JP4902342B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
19はウェハを構成している。
101は補正用マーク1、102は補正用マーク2、103は確認用マーク3である。確認用マーク3は補正用マーク2と近傍にあれば、どの位置にあっても構わない。
y1)にステージ10を移動する。ステップ301ではカメラ12により補正用マーク1の撮像を行う。ステップ302では撮像した画像に対してパターンマッチングを行い、補正用マーク203の座標位置を検出する。このとき、ウェハ19はステージ10に搬送された状態で209の位置にあり、補正用マーク1は203の座標位置にある。ステップ
302では検出した203の座標位置を取得後、ステップ303によって予め登録している補正用マーク2の座標位置にステージ10を移動する。このとき、ウェハ19はステージ10に搬送された状態で209の位置にあり、補正用マーク2は204の座標位置にある。ステップ304によってカメラ12により補正用マーク2の撮像を行う。ステップ
305では撮像した画像に対してパターンマッチングを行い、補正用マーク2の座標位置を検出する。ステップ306ではステップ302,305から検出した補正用マーク1及び補正用マーク2の座標203及び204から補正角を計算する。ステップ307ではステップ306で計算した補正角とステップ302で算出した1番目の補正用マークの座標と予め登録した3番目の確認用マークの座標から位置補正を行う前の3番目の座標を求める。308ではステップ307で算出した3番目の確認用マークの座標に対してステージ10を補正角回転させたときの座標位置を計算する。ステップ309では該ステージ10をステップ306から算出した補正角回転させ、ステップ309で算出した座標位置にステージ10を移動させる。ステップ310ではカメラ12により確認用マーク3の撮像を行う。ステップ311ではパターンマッチングにより確認用マーク3の座標208を検出する。ステップ312ではステップ308で計算した補正用マーク3の座標位置208とステップ311で計測した補正用マーク3の座標位置208の差分を行う。差分値が予め登録された閾値以内であれば位置補正は終了する。もし、閾値よりも大きい場合、ステップ303から処理を繰返す。本発明の実施形態は、上記に限定されるものではなく、その技術思想の範囲内で変形可能である。
11 光学装置
12 カメラ
13 キャプチャーボード
14 画像データ
15 主記憶
16 画像処理演算器
17 ステージ制御演算器
18 ステージ制御器
19 ウェハ
Claims (1)
- ウェハを保持してX,Y方向の移動ならびに回転可能なステージと、ウェハ上に整列されたチップを、ステージのX,Y方向に対して整列させるための位置合わせを行う検査装置であって、
第1のマークはウェハ端の近傍に位置し、該ステージにより第1のマークの位置に移動し、該マークの位置を検出する手段と、
第2のマークは第1のマークとXまたはY方向に相対的な位置に位置し、該ステージにより第2のマークに移動して該マークの位置を検出する手段と、
第1及び第2のマークの位置からウェハの補正角を算出する手段と、
確認用の第3のマークは第1及び第2のマークと同一線上にあって、さらに前記第3のマークは、前記第1のマークよりも前記第2のマークに近い位置にあり、検出した第1または第2のマークの位置と前記補正角と予め登録した第3のマークの位置から前記補正角を用いた補正前の第3のマークの位置を算出する手段と、
ステージを前記補正角を用いて回転したときの第3のマークの位置を算出する手段と、
前記補正角に対して該ステージを回転して補正することで位置合わせを行う手段と、
該ウェハを補正後、該ステージにより第3のマークに移動して該マークの位置を検出する手段と、
前記補正角を用いて回転したときの第3のマークの位置を算出する手段により算出した位置と、該ウェハを補正後、該ステージにより第3のマークに移動して該マークの位置を検出する手段により検出した位置との差分を取得し、前記差分と閾値とを比較する手段と、を備え、
さらに、前記予め登録した第3のマークの位置は、前記ウェハの座標系における、前記第1または第2のマークの位置に対する相対的な位置であり、
前記差分が前記閾値より大きい場合には、前記第2のマークの位置の検出、新たな補正角の算出、前記新たな補正角を用いた補正前の第3のマークの位置の算出、前記新たな補正角を用いて回転したときの第3のマークの位置の算出、前記新たな補正角に対して該ステージを回転して補正することで行われる位置合わせ、及び前記新たな補正角による補正後の第3のマークの位置の検出を行い、
前記差分が前記閾値以内であれば、前記補正を終了することを特徴とする検査装置。
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JP2006350814A JP4902342B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | 検査装置 |
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US13/009,366 US8395766B2 (en) | 2006-12-20 | 2011-01-19 | Foreign matter inspection apparatus |
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JP2006350814A JP4902342B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | 検査装置 |
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JP4037947B2 (ja) * | 1998-01-29 | 2008-01-23 | 株式会社テクノホロン | 対象物のアライメント方法 |
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2006
- 2006-12-27 JP JP2006350814A patent/JP4902342B2/ja not_active Expired - Fee Related
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