JP4893860B1 - マイクロフォン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路基板43の上面にインターポーザ52を実装し、その上面に音響センサ51を実装する。信号処理回路53は、インターポーザ52に設けられた空間70に納められて回路基板43に実装される。音響センサ51は、インターポーザ52に設けた配線構造を通じて回路基板43に接続される。音響センサ51やインターポーザ52などは、回路基板43の上面に被せたカバー42によって覆われる。カバー42には、音響センサ51のフロントチャンバと対向する位置に音導入孔48が開口されている。インターポーザ52には、音響センサ51のダイアフラム56よりも下方の空間を、カバー42内でインターポーザ52よりも外の空間とを音響的に連通させるための通気用切欠71が形成されている。
【選択図】図3
Description
図1は、従来の一般的な構造のマイクロフォンを示す断面図である。このマイクロフォン11は、カバー12と回路基板13からなるパッケージ内に音響センサ15と信号処理回路17を実装したものである。音響センサ15と信号処理回路17は、回路基板13の上面に横に並べた状態で実装されており、信号処理回路17は封止樹脂21によって覆われている。音響センサ15と信号処理回路17は、ボンディングワイヤ18によって電気的に接続されており、さらに信号処理回路17は、ボンディングワイヤ19によって回路基板13の基板内配線14に接続されている。
特許文献1に開示されているマイクロフォンを図2に示す。特許文献1のマイクロフォン31では、回路基板13の上面に信号処理回路17を実装している。信号処理回路17に隣接する位置において、回路基板13の上面にはスペーサ32が固定されており、さらにスペーサ32の上面に音響センサ15が実装されている。スペーサ32には、上下に貫通する貫通孔33が開口されており、さらにスペーサ32の外部と貫通孔33内との間の静圧差を緩和させるための連通孔34が形成されている。
特許文献2には、パッケージを構成するプリント基板の上に立体回路基板を設け、立体回路基板の上に音響センサを実装するとともに、立体回路基板の中央部に形成された開口部内に信号処理回路を納めたマイクロフォンが開示されている。
以下、図3−図5を参照して本発明の実施形態1によるマイクロフォンを説明する。図3は、実施形態1に係るマイクロフォン41の構造を示す断面図である。また、図4(A)は、マイクロフォン41に用いられているインターポーザ52(支持部材)の斜視図、図4(B)は、インターポーザ52を上下反転させた状態で示す斜視図である。図5(A)及び図5(B)はインターポーザ52の断面図であって、図5(A)は図4(A)のX−X線断面を示し、図5(B)は図4(A)のY−Y線断面を示す。
つぎに、実施形態1のマイクロフォン41を製造する工程を図6−図10に基づいて説明する。インターポーザ52は、複数個が一度に作製される。図6(A)は、一体に作製された複数個のインターポーザ52を示す平面図である。図6(B)は、図6(A)のZ−Z線に沿った断面を示す。複数個のインターポーザ52は、つぎのようにして作製される。絶縁性Siウエハ73の下面に金属メッキや蒸着を施すことによってパッド部65b、66b及びダミー電極72bをそれぞれの所定位置に形成する。ついで、パッド部65b、66bの位置においてSiウエハ73に貫通孔を形成する。この貫通孔内にメッキなどで金属材料を堆積させて貫通電極65、66を作製する。さらに、貫通電極65、66の位置で、Siウエハ73の上面に金属メッキや蒸着によってパッド部65a、66aを形成する。このとき同時に、Siウエハ73の上面の所定位置にダミー電極72aを形成する。この後、一組のパッド部65a、66a及びダミー電極72aに囲まれた領域の中央部をエッチングすることにより、上下に貫通した空洞70を開口させる。また、Siウエハ73の上面を溝状にエッチングして通気用切欠71を形成する。こうして一体に作製された複数個のインターポーザ52を表したものが図6(A)及び図6(B)である。
図11は、本発明の実施形態2によるマイクロフォン81を示す断面図である。このマイクロフォン81は、実施形態1のマイクロフォン41とはインターポーザ52の形状が異なっているだけである。従って、実施形態2のマイクロフォン81においては、インターポーザ52以外の説明は省略する。
インターポーザ52は、実施形態1、2で述べたような構造以外にも種々の構造が可能である。たとえば図13(A)及び図13(B)に示す実施形態では、実施形態2のように空洞70と通気用切欠71が分離されたインターポーザ52において、空洞70とパッケージ内空間49を連通させるための通気用切欠82をインターポーザ52の下部に設け、空洞70内もバックチャンバとして利用できるようにしたものである。
48 :音導入孔、 51 :音響センサ、 52 :インターポーザ、
53 :信号処理回路、 55 :フロントチャンバ、
56 :ダイアフラム、 57 :バックプレート、
59 :固定電極板、 65、66 :貫通電極、
65a、65b、66a、66b :パッド部、
70 :空洞、 71、82 :通気用切欠、
72a、72b :ダミー電極、
83a、83b、84a、84b :延長電極部
Claims (6)
- 回路基板と、
前記回路基板の上面に実装された支持部材と、
前記支持部材の上に実装された音響センサと、
前記支持部材の内部に形成された空洞内に納めて、前記回路基板の上面に実装された信号処理回路と、
前記音響センサ、前記支持部材及び前記信号処理回路を覆って前記回路基板の上面に固定されたカバーとを備えたマイクロフォンにおいて、
前記音響センサは、上面側にフロントチャンバとなる空間が形成されるとともに、下面側にバックチャンバとなる空間を備えており、
前記支持部材は、前記カバー及び前記回路基板で囲まれた空間のうち前記音響センサ及び前記支持部材の外部に位置する空間と、前記音響センサ内の前記バックチャンバとなる空間との間で音響振動を伝達させることのできる音響伝達通路を形成されていることを特徴とするマイクロフォン。 - 前記カバーは、音響振動を導入するための音導入孔を開口され、
前記音響センサは、前記フロントチャンバとなる空間の周囲を、前記カバーの内面の前記音導入孔を囲む領域に密着させられていることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロフォン。 - 前記支持部材は、前記音響センサと前記回路基板とを電気的に接続するための配線構造を備えていることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロフォン。
- 前記音響伝達通路は、前記支持部材の上面部を凹状又は溝状に窪ませて形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロフォン。
- 前記信号処理回路を収納するための前記空洞は、前記支持部材を上下に貫通していることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロフォン。
- 前記信号処理回路を収納するための前記空洞は、前記支持部材の下面に凹設されており、
前記空洞と前記音響伝達通路とが前記支持部材によって仕切られていることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロフォン。
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