JP4863361B2 - カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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Description
ところで、上述のカーボンナノチューブの製造方法において導電層12の代わりにSiO2膜のような絶縁層を形成するようにし、触媒部13aのみからカーボンナノチューブ14を成長させるようにした製造方法も提案されている。
2 絶縁層
3 触媒金属薄膜
3a 触媒部
3b 触媒部
4 カーボンナノチューブ
Claims (6)
- 基板の一表面側に触媒金属材料からなる触媒金属薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記触媒金属薄膜を酸素を含む雰囲気中で溶融させてから冷却することによって前記触媒金属薄膜を複数の粒子状の触媒部に細分化する細分化工程と、細分化工程にて形成された各触媒部を加熱して当該各触媒部をより小さなサイズの複数の微粒子状の触媒部に再細分化する再細分化工程と、再細分化工程の後で熱CVD法によって微粒子状の触媒部からカーボンナノチューブを成長させるカーボンナノチューブ成長工程とを備えることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記細分化工程では、前記触媒金属薄膜を溶融させる際の雰囲気を酸素ガス雰囲気とすることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記薄膜形成工程では、前記触媒金属薄膜の膜厚を量子サイズ効果により融点低下が起こる値に設定し、前記細分化工程では、前記触媒金属薄膜を溶融させる際に前記触媒金属材料の融点よりも低い温度で前記触媒金属薄膜を溶融させることを特徴とする請求項1または請求項2記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記カーボンナノチューブ成長工程では、前記カーボンナノチューブの成長温度を前記再細分化工程における加熱温度と同じ温度に設定することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記触媒金属材料として、Fe,Co,Ni,Pt,Moの群から選択される1種類の材料を用いることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記薄膜形成工程の前に前記基板の前記一表面側に前記カーボンナノチューブ成長工程における前記触媒部の触媒効果を抑制する触媒効果抑制層を形成する触媒効果抑制層形成工程を備え、前記薄膜形成工程では、前記触媒効果抑制層上に前記触媒金属薄膜を形成するようにし、前記触媒金属材料がFeであり、前記触媒効果抑制層が少なくとも前記触媒金属薄膜の下地となるMo層からなることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のカーボンナノチューブの製造方法。
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