JP4888632B2 - 結晶欠陥の評価方法 - Google Patents
結晶欠陥の評価方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4888632B2 JP4888632B2 JP2005313539A JP2005313539A JP4888632B2 JP 4888632 B2 JP4888632 B2 JP 4888632B2 JP 2005313539 A JP2005313539 A JP 2005313539A JP 2005313539 A JP2005313539 A JP 2005313539A JP 4888632 B2 JP4888632 B2 JP 4888632B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- anisotropic etching
- crystal
- single crystal
- product
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 108
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 101
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title claims description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 61
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 claims abstract description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 25
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 41
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 37
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 16
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 8
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 5
- SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N azane;hydrogen peroxide Chemical compound [NH4+].[O-]O SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000012854 evaluation process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 37
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003691 SiBr Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 1
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003325 tomography Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
半導体単結晶基板の主表面を含む表層部に、結晶欠陥の非形成領域に対するエッチング速度が結晶欠陥の形成領域に対するエッチング速度よりも大きい選択性の、エッチング深さ0.1μm以上1μm以下である異方性エッチングを施すことにより、結晶欠陥にて頂面部が形成される欠陥強調突起部を主表面に形成する異方性エッチング工程と、
該異方性エッチングを施した主表面において、欠陥強調突起部の周囲領域に付着した異方性エッチングの副生成物を除去する副生成物除去工程と、
該副生成物の除去された主表面において欠陥強調突起部を検出し、その検出結果に基づいて結晶欠陥を評価する検出・評価工程と、をこの順序にて実施し、
検出・評価工程において、欠陥強調突起部をレーザー散乱式検出装置にて検出し、
副生成物除去工程において、異方性エッチングの半導体単結晶基板の主表面を、副生成物の除去が可能な洗浄液にて洗浄し、
半導体単結晶基板はシリコン単結晶ウェーハであり、洗浄液はアンモニア−過酸化水素水溶液であり、
洗浄液は、さらに弗酸を含有することを特徴とする。
本実施形態では、半導体単結晶基板としてシリコン単結晶ウェーハを製造する場合を例に取るが、これに限定されるものではない。まず、CZ法あるいはFZ法等の公知の方法にてシリコン単結晶インゴットを製造する。こうして得られる単結晶インゴットは、一定の抵抗率範囲のブロックに切断され、さらに外径研削が施される。外径研削後の各ブロックには、オリエンテーションフラットあるいはオリエンテーションノッチが形成される。このように仕上げられたブロックは、内周刃切断等のスライサーによりスライシングされる。スライシング後のシリコン単結晶ウェーハの両面外周縁にはベベル加工により面取りが施される。
P 結晶欠陥
Q 欠陥強調突起部
CG 副生成物
Claims (2)
- 半導体単結晶基板中に形成された結晶欠陥の評価方法であって、
前記半導体単結晶基板の主表面を含む表層部に、前記結晶欠陥の非形成領域に対するエッチング速度が前記結晶欠陥の形成領域に対するエッチング速度よりも大きい選択性の、エッチング深さ0.1μm以上1μm以下である異方性エッチングを施すことにより、前記結晶欠陥にて頂面部が形成される欠陥強調突起部を前記主表面に形成する異方性エッチング工程と、
該異方性エッチングを施した前記主表面において、前記欠陥強調突起部の周囲領域に付着した前記異方性エッチングの副生成物を除去する副生成物除去工程と、
該副生成物の除去された主表面において前記欠陥強調突起部を検出し、その検出結果に基づいて前記結晶欠陥を評価する検出・評価工程と、
をこの順序にて実施し、
前記検出・評価工程において、前記欠陥強調突起部をレーザー散乱式検出装置にて検出し、
前記副生成物除去工程において、前記異方性エッチングの前記半導体単結晶基板の主表面を、前記副生成物の除去が可能な洗浄液にて洗浄し、
前記半導体単結晶基板はシリコン単結晶ウェーハであり、前記洗浄液はアンモニア−過酸化水素水溶液であり、
前記洗浄液は、さらに弗酸を含有することを特徴とする結晶欠陥の評価方法。 - 前記異方性エッチング工程を反応性イオンエッチングにて行なう請求項1記載の結晶欠陥の評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005313539A JP4888632B2 (ja) | 2005-10-27 | 2005-10-27 | 結晶欠陥の評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005313539A JP4888632B2 (ja) | 2005-10-27 | 2005-10-27 | 結晶欠陥の評価方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007123542A JP2007123542A (ja) | 2007-05-17 |
JP4888632B2 true JP4888632B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=38147060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005313539A Active JP4888632B2 (ja) | 2005-10-27 | 2005-10-27 | 結晶欠陥の評価方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4888632B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100912342B1 (ko) * | 2008-02-14 | 2009-08-14 | 주식회사 실트론 | 반응이온에칭을 이용한 웨이퍼의 결함 검출방법 및 이를위한 웨이퍼 구조 |
US8771415B2 (en) | 2008-10-27 | 2014-07-08 | Sumco Corporation | Method of manufacturing silicon single crystal, silicon single crystal ingot, and silicon wafer |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3451955B2 (ja) * | 1998-08-13 | 2003-09-29 | 株式会社豊田中央研究所 | 結晶欠陥の評価方法及び結晶欠陥評価装置 |
JP4382438B2 (ja) * | 2002-11-14 | 2009-12-16 | 株式会社東芝 | 半導体ウェーハの検査方法、半導体装置の開発方法、半導体装置の製造方法、および半導体ウェーハ処理装置 |
JP4254584B2 (ja) * | 2004-03-15 | 2009-04-15 | 信越半導体株式会社 | 結晶欠陥の評価方法 |
-
2005
- 2005-10-27 JP JP2005313539A patent/JP4888632B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007123542A (ja) | 2007-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9343379B2 (en) | Method to delineate crystal related defects | |
JP5268314B2 (ja) | 金属汚染と熱処理を利用した単結晶シリコンの結晶欠陥領域の区分方法 | |
JP6402703B2 (ja) | 欠陥領域の判定方法 | |
JP2002076082A (ja) | シリコンウエーハの検査方法及び製造方法、半導体デバイスの製造方法及びシリコンウエーハ | |
JP2006208314A (ja) | シリコン単結晶ウエーハの結晶欠陥の評価方法 | |
JP4254584B2 (ja) | 結晶欠陥の評価方法 | |
JP4888632B2 (ja) | 結晶欠陥の評価方法 | |
JP4797576B2 (ja) | 結晶欠陥の評価方法 | |
KR102037748B1 (ko) | 웨이퍼의 결함 영역을 평가하는 방법 | |
JP2010275147A (ja) | シリコンウェーハの結晶欠陥評価方法 | |
KR100818670B1 (ko) | 금속 오염과 열처리를 이용한 단결정 실리콘의 결정 결함영역 구분 방법 | |
JP6536502B2 (ja) | パーティクルカウンタ校正用ウェーハの作製方法 | |
KR102661941B1 (ko) | 웨이퍼의 결함 영역의 평가 방법 | |
JP5521775B2 (ja) | 単結晶シリコンウェーハの評価方法 | |
JP5565079B2 (ja) | Soiウェーハの製造方法 | |
JP3651440B2 (ja) | シリコンウェーハの評価方法及びそのエッチング液 | |
JP2004119446A (ja) | アニールウエーハの製造方法及びアニールウエーハ | |
JP2000208578A (ja) | シリコンウェ―ハの評価方法及びシリコンウェ―ハ | |
JP6011930B2 (ja) | シリコンウェーハの評価方法及びそのエッチング液 | |
TWI694183B (zh) | 由單晶矽製成的半導體晶圓 | |
JP6731161B2 (ja) | シリコン単結晶の欠陥領域特定方法 | |
KR100384680B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 결함 검출 방법 | |
JP4003943B2 (ja) | シリコンウエハの八面体ボイドの評価方法 | |
JP4211643B2 (ja) | 結晶欠陥の評価方法 | |
JP2894154B2 (ja) | シリコンウエーハ表面の加工変質層深さの測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101209 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110705 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110928 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20111005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111116 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4888632 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |