JP4902911B2 - Manifold valve - Google Patents
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Description
【0001】
【本発明の属する技術分野】
本発明は、主流路と副流路と分岐流路を有するマニホールドバルブに関するものであり、さらに詳しくは、流体の滞留部を極力少なくし、かつ優れた洗浄効果が得られるマニホールドバルブに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体産業におけるスラリーラインや各種化学薬液ラインで流体を主流路から分岐して供給するラインにおいて、スラリーの凝集・固着や結晶の析出等のトラブルを防ぐ目的として、分岐ラインを洗浄するためのラインを設けることがあった。一般的には図9に示すように二方弁2台とチーズ2個とを組み合わせる方法や図10に示すように三方弁と二方弁及びチーズを組み合わせる方法等が採用されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の方法では図9においてチーズ53から二方弁55までの流路に薬液が滞留するという問題や、洗浄の際に二方弁55からチーズ54までの流路が十分に洗浄されないという問題があった。また後者の方法でも同様に三方弁65からチーズ60までの流路が十分に洗浄されず問題となっていた。
【0004】
本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたもので、流体の滞留部を極力少なくし、かつ優れた洗浄効果が得られるマニホールドバルブを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明の構成を、本発明の実施態様を示す図1を参照して説明すると、連結流路11によって連通された主流路側弁室14と副流路側弁室15とを有し、さらに主流路側弁室14の底部中央に設けられた主流路側連通口12と連通された主流路8と、主流路側弁室14と連通された分岐流路10と、副流路側弁室15の底部中央に設けられた副流路側連通口13と連通された副流路9とを有し、主流路側弁室14および副流路側弁室15の内周面上部にそれぞれ段差部30が設けられた本体1と、主流路側連通口12と副流路側連通口13のそれぞれを開閉する弁体22,36を有する駆動部2,3とを具備し、駆動部2,3は、主流路側弁室14および副流路側弁室15の上方にそれぞれ設けられ、各駆動部2,3の各々は、シリンダ部16を内部に有するとともに、弁室に挿入される円柱状の突部17を下部に有し、シリンダ部16の底面中央に突部17を貫通する貫通穴18が設けられたシリンダ本体4と、シリンダ本体4のシリンダ部16に摺動自在に嵌挿され、下面中央に貫通穴18を摺動自在に貫通するロッド部20が突設され、該ロッド部20の先端部に弁体22が設けられるピストン6と、弁室の内周面とシリンダ本体4の突部17の外周面とにより挟持される円筒状膜部23と、該円筒状膜部23の上端部外周に設けられ、弁室の段差部30に嵌挿されて、弁室の内周面とシリンダ本体4の突部17の外周面とにより挟持される環状突部24と、円筒状膜部23の下端部から弁体22の上端部にかけて形成される膜部とを有するダイヤフラム7とを備え、分岐流路10、主流路側弁室14、連結流路11及び副流路側弁室15の各底面が面一に形成されていることを第一の特徴とするものである。
【0006】
また、上記マニホールドバルブにおいて、分岐流路10と連結流路11とが主流路8に対して直交する方向に設けられており、且つ副流路9が分岐流路10と平行に設けられたことを第二の特徴とする。
【0007】
また、上記マニホールドバルブにおいて、分岐流路10と連結流路11とが主流路8に対して直交する方向に設けられており、且つ副流路9が主流路8と平行に設けられたことを第三の特徴とする。
【0008】
また、上記マニホールドバルブにおいて、主流路8が本体1の片側、または本体1を貫通して設けられていることを第四の特徴とするものである。
【0009】
また、上記マニホールドバルブにおいて、副流路9が本体1の片側、または本体1を貫通して設けられていることを第五の特徴とするものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施態様について図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定されないことは言うまでもない。
【0011】
図1は本発明のマニホールドバルブの主流路側が開、且つ副流路側が閉の状態を示す縦断面図である。図2は図1のマニホールドバルブの主流路側が閉、且つ副流路側が開の状態を示す縦断面図である。図3は図1の本体の立体斜視図である。図4は図3における本体の平面図である。図5は本発明のマニホールドバルブの第二の実施態様における本体の平面図である。図6は本発明のマニホールドバルブの第三の実施態様における本体の平面図である。図7は本発明のマニホールドバルブの第四の実施態様における本体の平面図である。
【0012】
図において、1は本体であり、本体1の上部には連結流路11によって連通されている円筒状の主流路側弁室14と、副流路側弁室15が設けられている。8は主流路であり、主流路側弁室14の底部中央に設けられた主流路側連通口12にのみ連通している。すなわち図3に示されているごとく本体1の片側のみに設けられている。9は副流路であり、副流路側弁室15の底部中央に設けられた副流路側連通口13と直角方向に連通している。10は主流路側弁室14と連通されている分岐流路であり、副流路9とは本体1の反対側に位置している。連結流路11はその底部が両弁室14と15の底部と面一になるように設けられており、また、分岐流路10の底部も主流路側弁室14の底部と面一になるように設けられている。従って、流体の滞留部分が生じないような構造になっている。図1乃至図3からもわかるごとく、主流路8は副流路9と分岐流路10及び連結流路11のそれぞれに対して直交する方向に設けられている。すなわち、副流路9と分岐流路10及び連結流路11は平行となる方向に設けられている。また、主流路側連通口12と副流路側連通口13のそれぞれの開口部の縁、又は周縁部は後記駆動部2,3の弁体22,36が圧接、離間される弁座部25,37となっている。主流路側弁室14の直径は、主流路側連通口12及び弁体22の直径より大きく設けられており、同様に副流路側弁室15も副流路側連通口13及び弁体36の直径より大きく設けられている。
【0013】
本実施態様においては、本体1の側面に継手部42,43が一体的に突出して形成され、副流路9及び分岐流路10がその内部にそれぞれ延長して形成されている。主流路8についても同様の状態で形成されている(図3参照)。継手部42に配管チューブ48を接続するには、まず継手部42の先端部45に配管チューブ48を嵌合させ、継手部42の外周に設けられた雄ねじ部44にキャップナット46の雌ねじ部47を螺着させ配管チューブ48の端部を挟持固定する方法で行なわれる。主流路8及び分岐流路10の部分についても同様の方法で配管チューブが接続される。尚、本体1と配管チューブ48の接続構造については、本実施態様に限定されず、他の一般的な接続構造を採用しても構わない。
【0014】
駆動部2と3は本体1の上部に通しボルト、ナット(図示せず)で固定されている。両者とも構造は同一であるため、駆動部2を代表させて説明する。
【0015】
4はシリンダ本体であり、内部に円筒状のシリンダ部16と下面に円柱状の突部17を有し、シリンダ部16の底面中央から突部17を貫通するように貫通穴18が設けられている。貫通穴18の内周面にはO−リング32が嵌挿されている。更にシリンダ本体4の側面にはシリンダ部16の上方及び下方にそれぞれ連通された一対の作動流体供給口28,29が設けられている。
【0016】
5はシリンダ蓋であり、底面にO−リング33が嵌挿された円柱状突部19を有し、円柱状突部19をシリンダ部16の上部にO−リング33を介して嵌挿することによりシリンダ本体4に接合されている。本実施態様においては本体1、シリンダ本体4及びシリンダ蓋5の三者が通しボルト、ナット(図示せず)で一体化固定されている。
【0017】
6はピストンであり、外周面にO−リング31が嵌挿されており、シリンダ本体4のシリンダ部16にO−リング31を介して上下に摺動自在に嵌挿されている。下端面中央にはシリンダ本体4の貫通穴18を摺動自在に貫通突出するようにロッド部20が一体に設けられており、ロッド部20の先端部にはダイヤフラム7の弁体22が接合される接合部21が設けられている。また、ピストン6の上面とシリンダ部16の内周面とシリンダ蓋5の下面とによって上部空隙26が形成され、ピストン6の下面及びロッド部20の外周面とシリンダ部16の内周面及び底面とによって下部空隙27が形成されている。
【0018】
7はダイヤフラムであり、中央下面に本体1に設けられた弁座部25、すなわち主流路側連通口12の開口部縁に圧接・離間される弁体22が一体的に設けられており、この弁体22はピストン6のロッド部20の先端部に螺合にて接合されている。ダイヤフラム7の外周縁部には円筒状膜部23が設けられており、さらに円筒状膜部23の上端部外周には環状突部24が設けられている。円筒状膜部23は本体1の主流路側弁室14の内周面とシリンダ本体4の突部17の外周面とによって挟持されており、さらに環状突部24は、主流路側弁室14の内周面上部に設けられた段差部30に嵌挿されるとともに、本体1の主流路側弁室14の内周面と、シリンダ本体4の突部17の外周面とによって挟持固定されている。このダイヤフラム7の形状は本実施態様に限定されるものではなく、本体1とシリンダ部16によって挟持された膜部を有するものであればいずれでもよく、ベローズ型などの形状でもよい。
【0019】
尚、駆動部の構造については、主流路側連通口と副流路側連通口のそれぞれを開閉する弁体を有するものであれば、内部にスプリングなどを備えた構造であってもよく、本実施態様に特に限定されるものではない、また、これらの弁体を有した駆動部は、主流路側、副流路側のそれぞれ別個に設けられるのが好ましいが、両者を一体的に設けてもよく、特に限定されるものではない。
【0020】
尚、本発明において本体等の部材は、耐薬品性に優れ不純物の溶出も少ないことから、ポリテトラフルオロエチレン(以下PTFEという)やテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(以下PFAという)などのフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン等のその他のプラスチックあるいは金属でも良く特に限定されるものではない。また、ダイヤフラムの材質はPTFE,PFA等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、ゴム及び金属でもよく特に限定されない。
【0021】
次に本実施態様のマニホールドバルブの作動について説明する。
【0022】
図1は主流路側連通口12が開、副流路側連通口13が閉の状態になっている。この状態では主流路8の流体は分岐流路10、連結流路11、及び副流路側弁室15へ流れている。この状態で駆動部2の作動流体供給口28から上部空隙26に外部より作動流体(例えば圧縮された空気等)が注入されると、該作動流体の圧力でピストン6が押し下げられるため、これと接合されているロッド部20は下方へ引き下げられ、ロッド部20の下端部に接合された弁体22は弁座部25へ押圧され、主流路側連通口12は閉状態となる。一方、逆に駆動部3の作動流体供給口41から下部空隙39に作動流体が注入されると、該作動流体の圧力でピストン34が押し上げられるため、これと接合されているロッド部35は上方へ引き上げられ、ロッド部35の下端部に接合された弁体36は弁座部37から離間し、副流路側連通口13は開状態になる。(図2の状態)
【0023】
図2は主流路側連通口12が閉、副流路側連通口13が開の状態になっている。この状態では副流路9の流体は副流路側弁室15、連結流路11、主流路側弁室14、及び分岐流路10へ流れている。この状態で駆動部3の作動流体供給口40から上部空隙38に外部より作動流体(例えば圧縮された空気等)が注入されると、該作動流体の圧力でピストン34が押し下げられるため、これと接合されているロッド部35は下方へ引き下げられ、ロッド部35の下端部に接合された弁体36は弁座部37へ押圧され、副流路側連通口13は閉状態となる。一方、逆に駆動部2の作動流体供給口29から下部空隙27に作動流体が注入されると、該作動流体の圧力でピストン6が押し上げられるため、これと接合されているロッド部20は上方へ引き上げられ、ロッド部20の下端部に接合された弁体22は弁座部25から離間し、主流路側連通口12は開状態になる。(図1の状態)
【0024】
例えば本実施態様のバルブが、主流路8側よりスラリーを、また副流路9側より洗浄液を供給し、分岐流路10より排出を行なうようなラインに使用された場合、図1の状態では主流路側弁室14を通過して分岐流路10よりスラリーが排出されるが、連結流路11、及び副流路側弁室15にはスラリーが滞留している。しかし、この状態で主流路側連通口12を閉じ、副流路側連通口13を開けて(図2の状態)、副流路9側から洗浄液を流すと、該滞留したスラリーは分岐流路10から排出されバルブ内の洗浄が行なわれる。本実施態様においては分岐流路10、主流路側弁室14、連結流路11、及び副流路側弁室15の底面が前記したごとく面一に設計されているため、滞留部容積が極力少なくなっており、かつ各流路が直線状に形成されているため圧力損失が少なく、優れた洗浄効果が得られる。
【0025】
図4は参考までに示した図3の平面図である。
【0026】
図5は本発明の第二の実施態様を示した本体1のみの平面図である。前記第一の実施態様と異なる点は、副流路9が主流路8と平行に、本体1の同じ側面に設けられている点である。作動については、副流路9を流れる流体の流れ方向が連結流路11に対し直角方向に変わるだけであり、第一の実施態様と同様であるため説明は省略する。
【0027】
図6は本発明の第三の実施態様を示した本体1のみの平面図である。前記第一の実施態様と異なる点は、主流路8が本体1を貫通して設けられている点である。主流路側連通口12を閉じた状態においても主流路8側の流体は絶えず流れ、或いは循環しているため、主流路8にスラリーなどの沈降性の高い流体を流してもスラリーが沈降しする心配は少ない。その他の状態における作動については第一の実施態様と同様であるため説明は省略する。
【0028】
前記した従来の技術において、本発明の第三の実施態様を用いたときの薬液分岐供給ラインの外観図を図8に示す。図でもわかるとおり、図9や図10に示した従来のラインと比較すると、バルブやチーズの数を減少させることができ、すなわち本実施態様一つで対応することができる。したがって配管ラインを簡単にすることができ、配管スペースも小さくなり、且つ施工も容易に行なえるようになる。
【0029】
図7は本発明の第四の実施態様を示した本体1のみの平面図である。本実施態様は図6の実施態様において、副流路9が主流路8に平行して本体1を貫通して設けられた構造のものである。以下、本実施態様の作動について説明する。今、主流路側連通口12が開状態、副流路側連通口13が閉状態にある場合は、主流路8を流れる流体は主流路8の他に主流路側弁室14を通過し、分岐流路10側へ流出していく。また、主流路側連通口12を閉状態、副流路側連通口13を開状態にすると、主流路8中の流体は主流路8のみを流れる。この状態で副流路9に例えば洗浄液等を流すと、洗浄液は副流路9を貫通して流出すると共に副流路側弁室13、連結流路11、主流路側弁室14を通過して分岐流路10より排出される。
【0030】
【発明の効果】
本発明は以上説明したような構造をしており、これを使用することにより以下の優れた効果が得られる。
(1)主流路側の弁が閉、且つ副流路側の弁が開の状態において副流路より洗浄液等を流した場合には、副流路側弁室と連結流路と主流路側弁室と分岐流路を、略直線状かつ各々の底部を面一に形成されていると、弁室内に残った薬液を効果的に洗浄、排出することができ、その結果バルブ内の流路の洗浄時間を大幅に短縮することができる。
(2)主流路や副流路を、本体を貫通して設けた場合、主流路側連通口と副流路側連通口を閉状態にした場合にも、それぞれ流体を流し、或いは循環させておくことができ、スラリーなどの沈降性の高い流体にも使用可能である。
(3)バルブの構造がコンパクトであるため、配管ラインにおいて従来と比較してバルブやチーズの数を減少させることができ、したがって配管ラインを簡単にすることができ、配管スペースも小さくなり、且つ施工も容易になる。
(4)本体及びダイヤフラムの素材としてPTFE,PFA等のフッ素樹脂を使用すると耐薬品性が高くなり、また流体への不純物の溶出も少ないため、半導体産業における超純水ラインや各種化学薬液ラインにも好適に使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施態様を示す断面図である。
【図2】図1における主流路側連通口が閉、且つ副流路側連通口が開の状態を示す縦断面図である。
【図3】図1における本体の斜視図である。
【図4】図3における本体の平面図である。
【図5】本発明の第二の実施態様を示す本体のみの平面図である。
【図6】本発明の第三の実施態様を示す本体のみの平面図である。
【図7】本発明の第四の実施態様を示す本体のみの平面図である。
【図8】本発明の第三の実施態様を用いた薬液分岐供給ラインを示す外観図である。
【図9】二方弁を用いた薬液分岐供給ラインを示す外観図である。
【図10】三方弁を用いた薬液分岐供給ラインを示す外観図である。
【符号の説明】
1…本体
2…駆動部
3…駆動部
4…シリンダ本体
5…シリンダ蓋
6…ピストン
7…ダイヤフラム
8…主流路
9…副流路
10…分岐流路
11…連結流路
12…主流路側連通口
13…副流路側連通口
14…主流路側弁室
15…副流路側弁室
20…ロッド部
22…弁体
23…円筒状膜部
24…環状突部
25…弁座部
26…上部空隙
27…下部空隙
28…作動流体供給口
29…作動流体供給口
34…ピストン
35…ロッド部
36…弁体
37…弁座部
38…上部空隙
39…下部空隙
40…作動流体供給口
41…作動流体供給口
42…継手部
43…継手部
46…キャップナット
48…配管チューブ[0001]
[Technical field to which the present invention pertains]
The present invention relates to a manifold valve having a main flow path, a sub flow path, and a branch flow path. More specifically, the present invention relates to a manifold valve capable of reducing a fluid retaining portion as much as possible and obtaining an excellent cleaning effect. .
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in order to prevent troubles such as agglomeration / fixation of slurry and precipitation of crystals in a slurry line and various chemical / chemical liquid lines in the semiconductor industry where fluid is branched from the main flow path, Lines were sometimes provided. In general, a method of combining two two-way valves and two cheeses as shown in FIG. 9 or a method of combining a three-way valve, two-way valves and cheese as shown in FIG.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the former method, there is a problem that the chemical solution stays in the flow path from the
[0004]
The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a manifold valve that can reduce a fluid retaining portion as much as possible and obtain an excellent cleaning effect.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The configuration of the present invention for achieving the above object will be described with reference to FIG. 1 showing an embodiment of the present invention. The main flow path
[0006]
In the manifold valve, the
[0007]
In the manifold valve, the
[0008]
The manifold valve is characterized in that the
[0009]
In the manifold valve, the fifth feature is that the
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, it goes without saying that the present invention is not limited to the embodiments.
[0011]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a state in which the main flow path side of the manifold valve of the present invention is open and the sub flow path side is closed. 2 is a longitudinal sectional view showing a state in which the main flow path side of the manifold valve of FIG. 1 is closed and the sub flow path side is open. 3 is a three-dimensional perspective view of the main body of FIG. FIG. 4 is a plan view of the main body in FIG. FIG. 5 is a plan view of the main body in the second embodiment of the manifold valve of the present invention. FIG. 6 is a plan view of the main body in the third embodiment of the manifold valve of the present invention. FIG. 7 is a plan view of the main body in the fourth embodiment of the manifold valve of the present invention.
[0012]
In the figure,
[0013]
In the present embodiment,
[0014]
The
[0015]
Reference numeral 4 denotes a cylinder body, which has a
[0016]
[0017]
[0018]
[0019]
The structure of the drive unit may be a structure provided with a spring or the like as long as it has a valve body that opens and closes each of the main channel side communication port and the sub channel side communication port. The drive unit having these valve elements is preferably provided separately on the main flow path side and the sub flow path side, but both may be provided integrally. It is not limited.
[0020]
In the present invention, since the member such as the main body has excellent chemical resistance and little impurities are eluted, polytetrafluoroethylene (hereinafter referred to as PTFE) or tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (hereinafter referred to as PFA). A fluororesin such as, for example, is preferably used, but may be other plastics such as polyvinyl chloride and polypropylene, or metal, and is not particularly limited. The material of the diaphragm is preferably a fluororesin such as PTFE or PFA, but may be rubber or metal and is not particularly limited.
[0021]
Next, the operation of the manifold valve of this embodiment will be described.
[0022]
In FIG. 1, the main channel
[0023]
In FIG. 2, the main channel
[0024]
For example, when the valve of this embodiment is used in a line in which slurry is supplied from the
[0025]
FIG. 4 is a plan view of FIG. 3 shown for reference.
[0026]
FIG. 5 is a plan view of only the
[0027]
FIG. 6 is a plan view of only the
[0028]
FIG. 8 is an external view of the chemical branch supply line when the third embodiment of the present invention is used in the conventional technique described above. As can be seen from the figure, the number of valves and cheese can be reduced as compared with the conventional lines shown in FIG. 9 and FIG. 10, that is, this embodiment can cope with it. Accordingly, the piping line can be simplified, the piping space can be reduced, and the construction can be easily performed.
[0029]
FIG. 7 is a plan view of only the
[0030]
【Effect of the invention】
The present invention has the structure as described above, and the following excellent effects can be obtained by using this structure.
(1) When a cleaning liquid or the like is flowed from the sub-channel while the valve on the main channel side is closed and the valve on the sub-channel side is open, the sub-channel side valve chamber, the connecting channel, the main channel-side valve chamber are branched If the flow path is formed in a substantially straight line and each bottom is flush with each other, the chemical solution remaining in the valve chamber can be effectively cleaned and discharged. As a result, the cleaning time of the flow path in the valve can be reduced. It can be greatly shortened.
(2) When the main flow path and the sub flow path are provided through the main body, the fluid is allowed to flow or circulate even when the main flow path side communication port and the sub flow channel side communication port are closed. It can also be used for highly settled fluids such as slurries.
(3) Since the structure of the valve is compact, the number of valves and cheeses can be reduced in the piping line compared to the conventional one, so that the piping line can be simplified, the piping space is reduced, and Construction is also easy.
(4) Use of fluororesins such as PTFE and PFA as the material of the main body and diaphragm increases chemical resistance and reduces the elution of impurities into the fluid, making it suitable for ultrapure water lines and various chemical liquid lines in the semiconductor industry. Can also be suitably used.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the present invention.
2 is a longitudinal sectional view showing a state in which a main channel side communication port in FIG. 1 is closed and a sub channel side communication port is open.
3 is a perspective view of the main body in FIG. 1. FIG.
4 is a plan view of the main body in FIG. 3. FIG.
FIG. 5 is a plan view of only a main body showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a plan view of only a main body showing a third embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a plan view of only a main body showing a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an external view showing a chemical branch supply line using a third embodiment of the present invention.
FIG. 9 is an external view showing a chemical liquid branch supply line using a two-way valve.
FIG. 10 is an external view showing a chemical branch supply line using a three-way valve.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記主流路側連通口と前記副流路側連通口のそれぞれを開閉する弁体を有する駆動部とを具備し、
前記駆動部は、前記主流路側弁室および前記副流路側弁室の上方にそれぞれ設けられ、
前記各駆動部の各々は、
前記シリンダ部を内部に有するとともに、前記弁室に挿入される円柱状の突部を下部に有し、前記シリンダ部の底面中央に前記突部を貫通する貫通穴が設けられたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の前記シリンダ部に摺動自在に嵌挿され、下面中央に前記貫通穴を摺動自在に貫通するロッド部が突設され、該ロッド部の先端部に前記弁体が設けられるピストンと、
前記弁室の内周面と前記シリンダ本体の突部の外周面とにより挟持される円筒状膜部と、該円筒状膜部の上端部外周に設けられ、前記弁室の段差部に嵌挿されて、前記弁室の内周面と前記シリンダ本体の突部の外周面とにより挟持される環状突部と、前記円筒状膜部の下端部から前記弁体の上端部にかけて形成される膜部とを有するダイヤフラムとを備え、
前記分岐流路、前記主流路側弁室、前記連結流路及び前記副流路側弁室の各底面が面一に形成されていることを特徴とするマニホールドバルブ。A main flow path having a main flow path side valve chamber and a sub flow path side valve chamber communicated by a connection flow path, and further communicating with a main flow path side communication port provided at a bottom center of the main flow path side valve chamber; and the main flow path side valve chamber and a communicated with the branch flow path, wherein the auxiliary flow path side valve chamber secondary flow channel in which the bottom portion threaded sub flow path communicating opening and the communicating provided at the center of possess, the main road side valve chamber and the secondary flow path A main body provided with a step portion on the inner peripheral surface of the valve chamber ;
A drive unit having a valve body for opening and closing each of the main channel side communication port and the sub channel side communication port;
The drive units are respectively provided above the main channel side valve chamber and the sub channel side valve chamber,
Each of the driving units is
A cylinder main body having the cylinder portion inside and having a cylindrical protrusion inserted into the valve chamber at the bottom, and a through hole penetrating the protrusion at the center of the bottom surface of the cylinder portion;
A piston that is slidably fitted into the cylinder portion of the cylinder body, a rod portion that slidably penetrates the through hole at the center of the lower surface, and a valve body that is provided at the tip of the rod portion When,
A cylindrical membrane portion sandwiched between the inner peripheral surface of the valve chamber and the outer peripheral surface of the projection of the cylinder body, and provided on the outer periphery of the upper end portion of the cylindrical membrane portion, and is inserted into the step portion of the valve chamber. And an annular protrusion sandwiched between the inner peripheral surface of the valve chamber and the outer peripheral surface of the protrusion of the cylinder body, and a film formed from the lower end of the cylindrical film portion to the upper end of the valve body And a diaphragm having a portion,
The manifold valve, wherein the bottom surfaces of the branch flow channel, the main flow channel side valve chamber, the connection flow channel, and the sub flow channel side valve chamber are formed flush with each other.
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