JP4891562B2 - 駆動装置と駆動・案内装置 - Google Patents
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Description
まず、特許文献1に記載された装置及び特許文献2に記載された装置の何れの場合もその構成が複雑であるという問題があった。すなわち、ステージの駆動・案内のために超音波振動発生装置と2本の案内レールとを使用する構成であり、その為部品点数が多くて構成が複雑化してしまうという問題があった。又、併せて広い設置スペースを必要としていて装置のコンパクト化が阻害されてしまうと共に、部品点数の関係から組立に多くの工数を要してしまい、組立精度も低下してしまうという問題があった。
又、それとは別に耐摩耗性の問題があった。すなわち、超音波振動する固定側の速度と可動部の速度との間に速度差があるために両者間に「滑り」が生じてしまい、該「滑り」によって磨耗してしまうものである。そのため特許文献1に記載された装置の場合には、耐摩耗性を改善するために駆動力伝達部材を特殊なものにしたり、特殊な潤滑膜で被覆したりしている。又、特許文献2に記載された装置の場合には、摩耗の度合いを精度よく測定するために特殊な計測・監視部を設けたりしている。
又、請求項2による駆動・案内装置は、請求項1記載の駆動装置と、請求項1記載の駆動装置と、上記固定部又は可動部に設けられ上記超音波振動発生装置によって超音波振動すると共に上記可動部の移動を案内する案内面と、を具備したことを特徴とするものである。
又、請求項3による駆動・案内装置は、請求項2記載の駆動・案内装置において、上記案内面が斜面であることを特徴とするものである。
又、請求項4による駆動・案内装置は、請求項3記載の駆動・案内装置において、上記案内面が一対のハの字又は逆ハの字形状の斜面であることを特徴とするものである。
又、請求項5による駆動装置は、請求項1記載の駆動装置において、磁気吸引によって上記可動部を上記固定部に押圧するようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項6による駆動・案内装置は、請求項2記載の駆動・案内装置において、磁気吸引によって上記可動部を上記固定部に押圧するようにしたことを特徴とするものである。
又、上記制御装置を、駆動開始時直後は小さな位相差とし、徐々に位相差を大きくし速度アップを図り、又、停止時は徐々に小さな位相差まで下げて減速するように制御するものとして構成した場合には、起動から停止に至るまで滑りを効果的になくして耐磨耗性を大幅に向上させることが可能になる。
又、請求項3による案内装置によると、固定部と、上記固定部に対して接触しながら移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する複数の超音波振動発生装置と、上記固定部又は可動部に設けられ上記超音波振動発生装置によって超音波振動すると共に上記可動部の移動を案内する案内面と、を具備した構成になっているので、別途案内レールを設置する必要もなく、構成の簡略化、組立工数の低減を図ることができる。
又、上記案内面を傾斜面とした場合には、比較的簡単な構成で所望の効果を得ることができる。
又、上記案内面を1対のハの字又は逆ハの字形状の斜面とした場合には、比較的簡単な構成で所望の効果を得ることができる。
又、請求項6による駆動・案内装置によると、固定部と、上記固定部に対して接触しながら移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する複数の超音波振動発生装置と、上記複数の超音波振動発生装置の位相差を制御する制御装置と、上記固定部又は可動部に設けられ上記超音波振動発生装置によって超音波振動すると共に上記可動部の移動を案内する案内面と、を具備した構成になっていているので、可動部の固定部に対する押圧状態を損なうことなく可動部の滑りをなくすことが可能になり、耐摩耗性を大幅に向上させることができると共に、別途案内レールを設置する必要もなく、構成の簡略化、組立工数の低減を図ることができる。
又、磁気吸引によって上記可動部を上記固定部に押圧するようにした場合には、可動部の重量を増大させることなく可動部の固定部に対する密着がより確実なものとなる。
尚、図2中符号61は振幅制御器を示す。この振幅制御器61は位置決めコントローラ55の演算・指令により振幅を制御するものであり、位相差制御 だけではなく必要に応じて振幅の制御もできるものである。
因みに、図3(a)に示す場合には反時計方向の楕円運動が発生しているので、可動部31を図3(a)中左方向に移動させる推力が発生することになる。
y=asinθ ―――(I)
x=bsin(θ−φ)―――(II)
但し、
a:超音波振動発生装置13の最大振幅
b:超音波振動発生装置15の最大振幅
θ:位相
「0」にしても、接線速度(Fx)は「0」となるものの、押圧力(Fy)は十分大きく振動している(この場合は楕円運動でなく、直線状の単振動になり、進行波が止まって定常波になる)。このように、位相差(φ)を制御することにより、押圧力(Fy)を低下させることなく接線速度(Fx)と推力を「0」から容易に制御することが可能になる。尚、これは「停止時」も同様である。
又、可動部31が高速移動時は位相差(φ)を「90゜」近くにすれば、接線速度(Fx)を十分大きくして高速駆動も可能となる。
まず、耐摩耗性を向上させることができる。これは、超音波振動発生装置13、15の位相差(φ)を制御することにより、押圧力(Fy)を低下させることなく接線速度(Fx)と推力を「0」から容易に制御することが可能になったからであり、それによって、磨耗の原因である「滑り」をなくすことができたからである。
又、構成の簡略化と部品点数の削減を図ることができる。これは、固定側ガイド部3に「ハの字型」の傾斜案内面9a、11aを設け、一方、可動部31側にも「ハの字型」の案内面31a、31bを設け、これら傾斜案内面9a、11aと傾斜案内面31a、31bとによって、可動部31を左右方向に規制した状態で直線案内するように構成したからであり、従来のような案内レールを要することなく所望の案内を提供できるからである。
又、それによって、組立工数も削減されると共に組立精度も高くなるものである。
まず、前記一実施の形態では2個の超音波振動発生装置を備えた構成を例に挙げて説明したが、3個以上の場合も考えられ、その個数を限定するものではない。
その他、各部の構成はあくまで一例である。
3 固定部ガイド
5 固定部ガイドの短辺
7 固定部ガイドの短辺
9 固定部ガイドの長辺
9a 傾斜面
9b 傾斜面
11a 傾斜面
11b 傾斜面
11 固定部ガイドの長辺
13 振動発生装置
15 振動発生装置
17 支持部材
19 支持部材
21 ランジュバン型振動子
23 ベース
25 支持部材
27 支持部材
29 ランジュバン型振動子
31 可動部
31a 傾斜面
31b 傾斜面
41 磁気吸引ヨーク
43 マグネット
45 バックヨーク
51 位相差制御器
53 リニアエンコーダ
55 位置決めコントローラ
57 ドライバ
59 ドライバ
61 振幅制御器
Claims (6)
- 固定部と、
上記固定部に対して接触しながら移動可能に設置された可動部と、
上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生することにより上記固定部又は上記可動部の表面において楕円運動を発生させる複数の超音波振動発生装置と、
上記複数の超音波振動発生装置の位相差を制御する位相差制御器を備えているとともに、上記位相差制御器によって上記位相差を制御することにより上記楕円運動における押圧力(Fy)を小さくすることなく上記楕円運動における接線速度(Fx)を制御し、且つ、上記接線速度(Fx)と上記可動部の速度との間の速度差を抑制する適正な上記位相差を指示する位置決めコントローラを備え、更に、上記位置決めコントローラの演算・指令により上記超音波振動発生装置の振幅を制御する振幅制御器を備えた制御装置と、を具備し、
上記制御装置は、滑りを抑制するために、上記位置決めコントローラによって、上記接線速度(Fx)と上記可動部の速度とが大きく乖離しないように、駆動開始時直後は小さな位相差及び接線速度(Fx)とし、徐々に位相差及び接線速度(Fx)を大きくし速度アップを図り、又、停止時は徐々に小さな位相差及び接線速度(Fx)まで下げて減速するように制御するものであることを特徴とする駆動装置。 - 請求項1記載の駆動装置と、
上記固定部又は可動部に設けられ上記超音波振動発生装置によって超音波振動すると共に上記可動部の移動を案内する案内面と、を具備したことを特徴とする駆動・案内装置。 - 請求項2記載の駆動・案内装置において、
上記案内面が斜面であることを特徴とする駆動・案内装置。 - 請求項3記載の駆動・案内装置において、
上記案内面が一対のハの字又は逆ハの字形状の斜面であることを特徴とする駆動・案内装置。 - 請求項1記載の駆動装置において、
磁気吸引によって上記可動部を上記固定部に押圧するようにしたことを特徴とする駆動装置。 - 請求項2記載の駆動・案内装置において、
磁気吸引によって上記可動部を上記固定部に押圧するようにしたことを特徴とする駆動・案内装置。
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