JP4861692B2 - 液体材料の定量供給方法 - Google Patents
液体材料の定量供給方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4861692B2 JP4861692B2 JP2005349618A JP2005349618A JP4861692B2 JP 4861692 B2 JP4861692 B2 JP 4861692B2 JP 2005349618 A JP2005349618 A JP 2005349618A JP 2005349618 A JP2005349618 A JP 2005349618A JP 4861692 B2 JP4861692 B2 JP 4861692B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- container
- valve
- liquid material
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 title claims description 89
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 58
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 59
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N dimethylazanide;hafnium(4+) Chemical compound [Hf+4].C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C.C[N-]C ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N phosphinic chloride Chemical compound ClP=O RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- GIRKRMUMWJFNRI-UHFFFAOYSA-N tris(dimethylamino)silicon Chemical compound CN(C)[Si](N(C)C)N(C)C GIRKRMUMWJFNRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F22/00—Methods or apparatus for measuring volume of fluids or fluent solid material, not otherwise provided for
- G01F22/02—Methods or apparatus for measuring volume of fluids or fluent solid material, not otherwise provided for involving measurement of pressure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
V=V1−V2×(PA1−PA2)/(PB2−PB1)
(V:前記容器内の液体材料の液量
V1:前記容器の容積
V2:前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁との間における前記配管の容積
PA1:前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁との間における内の圧送ガスの、前記容器に送り込む前の圧力
PA2:前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁との間における内の圧送ガスの、前記容器に送り込んだ後の圧力
PB1:圧送ガスを前記容器内に封入する前の前記容器内の圧送ガスの圧力
PB2:圧送ガスを前記容器内に封入した後の前記容器内の圧送ガスの圧力)
に基づいて、前記容器内の液体材料の液量を演算により求めることを特徴としている。
V=V1−V2×(PA1−PA2)/(PB2−PB1)
(V:前記容器内の液体材料の液量
V1:前記容器の容積
V2:前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁との間における前記配管の容積
PA1:前記第2のステップで検出した圧力
PA2:前記第5のステップで検出した圧力
PB1:前記第3のステップで検出した圧力
PB2:前記第6のステップで検出した圧力)
に基づいて、前記容器内の液体材料の液量を演算により求める第7のステップとを含むことを特徴としている。
V3=V2×(PA1−PA2)/(PB2−PB1)
(V3:前記容器内の圧力ガスの体積
V2:前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁との間における前記配管の容積
PA1:前記第2のステップで検出した圧力
PA2:前記第5のステップで検出した圧力
PB1:前記第3のステップで検出した圧力
PB2:前記第6のステップで検出した圧力)
に基づいて、前記容器内の液体材料の液量を演算により求める第7のステップと、液体材料の供給先への供給を開始する第8のステップと、液体材料の供給に伴い前記容器内の圧送ガスの圧力の低下量を検出する第9のステップと、前記第9のステップにより検出された圧力の低下量が、
PC=PB2−PB2×V3/(V3+VA)
(PC:前記第9のステップにより検出された圧力の低下量
VA:液体材料の所定の供給量)
に基づいて求められるPCとなった場合には、液体材料の供給先への供給を停止する第10のステップとを含むことを特徴としている。
〔第1の実施形態〕
V3=V2×(PA1−PA2)/(PB2−PB1) (1)
で容器12内に封入された圧送ガスの体積(容器12の上部空間の容積)V3を演算する。なお、V2は、開閉弁30と開閉弁32との間に存在する圧送ガスの体積である。この式は、容器12に封入された圧送ガスの質量は、開閉弁30と開閉弁32との間の領域から移動した圧送ガスの質量と等しい、という質量保存の法則を利用したものである。なお、上述したように、液体材料の消費量が極めて少ないため、供給圧力制御範囲ΔPの間の圧力封入時間(1〜2秒程度)では、液体材料の液量は殆ど変化しないと考えられるため、この質量保存の法則の適用が可能であり、これは本願発明者の知見によるところである。勿論、液体材料の消費量が多い場合には上式は成立しなくなる場合があるが、容器12の容積(単位cc)に対して液体の消費量(単位cc/min)が1%以下であれば、圧力誤差が1%となるため、測定誤差としては無視することができる。また、液体材料は非圧縮性であり、また、封入時間が極めて短時間であるため圧縮ガスの液体材料への溶け込みを無視できることが条件となる。更に、容器12と配管22は同じ空間に配置されることが一般的であるため、上式では温度については考慮していないが、容器12及び配管22の周囲で温度変化があるような場合には、上式を温度換算することとしてもよい。
V3=V2×(PA1−PA2)/(PB2−PB1)
=0.3×(3.0−2.9)/(1.50−1.45)
=0.6L
V=V1−V3
=5−0.6
=4.4L
となる。
〔第2の実施形態〕
PC=PB2−PB2×V3/(V3+VA) (2)
V3=V2×(PA1−PA2)/(PB2−PB1)
=0.3×(3.0−2.9)/(1.1−1.0)
=0.3L
V=V1−V3
=5−0.3
=4.7L
PC=PB2−PB2×V3/(V3+VA)
=1.1−1.1×0.3/(0.3+0.2)
=0.44kg/cm2
Claims (1)
- 液体材料を貯蔵するための容器と、前記容器内に圧送ガスを送り込むための第1の配管と、前記第1の配管に設けられた第1の開閉弁と、前記第1の配管に、前記第1の開閉弁の下流側に設けられた第2の開閉弁と、前記容器から供給先に液体材料を供給するための第2の配管とを備える液体材料供給装置に用いられる、前記容器内の液体材料を所定量で供給先に供給するための定量供給方法において、
前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁とを閉じる第1のステップと、
前記第1のステップの後、前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁との間における前記配管内の圧送ガスの圧力を検出する第2のステップと、
前記第1のステップの後、前記容器内のガスの圧力を検出する第3のステップと、
前記第2のステップ及び前記第3のステップの後、前記第2の開閉弁を開く第4のステップと、
前記第4のステップの後、前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁との間における前記配管内の圧送ガスの圧力を検出する第5のステップと、
前記第4のステップの後、前記容器内のガスの圧力を検出する第6のステップと、
前記第2のステップ、前記第3のステップ、前記第5のステップ及び前記第6のステップにおいて検出した圧力から、
V3=V2×(PA1−PA2)/(PB2−PB1)
(V3:前記容器内の圧力ガスの体積
V2:前記第1の開閉弁と前記第2の開閉弁との間における前記配管の容積
PA1:前記第2のステップで検出した圧力
PA2:前記第5のステップで検出した圧力
PB1:前記第3のステップで検出した圧力
PB2:前記第6のステップで検出した圧力)
に基づいて、前記容器内の液体材料の液量を演算により求める第7のステップと、
液体材料の供給先への供給を開始する第8のステップと、
液体材料の供給に伴い前記容器内の圧送ガスの圧力の低下量を検出する第9のステップと、
前記第9のステップにより検出された圧力の低下量が、
PC=PB2−PB2×V3/(V3+VA)
(PC:前記第9のステップにより検出された圧力の低下量
VA:液体材料の所定の供給量)
に基づいて求められるPCとなった場合には、液体材料の供給先への供給を停止する第10のステップと
を含むことを特徴とする液体材料の定量供給方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005349618A JP4861692B2 (ja) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 液体材料の定量供給方法 |
PCT/EP2006/069158 WO2007063112A1 (en) | 2005-12-02 | 2006-11-30 | Liquid quantity measuring apparatus, liquid quantity measuring method and method for quantitively supplying liquid material |
US12/095,871 US8365779B2 (en) | 2005-12-02 | 2006-11-30 | Liquid quantity measuring apparatus, liquid quantity measuring method and method for supplying quantitively supplying liquid material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005349618A JP4861692B2 (ja) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 液体材料の定量供給方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007155447A JP2007155447A (ja) | 2007-06-21 |
JP4861692B2 true JP4861692B2 (ja) | 2012-01-25 |
Family
ID=37808145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005349618A Active JP4861692B2 (ja) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 液体材料の定量供給方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8365779B2 (ja) |
JP (1) | JP4861692B2 (ja) |
WO (1) | WO2007063112A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8220502B1 (en) * | 2007-12-28 | 2012-07-17 | Intermolecular, Inc. | Measuring volume of a liquid dispensed into a vessel |
JP5155895B2 (ja) * | 2009-01-27 | 2013-03-06 | 日本エア・リキード株式会社 | 充填容器内の液体材料の供給装置および該液体材料の供給装置における充填容器内の液面管理方法 |
FR2969994B1 (fr) * | 2011-01-05 | 2013-02-08 | Hypred | Dispositif de raccordement d'une cuve de stockage a une alimentation et procede de gestion d'un tel raccordement |
US8974606B2 (en) | 2011-05-09 | 2015-03-10 | Intermolecular, Inc. | Ex-situ cleaning assembly |
US8893923B2 (en) | 2012-11-28 | 2014-11-25 | Intermolecular, Inc. | Methods and systems for dispensing different liquids for high productivity combinatorial processing |
WO2016168375A1 (en) * | 2015-04-15 | 2016-10-20 | Schlumberger Norge As | Method and system for fluid level measurement |
EP3867190A4 (en) | 2018-10-17 | 2022-07-13 | Pneuma Systems Corporation | AIR FLOW BASED VOLUMETRIC PUMP |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63261114A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | タンク内液体の体積測定方法及びその装置 |
DE3929506A1 (de) * | 1989-09-06 | 1991-03-14 | Moto Meter Ag | Verfahren und vorrichtung zum messen des fluessigkeitsinhalts von geschlossenen fluessigkeitstanks |
JP2002143751A (ja) | 2000-10-17 | 2002-05-21 | L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude | 処理液分配装置及び方法 |
JP4808859B2 (ja) | 2001-05-02 | 2011-11-02 | 日本エア・リキード株式会社 | 液体有無検出装置及び液体有無検出方法 |
JP4171664B2 (ja) * | 2003-03-11 | 2008-10-22 | 日本エア・リキード株式会社 | 液量測定装置 |
-
2005
- 2005-12-02 JP JP2005349618A patent/JP4861692B2/ja active Active
-
2006
- 2006-11-30 US US12/095,871 patent/US8365779B2/en active Active
- 2006-11-30 WO PCT/EP2006/069158 patent/WO2007063112A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007063112A1 (en) | 2007-06-07 |
US8365779B2 (en) | 2013-02-05 |
JP2007155447A (ja) | 2007-06-21 |
US20090308484A1 (en) | 2009-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4861692B2 (ja) | 液体材料の定量供給方法 | |
JP5155895B2 (ja) | 充填容器内の液体材料の供給装置および該液体材料の供給装置における充填容器内の液面管理方法 | |
JP5186583B2 (ja) | 上部スペースの気体除去を伴う、液体分配のための方法およびシステム | |
US7770448B2 (en) | Chemical storage device with integrated load cell | |
JP3679004B2 (ja) | 液体化学物質配送システムおよび配送方法 | |
TWI511184B (zh) | 材料氣體控制裝置、控制方法、控制程式及控制系統 | |
TW500992B (en) | Method and apparatus for controlling the level of liquids | |
US20120312418A1 (en) | Installation for packaging no using mass flow meters | |
KR20200078492A (ko) | 용기 내의 액체의 체적 파라미터를 검출하기 위한 방법 및 시스템 | |
US6588458B2 (en) | System, apparatus and method for measuring and transferring the contents of a vessel | |
JP2014114955A (ja) | 極低温液体のための計量システムおよび方法 | |
KR101183363B1 (ko) | 버블러를 리필링하기 위한 장치 및 방법 | |
WO2019210226A1 (en) | Method and device for helium storage and supply | |
US20020043488A1 (en) | Method and apparatus for the distribution of treatment liquids | |
JP4808859B2 (ja) | 液体有無検出装置及び液体有無検出方法 | |
JP2000221073A (ja) | 基板処理装置用の槽内液面検出装置 | |
JP4171664B2 (ja) | 液量測定装置 | |
KR100653312B1 (ko) | 약품 보관용기 및 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법 | |
US6364545B1 (en) | Photographic processor having an improved replenishment delivery system | |
JP5135403B2 (ja) | 薬液計量装置及び薬液計量システム | |
WO2004097542A1 (en) | Measuring apparatus | |
JP2001242167A (ja) | トイレット設置型***物測定装置及び試液測定装置 | |
JP2001348001A (ja) | 液体充填装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20071005 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071206 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081009 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111018 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111101 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4861692 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141111 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |