JP4850572B2 - 角速度センサ - Google Patents
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Description
11、12 アーム部
13 ベース部
17、18 領域
20 支持部
22、26 支持面
23 第1接合強化部
24 実装面
25 第2接合強化部
30 パッケージ
31 プリント基板
32 吸音材
34 錘
40 キャップ
R1、R2 ノードを投影した領域
S1、S2 ベース部の面
Claims (8)
- それぞれがベース部とベース部から延びる複数のアーム部を有する複数の音叉型振動子と、
前記複数の音叉型振動子をそれぞれ支持する複数の支持部と、
該複数の支持部を実装する実装部と、
を具備し、
前記複数の音叉型振動子の各音叉型振動子間のアーム部の長さの差が前記複数の音叉型振動子のアーム部の長さの平均の4%以上であり、
前記複数の音叉型振動子の検知軸はそれぞれ直交し、前記複数の音叉型振動子のそれぞれの前記ベース部は、それぞれ別の支持部を介し前記実装部の同じ面に実装され、
前記実装部の同じ面に配置された複数の支持部の間の実装面に錘部材より柔らかい樹脂部材と前記錘部材とを含む吸音部を備えることを特徴とする角速度センサ。 - 前記複数の音叉型振動子の少なくとも1つの音叉型振動子において、前記音叉型振動子の重心は、前記音叉型振動子の重心と重力方向および前記音叉型振動子の長手方向を含む投影面において、対応する支持部の前記音叉型振動子を支持する支持面を前記投影面に投影した領域の直上または前記対応する支持部の前記実装部に実装される実装面を前記投影面に投影した領域の直上に位置することを特徴とする請求項1記載の角速度センサ。
- 前記複数の支持部の少なくとも1つは、対応する音叉型振動子を支持する支持面に前記複数の支持部の少なくとも1つと前記対応する音叉型振動子との接合を強化するための第1接合強化部を有することを特徴とする請求項1または2記載の角速度センサ。
- 前記複数の支持部の少なくとも1つは、前記実装部に実装される実装面に前記複数の支持部の少なくとも1つと前記実装部との接合を強化するための第2接合強化部を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の角速度センサ。
- 前記複数の支持部の少なくとも1つは、対応する音叉型振動子のアーム部の面内振動面と交差し対応する音叉型振動子を支持する支持面を有することを特徴とする請求項1または2記載の角速度センサ。
- 前記複数の支持部の少なくとも1つは、前記支持面に前記複数の支持部の少なくとも1つと前記対応する音叉型振動子との接合を強化するための第1接合強化部を有することを特徴とする請求項5記載の角速度センサ。
- 前記複数の支持部の少なくとも1つは、前記実装部に実装される実装面に前記複数の支持部の少なくとも1つと前記実装部との接合を強化するための第2接合強化部を有することを特徴とする請求項5または6記載の角速度センサ。
- 前記複数の支持部の少なくとも1つは、対応する音叉型振動子のノードを対応する前記ベース部の少なくとも1つの面に投影した領域を含み前記少なくとも1つの面の一部を支持する支持面において、前記対応する音叉型振動子を支持することを特徴とする請求項1から7記載の角速度センサ。
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