JP4887678B2 - セラミックグリーンシートの製造方法および装置 - Google Patents

Description

本発明はセラミックグリーンシートの製造方法および装置に関し、特に、キャリアフィルムにより支持されたセラミックグリーンシートの製造方法および装置に関する。

積層型セラミック電子部品などは、複数のセラミックグリーンシートを積層し、焼成することによって製造される。

未焼成のセラミックグリーンシートは、例えば図１に要部構成図を示した製造装置１を用い、長尺状のキャリアフィルム３上に、スラリーコータ５により一定厚のセラミックのスラリー２を塗布し、キャリアフィルム３により支持されたセラミックグリーンシート４を成形する。詳しくは、キャリアフィルム３はガイドロール１３を介してバッキングロール６の周面に供給され、バッキングロール６が矢印１４で示す方向に回転される。スラリーコータ５は、矢印７で示すように圧送されたスラリー２を、第１のスラリー室８、スラリー流路９、第２のスラリー室１１に導き、バッキングロール６で保持されながら搬送されるキャリアフィルム３に対して、第２のスラリー室１１の開口１０から一定圧でスラリー２を押し付ける。スラリー２の塗布厚は、キャリアフィルム３の搬送方向下流側に位置するドクターエッジ１２とキャリアフィルム３との間隔で決まる（例えば、特許文献１参照）。

また、従来、布や紙等のシート状物の密度むら等の欠陥を、シート状物の搬送中に検査する技術が知られている。例えば、特許文献２には、搬送中のシート状物を１次元ＣＣＤイメージセンサで幅方向に走査し、その画像情報データを用いて検査する技術が開示されている。
特開平１１−７７６２６号公報 特開平６−５０８７３号公報

セラミックグリーンシートを成形するためのキャリアフィルムがガイドロールを介して搬送される場合、スラリー塗布前のキャリアフィルムに接するガイドロールに異物等が付着していると、キャリアフィルムに不所望なキズなどの接触痕が形成されたり、異物の油分が転写されたりする。このようなキャリアフィルムの上に、特に膜厚の小さいスラリーの塗布を行うと、セラミックグリーンシートには欠点ができてしまう。例えば、キャリアフィルムの接触痕の部分ではセラミックグリーンシートの厚さが不均一になり、キャリアフィルムに油分が転写された部分ではスラリーがはじかれ、セラミックグリーンシートに孔が開く。

ガイドロールに異物等が付着したままであると、欠点が繰り返し発生し、歩留まりの低下を招くので、装置を停止し、欠点の原因である異物等をガイドロールから取り除く必要がある。このとき、原因箇所を迅速に特定し、装置の停止時間をできるだけ短くして、稼働率を高めることが望ましい。

本発明は、かかる実情に鑑み、稼働率を向上することができる、セラミックグリーンシートの製造方法及び装置を提供しようとするものである。

本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したセラミックグリーンシートの製造方法を提供する。

セラミックグリーンシートの製造方法は、準備工程と、第１乃至第６の工程を備える。前記第１の工程において、キャリアフィルムを複数のガイドロールで案内しながら搬送する。前記第２の工程において、前記第１の工程により搬送されている前記キャリアフィルムの一方の面上にセラミック材を含むスラリーを塗布し、前記キャリアフィルムにより支持されたセラミックグリーンシートを成形する。前記第３の工程において、前記第２の工程により形成された前記セラミックグリーンシートについて、前記キャリアフィルムの搬送経路の一方側から照明し、前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートを透過した透過光を、前記キャリアフィルムの前記搬送経路の他方側で受光し、受光した透過光の強度をもとに、前記キャリアフィルム上に形成された前記セラミックグリーンシートの厚みまたは孔による欠点を検出する。前記第４の工程において、前記第３の工程で検出された前記欠点のある部分が含まれないように、前記セラミックグリーンシートを前記キャリアフィルムとともにプレス型で打ち抜き、前記セラミックグリーンシートは欠点のない部分が後工程で用いられるようにする。前記ガイドロールは、前記スラリーを塗布する位置よりも搬送方向上流側において前記キャリアフィルムを案内する複数の上流側ガイドロールを含む。前記上流側ガイドロールのうち前記キャリアフィルムの前記一方の面に接する前記上流側ガイドロールは、外径寸法が全て異なる複数の異径ガイドロールである。前記準備工程において、前記異径ガイドロールに起因して発生する前記セラミックグリーシートの前記欠点の周期を、当該異径ガイドロールと対応つけて、前記第１乃至第４の工程の前に予め記憶しておく。前記第５の工程において、前記第３の工程において検出された前記セラミックグリーンシートの前記欠点について、当該欠点の周期を検出し、前記準備工程において予め記憶された前記欠点の前記周期と比較して、当該欠点を発生させた前記異径ガイドロールを特定する。

ガイドロールに異物が付着したことが原因で、セラミックグリーンシートに欠点が発生する場合、異物がガイドロールに付着したままであれば、異物が付着しているガイドロールの周長に対応した一定の周期で欠点が発生する。このことから、欠点の周期が分かれば、欠点を発生させたガイドロールの外径寸法を特定することができる。

一方、セラミックグリーンシートの欠点の大部分は、スラリーを塗布する位置よりも上流側においてキャリアフィルムを案内するガイドロール（すなわち、上流側ガイドロール）において異物付着等によって発生する。

上流側ガイドロールの少なくとも一部を、外径寸法が全て異なる異径ガイドロールにすれば、異径ガイドロールの周長は全て異なり、異径ガイドロール毎にその異径ガイドロールで発生する欠点の周期が全て異なるようになる。これによって、いずれかの異径ガイドロールに付着した異物等によって、セラミックグリーンシートに欠点が繰り返し発生した場合、欠点の周期から、欠点を発生させた異径ガイドロールを容易に特定することができる。
セラミックグリーンシートの欠点の原因の大部分は、スラリーを塗布するキャリアフィルムの一方の面に接する上流側ガイドロールによって形成される。そのため、上記構成のようにキャリアフィルムの一方の面に接する上流側ガイドロールが異径ガイドロールであれば、実用上十分な効果を得ることができる。また、異径ガイドロールの本数を少なくして、構成を簡単にすることができる。

上記方法によれば、原因箇所を特定する手間が省けるので、原因箇所の特定のために製造装置を停止する時間を短縮し、あるいは無くすことによって、稼働率を向上することができる。

前記第６の工程において、前記第５の工程において特定された前記異径ガイドロールについて、前記異径ガイドロールの前記キャリアフィルムに接する外周面を選択的に清掃することができるガイドロール清掃機構を作動させ、当該異径ガイドロールの前記キャリアフィルムに接する前記外周面を清掃する。

この場合、清掃が必要なときに、清掃が必要な異径ガイドロールについてのみ、ガイドロール清掃機構を作動させ、清掃が必要な異径ガイドロールのキャリアフィルムに接する面を清掃して異物等を除去し、欠点の発生をなくす。これによって、清掃のために製造装置を停止する時間を短縮し、あるいは無くすことによって、稼働率をさらに向上することができる。また、清掃が必要な異径ガイドロールについてのみ清掃することによって、ガイドロール清掃機構の清掃具等の消耗品の長寿命化を図ることができる。

また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したセラミックグリーンシートの製造装置を提供する。

セラミックグリーンシートの製造装置は、（１）キャリアフィルムを複数のガイドロールで案内しながら搬送するフィルム搬送部と、（２）前記フィルム搬送部により搬送されている前記キャリアフィルムの一方の面上にセラミック材を含むスラリーを供給し、前記キャリアフィルムにより支持されたセラミックグリーンシートを成形する塗工部と、（３）前記塗工部により成形された前記セラミックグリーンシートを検査する検査装置とを備える。前記フィルム搬送部は、前記塗工部より前記キャリアフィルムの搬送方向上流側において前記キャリアフィルムを案内する複数の上流側ガイドロールを含む。前記上流側ガイドロールのうち前記キャリアフィルムの前記一方の面に接する前記上流側ガイドロールは、外径寸法が全て異なる複数の異径ガイドロールである。前記検査装置は、（ａ）前記キャリアフィルムの搬送経路の一方側に配置された照明ユニットと、（ｂ）前記キャリアフィルムの前記搬送経路の他方側に配置され、前記照明ユニットによる照明光のうち、前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートを透過した透過光を受光し、受光した透過光の強度に対応した検出信号を送出するカメラユニットと、（ｃ）前記カメラユニットから送出された前記検出信号をもとに、前記塗工部により成形された前記セラミックグリーンシートについて、前記キャリアフィルム上に形成された前記セラミックグリーンシートの厚みまたは孔による欠点を検出する欠点検出部と、（ｄ）前記異径ガイドロールに起因して発生する前記セラミックグリーシートの前記欠点の周期を、当該異径ガイドロールと対応つけて、予め記憶しておく欠点周期記憶部と、（ｅ）前記欠点検出部が検出した前記セラミックグリーンシートの前記欠点について、当該欠点の周期を検出する欠点周期検出部と、（ｆ）前記欠点周期検出部が検出した当該欠点の前記周期を、前記欠点周期記憶部により予め記憶された前記欠点の前記周期と比較して、当該欠点を発生させた前記異径ガイドロールを特定するガイドロール特定部とを含む。

上記構成によれば、異径ガイドロールに起因してセラミックグリーンシートに欠点が発生した場合、欠点の周期から、欠点を発生させた異径ガイドロールを特定することができる。原因箇所を特定する手間が省けるので、原因箇所の特定のために製造装置を停止する時間を短縮し、あるいは無くすことによって、稼働率を向上することができる。
セラミックグリーンシートの欠点の原因の大部分は、スラリーを塗布するキャリアフィルムの一方の面に接する上流側ガイドロールによって形成される。そのため、上記構成のようにキャリアフィルムの一方の面に接する上流側ガイドロールが異径ガイドロールであれば、実用上十分な効果を得ることができる。また、異径ガイドロールの本数を少なくして、構成を簡単にすることができる。

セラミックグリーンシートの製造装置は、（４）前記欠点のある部分が含まれないように、前記セラミックグリーンシートを前記キャリアフィルムとともにプレス型で打ち抜き、前記セラミックグリーンシートは欠点のない部分が後工程で用いられるようにする、打ち抜き部と、（５）前記異径ガイドロールの前記キャリアフィルムに接する外周面を選択的に清掃することができるガイドロール清掃機構と、（６）前記検査装置の前記ガイドロール特定部により特定された前記異径ガイドロールについて、前記ガイドロール清掃機構を作動させ、当該異径ガイドロールの前記キャリアフィルムに接する前記外周面を清掃するガイドロール清掃制御部とを、さらに備える。

上記構成によれば、清掃が必要なときに、清掃が必要な異径ガイドロールについてのみ、ガイドロール清掃機構を作動させ、清掃が必要な異径ガイドロールのキャリアフィルムに接する面を清掃して異物等を除去し、欠点の発生をなくす。これによって、清掃のために製造装置を停止する時間を短縮し、あるいは無くすことによって、稼働率をさらに向上することができる。また、清掃が必要な異径ガイドロールについてのみ清掃することによって、ガイドロール清掃機構の清掃具等の消耗品の長寿命化を図ることができる。

本発明のセラミックグリーンシートの製造方法及び装置によれば、稼働率を向上することができる。

以下、本発明の実施の形態として実施を、図２の構成図を参照しながら説明する。

セラミックグリーンシートの製造装置２０は、ロール８０から長尺状のキャリアフィルム８２を巻き出し、ガイドロール３１〜３９で案内しながら搬送し、シートリール４０に巻き上げる。ガイドロール３１〜３９及びシートリール４０は、不図示のモータによって回転駆動される。キャリアフィルム８２の搬送経路の途中には、順に、塗工部である塗工ユニット４４、乾燥炉４６及び検査装置５０が設けられている。キャリアフィルム８２は、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムである。

塗工ユニット４４は、キャリアフィルム８２の一方の面上にセラミック材を含むスラリーを塗布し、キャリアフィルム８２の一方の面上に、薄い膜状のセラミックグリーンシートを成形にする。詳しくは図示していないが、例えば図１と同様に、スラリーを供給する部分よりもキャリアフィルム８２の搬送方向下流側において、キャリアフィルム８２の一方の面とドクターエッジ（図示せず）との間に一定の隙間を形成し、スラリーがこの隙間を通過して一定厚になるように構成する。

セラミックグリーンシートは、キャリアフィルム８２に支持された状態で搬送される。乾燥炉４６は、キャリアフィルム８２とともに搬送されているセラミックグリーンシートを乾燥し、セラミックグリーンシート中の溶媒をある程度まで除去する。

検査装置５０は、搬送中のセラミックグリーンシートを検査する。検査装置５０は、搬送経路の両側にそれぞれ配置された照明ユニット５２及びカメラユニット５４と、装置本体５５とを備える。照明ユニット５２は、キャリアフィルム及びセラミックグリーンシートを照明する。カメラユニット５４は、照明ユニット５２による照明光のうち、キャリアフィルム及びセラミックグリーンシートを透過した透過光を受光し、受光した透過光の強度に対応した検出信号を装置本体５５に送出する。装置本体５５は、カメラユニット５４からの検出信号をもとに、セラミックグリーンシートの密度ムラ等の欠点を検出する。例えば、装置本体５５は、ＣＰＵ、メモリ、信号処理回路等によって構成され、カメラユニット５４からの検出信号のレベルを所定の閾値と比較することによって、欠点の有無を判定する。

検査装置５０で検査したセラミックグリーンシートは、欠点のない部分を後工程で用いる。例えば、検査装置５０よりも搬送方向下流側にプレス（図示せず）を配置し、欠点のある部分が含まれないように、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムとともにプレス型で打ち抜き、後工程で用いる。

塗工ユニット４４より搬送方向上流側においてキャリアフィルム８２を案内するガイドロール（すなわち、上流側ガイドロール）３１〜３４のうち、キャリアフィルム８２のスラリーが供給される一方の面に接するガイドロール３１，３２，３４は、外径寸法が全て異なる異径ガイドロール３１，３２，３４である。

異径ガイドロール３１，３２，３４には、それぞれ、ガイドロール清掃機構であるクリーニングユニット４２が設けられている。詳しくは図示していないが、例えば、クリーニングユニット４２は、クリーニングロールを有する。クリーニングロールは、回転自在に支持され、外周面が粘着性を有する。クリーニングロールは、検査装置５０の装置本体５５からの制御信号によって、異径ガイドロール３１，３２，３４のキャリアフィルム８２に接する外周面に接離する。異径ガイドロール３１，３２，３４のキャリアフィルム８２に接する外周面に付着していた異物等は、クリーニングロールの外周面が、キャリアフィルム８２の搬送に伴い回転中の異径ガイドロール３１，３２，３４の外周面に接触することにより、クリーニングロールの外周面に付着し、異径ガイドロール３１，３２，３４の外周面から除去される。クリーニングユニット４２は、キャリアフィルム８２を搬送したまま、異径ガイドロール３１，３２，３４の外周面を清掃することができる。異径ガイドロール３１，３２，３４のクリーニングのために製造装置２０を停止する必要がないので、稼働率を向上することができる。

異径ガイドロール３１，３２，３４の外周面に異物が付着していると、キャリアフィルム８２のスラリーが塗布される一方の面に不所望なキズなどの接触痕を残したり、異物の油分が転写されたりする。このようなキャリアフィルム８２の上に、特に膜厚の小さいスラリーを塗布すると、キャリアフィルム８２の接触痕の部分では、他の部分よりもセラミックグリーンシートが厚く形成される。また、キャリアフィルム８２に油分が転写された部分では、スラリーがはじかれてしまい、セラミックグリーンシートに孔が形成される。そのため、セラミックグリーンシートに欠点ができてしまう。

異径ガイドロール３１，３２，３４に異物が付着したままであれば、欠点が繰り返し発生する。欠点は、異物が付着している異径ガイドロール３１，３２，３４の周長に対応した一定の周期で発生する。異径ガイドロール３１，３２，３４の外径寸法が全て異なるので、異径ガイドロール３１，３２，３４毎に、欠点の周期も全て異なる。そのため、欠点の周期が分かれば、欠点を発生させた異径ガイドロール３１，３２，３４を容易に特定することができる。

そこで、検査装置５０の装置本体５５は、単にセラミックグリーンシートの欠点を検出するだけでなく、欠点の周期も検出し、欠点を発生させた異径ガイドロール３１，３２，３４を特定する機能を備えている。

具体的には、検査装置５０の装置本体５５は、セラミックグリーンシートについて欠点を検出する欠点検出部５６以外に、欠点周期記憶部５７と、欠点周期検出部５８と、ガイドロール特定部５９とを含む。欠点周期記憶部５７は、異径ガイドロール３１，３２，３４に起因して発生するセラミックグリーシートの欠点の周期を、異径ガイドロール３１，３２，３４と対応つけて、予め記憶しておく。欠点周期検出部５８は、欠点検出部５６が検出したセラミックグリーンシートの欠点について、欠点の周期を検出する。ガイドロール特定部５９は、周期記憶部５７により予め記憶された欠点の周期と、欠点周期検出部５８が検出した欠点の周期とが、所定の許容範囲内で一致するか否か判定し、一致した場合には、周期記憶部５７に記憶されたその欠点の周期に対応する異径ガイドロール３１，３２，３４を、検出された欠点を発生させた異径ガイドロールとして特定する。

ガイドロール特定部５９は、ガイドロール清掃制御部としても機能し、特定した異径ガイドロール３１，３２，３４に設けられたクリーニングユニット４２に対して、制御信号を出力する。この制御信号によって、欠点を発生させた異径ガイドロール３１，３２，３４についてのみ、クリーニングユニット４２が所定時間作動し、欠点を発生させた異径ガイドロール３１，３２，３４の外周面に付着した異物等を除去する。これにより、その後は、その異径ガイドロール３１，３２，３４に起因する欠点が発生しないようになる。

以上のように、セラミックグリーンシートの製造装置２０を、異径ガイドロール３１，３２，３４に付着した異物等に起因してセラミックグリーンシートに欠点が発生した場合、検査装置５０でその欠点を検出するとともに、欠点の周期から、欠点を発生させた異径ガイドロール３１，３２，３４を特定することができる。原因箇所を特定する手間が省けるので、原因箇所の特定のために製造装置２０を停止する時間を短縮し、あるいは無くすことによって、稼働率を向上することができる。

また、欠点を発生させた異径ガイドロール３１，３２，３４について、クリーニングユニット４２で自動的に清掃することにより、清掃のために製造装置２０を停止する時間を短縮し、あるいは無くすことによって、稼働率をさらに向上することができる。

また、キャリアフィルムの欠点の大部分は、キャリアフィルム８２のスラリーを塗布する側の面に接する上流側ガイドロールで発生するため、キャリアフィルム８２のスラリーを塗布する側の面に接する上流側ガイドロール３１，３２，３４のみが異径ガイドロール３１，３２，３４であれば、実用上十分な効果を得ることができる。異径ガイドロール３１，３２，３４の本数を少なくして構成を簡単にすることで、装置の製造や制御についての負担を抑制することができる。

なお、本発明のセラミックグリーンシートの製造方法および装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加え得て実施することが可能である。

例えば、乾燥炉４６で乾燥する前に、検査装置５０でセラミックグリーンシートを検査しても、乾燥炉４６を無くして自然乾燥するようにしてもよい。

また、欠点の周期によって特定した異径ガイドロール３１，３２，３４をクリーニングユニット４２により自動的に清掃する代わりに、人手によって清掃するようにしてもよい。

キャリアフィルム８２のスラリーを塗布する側の面とは反対側の面に接する上流側ガイドロール３３を、異径ガイドロールとしてもよい。また、上流側ガイドロール３１〜３４以外の１又は２以上のガイドロール３４〜３９を、異径ガイドロールとしてもよい。

セラミックグリーンシートの製造装置の要部構成図である。（従来例） セラミックグリーンシートの製造装置の構成図である。（実施例）

符号の説明

２０ 製造装置
３１〜３９ ガイドロール（フィルム搬送部）
４０ シートリール（フィルム搬送部）
４２ クリーニングユニット（ガイドロール清掃機構）
４４ 塗工ユニット（塗工部）
４６ 乾燥炉
５０ 検査装置
５６ 欠点検査部
５７ 欠点周期記憶部
５８ 欠点周期検出部
５９ ガイドロール特定部

Claims (2)

1. キャリアフィルムを複数のガイドロールで案内しながら搬送する第１の工程と、
   前記第１の工程により搬送されている前記キャリアフィルムの一方の面上にセラミック材を含むスラリーを塗布し、前記キャリアフィルムにより支持されたセラミックグリーンシートを成形する第２の工程と、
   前記第２の工程により形成された前記セラミックグリーンシートについて、前記キャリアフィルムの搬送経路の一方側から照明し、前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートを透過した透過光を、前記キャリアフィルムの前記搬送経路の他方側で受光し、受光した透過光の強度をもとに、前記キャリアフィルム上に形成された前記セラミックグリーンシートの厚みまたは孔による欠点を検出する第３の工程と、
   前記第３の工程で検出された前記欠点のある部分が含まれないように、前記セラミックグリーンシートを前記キャリアフィルムとともにプレス型で打ち抜き、前記セラミックグリーンシートは欠点のない部分が後工程で用いられるようにする、第４の工程と、
   を備え、
   前記ガイドロールは、前記スラリーを塗布する位置よりも搬送方向上流側において前記キャリアフィルムを案内する複数の上流側ガイドロールを含み、
   前記上流側ガイドロールのうち前記キャリアフィルムの前記一方の面に接する前記上流側ガイドロールは、外径寸法が全て異なる複数の異径ガイドロールであり、
   前記異径ガイドロールに起因して発生する前記セラミックグリーシートの前記欠点の周期を、当該異径ガイドロールと対応つけて、前記第１乃至第４の工程の前に予め記憶しておく準備工程と、
   前記第３の工程において検出された前記セラミックグリーンシートの前記欠点について、当該欠点の周期を検出し、前記準備工程において予め記憶された前記欠点の前記周期と比較して、当該欠点を発生させた前記異径ガイドロールを特定する第５の工程と、
   前記第５の工程において特定された前記異径ガイドロールについて、前記異径ガイドロールの前記キャリアフィルムに接する外周面を選択的に清掃することができるガイドロール清掃機構を作動させ、当該異径ガイドロールの前記キャリアフィルムに接する前記外周面を清掃する第６の工程とをさらに備えたことを特徴とする、セラミックグリーンシートの製造方法。
2. キャリアフィルムを複数のガイドロールで案内しながら搬送するフィルム搬送部と、
   前記フィルム搬送部により搬送されている前記キャリアフィルムの一方の面上にセラミック材を含むスラリーを供給し、前記キャリアフィルムにより支持されたセラミックグリーンシートを成形する塗工部と、
   前記塗工部により成形された前記セラミックグリーンシートを検査する検査装置とを備え、
   前記フィルム搬送部は、前記塗工部より前記キャリアフィルムの搬送方向上流側において前記キャリアフィルムを案内する複数の上流側ガイドロールを含み、
   前記上流側ガイドロールのうち前記キャリアフィルムの前記一方の面に接する前記上流側ガイドロールは、外径寸法が全て異なる複数の異径ガイドロールであり、
   前記検査装置は、
   前記キャリアフィルムの搬送経路の一方側に配置された照明ユニットと、
   前記キャリアフィルムの前記搬送経路の他方側に配置され、前記照明ユニットによる照明光のうち、前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートを透過した透過光を受光し、受光した透過光の強度に対応した検出信号を送出するカメラユニットと、
   前記カメラユニットから送出された前記検出信号をもとに、前記塗工部により成形された前記セラミックグリーンシートについて、前記キャリアフィルム上に形成された前記セラミックグリーンシートの厚みまたは孔による欠点を検出する欠点検出部と、
   前記異径ガイドロールに起因して発生する前記セラミックグリーシートの前記欠点の周期を、当該異径ガイドロールと対応つけて、予め記憶しておく欠点周期記憶部と、
   前記欠点検出部が検出した前記セラミックグリーンシートの前記欠点について、当該欠点の周期を検出する欠点周期検出部と、
   前記欠点周期検出部が検出した当該欠点の前記周期を、前記欠点周期記憶部により予め記憶された前記欠点の前記周期と比較して、当該欠点を発生させた前記異径ガイドロールを特定するガイドロール特定部とを含み、
   前記欠点のある部分が含まれないように、前記セラミックグリーンシートを前記キャリアフィルムとともにプレス型で打ち抜き、前記セラミックグリーンシートは欠点のない部分が後工程で用いられるようにする、打ち抜き部と、
   前記異径ガイドロールの前記キャリアフィルムに接する外周面を選択的に清掃することができるガイドロール清掃機構と、
   前記検査装置の前記ガイドロール特定部により特定された前記異径ガイドロールについて、前記ガイドロール清掃機構を作動させ、当該異径ガイドロールの前記キャリアフィルムに接する前記外周面を清掃するガイドロール清掃制御部とを、さらに備えたことを特徴とする、セラミックグリーンシートの製造装置。

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