JP4865002B2 - 水晶センサー及び感知装置 - Google Patents
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Description
この水晶板の板面に形成された金属層と、
前記金属層の上に形成され、試料液中の感知対象物を捕捉するための捕捉層と、
前記水晶板における互いに対向する端面に設けられ、当該水晶板に平行電界励振を起こすための電極と、
前記電極を発振回路に接続するための導電路と、を備え、
前記捕捉層に感知対象物が捕捉されたことにより、前記平行電界励振による水晶板の固有振動数が変化し、その変化に基づいて感知対象物を感知するためのものであることを特徴とする。
1.前記水晶板の板面には、前記電極とは絶縁された金属層が形成され、前記捕捉層はこの金属層に形成されている構成。
2.前記水晶板の端面に設けられた電極を第1の電極とすると、当該水晶板の両板面の各々の一部に互いに対向する第2の電極が設けられ、前記第1の電極及び第2の電極は互いに電気的に接続されている構成。
3.前記第1の電極及び第2の電極は、水晶板上で互いに電気的に接続されている構成。
本発明に係る感知装置は、前記水晶センサーと、当該水晶センサーに接続された発振回路と、この発振回路からの周波数信号を測定するための測定部と、を備えたことを特徴とする。
実験方法
実験に使用する水晶センサーには実施の形態で説明した図18、図20及び図22の3種類の水晶振動子を使用し、測定環境には大気中とリン酸緩衝生理食塩水(PBS:Phosphate buffered saline)中とで水晶センサーの等価回路定数(直列抵抗R、インダクタンスL、キャパシタンス22及びQ値)の測定を行った。
測定結果を以下の表に示す。表1は図18の水晶振動子、表2は図20の水晶振動子、表3は図23の水晶振動子を夫々水晶センサーに用いて測定を行った場合の結果を示した表である。また、測定雰囲気が気相から液相に変わった時の周波数の差分は、図18の水晶振動子では131Hz、図20の水晶振動子では132Hz、図23の水晶振動子では64Hzであった。
10 水晶振動子
11 水晶板
12 捕捉層
13 電極
2 プリント基板
21a、b 導電路
3 カバー体
31 円筒体
32 液収容空間
4 発振回路ユニット
51a、b スペーサ
6 感知装置
61 測定器本体
Claims (4)
- ATカットの水晶板と、
この水晶板の板面に形成された金属層と、
前記金属層の上に形成され、試料液中の感知対象物を捕捉するための捕捉層と、
前記水晶板における互いに対向する端面に設けられ、当該水晶板に平行電界励振を起こすための電極と、
前記電極を発振回路に接続するための導電路と、を備え、
前記捕捉層に感知対象物が捕捉されたことにより、前記平行電界励振による水晶板の固有振動数が変化し、その変化に基づいて感知対象物を感知するためのものであることを特徴とする水晶センサー。 - 前記水晶板の端面に設けられた電極を第1の電極とすると、当該水晶板の両板面の各々の一部に互いに対向する第2の電極が設けられ、前記第1の電極及び第2の電極は互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項1記載の水晶センサー。
- 前記第1の電極及び第2の電極は、水晶板上で互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項2記載の水晶センサー。
- 請求項1ないし3のいずれか一つに記載の水晶センサーと、この水晶センサーに接続された発振回路と、この発振回路からの周波数信号を測定するための測定部と、を備えたことを特徴とする感知装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009099270A JP4865002B2 (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 水晶センサー及び感知装置 |
TW099108681A TWI416108B (zh) | 2009-04-15 | 2010-03-24 | 石英感測器及感測裝置 |
US12/798,556 US8464577B2 (en) | 2009-04-15 | 2010-04-07 | Quartz sensor and sensing device |
EP10159854A EP2241880A3 (en) | 2009-04-15 | 2010-04-14 | Quartz sensor and sensing device |
CN2010101873401A CN101900658B (zh) | 2009-04-15 | 2010-04-15 | 石英传感器和探测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009099270A JP4865002B2 (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 水晶センサー及び感知装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010249654A JP2010249654A (ja) | 2010-11-04 |
JP4865002B2 true JP4865002B2 (ja) | 2012-02-01 |
Family
ID=42372307
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009099270A Expired - Fee Related JP4865002B2 (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 水晶センサー及び感知装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8464577B2 (ja) |
EP (1) | EP2241880A3 (ja) |
JP (1) | JP4865002B2 (ja) |
CN (1) | CN101900658B (ja) |
TW (1) | TWI416108B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018004456A (ja) * | 2016-07-01 | 2018-01-11 | 株式会社日立製作所 | 油分分析装置及び油分測定方法 |
CN113405947B (zh) * | 2021-06-21 | 2022-07-26 | 电子科技大学 | 一种基于qcm的液体粘度检测仪 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5250170A (en) * | 1990-03-15 | 1993-10-05 | Ricoh Company, Ltd. | Gas sensor having metal-oxide semiconductor layer |
JP2793728B2 (ja) * | 1991-09-26 | 1998-09-03 | 富士通株式会社 | シリアル/パラレル変換回路 |
SE0004547D0 (sv) * | 2000-12-07 | 2000-12-07 | Amersham Pharmacia Biotech Kk | Chip quartz oscillator and sensor |
JP3876842B2 (ja) * | 2003-03-04 | 2007-02-07 | セイコーエプソン株式会社 | 質量測定チップおよび質量測定装置 |
JP2006029873A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶センサ及び感知装置 |
JP2006033195A (ja) | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶発振器及び感知装置 |
JP4387896B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2009-12-24 | 光男 中澤 | Qcmセンサおよびqcmセンサによる測定方法 |
EP1830170A4 (en) | 2004-12-15 | 2012-04-11 | Nihon Dempa Kogyo Co | COMPONENTS MEASURING DEVICE |
US7552639B2 (en) * | 2004-12-15 | 2009-06-30 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Quartz sensor and sensing device |
JP2007192650A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Citizen Holdings Co Ltd | Qcmセンサーおよびqcmセンサー装置 |
US7667369B2 (en) * | 2006-11-01 | 2010-02-23 | Delaware Capital Formation, Inc. | High sensitivity microsensors based on flexure induced frequency effects |
JP2008256583A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Epson Toyocom Corp | 水晶振動素子、及び加速度検出装置 |
JP5066551B2 (ja) * | 2008-05-20 | 2012-11-07 | 日本電波工業株式会社 | 圧電センサ及び感知装置 |
JP4809410B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2011-11-09 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイスとその製造方法 |
-
2009
- 2009-04-15 JP JP2009099270A patent/JP4865002B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-03-24 TW TW099108681A patent/TWI416108B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-04-07 US US12/798,556 patent/US8464577B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-14 EP EP10159854A patent/EP2241880A3/en not_active Withdrawn
- 2010-04-15 CN CN2010101873401A patent/CN101900658B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010249654A (ja) | 2010-11-04 |
TW201111783A (en) | 2011-04-01 |
US20100263437A1 (en) | 2010-10-21 |
TWI416108B (zh) | 2013-11-21 |
EP2241880A3 (en) | 2011-09-28 |
CN101900658A (zh) | 2010-12-01 |
US8464577B2 (en) | 2013-06-18 |
EP2241880A2 (en) | 2010-10-20 |
CN101900658B (zh) | 2012-09-05 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110622 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118 Year of fee payment: 3 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118 Year of fee payment: 3 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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