JP4838463B2 - 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
多自由度振動型アクチュエータ(超音波モータ)としては種々のものが提案されており、以下に説明する。
(第一の従来例)
例えば日本ロボット学会誌(Vol.16,No.8,pp87-94)に縦振動と横振動の縮退に基づく多自由度超音波モータが提案されている。
【0003】
この多自由度超音波モータは、単一の振動体に固有振動数の等しい複数の固有振動を励振して、振動体表面に3軸回りの楕円振動を生成して例えば回転体(移動体)を3軸回りに回転させる。
【0004】
このような単一の振動体で多自由度、例えば3自由度の駆動力を得る振動型アクチュエータの基本的な構成としては、例えば棒状の振動体の一端部に凹部を形成し、この凹部に球状の回転体の一部を嵌合し、加圧機構により前記回転体を前記振動体に加圧接触させる機械的構成を有し、一方、振動体には異なる3軸方向、前記振動体の軸方向をZ軸とし、このZ軸に対し互いに直交する2軸をX軸とY軸とすると、前記Z軸回りの回転と、前記X軸回りの回転および前記Y軸回りの回転を前記球形の回転体にそれぞれ与えることができるように、前記振動体に振動変位の合成による駆動振動を発生させるようにしている。
【0005】
前記振動体は、例えば電気-機械エネルギー変換素子としての圧電素子により、振動体に異なる3方向の振動変位、例えばZ方向の振動(縦振動)、Z−X平面での曲げ振動、Z−Y平面での曲げ振動が与えられ、前記2つの曲げ振動を時間的位相差を有して形成する事により、この2つの曲げ振動の合成振動で形成される駆動振動で前記球形の回転体を前記Z軸回りに回転させる。
【0006】
また、前記縦振動と前記Z−X平面でも曲げ振動の合成振動で前記球形の回転体をY軸回りに回転させる。
【0007】
さらに、前記縦振動と前記Z−Y平面でも曲げ振動の合成振動で前記球形の回転体をX軸回りに回転させる。
【0008】
以上は3自由度の回転動作を行う被駆動部材について述べたが、Z軸回りの回転およびX,Y並進動作についても同様に説明できる。
【0009】
(第二の従来例)
一方、図10に示すように精密工学会誌Vol.61.No.9.1995 P1227-1230では、球状の移動体302の周囲に複数の振動体301a、301b、301c、301dを配置して2自由度の駆動をもたらす振動型アクチュエータが提示されている。
振動体301a,301b,301c,301dは円環形状であり、球状の移動体302を対向して挟み込むように振動体301a,301bによる第一の一対の振動体が配置され、これと直交する位置に振動体301c,301dにより第二の一対の振動体が配置され、これら対となる振動体が移動体に独立した回転運動を生じさせて2軸回りの回転運動をもたらす。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の多自由度振動型アクチュエータには以下のような難点があった。
a:一個の被駆動部材が3自由度を持つための機械的な保持機構。
【0011】
例えば、3軸回りの自由度を維持するように球状の移動体を保持する為の機構が必要であり、これは一般には複雑な構成となる、あるいは保持機構による出力損失が生じる。
b:1つの振動体による出力の限界。
【0012】
特に第二の従来例の場合、一方の一対の振動体により移動体に回転運動を与えているとき、他方の一対の振動体と移動体の間で強制的な動摩擦運動を生じてしまい、損失の増加を招いてしまう。
【0013】
本出願に係る発明の目的は、被駆動部材である移動体のための保持機構による出力損失を発生させず、効率の良い、且つ複数の振動体で1つの移動体に運動を発生させることで高出力の振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置を提供しようとするものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本出願による発明の目的を実現する振動型アクチュエータの第1の構成は、
略円筒形状の接触部が形成された円筒状移動体と、
前記円筒状移動体に加圧部材の加圧力により加圧接触して該円筒状移動体を運動させる一方、該円筒状移動体を保持するために、先端付近が凹状に形成された駆動部を備えた第1及び第2の振動体とによる二つの振動体と、を有し、
前記二つの振動体は、それぞれの前記駆動部に少なくとも異なる3方向の振動変位を発生させる振動発生手段を有し、
且つ前記二つの振動体は、それぞれの前記先端付近が凹状に形成された駆動部を介して前記円筒状移動体に付与される前記加圧部材の加圧力により前記円筒状移動体を互いに対向する2方向から保持するとともに、
前記二つの振動体に形成される少なくとも異なる2方向以上の振動変位の組み合わせにより、前記円筒状移動体を該円筒状移動体の回転方向及び該円筒状移動体の回転方向と垂直な方向に運動させることを特徴とする。
【0015】
本出願による発明の目的を実現する振動型アクチュエータの第2の構成は、上記第2の構成で、前記振動体は、前記移動体を挟んで正対する位置に配置されていることを特徴とする。
【0020】
本出願による発明の目的を実現する振動型駆動装置の構成は、上記いずれかの構成の振動型アクチュエータを駆動源として有し、前記駆動源により被駆動体を駆動するようにしたものである。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明における参考例及び実施の形態について説明する。
(第1の参考例) 図1〜図5は本発明の参考例を示す。
【0022】
図1は本参考例を示す主要部分の斜視図である。
【0023】
1aおよび1bは円柱形状に形成された振動体で、複数の圧電セラミックスの間に電極膜を形成して積層構造とした電気-機械エネルギー変換素子である振動発生手段としての積層型圧電素子(以下圧電素子と称す)3、および振動体の支持を行うための支持部材204をその両側から金属で形成された第1の弾性体201と第2の弾性体202で挟み、図2に示すようにボルト203により螺着を行い一体化された構造となっている。
【0024】
なお、本参考例において、電気−機械エネルギー変換素子として積層型の圧電素子を用いているが、1枚の圧電素子あるいは複数枚の圧電素子を重ねあわせる構成であっても良い。
【0025】
本参考例において、第1の弾性体201には、中心軸(Z軸)の回りに振動変位拡大用の周溝201aが形成され、さらに周溝201aよりも先端側の駆動部201bに、中心軸(Z軸)と同心にして例えば図2に示すように摩擦駆動を行うためのテーパ状の駆動部201cが形成されている。
【0026】
本参考例では、図1に示すように同一構成の振動体1a,1bの2個を同一軸心上に一致させて用いており、各振動体1a,1bは台座101により支持される。振動体1の支持部材102と台座101の間にバネ部材102を挟み込み、ボルト部材等の固定部材103により固定される。
【0027】
ここで板形状の支持部材204は、台座101を構成する部材、および固定部材103には直接固定されず、バネ部材102を介していることで振動体1は図2のZ方向に加圧を受けている。台座101の構成は図1に示すように、平面矩形上の台盤の四隅に支持柱を固定し、短辺側に設けられた対向する支持柱でそれぞれ振動体の支持部材を浮遊支持するものに限定されるものではない。
【0028】
移動体401は略球状に形成されており、外部への出力伝達部材410が一体化されている。
【0029】
振動体1aと1bはそれぞれの摩擦駆動部201cが移動体401の外周面と接し、かつおのおのの中心軸(Z軸)が同一軸線上に重なるように配置される。
【0030】
既に述べたように、各振動体はバネ部材102の加圧力を受けており、この作用により移動体401は振動体101aと101bで両側から加圧接触され、振動体1の摩擦駆動部201cのテーパ形状と合わせて移動体401を保持する構造となっている。
【0031】
図3は本参考例の振動型アクチュエータの構造および駆動原理を示している。
【0032】
円柱形状の振動体1は、中央付近に第1の弾性体201と第2の弾性体202により挟持固定されている圧電素子3により弾性振動を行う。なお、図3(b),(c),(d)にそれぞれ示すのはZ,X,Y方向の変位の軸方向(Z)分布である。
【0033】
即ち、Z方向の振動変位Wzは、中心に1個の節を持つ縦振動(軸方向に伸び縮みする振動)である。また、X方向の振動変位Wxは3個の節を持つ曲げ振動である。Y方向の振動変位WyもWxと同様、3個の節を持つ曲げ振動である。
【0034】
ここで、振動変位Wzと振動変位Wxを時間的位相差が90度となるように発生させると、振動体1の端部付近、例えば201c部にY軸回り(X−Z平面内)の楕円または円運動が形成される。
【0035】
振動変位の時間的位相差を逆にすると(−90度にすると)、第1の回転体401は逆向きに回転する。
【0036】
振動の組み合わせを変えて、振動変位Wzと振動変位Wyを時間的位相差が90度となるように発生させると振動体1の201c部付近にX軸回り(Y−Z平面内)の楕円または円運動が形成される。
【0037】
同様に振動の組み合わせを変えて、振動変位Wxと振動変位Wyを時間的位相差が90度となるように発生させると振動体1の201c部付近にZ軸回り(X−Y平面内)の楕円または円運動が形成される。
【0038】
このような作用をなす振動体を用いた本参考例における振動体の駆動方法を図4を用いて説明する。
【0039】
座標軸を図4のように示し、移動体401をY軸について時計回りに回転運動させる場合について示す。
【0040】
振動体1aについて振動変位Wzが振動変位Wxに対して時間的位相差が90度遅れるように振動変位Wz及びWxを発生させると、振動体1の端部付近、例えば201c部の挙動は図4のように楕円運動となる。この201c部と接触する移動体401の−Z側に対して−X方向に運動する力を与える。
【0041】
同様に振動体1bについて、振動変位Wzが振動変位Wxに対して時間的位相差が90度遅れるように振動変位Wz及びWxを発生させると、振動体1の端部付近、例えば201c部の挙動は図4のように楕円運動となる。この201c部と接触する移動体401のZ側に対してX方向に運動する力を与える。これら2つの振動体1aおよび1bが移動体401に与える力の合力により、移動体401はY軸について時計回りの回転運動を行う。
【0042】
各振動体に発生させる振動変位Wzと振動変位Wxの時間的位相差を逆の関係とすると移動体401はY軸について反時計回りの回転運動を行う。
【0043】
同様に、各振動体1に振動変位WzとWyを発生させる事で移動体401にX軸回りの回転運動を得られ、振動変位WxとWyを発生させる事で移動体401にZ軸回りの回転運動が得られる。
【0044】
振動体1aと振動体1bは同一の構成であるので同一の性能を持つ。このような2つの振動体が同じ発生力を持つように各々の振動変位Wxを等しくし、同時に振動変位Wzを等しくするように駆動を行う事で移動体401には偶力が作用するので移動体401は移動体自身の中心軸を回転中心として回転運動を行う。よって移動体401を保持する機構は不要となる。
【0045】
以上はX,Y,Z軸回りの回転運動について説明したが、回転運動の方向はこれらに限定しない。振動変位Wx,Wy,Wzを適当に組み合わせる事で任意の方向の回転運動を実現する。
【0046】
振動体1の個数はこれまでに示した形態に限定しない。図5は本参考例の振動型アクチュエータの他の形態について示した斜視図である。第1の振動体1a、第2の振動体1b、第3の振動体1cは移動体401の回転中心を含む平面状に略120°間隔で配置されている。この構成以外は図1の形態で示したものと同様であり図中記載及び説明は略す。3つの振動体1a、1b、1cの発生力を1つの移動体401に与えることで簡単に振動型アクチュエータの高出力を実現する。
【0047】
なお、本参考例は振動体を略120°間隔で3個配置しているが、振動体の個数、配置方法はこれに限定されるものではなく、4つ以上の振動体の長手軸が移動体401の回転中心と略一致するように配置する事も可能である。
【0048】
(第2の参考例)図6は本発明の第2の参考例の形態を示す主要部分の斜視図である。
【0049】
1c及び1dは四角柱形状に形成された振動体で、同一形状である。振動体1c,1dは、金属で形成される弾性体205の長辺を持つ面に振動発生手段としての圧電素子板4a〜4dを接着等により接着して一体化した構造であり、弾性体205には振動体の支持を行う支持部材204が形成される。
【0050】
振動体の一端部である駆動部205aと接触する移動体402の接触部402aは略平面状に形成され、振動体1c,1dと対向して配置し、加圧接触される。
【0051】
振動体1c,1dと移動体402間の加圧接触方法、振動体の保持方法等は図1に示した第1の参考例に準ずるので説明は略す。
【0052】
図7に振動体1c,1dの動作原理を示す。
【0053】
振動体を構成する弾性体205のYZ面には圧電素子板4a,4bが配置され、XZ面には圧電素子板4c,4dが配置され、これら圧電素子板の逆圧電効果により振動体は弾性振動を行う。
【0054】
これら圧電素子板4a,4b,4c,4dに同位相の交流駆動信号を印加すると、振動体1c,1dは中心に1個の節を持つ縦振動を発生し、図7(b)のようにZ方向の振動変位分布Wzを発生する。
【0055】
そして、圧電素子板4c、4dに印加する交流駆動信号はそのままとし、圧電素子板4a,4bに逆位相の交流駆動信号を印加すると、振動体1c,1dは3個の節を持つ曲げ振動を発生し、図7(c)のようにX方向の振動変位分布Wxを発生する。
【0056】
同様に、圧電素子板4a、4bには上記した逆位相の交流駆動信号を印加したまま、圧電素子板4c,4dに逆位相の交流駆動信号を印加すると、振動体1c,1dは3個の節を持つ曲げ振動を発生し、図7(d)のようにY方向の振動変位分布Wyを発生する。
【0057】
これら3つの異なる振動の合成により、移動体402の駆動が行われる。
【0058】
振動変位Wzと振動変位Wxを時間的位相差が90度となるように発生させると、振動体1c,1dの駆動部205aにY軸回り(X−Z平面内)の楕円または円運動が形成され、移動体402をX方向に駆動する作用をなす。
【0059】
振動の組み合わせを変えて、振動変位Wzと振動変位Wyを時間的位相差が90度となるように発生させると、振動体1c,1dの駆動部205aにX軸回り(Y−Z平面内)の楕円または円運動が形成され、移動体402をY方向に駆動する作用をなす。
【0060】
同様に振動の組み合わせを変えて、振動変位Wxと振動変位Wyを時間的位相差が90度となるように発生させると、振動体1c,1dの駆動部205aにZ軸回り(X−Y平面内)の楕円または円運動が形成され、移動体402をZ軸回りに回転駆動する作用をなす。第1の参考例と同様に、振動体1c,1dの発生力を合成する事で、移動体402はX方向,Y方向及びZ軸回りの運動を行う。運動方向はこれらに限定されず、振動の組み合わせにより任意の運動を発生する。
【0061】
(本発明の実施の形態) 図8は本発明の実施の形態を示す主要部分の斜視図である。基本的な構成は図1に示した第1の参考例に準じている。ただし移動体403は図8中に示したY方向に中心軸を持ち、略円筒形状の接触部403aが形成されている。
【0062】
第1の弾性体1eと第2の弾性体1fには、共に先端付近にY軸方向に例えば図9に示すように凹状に形成された駆動部206cが配置されている。
【0063】
第1の弾性体1eと第2の弾性体1fに形成された駆動部206cは筒形状に形成された移動体403の外周部である接触部403aに加圧接触される。
【0064】
上記した第1あるいは第2の参考例で説明したのと同様の作用により、移動体403はY方向への移動及びY軸回りの回転運動を行う。
【0067】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、機械的な保持機構を持たずに複数の自由度を持つ移動体の駆動を可能とした。
また、複数の振動体により移動体を駆動する事で高出力の多自由度振動型アクチュエータを可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の参考例を示す斜視図。
【図2】 図1に示す振動体の側断面図。
【図3】 図1に示す振動体であり、(a)は斜視図、(b)、(c)、(d)は振動変位分布を示す図。
【図4】 第1の参考例の駆動イメージ図。
【図5】 第1の参考例の変形例を示す斜視図。
【図6】 本発明の第2の参考例を示す斜視図。
【図7】 図6に示す振動体であり、(a)は斜視図、(b)、(c)、(d)は振動変位分布を示す図。
【図8】 本発明の実施の形態を示す斜視図。
【図9】 図8の振動体の側断面図。
【図10】 従来の多自由度振動型アクチュエータを示す斜視図。
【符号の説明】
1…振動体
4…圧電素子
401、402,403…移動体
Claims (3)
- 略円筒形状の接触部が形成された円筒状移動体と、
前記円筒状移動体に加圧部材の加圧力により加圧接触して該円筒状移動体を運動させる一方、該円筒状移動体を保持するために、先端付近が凹状に形成された駆動部を備えた第1及び第2の振動体とによる二つの振動体と、を有し、
前記二つの振動体は、それぞれの前記駆動部に少なくとも異なる3方向の振動変位を発生させる振動発生手段を有し、
且つ前記二つの振動体は、それぞれの前記先端付近が凹状に形成された駆動部を介して前記円筒状移動体に付与される前記加圧部材の加圧力により前記円筒状移動体を互いに対向する2方向から保持するとともに、
前記二つの振動体に形成される少なくとも異なる2方向以上の振動変位の組み合わせにより、前記円筒状移動体を該円筒状移動体の回転方向及び該円筒状移動体の回転方向と垂直な方向に運動させることを特徴とする振動型アクチュエータ。 - 前記振動体は、前記移動体を挟んで正対する位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータ。
- 請求項1または請求項2に記載の振動型アクチュエータを駆動源として有し、前記駆動源により被駆動体を駆動するようにしたことを特徴とする振動型駆動装置。
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