本発明に係る角速度検出装置は、角速度の検出軸となる第1検出軸および第2検出軸を備え、第1検出軸および第2検出軸が互いに交差してなるセンサ部と、第1検出軸回りの角速度の検出出力と第2検出軸回りの角速度の検出出力とをそれぞれオフセット調整および感度調整するセンサ出力補正回路と、第1検出軸および第2検出軸のうちいずれか一方の検出軸における角速度の回転方向の符号を求める符号判定回路と、センサ出力補正回路が出力した第1検出軸および第2検出軸回りの角速度の検出出力を2乗和平均した結果と、符号判定回路が出力した符号とを乗算する振幅演算回路とを備えたことを特徴としている。センサ部の出力信号をセンサ出力補正回路でオフセット調整および感度調整しているので、第1角速度センサと第2角速度センサとで同じ感度のものを用いなくてもよい。またセンサ部の出力を演算することにより、重力加速度方向と第1検出軸および第2検出軸とのなす角度が同じでなくてもよい。以上より、角速度検出装置の誤差を少なくでき、角速度を高精度に検出できる。
前述したセンサ部は、第1検出軸回りの角速度を検出する第1角速度センサと、第2検出軸回りの角速度を検出する第2角速度センサと備え、重力加速度方向と第1検出軸とのなす角度θ1と、重力加速度方向と第2検出軸とのなす角度θ2とがθ1=−θ2の関係を満たすよう、第1角速度センサおよび第2角速度センサを配設したことを特徴としている。これにより各角速度センサを傾斜させれば、第1検出軸と第2検出軸を交差させることができる。そして重力加速度方向に対して角速度の検出範囲を広げることができる。
また前述した角速度センサはダブルT型ジャイロセンサであり、ダブルT型ジャイロセンサは、基部と、基部の互いに対向する位置からそれぞれ延設した検出腕と、基部から延設し、且つ、検出腕に対して平行に配設した駆動腕とを備えたことを特徴としている。ダブルT型ジャイロセンサは、駆動腕が4本、検出腕が2本存在しているので検出感度を高くできる。よって第1検出軸および第2検出軸と重力加速度とのなす角度θ1,θ2を大きくしても、センサ部に加わる角速度の検出能力を維持できる。また検出感度の向上により、ゲインを上げる必要がなくなり、角速度検出装置自体が大型化することを防止できる。
また本発明に係る角速度検出装置は、第1検出軸と第2検出軸とのなす角度は90°±2°であることを特徴としている。これによりセンサ部の傾斜(ロール角度)が大きくなっても、センサ部に加わる角速度(ヨー角度)の検出能力を維持できる。またロール角度およびヨー角度の得る演算が簡単になるので、演算処理速度を高速にできる。
また本発明に係る角速度検出装置は、振幅演算回路の後段に制御回路が接続してあり、制御回路は、振幅演算回路から乗算結果と複数の物理量センサの出力結果とを入力して乗算結果と出力結果とを比較し、乗算結果と出力結果とが合致しないときに、これらの結果を合致させるオフセット調整係数または感度調整係数をセンサ出力補正回路に出力してなることを特徴としている。これにより振幅演算回路の出力にズレがあったとしても、このズレを修正する調整係数をセンサ出力補正回路が入力して、各調整係数を書き換えるので、ズレを抑えることができる。
また本発明に係る角速度検出装置は、センサ出力補正回路が出力した第1検出軸回りの角速度の検出出力ω1’および第2検出軸回りの角速度の検出出力ω2’を入力して、
の演算を行い、バンク角θを求めるバンク角演算回路を備えたことを特徴としている。角速度検出装置は、センサ部がバンクした場合でも、入力される角速度の軸が一定であるので、バンク角θを求めることができる。これによりバンク角検出装置を備えた角速度検出装置を得ることができる。
また本発明に係る角速度検出装置は、センサ出力補正回路が出力した第1検出軸回りの角速度の検出出力および第2検出軸回りの角速度の検出出力を入力して、予め設定してあるしきい値と各検出出力とをそれぞれ比較し、またはバンク角演算回路が演算したバンク角の出力と予め設定してあるしきい値とを比較し、それぞれの出力がしきい値より以上であれば故障と診断するセンサ故障診断回路を備えたことを特徴としている。これによりセンサ部に故障が発生すれば、この故障を検出できる。
また本発明に係る角速度検出装置は、移動体にセンサ部を配設し、移動体の直進方向に直交して第1検出軸および第2検出軸を配設したことを特徴としている。これにより角速度検出装置は、移動体のヨー角を高精度に得ることができる。また移動体のロール角度が大きい状態であっても、ヨー角を得ることができる。さらに角速度検出装置は、移動体のロール角を得ることができるので、移動体の移動状態を得ることができる。
以下に、本発明に係る角速度検出装置の実施形態について説明する。図1は角速度検出装置のブロック図である。角速度検出装置10は、センサ部12、センサ出力補正回路20、符号判定回路30、振幅演算回路32、バンク角演算回路40、センサ故障診断回路44および制御回路50を備えている。これらの回路等の概略構成は、次のようになっている。センサ部12は、角速度の検出軸となる第1検出軸および第2検出軸を備えており、第1検出軸および第2検出軸が互いに交差している。センサ出力補正回路20は、センサ部12が出力した第1検出軸回りの角速度の検出出力と、第2検出軸回りの角速度の検出出力とを、それぞれオフセット調整および感度調整している。
符号判定回路30は、センサ出力補正回路20が出力した第1検出軸回りの角速度の検出出力および第2検出軸回りの角速度の検出出力のうち、いずれか一方の検出軸における角速度の回転方向の符号を求めている。振幅演算回路32は、センサ出力補正回路20が出力した第1検出軸回りの角速度の検出出力と第2検出軸回りの角速度の検出出力とを2乗和平均演算して、この2乗和平均した結果と符号判定回路30が出力した符号とを乗算している。バンク角演算回路40は、センサ出力補正回路20が出力した第1検出軸回りの角速度の検出出力および第2検出軸回りの角速度の検出出力を入力して演算を行うことによりバンク角を求めている。センサ故障診断回路44は、センサ部12の故障の有無を診断している。
制御回路50は、振幅演算回路32、バンク角演算回路40およびセンサ故障診断回路44の後段に接続している。この制御回路50は、振幅演算回路32、バンク角演算回路40およびセンサ故障診断回路44から演算結果等を入力するともに、センサ部12以外の他の物理量センサが出力した測定結果を入力して、振幅演算回路32の出力結果を他の物理量センサの測定結果と比較している。そして制御回路50は、振幅演算回路32の出力結果にズレがあるときに、このズレを無くすように修正したオフセットまたは感度の調整係数をセンサ出力補正回路20に出力している。
次に、角速度検出装置10の詳細について説明する。まずセンサ部12は、第1検出軸回りの角速度を検出する第1角速度センサ14、および第2検出軸回りの角速度を検出する第2角速度センサ16を備えている。各角速度センサ14,16は、検出軸回りの角速度を検出できるものであればよいが、例えばダブルT型ジャイロセンサを用いることができる。この角速度センサの一例であるダブルT型ジャイロセンサは、次のようになっている。
図2はダブルT型ジャイロセンサの概略斜視図である。ダブルT型ジャイロセンサ60は、水晶を用いており、水晶結晶のx軸(電気軸)およびy軸(機械軸)で形成されるxy平面で切り出されたZカット水晶基板から形成されている。この水晶基板の主面が、ダブルT型ジャイロセンサ60の主面になっている。なおxy平面の垂直方向が水晶結晶のz軸(光学軸)になっている。
そしてダブルT型ジャイロセンサ60は、xy平面内において、矩形状の基部62を有している。この基部62には、xy平面内において、y軸に平行な各端辺の中央からx軸に平行な方向に延びた連結腕64が設けてある。また各連結腕64の先端付近からは、xy平面内において、y軸に平行な方向に延びた駆動腕66が延設している。そして各駆動腕66の先端には、この駆動腕66よりもx軸方向の幅を広くした矩形状の錘部68が駆動腕66と一体になって設けてある。また基部62には、xy平面内において、x軸に平行な各端辺の中央からy軸に平行な方向に延びた検出腕70が設けてある。これにより検出腕70と駆動腕66は、互いに平行になっている。そして各検出腕70の先端には、この検出腕70よりもx軸方向の幅を広くした矩形状の錘部72が検出腕70と一体になって設けてある。
このような駆動腕66および検出腕70の主面には、これらの腕66,70の長さ方向に沿った溝74が設けてある。この溝74の内面全体に駆動電極用または検出電極用の金属膜を設けることにより、駆動腕66および検出腕70のzy平面に平行する面に形成した駆動電極(図示せず)または検出電極(図示せず)と溝74に設けた電極(図示せず)との間に効率良く電界を発生させることができるので、ダブルT型ジャイロセンサ60の小型化を可能にしている。すなわちダブルT型ジャイロセンサ60は、水晶デバイスのMEMSになっている。なお前記駆動電極は各駆動腕66に設けてあり、前記検出電極は各検出腕70に設けてある。前記駆動電極および前記検出電極は、基部62の裏面に設けた振動片側マウント電極(図示せず)と1対1に接続している。この振動片側マウント電極は、ダブルT型ジャイロセンサ60がパッケージに収容されたときに、パッケージ側の電極との接続する箇所(後述する中間基板のリードとの接続する箇所)になる。このようなダブルT型ジャイロセンサ60は、角速度の検出軸がこのセンサ60の主面に対して垂直方向(z軸に沿った方向)になっているので低背構造となり、また駆動腕66が4本、検出腕70が2本存在しているので、検出感度が高くなっている。
そしてダブルT型ジャイロセンサ60では、前記振動片側マウント電極を介して発振回路から前記駆動電極に電気信号(ドライブ信号)を供給すると、駆動腕66が対称的に屈曲振動(駆動振動)する。すなわち図2の左側に示す駆動腕66と右側に示す駆動腕66とが、ダブルT型ジャイロセンサ60の重心を通るy軸に平行な線に対して線対称の振動をする。このような駆動振動をダブルT型ジャイロセンサ60が行っているときに、z軸回りの角速度が加えられると駆動腕66にはy軸方向のコリオリ力が働くことになる。そして、コリオリ力の影響を受けて検出腕70が屈曲振動(検出振動)するので、出力信号Vが前記検出電極を介して前記振動片側マウント電極から出力する。
このようなダブルT型ジャイロセンサ60は、パッケージに収容されている。図3はパッケージに収容されたダブルT型ジャイロセンサの斜視図である。なお図3では、蓋体およびリードの記載を省略している。ダブルT型ジャイロセンサ60は、パッケージ80に収容されたときに、中間基板86の上方に配設してあればよい。この中間基板86には、中央部にデバイスホール88が設けてある。そして中間基板86の下面または中間層に複数のリード(リード電極)が設けてあり、このリードの先端側がデバイスホール88内に突き出ている。この突き出た部分は上方に折り曲げられており、この先端部にダブルT型ジャイロセンサ60の基部62が接合している。なおリードの先端部とダブルT型ジャイロセンサ60に設けた前記各振動片側マウント電極とが1対1に接続している。
また図3に示すパッケージ80は、上方に向けて開口した凹陥部84を備えたパッケージベース82と、パッケージベース82の上面に接合して凹陥部84を封止する蓋体を備えている。このパッケージベース82の凹陥部84は、前記発振回路等を備えた集積回路(IC)チップ(図示せず)や、ダブルT型ジャイロセンサ60が接合している中間基板86を搭載するようになっている。すなわち前記ICチップは、凹陥部84内の底面に搭載すればよい。またダブルT型ジャイロセンサ60が接合した中間基板86は、ダブルT型ジャイロセンサ60を上方に向けるとともに、前記ICチップの上方に位置するよう凹陥部84に配設すればよい。これによりダブルT型ジャイロセンサ60と前記ICチップが導通するとともに、パッケージベース82の裏面に設けた外部端子(図示せず)と前記ICチップが導通する。そしてパッケージベース82の上面(表面)に蓋体を接合して、ダブルT型ジャイロセンサ60等を真空封止している。
そしてセンサ部12は、第1角速度センサ14の第1検出軸と第2角速度センサ16の第2検出軸とが交差するように、各角速度センサ14,16を配設している。図4は第1角速度センサおよび第2角速度センサを傾斜させて配設したときの説明図である。センサ部12では、第1角速度センサ14の検出軸Z1が、図4において破線で示す重力加速度の方向に対してなす角度θ1傾斜するとともに、第2角速度センサ16の検出軸Z2が、重力加速度の方向に対してなす角度θ2傾斜するように、各角速度センサ14,16を傾けて配設してある。ここでθ1とθ2は、θ1=−θ2の関係を満たすようになっている。またセンサ部12は、移動体に配設された場合、移動体の直進方向(図4に示す場合では+Y方向)に対して直交する方向、すなわちY軸に対して互いに直交するX軸とZ軸で形成されるXZ平面内に、第1検出軸および第2検出軸を配置するように、各角速度センサ14,16を配設している。なおセンサ部12は、第1検出軸と第2検出軸の間に、移動体に対して垂直方向の軸(移動体のヨー角を検出する軸)を配設するように各角速度センサ14,16を配設していればよく、例えば前述した重力加速度方向と移動体のヨー角を検出する軸とを一致させてもよい。
そして角速度センサ14,16としてダブルT型ジャイロセンサ60を用いると、前述したように、角速度センサ14,16が低背構造でありながら、検出感度が高くなっているので、音叉型のジャイロセンサと比較して検出軸の傾斜角を大きく設定しても角速度の検出能力を維持できる。したがって第1検出軸および第2検出軸と重力加速度方向とのなす角度θ1,θ2を、0°より大きく90°未満の広範囲から適宜選択することが可能であり、ロール角を検出する上でより適切ななす角度を選択することが可能である。なお、なす角度θ1,θ2が45°よりも小さい場合、ロール角が大きくなるにつれて角速度の検出能力が極端に低くなってしまう。したがって、より適切ななす角度θ1,θ2として45°に設定すればよい。
図5はなす角度θ1,θ2が45°のときの角速度の検出感度の高さを示す図である。なす角度θ1,θ2を45°に設定すれば、例えばなす角度が44°未満の場合と比較して重力加速度方向(Z軸方向)の検出感度は多少低くなるものの、ロール角度が大きいときの検出能力を高く確保できる。特に、センサ部12が配設される移動体が二輪車等の場合では、移動体がバンクしつつ旋回するので、ロール角度が大きい状態での検出能力を維持することが望まれる。したがって、このような場合に、移動体のヨー角を検出する軸と、第1角速度センサ14および第2角速度センサ16のなす角度θ1,θ2を45°に設定することが最適になる。また、なす角度θ1,θ2を45°に設定した場合は、ロール角度およびヨー角度の算出が簡単になるので、この算出処理速度を高速化して、すばやく移動体の移動状態を得ることが可能になる。なお、なす角度θ1,θ2を45°に設定した場合は、各角度の公差をそれぞれ±1°とすることができる。よってセンサ部12は、第1検出軸Z1が第2検出軸Z2に対して90°±2°傾いていれば、ロール角度が大きいときの検出能力を確保できる。
このようなセンサ部12では、第1角速度センサ14が出力信号V1を出力しており、第2角速度センサ16が出力信号としてV2を出力している。なおV1,V2は、電圧の信号になっている。
そしてセンサ出力補正回路20は、図1に示すように、センサ部12の後段に接続している。このセンサ出力補正回路20は、オフセット調整回路22,24および感度調整回路26,28を備えており、これらの調整回路22〜28が第1,第2角速度センサ14,16の後段にそれぞれ接続している。オフセット調整回路(第1オフセット調整回路22および第2オフセット調整回路24)は、角速度センサ14,16の後段に接続しており、角速度センサ14,16の出力をオフセット調整している。そして第1オフセット調整回路22は、数式3に示す演算を行うものであり、第1角速度センサ14の出力V1にオフセット調整係数B1を加算することによりオフセット調整して、調整結果V1’’を出力している。
また第2オフセット調整回路24は、数式4に示す演算を行うものであり、第2角速度センサ16の出力V2にオフセット調整係数B2を加算することによりオフセット調整して、調整結果V2’’を出力している。
したがってオフセット調整回路22,24は、前述したように角速度センサ14,16の出力にオフセット調整係数を加算できる回路であればよく、具体的な一例としては図6(A)に示す加算回路であってもよい。
また感度調整回路(第1感度調整回路26および第2感度調整回路28)は、図1に示すように、オフセット調整回路22,24の後段に接続しており、角速度センサ14,16の出力を感度調整している。そして第1感度調整回路26は、数式5に示す演算を行うものであり、第1オフセット調整回路22の出力V1’’から静止時出力電圧(基準電圧)Vrefを減算した値に、感度調整係数A1をスケールファクタ(角速度感度)S1[mV/(deg./s)]で除算した値を乗算して、調整結果ω1’を出力している。
なお静止時出力電圧は、角速度センサ14,16に角速度が加わっていない時における、この角速度センサ14,16の出力信号の値である。
また第2感度調整回路28は、数式6に示す演算を行うものであり、第2オフセット調整回路24の出力V2’’から静止時出力電圧Vrefを減算した値に、感度調整係数A2をスケールファクタS2で除算した値を乗算して、調整結果ω2’を出力している。
したがって感度調整回路26,28は、前述したようにオフセット調整結果から基準電圧を減算した値に、感度調整係数をスケールファクタで除算した値を乗算できる回路であればよく、具体的な一例としては図6(B)に示す乗算回路であってもよい。
またセンサ出力補正回路20は、図1に示すように、制御回路50の出力信号を入力するようになっている。すなわち第1オフセット調整回路22は、オフセット調整係数B1を制御回路50から入力するようになっており、第2オフセット調整回路24は、オフセット調整係数B2を制御回路50から入力するようになっている。また第1感度調整回路26は、感度調整係数A1を制御回路50から入力するようになっており、第2感度調整回路28は、感度調整係数A2を制御回路50から入力するようになっている。そして各オフセット調整回路22,24および各感度調整回路26,28は、制御回路50から新たな調整係数を入力すると、自己が記憶している調整係数を書き換えて、新たな調整係数を用いてオフセット調整や感度調整を行うようになっている。
このようなセンサ出力補正回路20の後段に符号判定回路30、振幅演算回路32、バンク角演算回路40およびセンサ故障診断回路44が接続している。符号判定回路30は、第1感度調整回路26および第2感度調整回路28のいずれか一方に接続している。図1に示す場合、符号判定回路30は、第1感度調整回路26に接続している。そしてこの場合、符号判定回路30は、第1感度調整回路26の出力ω1’の符号を求め、この結果sign(ω1’)を振幅演算回路32に出力している。
なお角速度センサ14,16は、これの検出軸が上方を向いている場合に、検出軸に対して時計回りの回転が加わるとCWと検出し、検出軸が下方を向いている場合に、検出軸に対して時計回りの回転が加わるとCCWを検出するようになっている。このため第1角速度センサ14の第1検出軸と、第2角速度センサ16の第2検出軸が直交している場合には、第1角速度センサ14が検出するCWまたはCCWと、第2角速度センサ16が検出するCWまたはCCWとの組合せを読み取ることにより、何処の方向の検出軸から、どのような角速度が加わっているのか判別することができる。したがって符号判定回路30は、第1感度調整回路26および第2感度調整回路28に接続すれば、何処の方向の検出軸から、どのような角速度が加わっているのか判別することが可能となる。
振幅演算回路32は、2乗和平均回路34と乗算回路36を備えている。2乗和平均回路34は、第1感度調整回路26および第2感度調整回路28に接続しており、これらの感度調整回路26,28の出力ω1’,ω2’を入力するようになっている。この2乗和平均回路34は、数式7に示す演算を行うものであり、第1感度調整回路26の出力ω1’と第2感度調整回路28の出力ω2’をそれぞれ2乗したものを加算するとともに、加算した結果の平方根を演算して、演算結果|ω0’|を出力している。
そして2乗和平均回路34は、数式7に示す演算をできる回路であればよく、具体的な一例としては図7に示す回路であってもよい。この図7に示す2乗和平均回路34は、第1感度調整回路26および第2感度調整回路28の後段にそれぞれアナログ乗算回路90を備えている。このアナログ乗算回路90は、例えばAD633乗算器であればよい。そして、これらのアナログ乗算回路90の前段では、感度調整回路26,28の出力をそれぞれX1とY1の二手に分けており、アナログ乗算回路90でX1とY1を乗算している。したがってアナログ乗算回路90では、ω1’×ω1’の演算、ω2’×ω2’の演算を行っている。このアナログ乗算回路90の後段に和算回路92が接続している。この和算回路92は、各アナログ乗算回路90で演算した結果を入力して、これらを加算している。この和算回路92の後段に2乗根回路94が接続している。2乗根回路94は、和算回路92の演算結果を入力して、これの平方根を演算している。この平方根の演算結果が2乗和平均回路34の出力|ω0’|となる。
そして振幅演算回路32を構成する乗算回路36は、図1に示すように、2乗和平均回路34に接続している。この乗算回路36は、数式8に示す演算を行うものであり、2乗和平均回路34の出力|ω0’|と、符号判定回路30の出力sign(ω1’)を入力して乗算し、その結果ω0’を出力している。
この乗算回路36の結果ω0’は振幅演算回路32の出力となり、この出力ω0’が移動体に対して垂直な方向の軸回りの角速度を表す。そして、この角速度を積分すれば、移動体のヨー角を得る。
バンク角演算回路40は、センサ出力補正回路20の後段に接続している。このバンク角演算回路40は位相演算回路42を備えており、この位相演算回路42は、第1感度調整回路26および第2感度調整回路28の後段に接続している。位相演算回路42は、数式9に示す演算を行うものであり、第1感度調整回路26の出力ω1’と第2感度調整回路28の出力ω2’を入力し、これらのアークタンジェントを演算することにより、バンク角θを求めている。
このようなアークタンジェントの演算を行うバンク角演算回路40としては、図8に具体的一例を示すように、AD639を用いてもよい。
そしてバンク角演算回路40を角速度検出装置10に設けることにより、センサ部12が配設された移動体がバンクすれば、この移動体のバンク角を求めることができる。
センサ故障診断回路44は、センサ出力補正回路20およびバンク角演算回路40の後段に接続している。センサ故障診断回路44は、第1感度調整回路26の出力ω1’、第2感度調整回路28の出力ω2’、位相演算回路42の出力θ、およびセンサ部12が取り付けられる移動体の速さを車速センサで計測したパルス(車速パルス)を入力している。そしてセンサ故障診断回路44は、車速パルスの入力がない場合(移動体が移動していない場合)でもセンサ出力補正回路20の出力ω1’,ω2’が有るときや、車速パルスの入力がない場合でも位相演算回路42の出力θが有るときに、予め設定してあるしきい値と各感度調整回路26,28の出力ω1’,ω2’とをそれぞれ比較し、または予め設定してあるしきい値と位相演算回路42の出力θとを比較し、各出力がしきい値以上であればセンサ部12が故障していると診断する。この診断結果は、後段に出力される。
そして角速度検出装置10を構成している制御回路50は、移動***置判定回路52および調整係数演算回路54を備えている。移動***置判定回路52は、振幅演算回路32を構成している乗算回路36、バンク角演算回路40を構成している位相演算回路42およびセンサ故障診断回路44の出力をそれぞれ入力している。また移動***置判定回路52は、移動体に配設された複数の物理量センサ(車速センサ、方位センサ、加速度センサ、圧力センサ、重力方位センサおよび温度センサ)の測定結果を入力している。
この移動***置判定回路52は、振幅演算回路32の出力ω0’と物理量センサの測定結果とを比較し、振幅演算回路32の出力ω0’と物理量センサの測定結果とが合致するか否かを判定している。例えば、移動***置判定回路52は、振幅演算回路32およびバンク角演算回路40から入力した結果から求めた移動体の位置と、複数の物理量センサの測定結果から求めた移動体の位置とを比較し、これらの位置が合致しないときに、総合的に判断して振幅演算回路32およびバンク角演算回路40の演算結果に基づいて求めた移動体の位置に誤差があると判定することができる。
そして調整係数演算回路54は、移動***置判定回路52の後段に接続している。調整係数演算回路54は、移動***置判定回路52で移動体の位置に誤差があると判定したときに、振幅演算回路32およびバンク角演算回路40の演算結果に基づいて求めた移動体の位置と、複数の物理量センサの測定結果から求めた移動体の位置とを合致させるような、センサ出力補正回路20の調整係数を演算する。そして調整係数演算回路54は、この演算結果をセンサ出力補正回路20に出力する。
このような角速度検出装置10は、センサ部12の出力信号をセンサ出力補正回路20でオフセット調整および感度調整しているので、第1角速度センサ14と第2角速度センサ16とで同じ感度のものを用いなくてもよくなり、また誤差を少なくできる。したがって角速度を高精度に検出できる。
またダブルT型ジャイロセンサ60は、音叉型のジャイロセンサに比べて感度が高いので、このダブルT型ジャイロセンサ60を角速度センサ14,16として用いれば、センサ部12の検出感度を高くできる。よって第1検出軸と第2検出軸の傾斜角を大きく設定しても、角速度検出装置10の検出能力を維持できる。また、これにより第1検出軸を第2検出軸に対して垂直にすることができ、この場合、ヨーレートの検出範囲を180°と広くできるとともに、角速度検出装置10は、移動体に加わった角速度の軸を求めることができる。このため角速度検出装置10のうち少なくともセンサ部12が配設される移動体のバンク角が大きくなったときでも、この移動体のヨーレートの検出ができる。さらに第1検出軸と第2検出軸の傾斜角を大きく設定できるので、角速度センサ14,16をある所定の角度で傾けて移動体に配設する必要がなくなる。このためセンサ部12を移動体に設置するのが容易になり、角速度センサ14,16の製造コストを抑えることができる。そして角速度検出装置10をポータブル型にして、簡易に移動体に取り付けることができる。
また角速度検出装置10は、移動体とともにセンサ部12がバンクした場合でも、入力される角速度の軸が一定であるので、バンク角θを求めることができる。これによりバンク角検出装置を備えた角速度検出装置10を得ることができる。このバンク角検出装置を備えた角速度検出装置10では、求められたバンク角θにより移動体の移動状態を正確に把握できる。そして移動体が二輪車等であれば、この二輪車等の走行状態をより正確に把握できる。
なお本実施形態に係る角速度検出装置10は、移動体に対して垂直方向のヨー角度を求めている。したがって移動体が傾斜面を移動していたとしても、角速度検出装置10は、移動体に対して垂直方向のヨー角度を求めている。これに対し、ナビゲーション装置等では、移動体を地図上に投影したときのヨー角度を求める。すなわちナビゲーション装置等では、実際の移動体に対して天頂方向のヨー角度を求めているので、移動体が傾斜面を移動しているときでも天頂方向のヨー角度を求めている。したがって本実施形態の角速度検出装置10とナビゲーション装置等では、基準とする検出軸が異なっている。
10………角速度検出装置、12………センサ部、14………第1角速度センサ、16………第2角速度センサ、20………センサ出力補正回路、22,24………オフセット調整回路、26,28………感度調整回路、30………符合判定回路、32………振幅演算回路、34………2乗和平均回路、36………乗算回路、40………バンク角演算回路、44………センサ故障診断回路、50………制御回路、52………移動***置判定回路、60………ダブルT型ジャイロセンサ。
Claims (8)
- 角速度の検出軸となる第1検出軸および第2検出軸を備え、前記第1検出軸および前記第2検出軸が互いに交差してなるセンサ部と、
前記第1検出軸回りの角速度の検出出力と前記第2検出軸回りの角速度の検出出力とをそれぞれオフセット調整および感度調整するセンサ出力補正回路と、
前記第1検出軸および前記第2検出軸のうちいずれか一方の検出軸における角速度の回転方向の符号を求める符号判定回路と、
前記センサ出力補正回路が出力した前記第1検出軸および前記第2検出軸回りの角速度の検出出力を2乗和平均した結果と、前記符号判定回路が出力した符号とを乗算する振幅演算回路と、
を備えたことを特徴とする角速度検出装置。 - 前記センサ部は、前記第1検出軸回りの角速度を検出する第1角速度センサと、前記第2検出軸回りの角速度を検出する第2角速度センサと備え、
重力加速度方向と前記第1検出軸とのなす角度θ1と、前記重力加速度方向と前記第2検出軸とのなす角度θ2とがθ1=−θ2の関係を満たすよう、前記第1角速度センサおよび前記第2角速度センサを配設した、
ことを特徴とする請求項1に記載の角速度検出装置。 - 前記角速度センサはダブルT型ジャイロセンサであり、
前記ダブルT型ジャイロセンサは、基部と、前記基部の互いに対向する位置からそれぞれ延設した検出腕と、前記基部から延設し、且つ、前記検出腕に対して平行に配設した駆動腕とを備えたことを特徴とする請求項2に記載の角速度検出装置。 - 前記第1検出軸と前記第2検出軸とのなす角度は90°±2°であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の角速度検出装置。
- 前記振幅演算回路の後段に制御回路が接続してあり、
前記制御回路は、前記振幅演算回路から乗算結果と複数の物理量センサの出力結果とを入力して、前記乗算結果と前記出力結果とを比較し、前記乗算結果と前記出力結果とが合致しないときに、これらの結果を合致させるオフセット調整係数または感度調整係数を前記センサ出力補正回路に出力してなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の角速度検出装置。 - 前記センサ出力補正回路が出力した前記第1検出軸回りの角速度の検出出力および前記第2検出軸回りの角速度の検出出力を入力して、予め設定してあるしきい値と各検出出力とをそれぞれ比較し、または前記バンク角演算回路が演算したバンク角の出力と予め設定してあるしきい値とを比較し、それぞれの出力がしきい値より以上であれば故障と診断するセンサ故障診断回路を備えたことを特徴とする請求項6に記載の角速度検出装置。
- 移動体に前記センサ部を配設し、前記移動体の直進方向に直交して前記第1検出軸および前記第2検出軸を配設したことを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の角速度検出装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021038859A1 (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 住友電気工業株式会社 | 回転加工工具および回転加工システム |
US20210389344A1 (en) * | 2020-06-10 | 2021-12-16 | Seiko Epson Corporation | Inertia Sensor Apparatus And Method For Manufacturing Inertia Sensor Apparatus |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1394554B1 (en) * | 2002-08-30 | 2011-11-02 | STMicroelectronics Srl | Process for the fabrication of a threshold acceleration sensor |
US20100011859A1 (en) * | 2006-09-21 | 2010-01-21 | Panasonic Corporation | Angular velocity sensor |
FR2910615B1 (fr) * | 2006-12-20 | 2009-02-06 | Sagem Defense Securite | Procede de calibrage du facteur d'echelle d'un gyrometre vibrant axisymetrique |
JP4285548B2 (ja) * | 2007-02-05 | 2009-06-24 | エプソントヨコム株式会社 | ジャイロセンサモジュールおよび角速度検出方法 |
JP4909253B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2012-04-04 | 株式会社デンソー | センサモジュールの検査方法、及び、センサモジュール検査装置 |
US8928602B1 (en) | 2009-03-03 | 2015-01-06 | MCube Inc. | Methods and apparatus for object tracking on a hand-held device |
US8797279B2 (en) | 2010-05-25 | 2014-08-05 | MCube Inc. | Analog touchscreen methods and apparatus |
US8477473B1 (en) | 2010-08-19 | 2013-07-02 | MCube Inc. | Transducer structure and method for MEMS devices |
US8710597B1 (en) | 2010-04-21 | 2014-04-29 | MCube Inc. | Method and structure for adding mass with stress isolation to MEMS structures |
US8421082B1 (en) | 2010-01-19 | 2013-04-16 | Mcube, Inc. | Integrated CMOS and MEMS with air dielectric method and system |
US8823007B2 (en) | 2009-10-28 | 2014-09-02 | MCube Inc. | Integrated system on chip using multiple MEMS and CMOS devices |
US8553389B1 (en) | 2010-08-19 | 2013-10-08 | MCube Inc. | Anchor design and method for MEMS transducer apparatuses |
US8476129B1 (en) | 2010-05-24 | 2013-07-02 | MCube Inc. | Method and structure of sensors and MEMS devices using vertical mounting with interconnections |
US9709509B1 (en) | 2009-11-13 | 2017-07-18 | MCube Inc. | System configured for integrated communication, MEMS, Processor, and applications using a foundry compatible semiconductor process |
US8936959B1 (en) | 2010-02-27 | 2015-01-20 | MCube Inc. | Integrated rf MEMS, control systems and methods |
US8794065B1 (en) * | 2010-02-27 | 2014-08-05 | MCube Inc. | Integrated inertial sensing apparatus using MEMS and quartz configured on crystallographic planes |
US8367522B1 (en) | 2010-04-08 | 2013-02-05 | MCube Inc. | Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads |
US8928696B1 (en) | 2010-05-25 | 2015-01-06 | MCube Inc. | Methods and apparatus for operating hysteresis on a hand held device |
US8869616B1 (en) | 2010-06-18 | 2014-10-28 | MCube Inc. | Method and structure of an inertial sensor using tilt conversion |
US8652961B1 (en) | 2010-06-18 | 2014-02-18 | MCube Inc. | Methods and structure for adapting MEMS structures to form electrical interconnections for integrated circuits |
US8993362B1 (en) | 2010-07-23 | 2015-03-31 | MCube Inc. | Oxide retainer method for MEMS devices |
US8723986B1 (en) | 2010-11-04 | 2014-05-13 | MCube Inc. | Methods and apparatus for initiating image capture on a hand-held device |
JP2012120014A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、その製造方法、圧電振動子及び圧電発振器 |
US8969101B1 (en) | 2011-08-17 | 2015-03-03 | MCube Inc. | Three axis magnetic sensor device and method using flex cables |
JP6255903B2 (ja) * | 2013-10-31 | 2018-01-10 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサー、電子機器および移動体 |
JP6318552B2 (ja) * | 2013-10-31 | 2018-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサー、電子機器および移動体 |
US10444018B2 (en) * | 2015-02-27 | 2019-10-15 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Computer-implemented method to test the sensitivity of a sensor for detecting movement of a tracking device within an established frame of reference of a moving platform |
DE102015204389A1 (de) * | 2015-03-11 | 2016-09-15 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Verfahren zum Ermitteln einer Position eines Einspurfahrzeugs sowie Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000088578A (ja) * | 1998-09-10 | 2000-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2001201347A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2002213959A (ja) | 2001-01-23 | 2002-07-31 | Denso Corp | 角速度検出装置および車両用ナビゲーション装置 |
JP2006126178A (ja) | 2004-09-30 | 2006-05-18 | Victor Co Of Japan Ltd | ナビゲーション装置 |
US7292021B2 (en) | 2004-10-08 | 2007-11-06 | Denso Corporation | Anomaly detector for vibratory angular rate sensor |
JP4513559B2 (ja) | 2004-12-27 | 2010-07-28 | 株式会社デンソー | センサ回路 |
JP2006151280A (ja) | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Seiko Epson Corp | 二輪車の傾斜角度検出装置、エアバッグ装置、転倒防止装置及び方向指示器自動解除装置 |
JP4396725B2 (ja) * | 2006-05-12 | 2010-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、ジャイロセンサ及び電子機器 |
JP4285548B2 (ja) * | 2007-02-05 | 2009-06-24 | エプソントヨコム株式会社 | ジャイロセンサモジュールおよび角速度検出方法 |
-
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021038859A1 (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 住友電気工業株式会社 | 回転加工工具および回転加工システム |
US20210389344A1 (en) * | 2020-06-10 | 2021-12-16 | Seiko Epson Corporation | Inertia Sensor Apparatus And Method For Manufacturing Inertia Sensor Apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080314145A1 (en) | 2008-12-25 |
US8037758B2 (en) | 2011-10-18 |
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