JP4905383B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図1は、本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図、図2は、図1に示す二点鎖線部分の拡大図である。これら図1、図2に基づいて本実施形態の圧力センサの構成について説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第1実施形態に対して、シール部材22の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第2実施形態に対して、シール部材23の構造を変更したものであり、その他に関しては第2実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第3実施形態に対して、シール部材23の構成を変更したものであり、その他に関しては第3実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第1実施形態に対して、シール部材22の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第5実施形態に対して、シール部材24の構成を変更したものであり、その他に関しては第5実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第7実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第5実施形態に対して、シール部材24の構成を変更したものであり、その他に関しては第5実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第8実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第5実施形態に対して、シール部材24の構成を変更したものであり、その他に関しては第5実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
上記各実施形態を組み合わせて圧力センサを構成してもよい。例えば、上記第2実施形態に上記第4実施形態を組み合わせて、金属リング23aの中空部23bにOリング23dを配置してもよい。また、上記第6実施形態と上記第7実施形態を組み合わせて、シール部材24を中心軸に対する断面が矩形状である第1の部材24aと第2の部材24bとを接合して構成し、シール部材24のうち第1の部材24aと第2の部材24bとの境界を、溝21の底面と接触するように配置すると共に、メタルダイヤフラム17と接触するように配置してもよい。
2 凹部
5 センサチップ
11 ハウジング
12 収容凹部
17 メタルダイヤフラム
21 溝
22a Oリング
22b 金属部材
23a 金属リング
23b 中空部
23c 開口部
23d Oリング
24a 第1の部材
24b 第2の部材
24c 金属リング
Claims (4)
- 測定媒体の圧力に応じたセンサ出力信号を出力するセンサチップ(5)を含むセンサ部(4)と、
一面に凹部(2)を備え、前記凹部(2)に前記センサ部(4)が備えられるケースプラグ(1)と、
収容凹部(12)を有すると共に、前記収容凹部(12)に前記ケースプラグ(1)が挿入され、前記収容凹部(12)の開口端(13)が前記ケースプラグ(1)にかしめられることにより前記ケースプラグ(1)と一体に組みつけられるハウジング(11)と、
前記測定媒体の圧力が印加され、前記ケースプラグ(1)の前記一面と前記ハウジング(11)のうち前記収容凹部(12)の底面との間に配置されるメタルダイヤフラム(17a、17b)と、
前記ケースプラグ(1)と前記ハウジング(11)とが組みつけられることで前記凹部(2)および前記メタルダイヤフラム(17a、17b)で囲まれる部分にて形成される圧力検出室(19)内に充填される圧力伝達部材(20)と、
前記ケースプラグ(1)の前記一面に前記凹部(2)を囲むように形成された環状の溝(21)と、
前記溝(21)に前記溝(21)の底面および前記メタルダイヤフラム(17a、17b)と接触するように配置され、前記圧力検出室(19)と前記圧力検出室(19)の外部とを区画すると共に、前記圧力検出室(19)を気密封止する環状のシール部材(24a〜24c)と、を備える圧力センサであって、
前記シール部材(24a〜24c)は、耐オイル性を有する第1の部材(24a)と、前記第1の部材(24a)より水蒸気の透過性が低い第2の部材(24b)と、金属リング(24c)とを有して構成されており、前記溝(21)に環状の金属リング(24c)が配置され、前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)は前記金属リング(24c)と前記溝(21)の底面との間および前記金属リング(24c)と前記メタルダイヤフラム(17a、17b)との間それぞれに備えられ、前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)は、前記金属リング(24c)および前記溝(21)の底面に接触するように配置されていると共に、前記金属リング(24c)および前記メタルダイヤフラム(17)に接触するように配置されており、前記第2の部材(24b)は前記溝(21)のうち前記第1の部材(24a)より外周壁面(21a)側に配置されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)は前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)における中心軸に対する径方向に切断した断面がO型状とされていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)は前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)における中心軸に対する径方向に切断した断面が矩形状とされていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記シール部材(24a〜24c)は、前記シール部材(24a〜24c)における中心軸に対する径方向の断面がO型状または矩形状とされており、前記第1の部材(24a)と前記第2の部材(24b)とが接合されて構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
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