JP4890808B2 - レーザ顕微鏡、レーザ顕微鏡の制御方法 - Google Patents
レーザ顕微鏡、レーザ顕微鏡の制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4890808B2 JP4890808B2 JP2005219213A JP2005219213A JP4890808B2 JP 4890808 B2 JP4890808 B2 JP 4890808B2 JP 2005219213 A JP2005219213 A JP 2005219213A JP 2005219213 A JP2005219213 A JP 2005219213A JP 4890808 B2 JP4890808 B2 JP 4890808B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sampling
- light
- sample
- scanning
- laser microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
しかしながら、クロック周波数を上げる場合には、関連する回路素子の高性能化(ハイスペック化)が必要となると共に、高周波数化に伴い、雑音が増える、各信号の遅延の影響が顕著になる等の問題が出てくる。
本発明の他の目的は、試料の多様な走査方法に影響されることなく、高解像度の画像を得ることが可能なレーザ顕微鏡を提供することにある。
を含むレーザ顕微鏡であって、前記画像演算手段は、互いに位相の異なる第1および第2サンプリングクロックを出力するクロック生成手段と、前記第1および/または第2サンプリングクロックに同期して前記光強度情報をデジタル化するアナログ/デジタル変換手段と、前記第1および第2サンプリングクロックのいずれを前記アナログ/デジタル変換手段に入力するかを切り替えるクロック切り替え手段と、を含み、
前記2次元走査手段は、互いに直交する第1および第2走査方向において、前記第1走査方向の同一位置で前記第2走査方向に前記試料を複数回走査し、
前記クロック切り替え手段は、前記第2走査方向における複数の前記走査の各々毎に、前記第1および第2サンプリングクロックを切り替えて前記アナログ/デジタル変換手段に入力するレーザ顕微鏡を提供する。
本発明の第2の観点は、光源と、前記光源からの集束光を試料上に走査させるための2次元走査手段と、前記試料からの反射光の強度を検出する光検出手段と、前記光検出手段から出力された前記反射光の光強度情報から前記試料の画像情報を得る画像演算手段と、
を含むレーザ顕微鏡であって、前記画像演算手段は、互いに位相の異なる第1および第2サンプリングクロックを出力するクロック生成手段と、前記第1および/または第2サンプリングクロックに同期して前記光強度情報をデジタル化するアナログ/デジタル変換手段と、前記第1および第2サンプリングクロックのいずれを前記アナログ/デジタル変換手段に入力するかを切り替えるクロック切り替え手段と、を含み、
前記2次元走査手段は、互いに直交する第1および第2走査方向において、前記第1走査方向の同一位置で前記第2走査方向に前記試料を往復して走査し、
前記クロック切り替え手段は、前記第2走査方向における往路方向の走査および復路方向の走査の各々毎に、前記第1および第2サンプリングクロックを切り替えて前記アナログ/デジタル変換手段に入力するレーザ顕微鏡を提供する。
を含むレーザ顕微鏡の制御方法であって、前記画像演算手段は、前記光強度情報から前記画像情報を得るためのサンプリングタイミングを決めるサンプリングクロックとして、第1サンプリングクロック、および前記第1サンプリングクロックの逆相の第2サンプリングクロックを使用し、
互いに直交する第1および第2走査方向において、前記第1走査方向の同一位置で前記第2走査方向に前記試料を複数回走査し、
前記第2走査方向における複数の前記走査の各々毎に、前記第1および第2サンプリングクロックを切り替えて前記画像情報を得るレーザ顕微鏡の制御方法を提供する。
本発明の第4の観点は、光源と、前記光源からの集束光を試料上に走査させるための2次元走査手段と、前記試料からの反射光の強度を検出する光検出手段と、前記光検出手段から出力された前記反射光の光強度情報から前記試料の画像情報を得る画像演算手段と、
を含むレーザ顕微鏡の制御方法であって、前記画像演算手段は、前記光強度情報から前記画像情報を得るためのサンプリングタイミングを決めるサンプリングクロックとして、第1サンプリングクロック、および前記第1サンプリングクロックの逆相の第2サンプリングクロックを使用し、
互いに直交する第1および第2走査方向において、前記第1走査方向の同一位置で前記第2走査方向に前記試料を往復して走査し、
前記第2走査方向における往路方向の走査および復路方向の走査の各々毎に、前記第1および第2サンプリングクロックを切り替えて前記画像情報を得るレーザ顕微鏡の制御方法を提供する。
また、レーザ顕微鏡において、試料の多様な走査方法に影響されることなく、高解像度の画像を得ることが可能となる。
図1は、本発明の一実施の形態であるレーザ顕微鏡の構成の一例を示す概念図であり、図2は、本実施の形態のレーザ顕微鏡の一部をさらに詳細に例示したブロック図である。
2次元走査駆動制御回路7は、走査制御線16aを介してコンピュータ16に接続されており、コンピュータ16からの指示に基づいて2次元走査機構6を制御するとともに、走査位置情報7aがコンピュータ16に入力される。2次元走査機構6は、たとえばガバノミラーや共振型光スキヤナ等で構成される。
レーザ光源14から照射されたレーザ光14aは、ミラー10にて反射され、さらに2次元走査機構6を介して、レボルバ5に取り付けられた対物レンズ4を通り、ステージ3上にある試料2に照射される。
コンピュータ16の制御の下で、2次元走査機構6は2次元走査駆動制御回路7により制御され、レーザ光源14から放射され、ミラー10、ハーフミラー9を介して2次元走査機構6に至るレーザ光14aは、ステージ3上に載置された試料2に対してXY方向に走査される。
このとき、たとえば、同一のYの位置で、サンプリングクロックの種類の数である2回だけX方向にスキャンする。各1回のスキャンに合わせて、クロック切り替えロジック18がサンプリングクロックを、サンプリングクロックC1とサンプリングクロックC2に切り替える。2つの切り替えられるサンプリングクロックC1,C2を使用して、A/D変換部19は光検出器13から到来する光検出信号13aからデジタルのサンプリングデータ13b、サンプリングデータ13cを生成し、転送ロジック20がサンプリングデータ13b、サンプリングデータ13cをX方向の1スキャンごとに演算部メモリ21に転送する。これによりY方向の座標が同じで、X方向に等間隔にずれた二つのサンプリングデータ13bおよびサンプリングデータ13cが得られる。このときY方向のスキャン波形は、X方向を2回スキャンする間同じ位置におり、さらにX方向にあわせて2倍分のデータをサンプリングするため、通常の4倍の時間をかけて、スキャンを行う。
2 試料
3 ステージ
4 対物レンズ
5 レボルバ
6 2次元走査機構
7 2次元走査駆動制御回路
7a 走査位置情報
8 焦点移動機構
9 ハーフミラー
10 ミラー
11 レンズ
12 ピンホール
13 光検出器
13a 光検出信号
13b サンプリングデータ
13c サンプリングデータ
14 レーザ光源
14a レーザ光
14b 反射光
15 モニタ
16 コンピュータ
16a 走査制御線
16b 焦点制御線
17 サンプリングクロック生成部
18 クロック切り替えロジック
19 A/D変換部
20 転送ロジック
21 演算部メモリ
30 演算部
C1,C2 サンプリングクロック
Claims (7)
- 光源と、
前記光源からの集束光を試料上に走査させるための2次元走査手段と、
前記試料からの反射光の強度を検出する光検出手段と、
前記光検出手段から出力された前記反射光の光強度情報から前記試料の画像情報を得る画像演算手段と、
を含むレーザ顕微鏡であって、
前記画像演算手段は、
互いに位相の異なる第1および第2サンプリングクロックを出力するクロック生成手段と、
前記第1および/または第2サンプリングクロックに同期して前記光強度情報をデジタル化するアナログ/デジタル変換手段と、
前記第1および第2サンプリングクロックのいずれを前記アナログ/デジタル変換手段に入力するかを切り替えるクロック切り替え手段と、
を含み、
前記2次元走査手段は、互いに直交する第1および第2走査方向において、前記第1走査方向の同一位置で前記第2走査方向に前記試料を複数回走査し、
前記クロック切り替え手段は、前記第2走査方向における複数の前記走査の各々毎に、前記第1および第2サンプリングクロックを切り替えて前記アナログ/デジタル変換手段に入力することを特徴とするレーザ顕微鏡。 - 光源と、
前記光源からの集束光を試料上に走査させるための2次元走査手段と、
前記試料からの反射光の強度を検出する光検出手段と、
前記光検出手段から出力された前記反射光の光強度情報から前記試料の画像情報を得る画像演算手段と、
を含むレーザ顕微鏡であって、
前記画像演算手段は、
互いに位相の異なる第1および第2サンプリングクロックを出力するクロック生成手段と、
前記第1および/または第2サンプリングクロックに同期して前記光強度情報をデジタル化するアナログ/デジタル変換手段と、
前記第1および第2サンプリングクロックのいずれを前記アナログ/デジタル変換手段に入力するかを切り替えるクロック切り替え手段と、
を含み、
前記2次元走査手段は、互いに直交する第1および第2走査方向において、前記第1走査方向の同一位置で前記第2走査方向に前記試料を往復して走査し、
前記クロック切り替え手段は、前記第2走査方向における往路方向の走査および復路方向の走査の各々毎に、前記第1および第2サンプリングクロックを切り替えて前記アナログ/デジタル変換手段に入力することを特徴とするレーザ顕微鏡。 - 請求項1または請求項2記載のレーザ顕微鏡において、
前記クロック生成手段は、互いに逆位相の前記第1および第2サンプリングクロックを出力することを特徴とするレーザ顕微鏡。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のレーザ顕微鏡において、
前記第1および第2サンプリングクロックは不等時間間隔であることを特徴とするレーザ顕微鏡。 - 光源と、
前記光源からの集束光を試料上に走査させるための2次元走査手段と、
前記試料からの反射光の強度を検出する光検出手段と、
前記光検出手段から出力された前記反射光の光強度情報から前記試料の画像情報を得る画像演算手段と、
を含むレーザ顕微鏡の制御方法であって、
前記画像演算手段は、前記光強度情報から前記画像情報を得るためのサンプリングタイミングを決めるサンプリングクロックとして、第1サンプリングクロック、および前記第1サンプリングクロックの逆相の第2サンプリングクロックを使用し、
互いに直交する第1および第2走査方向において、前記第1走査方向の同一位置で前記第2走査方向に前記試料を複数回走査し、
前記第2走査方向における複数の前記走査の各々毎に、前記第1および第2サンプリングクロックを切り替えて前記画像情報を得ることを特徴とするレーザ顕微鏡の制御方法。 - 光源と、
前記光源からの集束光を試料上に走査させるための2次元走査手段と、
前記試料からの反射光の強度を検出する光検出手段と、
前記光検出手段から出力された前記反射光の光強度情報から前記試料の画像情報を得る画像演算手段と、
を含むレーザ顕微鏡の制御方法であって、
前記画像演算手段は、前記光強度情報から前記画像情報を得るためのサンプリングタイミングを決めるサンプリングクロックとして、第1サンプリングクロック、および前記第1サンプリングクロックの逆相の第2サンプリングクロックを使用し、
互いに直交する第1および第2走査方向において、前記第1走査方向の同一位置で前記第2走査方向に前記試料を往復して走査し、
前記第2走査方向における往路方向の走査および復路方向の走査の各々毎に、前記第1および第2サンプリングクロックを切り替えて前記画像情報を得ることを特徴とするレーザ顕微鏡の制御方法。 - 請求項5または請求項6記載のレーザ顕微鏡の制御方法において、
前記第1および第2サンプリングクロックは不等時間間隔であることを特徴とするレーザ顕微鏡の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005219213A JP4890808B2 (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | レーザ顕微鏡、レーザ顕微鏡の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005219213A JP4890808B2 (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | レーザ顕微鏡、レーザ顕微鏡の制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007034052A JP2007034052A (ja) | 2007-02-08 |
JP4890808B2 true JP4890808B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=37793371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005219213A Expired - Fee Related JP4890808B2 (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | レーザ顕微鏡、レーザ顕微鏡の制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4890808B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104081250B (zh) * | 2012-01-26 | 2017-10-03 | 奥林巴斯株式会社 | 光扫描型观察装置 |
JP6253292B2 (ja) * | 2013-07-25 | 2017-12-27 | オリンパス株式会社 | レーザ走査顕微鏡 |
EP3675060A4 (en) * | 2017-08-22 | 2020-08-26 | Sony Corporation | IMAGE PROCESSING DEVICE AND IMAGE PROCESSING METHOD |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03175411A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-07-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 走査型顕微鏡 |
JPH0965115A (ja) * | 1995-08-24 | 1997-03-07 | Nikon Corp | 画像データ処理装置 |
JPH1138338A (ja) * | 1997-07-18 | 1999-02-12 | Olympus Optical Co Ltd | サンプリング信号発生装置及び走査型光学顕微鏡 |
JPH11271621A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-08 | Olympus Optical Co Ltd | 光走査機構のサンプリングクロック発生装置 |
JP2003043369A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-13 | Olympus Optical Co Ltd | レーザ走査型顕微鏡 |
-
2005
- 2005-07-28 JP JP2005219213A patent/JP4890808B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007034052A (ja) | 2007-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20190110884A (ko) | ToF 센서와 이를 이용한 3차원 영상 장치 및 3차원 영상 장치의 구동 방법 | |
JP4894161B2 (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JP2017015611A (ja) | 距離測定装置 | |
JP2011501151A (ja) | 光学的コヒーレンストモグラフィ | |
JP4401988B2 (ja) | 3次元画像情報取得装置 | |
JP4890808B2 (ja) | レーザ顕微鏡、レーザ顕微鏡の制御方法 | |
JP2010256530A (ja) | 顕微鏡装置 | |
US7923672B2 (en) | Process and devices for optically sensing a specimen with a large depth of field | |
JP2010151697A (ja) | 3次元形状計測装置および方法 | |
JP2017134115A (ja) | 顕微鏡装置、及び画像表示プログラム | |
JP5598740B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
JP6253292B2 (ja) | レーザ走査顕微鏡 | |
US20180003938A1 (en) | Scanning microscope | |
JPH11271626A (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
JP2005351851A (ja) | 3次元画像情報取得装置 | |
JP4303465B2 (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JPH07318806A (ja) | 位相差顕微鏡装置 | |
JP2004053922A (ja) | 走査画像の補正方法、そのプログラム、及びレーザ走査型顕微鏡 | |
JP6552039B2 (ja) | 走査型顕微鏡、及び、画素データ生成方法 | |
JP4635145B2 (ja) | コンフォーカル顕微鏡及び膜厚測定装置 | |
JP6993206B2 (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
JP4478921B2 (ja) | 3次元共焦点レーザ顕微鏡システム | |
US12007544B2 (en) | Method and apparatus for capturing an image of an object using a scanning microscope | |
JP4914567B2 (ja) | 走査型共焦点顕微鏡 | |
JPH07274215A (ja) | 立体ビジョンカメラ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111213 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111215 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4890808 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |