JP4888015B2 - 基板コイル型磁歪トルクセンサ - Google Patents
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Description
2〜5 配線層
6〜21 コイル
22,23 +45度検出コイル回路
24,25 −45度検出コイル回路
Claims (4)
- 磁歪特性を有する回転軸と磁心との間に回転軸に対して+45度傾斜した直線部が形成された複数のコイルを有する+45度配線層と−45度傾斜した直線部が形成された複数のコイルを有する−45度配線層とをそれぞれ2層有する4層フレキシブル基板が配置されており、2つの上記+45度配線層のそれぞれ半数のコイルを直列接続して形成される+45度第1検出コイル回路及び+45度第2検出コイル回路と、2つの上記−45度配線層のそれぞれ半数のコイルを直列接続して形成される−45度第1検出コイル回路及び−45度第2検出コイル回路とでブリッジ回路が組まれていることを特徴とする基板コイル型磁歪トルクセンサ。
- 磁歪特性を有し中心軸線の回りに回転する回転軸と、該回転軸と同軸で該回転軸の外周と間隙を隔てて配置された磁心と、該磁心の内面に装着され配線層を4層有するフレキシブル基板と、第1の配線層に設けられ上記回転軸に対して+45度傾斜した直線部が形成された第1から第4までの4つのコイルと、第2の配線層に設けられ上記回転軸に対して−45度傾斜した直線部が形成された第5から第8までの4つのコイルと、第3の配線層に設けられ上記回転軸に対して+45度傾斜した直線部が形成された第9から第12までの4つのコイルと、第4の配線層に設けられ上記回転軸に対して−45度傾斜した直線部が形成された第13から第16までの4つのコイルと、第1、第10、第11、第4のコイルを直列接続して形成された+45度第1検出コイル回路と、第9、第2、第3、第12のコイルを直列接続して形成された+45度第2検出コイル回路と、第5、第14、第15、第8のコイルを直列接続して形成された−45度第1検出コイル回路と、第13、第6、第7、第16のコイルを直列接続して形成された−45度第2検出コイル回路とを備えたことを特徴とする基板コイル型磁歪トルクセンサ。
- 上記+45度第1検出コイル回路と上記+45度第2検出コイル回路または上記−45度第1検出コイル回路と上記−45度第2検出コイル回路におけるコイルから回転軸までの平均距離が等しいことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板コイル型磁歪トルクセンサ。
- 上記+45度第1検出コイル回路と上記+45度第2検出コイル回路または上記−45度第1検出コイル回路と上記−45度第2検出コイル回路における配線層の平均厚さが等しいことを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載の基板コイル型磁歪トルクセンサ。
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