JP5141952B2 - 導電性ボールの搭載装置 - Google Patents
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Description
第1の発明では、前記逸脱ボール除去手段が、前記配列マスク上面に沿って移動して導電性ボールを外周面に付着可能な回転ローラと、該回転ローラの付着力より強力な力で前記回転ローラに付着した導電性ボールを前記回転ローラから除去するローラ付着ボール除去手段とを有するものとした。
1A....逸脱半田ボール
2......ウエハ
3......ボール配列マスク
4......半田ボール供給装置
5......ボールカップ
6......ウエハ載置ステージ
7......逸脱ボール除去装置
8......昇降ベース
9......タイミングベルト
10.....移動ユニット
11.....X軸ガイド
12.....Y軸ガイド
13,15,17.....駆動モータ
14,16.....ボールねじ
18.....昇降装置
19.....第1回転ローラ
20.....第2回転ローラ
21.....エアシリンダ
31......挿入孔
33.....型枠
51.....開口部
52.....ボール吸着体
53.....上部空間
54.....下部空間
55.....吸引通路
56.....ボール供給路
57.....電磁開閉弁
58.....レギュレータ
59.....真空源
60.....アース
61.....バイブレータ
Claims (7)
- 導電性ボールの挿入部が所定の配列パターンに形成された配列マスクと、
下面に開口部が形成され、多数の導電性ボールを集合させることが可能なボール溜まりと、
前記配列マスクと前記ボール溜まりとを相対移動させる相対移動手段と、
前記ボール溜まりによるボール搭載後に前記ボール溜まりから逸脱した導電性ボールを前記配列マスク上から取り除く逸脱ボール除去手段とを備え、
前記ボール溜まりに集合された導電性ボールを前記配列マスクの挿入部に落とし込むことにより被搭載物に導電性ボールを搭載する搭載装置において、
前記逸脱ボール除去手段は前記配列マスク上面に沿って移動して導電性ボールを外周面に付着可能な回転ローラと、該回転ローラの付着力より強力な力で前記回転ローラに付着した導電性ボールを前記回転ローラから除去するローラ付着ボール除去手段とを有することを特徴とする導電性ボールの搭載装置。 - 前記回転ローラは、粘着力により導電性ボールを付着させるものである請求項1記載の導電性ボールの搭載装置。
- 前記回転ローラは、吸着力により導電性ボールを付着させるものである請求項1記載の導電性ボールの搭載装置。
- 前記回転ローラは、静電気により導電性ボールを付着させるものである請求項1記載の導電性ボールの搭載装置。
- 前記ローラ付着ボール除去手段は、外周面に前記回転ローラより強力な付着力を有し、該回転ローラに付着した導電性ボールに接触するように設けられた回転するローラからなる請求項1乃至4のいずれかに記載の導電性ボールの搭載装置。
- 前記配列マスクの上面は、前記被搭載物の上面から導電性ボールの直径より高く設けられる請求項1乃至5のいずれかに記載の導電性ボールの搭載装置。
- 前記逸脱ボール除去手段は、前記ボール溜まりと一体に設けられる請求項1乃至6のいずれかに記載の導電性ボールの搭載装置。
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JP2007216604A JP5141952B2 (ja) | 2007-08-23 | 2007-08-23 | 導電性ボールの搭載装置 |
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