JP5398314B2 - 露光装置、及び露光方法 - Google Patents
露光装置、及び露光方法 Download PDFInfo
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Description
11 コントローラ
11c HDD
11d CPU
12 搬送システム
13 露光ヘッド
14 露光システム
15 レール
16 露光器
18 カメラ
20A INコンベア
20B OUTコンベア
30 ACハンド
40 露光ステージ
41 回転ステージ機構
Claims (14)
- 感光層が形成されると共に複数の基準位置の各々に所定領域のマークが形成された基板の前記感光層を、露光データに基づいて露光するための露光手段と、
前記基板に形成されたマークを検出するように前記露光手段に対する位置関係が予め固定された検出手段と、
前記検出手段で全てのマークより少ない個数のマークが検出された場合に、検出されたマークの位置に基づいて、全てのマークが検出されるように前記基板と前記検出手段との位置関係を補正するための補正量を演算する演算手段と、
前記演算手段で演算された補正量に基づいて、前記検出手段によって全てのマークが検出されるように、前記基板と前記検出手段との位置関係を補正する補正手段と、
前記検出手段で全てのマークが検出された場合に、所定のタイミングで前記感光層が露光されるように前記露光手段を制御する制御手段と、
を含む露光装置。 - 感光層が形成されると共に複数の基準位置の各々に所定領域のマークが形成された基板の前記感光層を、露光データに基づいて露光するための露光手段と、
前記基板に形成されたマークを撮影するように前記露光手段に固定された撮影手段、及び前記撮影手段で1つのマークの重心を算出するために必要な必要領域以上の大きさの領域が撮影されたときに1つのマークが検出されたと判定する判定手段を含んで構成され、前記基板に形成されたマークを検出するように前記露光手段に対する位置関係が予め固定された検出手段と、
前記検出手段での検出結果に基づいて、前記基板と前記検出手段との位置関係が露光に適した位置関係であるか否かを推定する推定手段と、
前記推定手段で露光に適した位置関係でないと推定された場合には、前記基板と前記検出手段との位置関係を露光に適した位置関係にするための補正量を演算する演算手段と、
前記演算手段で演算された補正量に基づいて、前記基板と前記検出手段との位置関係が露光に適した位置関係となるように、前記基板と前記検出手段との位置関係を補正する補正手段と、
前記推定手段で露光に適した位置関係であると推定された場合に、所定のタイミングで前記感光層が露光されるように前記露光手段を制御する制御手段と、
を含む露光装置。 - 前記検出手段を、
前記基板に形成されたマークを撮影するように前記露光手段に固定された撮影手段と、
前記撮影手段で1つのマークの重心を算出するために必要な必要領域以上の大きさの領域が撮影されたときに1つのマークが検出されたと判定する判定手段と、
を含んで構成した請求項1記載の露光装置。 - 前記判定手段は、前記撮影手段で1つのマークの最小面積以上の領域が撮影されたときに1つのマークが検出されたと判定する請求項2または請求項3記載の露光装置。
- 前記演算手段は、前記検出手段で全てのマークより少ない個数のマークが検出された場合に、検出されたマークの位置に基づいて、全てのマークの各々について最小面積以上の領域が検出されるように前記基板と前記検出手段との位置関係を補正するための補正量を演算し、
前記補正手段は、前記演算手段で演算された補正量に基づいて、前記検出手段によって全てのマークの各々について前記最小面積以上の領域が検出されるように、前記基板と前記検出手段との位置関係を補正する請求項4記載の露光装置。 - 前記演算手段は、前記検出手段で全てのマークの各々について前記最小面積以上の領域が検出され、検出されたマークの各々について前記最小面積より大きい有効面積以上の領域が検出されていない場合には、全てのマークの各々について前記有効面積以上の領域が検出されるように前記基板と前記検出手段との位置関係を補正するための他の補正量を演算し、
前記補正手段は、前記演算手段で演算された他の補正量に基づいて、前記検出手段によって全てのマークの各々について前記有効面積以上の領域が検出されるように前記基板と前記検出手段との位置関係を更に補正する請求項5記載の露光装置。 - 前記判定手段は、前記撮影手段で撮影された1つのマークの重心と、該重心から最短の撮影領域の縁との距離が所定値以上であるときに1つのマークが検出されたと判定する請求項2または請求項3記載の露光装置。
- 前記演算手段は、前記検出手段で全てのマークより少ない個数のマークが検出された場合に、検出されたマークの位置に基づいて、前記撮影手段によって、全てのマークの各々について、マークの重心と、該重心から最短の撮影領域の縁との距離が所定値以上となるように撮影されるように、前記基板と前記検出手段との位置関係を補正するための補正量を演算し、
前記補正手段は、前記演算手段で演算された補正量に基づいて、前記撮影手段によって、全てのマークの各々について、マークの重心と該重心から最短の撮影領域の縁との距離が所定値以上となるように撮影されるように、前記基板と前記検出手段との位置関係を補正する請求項7記載の露光装置。 - 前記演算手段は、重心と該重心から最短の撮影領域の縁との距離が所定値以上となる全てのマークが前記撮影手段で撮影され、撮影されたマークの各々について所定の有効面積以上の領域が検出されていない場合には、全てのマークの各々について前記有効面積以上の領域が検出されるように前記基板と前記検出手段との位置関係を補正するための他の補正量を演算し、
前記補正手段は、前記演算手段で演算された他の補正量に基づいて、前記検出手段によって全てのマークの各々について前記有効面積以上の領域が検出されるように前記基板と前記検出手段との位置関係を更に補正する請求項8記載の露光装置。 - 前記演算手段は、前記検出手段で全てのマークの各々について前記有効面積以上の領域が検出され、検出されたマークの各々についてマークの全体が検出されていない場合には、前記露光手段によって正常な露光が行われるために、全てのマークの全体が検出されるように前記基板と前記検出手段の位置関係を補正するための許容補正量を演算し、
前記補正手段は、前記演算手段で演算された前記許容補正量が所定の許容値を超えた場合に、前記検出手段によって全てのマークの全体が検出されるように前記基板と前記検出手段との位置関係を更に補正する請求項6または請求項9記載の露光装置。 - 前記補正手段は、前記基板の姿勢を補正することによって、前記基板と前記検出手段との位置関係を補正する請求項1〜請求項10のいずれか1項記載の露光装置。
- 前記補正手段は、前記基板の姿勢を補正することが可能なオートキャリアを備え、該オートキャリアが前記基板の姿勢を補正することによって、前記基板と前記検出手段との位置関係を補正する請求項1〜請求項11のいずれか1項記載の露光装置。
- 感光層が形成されると共に複数の基準位置の各々に所定領域のマークが形成された基板に形成されたマークを、前記感光層を露光データに基づいて露光するための露光手段に対する位置関係が予め固定された検出手段で検出し、
前記検出手段で全てのマークより少ない個数のマークが検出された場合に、検出されたマークの位置に基づいて、全てのマークが検出されるように前記基板と前記検出手段との位置関係を補正するための補正量を演算し、
演算された補正量に基づいて、前記検出手段によって全てのマークが検出されるように、前記基板と前記検出手段との位置関係を補正し、
全てのマークが検出された場合に、所定のタイミングで前記感光層が露光されるように前記露光手段を制御する
露光方法。 - 感光層が形成されると共に複数の基準位置の各々に所定領域のマークが形成された基板に形成されたマークを、前記基板に形成されたマークを撮影するように前記感光層を露光データに基づいて露光するための露光手段に固定された撮影手段、及び前記撮影手段で1つのマークの重心を算出するために必要な必要領域以上の大きさの領域が撮影されたときに1つのマークが検出されたと判定する判定手段を含んで構成され、前記露光手段に対する位置関係が予め固定された検出手段で検出し、
前記検出手段での検出結果に基づいて、前記基板と前記検出手段との位置関係が露光に適した位置関係であるか否かを推定し、
露光に適した位置関係でないと推定された場合には、前記基板と前記検出手段との位置関係を露光に適した位置関係にするための補正量を演算し、
演算された補正量に基づいて、前記基板と前記検出手段との位置関係が露光に適した位置関係となるように、前記基板と前記検出手段との位置関係を補正し、
露光に適した位置関係であると推定された場合に、所定のタイミングで前記感光層が露光されるように前記露光手段を制御する
露光方法。
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