JP4896877B2 - 収差補正装置及び収差補正装置を操作するための方法 - Google Patents
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- ウイーンフィルタエレメント(110)と、
前記ウイーンフィルタエレメント(110)の集束特性を補償するための4極子(310)と、
球面収差補正のための少なくとも1つの多極子(410)と有し、
前記ウイーンフィルタエレメント(110)及び前記4極子(310)は組み合わされて、非点収差の画像を生成し、
前記少なくとも1つの多極子(410)は、実質的に、前記非点収差の画像の緯線方向若しくは経線方向の焦点に作用する収差補正装置(100)。 - 前記多極子(410)は4m極(m≧2)のエレメントである請求項1記載の収差補正装置。
- 前記ウイーンフィルタエレメント(110)及び前記4極子(310)は、ウイーンフィルタエレメント(110)の中央部分のx−z平面である第1の平面内に、荷電粒子ビームの1個の非点収差のクロスオーバと、前記ウイーンフィルタエレメント(110)の中央部分の前記クロスオーバに関して、対称に位置する、y−z平面である第2の平面内の前記荷電粒子ビームの2n個(n≧1)の非点収差のクロスオーバとを生成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記少なくとも1つの多極子(410)は、前記第1の平面に垂直で、前記ウイーンフィルタエレメント(110)の中央部分で前記非点収差のクロスオーバを通って伸びる平面内において実質的に作用する請求項3記載の収差補正装置。
- 前記少なくとも1つの多極子(411、412)は、前記第2の平面に垂直であり、前記2n個の非点収差のクロスオーバのうちの選択された1つを通って伸びる平面内において実質的に作用する請求項3記載の収差補正装置。
- 前記第1若しくは第2の平面に垂直であり、前記2n個の非点収差のクロスオーバのうちの選択された1つ、若しくは、前記ウイーンフィルタエレメント(110)の中央部分の前記非点収差のクロスオーバを通って伸びる平面内において、作用する1個から2n個の追加の多極子(411、412)を更に含む請求項4又は5記載の収差補正装置。
- 前記第1の平面及び前記第2の平面は相互に実質的に垂直である請求項3〜6のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記多極子の少なくとも1つは磁気多極子(912、913)を含む請求項1〜7のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記多極子の少なくとも1つは静電多極子(932、933、934、945)を含む請求項1〜8のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記多極子の内の少なくとも1つは組み合わされた静電及び磁気の多極子(902、903)を含む請求項1〜9のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記多極子は8極である請求項1〜10のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記多極子は前記4極子(310)に一体となっている請求項1〜11のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記収差補正装置(100)は光軸に沿って整列された複数の多極子(410,411、412)を含む請求項1〜12のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記収差補正装置(100)は更に光軸に沿って整列され、前記多極子(410)若しくは前記複数の多極子(410、411、412)の上流及び下流に設けられた、組み合わされたウイーンフィルタ/4極子(110/310)を更に含む請求項1〜13のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 光軸に沿って整列された組み合わされたウイーンフィルタ/4極子(110/310)は前記多極子(410、411、412)の間に挿入されている請求項13又は14記載の収差補正装置。
- 前記ウイーンフィルタエレメント(110)の上流に位置する第1の荷電粒子選択エレメント(510)を更に含む請求項1〜15のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記第1の荷電粒子選択エレメント(510)は荷電粒子角度依存選択エレメントである請求項16記載の収差補正装置。
- 前記ウイーンフィルタエレメント(110)の下流に位置する第2の荷電粒子選択エレメント(511)を更に含む請求項1〜17のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記第2の荷電粒子選択エレメント(511)は速度及び角度依存選択エレメントである請求項18記載の収差補正装置。
- 前記ウイーンフィルタエレメント(110)の中央の所でクロスオーバを生成するための第1のレンズ(610)を更に含む請求項1〜19のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記ウイーンフィルタエレメント(110)の下流の第2のレンズ(710)を更に含む請求項1〜20のいずれか1項記載の収差補正装置。
- 前記第1のレンズ(610)は増幅レンズであり前記第2のレンズ(710)は減衰レンズである請求項21記載の収差補正装置。
- 前記第1及び第2のレンズ(610、710)はイマージョンレンズであり、
前記第1のレンズ(610)は前記ウイーンフィルタエレメント(110)を入る前に、荷電粒子を減速するようになっており、
前記第2のレンズ(710)は前記ウイーンフィルタエレメント(110)を出た後に、荷電粒子を加速する請求項21又は22記載の収差補正装置。 - 荷電粒子のビームのソース(6)と、
請求項1〜23のいずれか1項記載の収差補正装置(100)と、
検査されるべき試料(4)の表面上に前記荷電粒子のビームを集束するための対物レンズ(8、710)とを含む荷電粒子ビーム装置。 - 実質的に荷電粒子の非点収差のビームを生成し、
ウイーンフィルタエレメント及び8極子を制御して、それらの組み合わせの作用により前記ビームの非点収差の画像を生成せしめ、
少なくとも1つの多極子を制御して、前記少なくとも1つの多極子エレメントに関連するクロスオーバの平面に垂直な平面内の球面収差が修正されるステップを含む請求項24の荷電粒子ビーム装置を操作するための方法。 - 複数の多極子が前記多極子の内の対応する1つに関連する対応クロスオーバの平面に垂直な各平面内における球面収差を補正するよう制御される請求項25の方法。
- 前記第2の荷電粒子選択エレメントを伴った荷電粒子を選択するステップを更に含む請求項25又は26記載の方法。
- 1つのクロスオーバがウイーンフィルタエレメントのほぼ中央の所で生成されるように、前記第1のレンズにより電子ビームを集束するステップを更に含む請求項25〜27のいずれか1項記載の方法。
- 前記ウイーンフィルタエレメントの下流にある第2のレンズにより荷電粒子ビームを形成する請求項25〜28のいずれか1項記載の方法。
- 前記第2のレンズと前記対物レンズとの間のクロスオーバが形成される請求項29記載の方法。
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