JP4839977B2 - 赤外線センサ装置 - Google Patents
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Description
本実施形態の赤外線センサ装置は、図1に示すように、赤外線の吸収による温度変化に応じたアナログ量の出力値を発生する赤外線センサISと、赤外線センサISの出力を信号成分の周波数(0〜10Hz)に対して十分に高い周波数(フリッカ雑音の振幅レベルが信号成分の振幅レベルよりも十分小さくなる周波数よりも高い周波数であり、例えば、30kHz)の変調パルスで変調する変調器3と、変調器3の出力を増幅する増幅器4と、増幅器4の出力を上記変調パルスに同期した復調パルスで抽出する復調器6と、復調器6の後段に設けられカットオフ周波数が上記復調パルスの周波数(例えば、上記復調パルスの周期を〔変調パルスの周期〕×〔後述の信号分離器5で分離する信号の数〕として決めた場合の周波数であり、変調パルスの周波数が30kHz、信号分離器5で分離する信号の数が3であれば、10kHz)よりも低く赤外線センサISの信号成分の周波数域(0〜10Hz)よりも高いアナログローパスフィルタ(アナログ低域通過フィルタ)7と、赤外線センサISの信号成分の周波数に対して十分高いサンプリング周波数(例えば、10kHz)でアナログローパスフィルタ7の出力をアナログ−ディジタル変換するA/Dコンバータ8と、A/Dコンバータ8の後段側に設けられカットオフ周波数が赤外線センサISの信号成分の周波数域よりも高くA/Dコンバータ8のサンプリング周波数の2分の1以下(例えば、20Hz)であるディジタルローパスフィルタ(ディジタル低域通過フィルタ)9とを備えている。なお、本実施形態では、上記変調パルスが変調信号を構成し、上記復調パルスが復調信号を構成している。
G=2×α×(S/L)=560×10−9〔W/K〕となる。
G=2×α×(S/L)=2.0×10−8〔W/K〕
となり、熱コンダクタンスGを脚部42がシリコン酸化膜により構成される比較例の熱コンダクタンスGの10分の1よりも小さな値とすることができ、脚部42,42を通した熱伝達をより抑制することができ、高感度化を図れる。
C=cv×A×d=22.6×10−10〔J/K〕となる。
C=cv×A×d=11.0×10−10〔J/K〕
となり、支持部41の熱容量Cを支持部41がシリコン酸化膜により構成される比較例の場合に比べて半分よりも小さな値とすることができ、時定数が小さくなって応答速度の高速化を図れる。
本実施形態の赤外線センサ装置の基本構成は実施形態1と略同じであり、熱型赤外線検出素子1として、図7(a),(b)に示すようなサーモパイル型の赤外線検出素子を用いている点が相違する。他の構成は実施形態1と同じなので図示および説明を省略する。
1 熱型赤外線検出素子
2 走査器
3 変調器
4 増幅器
5 信号分離器
6 復調器
7 アナログローパスフィルタ
8 A/Dコンバータ
9 ディジタルローパスフィルタ
10 マルチプレクサ
Claims (2)
- 赤外線の吸収による温度変化に応じたアナログ量の出力値を発生する赤外線センサと、赤外線センサの出力を信号成分の周波数に対して十分に高い周波数の変調信号で変調する変調器と、変調器の出力を増幅する増幅器と、増幅器の出力を前記変調信号に同期した復調信号で抽出する復調器と、復調器の後段に設けられカットオフ周波数が前記復調信号の周波数よりも低く赤外線センサの信号成分の周波数域よりも高いアナログローパスフィルタと、赤外線センサの信号成分の周波数に対して十分高いサンプリング周波数でアナログローパスフィルタの出力をアナログ−ディジタル変換するA/Dコンバータと、A/Dコンバータの後段側に設けられカットオフ周波数が赤外線センサの信号成分の周波数域よりも高くA/Dコンバータのサンプリング周波数の2分の1以下であるディジタルローパスフィルタとを備えてなり、赤外線センサが複数の熱型赤外線検出素子を有したアレイセンサであり、各熱型赤外線検出素子の出力を変調器に時系列的に入力させるための走査信号を発生する走査器と、増幅器と復調器との間に挿入され増幅器の出力を各熱型赤外線検出素子それぞれに対応した出力に分離する信号分離器とを備えてなることを特徴とする赤外線センサ装置。
- 前記熱型赤外線検出素子が抵抗ボロメータ型の赤外線検出素子であり、前記走査器の走査信号と前記変調器の変調信号とを同期させることを特徴とする請求項1記載の赤外線センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006171890A JP4839977B2 (ja) | 2006-06-21 | 2006-06-21 | 赤外線センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006171890A JP4839977B2 (ja) | 2006-06-21 | 2006-06-21 | 赤外線センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008002912A JP2008002912A (ja) | 2008-01-10 |
JP4839977B2 true JP4839977B2 (ja) | 2011-12-21 |
Family
ID=39007425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006171890A Expired - Fee Related JP4839977B2 (ja) | 2006-06-21 | 2006-06-21 | 赤外線センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4839977B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5122866B2 (ja) * | 2006-05-25 | 2013-01-16 | パナソニック株式会社 | 赤外線センサー |
CN101460816B (zh) | 2006-05-25 | 2011-07-13 | 松下电工株式会社 | 红外传感器 |
JP5406082B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2014-02-05 | セイコーインスツル株式会社 | サーモパイル型赤外線センサおよびその製造方法 |
JP5406083B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2014-02-05 | セイコーインスツル株式会社 | サーモパイル型赤外線センサおよびその製造方法 |
JP5861264B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2016-02-16 | セイコーエプソン株式会社 | 赤外線検出素子 |
US9945725B2 (en) | 2012-02-16 | 2018-04-17 | Heimann Sensor Gmbh | Thermopile infrared sensor structure with a high filling level |
JP2013217655A (ja) * | 2012-04-04 | 2013-10-24 | Panasonic Corp | センサ装置 |
ES2535878B1 (es) * | 2013-11-15 | 2016-02-24 | Bsh Electrodomésticos España, S.A. | Campo de cocción con sensor de temperatura |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2517709B2 (ja) * | 1985-12-20 | 1996-07-24 | ソニー株式会社 | ディジタル信号処理装置 |
JPH10294666A (ja) * | 1997-04-21 | 1998-11-04 | Sony Corp | 信号処理回路 |
US6326620B1 (en) * | 1999-05-07 | 2001-12-04 | Leco Corporation | Switched mode NDIR system |
JP2006153492A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Asahi Kasei Corp | 信号処理回路 |
-
2006
- 2006-06-21 JP JP2006171890A patent/JP4839977B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008002912A (ja) | 2008-01-10 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090210 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100811 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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