JP4824248B2 - インサイチュミラー特徴付け - Google Patents
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Description
(発明の背景)
本発明は、概して、干渉計に関し、詳細には、フォトリソグラフィステージミラー等の局所的な表面特徴部にインサイチュでの干渉計による測定を行い、距離測定精度の高い補正信号を提供する干渉計装置およびその方法に関する。
【0002】
多くの臨界寸法を測定し、制御するための干渉計は、微細加工プロセスにおいて広く用いられている十分に確立された計測学である。この干渉計は、0.1μm以下の臨界寸法に比べて10〜40%の精度が必要な半導体等の製造において特に重要である。
【0003】
半導体材料から作製される集積回路は、典型的には平坦な露光面にシリコンウェハを設置した状態で、そのシリコンウェハに異なる材料からなる層を堆積し、続いてパターニングすることによって構築される。この平坦な露光面は、デカルトx−y座標と、それに垂直なz軸とを有する。パターニングプロセスは、フォトレジストの露光および現像、続いて、その下にある層のエッチングおよびドーピング、そして、次の層の堆積の組み合わせからなる。このプロセスによって、ウェハ上に複雑かつミクロンオーダーの極めて不均一な材料構造が得られる。
【0004】
典型的なウェハは、それぞれ、「フィールド」と呼ばれる同じパターンの複数のコピーを含む。この「フィールド」は、「グリッド」として知られている名目上は直線で囲まれた配置でウェハに並べられたものである。必ずではないが、各フィールドは、1つの「チップ」に相当する場合が多い。
【0005】
露光プロセスは、ウェハ上にスピンコーティングされたフォトレジスト上(内)に次の層のパターンイメージを投影するステップからなる。集積回路を適切に機能させるためには、連続して投影された各イメージをウェハにすでに存在するパターンに正確に整合させる必要がある。ウェハにすでに存在するパターンの位置、方向、および、ひずみを決定するステップ、次に、投影されたイメージに対して正確な関係となるようにそれらパターンを配置するステップからなるプロセスは、「アライメント」と呼ばれる。実際の結果(すなわち、連続してパターニングされた各層がどの程度の精度でその前の層に整合しているか)は、「オーバーレイ」と呼ばれる。
【0006】
一般に、アライメントプロセスは、すでに存在するパターンの実際の形状に整合させるために、ウェハおよび/または投影されたイメージの平行移動による位置付けおよび回転による位置付け、ならびに、イメージのひずみを必要とする。ウェハおよびイメージが、一方のパターンを他方のパターンの上部に正確に位置付けるために必要であるという事実は明らかである。イメージの実際のひずみもまた必要とされる場合が多い。熱および振動等の他の影響もまた補償する必要があり得る。
【0007】
このことすべての最終的な結果、ウェハに印刷された第1のレベルのパターンの形状は理想的なものではなく、続くすべてのパターンは、ある程度可能な限り第1のレベルの印刷パターンの形状全体に一致するように調整される必要がある。異なる露光ツールは、これらの影響をなくす異なる機能を有するが、一般には、xおよびy方向の大きさ、および、ゆがみを含むひずみまたは形状変形が、考慮され得る。これらのひずみと平行移動および回転とを組み合わせた場合、これらのひずみは、平面における一次変換の完全なセットを構成する。
【0008】
問題は、投影されたイメージをウェハにすでに存在するパターンに続けて整合させ、ウェハそのものの位置付けが困難であることにより、露光ツールは、ウェハパターンそのものと投影されたイメージとの両方の相対的な位置、方向、および、ひずみを効率的に検出するか、または、推測できる必要がある。
【0009】
回路パターンそのものを直接感知することは困難であり、そのため、アライメントは、基準マークまたは「アライメントマーク」を回路パターンに付けることによって行われる。これらのアライメントマークは、レチクルの位置、方向およびひずみ、および/または、投影されたイメージの位置、方向およびひずみを決定するために用いられ得る。これらのアライメントマークはまた、回路パターンとともにウェハに印刷され得、そのため、ウェハパターンの位置、方向およびひずみを決定するためにも用いられ得る。アライメントマークは、一般に、レチクル上の1つ以上の透明または不透明な線からなり、後にウェハに印刷した際には「トレンチ」または「メサ」となる。しかしながら、トレンチおよび/またはメサからなる単純な周期的アレイである格子、および、チェック基板パターン等のより複雑な構造も用いられる。アライメントマークは、通常、各フィールドの「切り口」のエッジに沿って配置されるか、または、いくつかの「マスターマーク」がウェハ全体に配置されるかのいずれかである。アライメントマークは必須であるが、チップ回路の一部ではない。そのため、チップ製造者の立場からすれば、貴重なウェハ領域または「リアルエステート」を無駄にしていることになる。これにより、アライメントマークを可能な限り小さくしようとしており、側面に数百マイクロメートル未満である場合が多い。
【0010】
アライメントマークを「見る」ために、アライメントセンサが露光ツールに組み込まれている。一般に、ウェハ、レチクル、および/または、投影されたイメージそれ自身用に別個のセンサがある。アライメントストラテジー全般に応じて、これらのセンサは完全に別個のシステムであってもよいし、または、これらのセンサを効率的に組み合わせて1つのセンサとしてもよい。例えば、直接投影されたイメージを見ることができるセンサは、名目上は、ウェハマークについては「見えず」、そのため別個のウェハ用のセンサが必要である。しかし、レチクル用アライメントマークそれ自身を介してウェハ位置で「見る」センサは、基本的に、レチクルおよびウェハアライメントを同時に行っている。そのため別個のレチクル用センサは不要である。この場合、投影されたイメージのアライメントマークの位置が、レチクル用のアライメントマークの位置から推測されており、アライメントステップの前に、イメージ位置に対するレチクルの入念な校正を行う必要があるということに留意されたい。
【0011】
さらに、上述したように、基本的には全ての露光ツールは、ウェハ用のアライメントマークを光学的に検出するセンサを用いている。つまり、センサは、1つ以上の波長の光をウェハに投影し、ウェハ平面における位置の関数として、アライメントマークからの散乱/回折を検出する。多くのタイプのアライメントセンサが一般に用いられており、光学的な構成により単純な顕微鏡からヘテロダイン格子干渉計までの全スペクトルが網羅されている。また、異なるセンサ構成により所与のウェハのタイプに良くも悪くも作用するので、多くの露光ツールは、可能な広い範囲のウェハタイプについて良好なオーバーレイが可能となるように、1つよりも多くのセンサ構成を実行する。
【0012】
アライメントセンサ全体の仕事は、露光ツールに対して固定の座標系において、ウェハ上のアライメントマークすべての所与のサブセットのそれぞれの位置を決定することである。次いで、これらの位置データは、2つの一般的な方法(「グローバル」および「フィールドバイフィールド」と呼ばれる)のうちいずれかに用いられ、アライメントが行われる。グローバルアライメントでは、アライメントセンサ(単数または複数)によって、数フィールドのみにあるマークが見つけられ、そのデータが最適一致と感知されるように組み合わされて、ウェハ上のすべてのフィールドの最適アライメントが決定される。フィールドバイフィールドアライメントでは、1つのフィールドから集められたデータを用いて、そのデータのみのアライメントが行われる。グローバルアライメントは、通常、高速かつノイズの影響が小さいとされる。その理由は、ウェハ上のすべてのフィールドのマークを見つけることがなく、データすべてをまとめて組み合わせ、全体から最適一致を見つけるためである。しかしながら、最適一致の結果が、フィードフォワード法または推定法に用いられるため、露光ツールの光機械的安定性全体に依存することになる。
【0013】
アライメントは、一般に、2段階プロセスとして実行される。つまり、マイクロメートルの精度の初期粗アライメントステップを行い、次に、数十ナノメートルの精度の微アライメントステップが行われる。アライメントには、全部で6つの自由度(3つの平行移動と3つの回転)でウェハを位置付けるステップが必要である。しかしながら、投影されたイメージ平面内にウェハが位置するようにウェハを調整するステップ(すなわち、ウェハの水平位置を調整し、フォーカスするステップ)は、一般に、アライメントとは別とみなされる。このステップは、水平移動の自由度1(光学軸、つまりz軸(すなわち、x−yウェハ方向に垂直な方向に平行な方向)に沿った移動)と、回転の自由度2(投影されたイメージ平面に平行となるようにウェハの平面を方向付ける)とを含む。アライメントを参照する際、通常、面内平行移動(自由度2)および投影光学軸のまわりの回転(自由度1)のみを意味する。名称が異なる理由は、必要な精度が異なるためである。面内平行移動および回転に必要な精度は、一般に、数十ナノメートルのオーダ、または、ウェハに印刷されるべき最小形状サイズ(または臨界寸法(CD))の約20〜30%である必要がある。現在の最新技術のCD値は、数百ナノメートルのオーダであり、したがって、必要なアライメント精度は、100nm未満である。一方、面外の平行移動および回転に必要な精度は、CD値に一般に近いとされる露光ツールの使用可能合計焦点深さに関連する。したがって、ウェハの面外焦点合わせおよび高さ調整には、面内アライメントほど高い精度は必要ではない。また、焦点合わせおよび高さ調整用のセンサは、通常、「アライメント用センサ」とは完全に別個のものであり、焦点合わせおよび高さ調整は、通常、ウェハ上のパターンに依存しない。ウェハ表面またはその代替物のみを感知する必要がある。にもかかわらず、このことは、いまだに実質的な作業、とりわけ、ウェハ上の光学投影システムの垂直方向の位置(高さ)に関する正確な情報を要している。
【0014】
ダイナミック干渉計を用いて、アライメントを行うことは公知である。このダイナミック干渉計では、フィードバック構成を介して角度方向が制御されたダイナミック素子を用いて、距離測定の精度を高めている。これにより、距離情報を伝えるビームが、適切にアライメントされて、最適信号が確実に提供される。このような干渉計は、例えば、2000年5月5日に出願された、Henry A. Hillの「Interferometry Systems Having a Dynamic Beam−Steering Assembly For Measuring Angle and Distance」と称する国際出願番号第PCT/US00/12097号に示される。しかしながら、ダイナミック干渉計を用いた場合であっても、種々の反射素子の形状が、距離測定で達成可能な精度および角度測定で達成可能な精度に影響を与える。この理由は、ステージミラーが種々の動きをする際に、局所的な傾斜の変化がビームの方向に影響を与えるためである。典型的には、このような反射素子(例えば、薄く高いアスペクト比を有するミラー)の形状は、ステージ外にて特徴を示し、適切に一致すると判定されると、ステージ上に取り付けられる。しかしながら、取り付けプロセスそのものが、検査される形状に比べ素子の形状をひずませ、この形状の変化によって測定誤差が生じ得るために、許容されない場合が多い。
【0015】
したがって、本発明の主要な目的は、ステージ上にある反射素子(例えば、薄く高いアスペクト比のミラー)を取り付けた後に、その形状をインサイチュで測定し、反射面の形状に関する光路長およびビーム方向の誤差を補償する補正信号を生成し得る干渉計装置およびその方法を提供することである。
【0016】
本発明の別の目的は、ステージ上にある反射素子(例えば、薄く高いアスペクト比のミラー)を取り付けた後に、その形状をインサイチュで測定し、垂直面に並ぶ反射面の形状に関する光路長およびビーム方向の誤差を補償する補正信号を生成し得る干渉計装置およびその方法を提供することである。
【0017】
本発明のさらに別の目的は、ステージ上にある反射素子(例えば、薄く高いアスペクト比のミラー)を取り付けた後に、その形状をインサイチュで測定し、反射面の形状に関する光路長およびビーム方向の誤差を補償する補正信号を生成し得るダイナミック干渉計の動作特性から生じる情報を利用することである。
【0018】
本発明のさらに別の目的は、ステージ外にある反射素子(例えば、薄く高いアスペクト比のミラー)を取り付けた後に、その形状をインサイチュで測定し、反射面の形状に関する光路長およびビーム方向の誤差を補償する補正信号を生成し得る干渉計装置およびその方法を提供することである。
【0019】
本発明の他の目的の一部は、図面を参照して以下の詳細な説明を読めば明らかとなり、明白となる。
【0020】
(発明の要旨)
フォトリソグラフィミラー等の局所的な表面の特徴がインサイチュで干渉計によって測定され、距離測定の精度および角測定の精度を高める補正信号を提供する干渉計装置および方法が提供される。1つ以上の方向の1つまたは複数の基準線に沿った表面特徴は、局所的な傾きを決定するために動作時に表面で反射したビームの角変化を測定し、その後、最終的に表面トポロジーを得るためにその傾きを積分することによって得られ得る。ミラーは、フォトリソグラフィステージ上、またはフォトリソグラフィステージ外の基準フレーム上のいずれかに取り付けられ得る。最も簡単な場合では、この目的のために1つのダイナミックビームステアリングアセンブリ、または、干渉計サブシステムが採用される。2つの直交方向におけるミラー特徴については、少なくとも2つのダイナミックビームステアリングアセンブリが用いられる。一方は、基準線に沿ってかつ基準線に直交するミラー面の傾きの変化に関する情報を含む信号を生成し、他方は、ミラーが取り付けられたステージの角方向に関する情報を含む信号を生成する。これらの2つの信号を組み合わせ、基準線に沿ってかつ基準線に直交するミラーの傾きに関する情報を抽出する。その後、傾きは変位を変数として積分され、トポグラフィが得られる。単一ビーム干渉計は、1つのビームのみを用いてミラーに対するピッチ、揺れ角および変位を測定することができるため好ましい。互いに直交する方向に面する複数のミラーを用いても測定することができる。この場合、細長い寸法に沿って第3のミラーを平行移動させつつ、細長い表面に対して1つ以上を固定して保持し、続いて、このプロセスを繰り返すことによって行われる。あるいは、ミラー全部を一緒に移動させ、相対ミラートポグラフィを得てもよい。3ビームステアリングアセンブリを用いて、対応する互いに直交する3つのミラーおよびビームステアリングを完全に特徴付けてもよいし、または、干渉計サブシステムを平行移動ステージ上または平行移動ステージ外に取り付けてもよい。
【0021】
ミラーのインサイチュトポグラフィが一旦確立すると、ルックアップテーブル(LUT)等に格納され、通常動作時に精度を向上させるためにリアルタイムでエラー訂正信号を提供する。
【0022】
本発明の他の目的および利点とともに、本発明の構造、動作および方法は、図面を参照して詳細な説明を読めば最良に理解され得る。それぞれが一部をなす図面には番号が付してあり、その番号は、その図面が種々の図面のどこで登場したかを特定している。
【0023】
(詳細な説明)
次に、図1を参照する。図1は、一対の直交して配置されたダイナミック干渉計または干渉計サブシステムを採用している干渉システム15の模式的斜視図である。干渉システム15により、ステージ上に取り付けられた細長い対物ミラーの形状は、基準線に沿ってインサイチュにて特徴付けられ得る。図1に示されるように、システム15は、好ましくは、集積回路またはチップ等の半導体製品を製造するためのフォトリソグラフィ装置の一部をなすステージ16を備える。ステージ16には、薄く高いアスペクト比の平面ミラー50が固定されている。このミラー50は、y軸方向に細長いy−z反射面51を有している。また、ステージ16には、別の薄く高いアスペクト比の平面ミラー60が固定して取り付けられている。このミラー60は、x軸方向に細長いx−z反射面61を有している。ミラー50および60は、それぞれの反射面51および61が、それぞれ互いに名目上直交するように、ステージ16上に取り付けられている。ステージ16は、名目上は、面内平行移動するように周知の様態で取り付けられるが、ベアリングおよび駆動機構の耐性に起因して、x、yおよびz軸の周りにわずかに角回転し得る。通常動作時には、システム15は、y軸方向にのみに変位するように適応されている。
【0024】
ステージ外には、ステージ16がy軸方向に平行移動する際のy軸およびz軸まわりのステージ16、したがって平面ミラーの反射面51の回転角を測定するための単一ビームダイナミック干渉計(または干渉計サブシステム)10が固定して取り付けられている。これを達成するために、ダイナミック干渉計10は、上述の2000年5月5日に出願された、Henry A. Hillの「Interferometry Systems Having a Dynamic Beam−Steering Assembly For Measuring Angle and Distance」と称するPCT特許出願に記載される様態で構成され、配置されている。同出願の全体を本明細書中で参考として援用する。同出願に記載されるように、ビームステアリング能力を備えたミラーが設けられている。このミラーによって、面倒なステージの回転を測定し、ミラーに垂直な光路上にビームを維持するために用いられるフィードバック信号が提供される。ここで、ビーム12の反射ビーム成分がモニタされ、その角度が、Henry Allen Hillの2000年5月3日に出願された、「Apparatus And Method(s) For Measuring And/Or Controlling Differential Paths Of Light Beams」と称する米国特許出願第60/201,457号に記載される干渉計装置を介して測定される。同出願の全体を本明細書中で参考として援用する。
【0025】
入射ビーム12は、好ましくは、周波数差f1を有する2つの直交する偏光成分を含む。入射ビーム12の光源(例えば、レーザ)は、種々の周波数変調装置および/またはレーザのうち任意であり得る。例えば、レーザは、当業者に公知の種々の従来技術のうち任意の安定なガスレーザ(例えば、HeNeレーザ)であり得る。例えば、T. Baerらの「Frequency Stabilization of a 0.633μm He−Ne−longitudinal Zeeman Laser」、Applied Optics、19、3173〜3177(1980)、Burgwaldらの1975年6月10日に付与された米国特許第3,889,207号、および、Sandstromらの1972年5月9日に付与された米国特許第3,662,279号を参照されたい。あるいは、レーザは、当業者に公知の種々の従来技術のうちの1つの安定なダイオードレーザ周波数であり得る。例えば、T. OkoshiおよびK. Kikuchiの「Frequency Stabilization of Semiconductor Lasers for Heterodyne−type Optical Communication Systems」、Electronic Letters、16、179〜181(1980)、および、S. YamaguchiおよびM. Suzukiの「Simultaneous Stabilization of the Frequency and Power of an AlGaAs Semiconductor Laser by Use of the Optogalvanic Effect of Krypton」、IEEE J. Quantum Electronics、QE−19、1514〜1519(1983)を参照されたい。
【0026】
2つの光学周波数は、次の技術のいずれかによって生成され得る。(1)ゼーマン***レーザの使用;例えば、Bagleyらの1969年7月29日に付与された米国特許第3,458,259号、G. Bouwhuisの「Interferometrie Mit Gaslasers」、Ned. T. Natuurk、34、225〜232(1968年8月)、Bagleyらの1972年4月18日に付与された米国特許第3,656,853号、および、H. Matsumotoの「Recent interferometric measurements using stabilized lasers」、Precision Engineering、6(2)、87〜94(1984)を参照されたい。(2)一対の音響光学ブラッグセルの使用;例えば、Y. OhtsukaおよびK. Itohの「Two−frequency Laser Interferometer for Small Displacement Measurements in a Low Frequency Range」、Applied Optics、18(2)、219〜224(1979)、N. Massieらの「Measuring Laser Flow Fields With a 64−Channel Heterodyne Interferometer」、Applied Optics、22(14)、2141〜2151(1983)、Y. OhtsukaおよびM. Tsubokawaの「Dynamic Two−frequency Interferometry for Small Displacement Measurements」、Optics and Laser Technology、16、25〜29(1984)、H. Matsumoto同書、P. Dirksenらの1996年1月16日に付与された米国特許第5,485,272号、N. A. RizaおよびM. M. K. Howladerの「Acousto−optic system for the generation and control of tunable low−frequency signals」、Opt. Eng.、35(4)、920〜925(1996)を参照されたい。(3)1つの音響光学ブラッグセルの使用;例えば、G. E. Sommargrenの同一人に譲渡された1987年8月4日に付与された米国特許第4,684,828号、G. E. Sommargrenの同一人に譲渡された1987年8月18日に付与された米国特許第4,687,958号、および、P. Dirksenらの同書を参照されたい。(4)ランダム偏光したHeNeレーザの2つの縦モードの使用;例えば、J. B. FergusonおよびR. H. Morrisの「Single Mode Collapse in 6328Å HeNe Lasers」、Applied Optics、17(18)、2924〜2929(1978)を参照されたい。(5)レーザ内部の複屈折素子等の使用;例えば、V. EvtuhovおよびA. E. Siegmanの「A 「Twisted−Mode」 Technique for Obtaining Axially Uniform Energy Density in a Laser Cavity」、Applied Optics、4(1)、142〜143(1965)を参照されたい。あるいは、H. A. Hillの1998年4月17日に出願された、「Apparatus to Transform Two Non−Parallel Propagating Optical Beam Components into Two Orthogonally Polarized Beam Components」と称する米国特許出願第09/061,928号に記載されるシステムの使用である。同出願の全体を本明細書中で参考として援用する。
【0027】
ビーム12の光源に用いられる特定の装置は、ビーム12の直径および発散を決定する。例えば、ダイオードレーザ等の光源の場合、次に続く素子のための適切な直径および発散を有するビーム12を提供するために、従来のビーム成形光学素子(例えば、従来の微小対物レンズ)を用いることを必須とするものがある。光源がHeNeレーザの場合、例えば、ビーム成形光学素子は不要となり得る。
【0028】
別のダイナミック干渉計装置20は、好ましくは、干渉計10の設計と同じ設計であり、x軸およびz軸のまわりのステージ16の回転角を測定するために、ステージ外に固定して取り付けられている。これを達成するために、干渉計20は、ビーム22をミラー面61に投影する。ビーム22の反射成分は、上述したように角測定干渉計に送られる。ビーム22は、ビーム12と同様にして生成される。
【0029】
システム15は、通常、y軸方向に平行移動して測定するように動作されるが、基準線に沿ってインサイチュでミラー面51の形状を測定するように、特別ミラー特徴モードで動作される。特別ミラー特徴モードでは、ステージ16は、入射ビーム12が基準線に沿ってミラー面51を走査し、ステージ16を移動するための平行移動機構の振動に起因する任意の寄与成分とともに、x軸方向およびz軸方向の角方向および表面距離を示す情報を含む信号を生成するように、y軸方向に平行移動される。ステージ16がy軸方向へ平行移動するのと同時に、干渉計20は、ビーム22が反射面61によって遮断される点に相当するミラー61上の1つの点をモニタする。このステップによって、ステージ16の平行移動機構(例えば、ベアリング、駆動機構等)の機械的寄与に起因するステージ16の回転を測定することを可能にする。この情報を用いて、2つの信号が生成される。干渉計10からの第1の信号は、基準線に沿った、基準線と直交するミラー面51の傾きの変化に関する情報を含み、干渉計20から第2の信号は、ステージ16の角方向に関する情報を含む。これらの2つの信号を組み合わせて、基準線に沿った、基準線と直交するミラー51の傾きに関する情報(すなわち、dx/dyおよびdx/dz)のみが抽出される。次いで、dx/dyは、yの関数としてxを得るために積分される。したがって、x−y平面およびx−z平面の出射ビーム12の方向変化を測定し、ステージの回転の変化によって生じるこれらの方向変化への寄与成分を考慮することによって、ミラー面51の形状が、基準線に沿って決定され得、傾きdx/dzは、使用環境に取り付けられた状態で基準線に沿って決定され得る。
【0030】
単一ビーム干渉計は、ステージミラー50に入射する1つのビームのみを用いてピッチ、偏揺れ角および距離(P、YおよびD)を測定することができるので、このアプリケーションに好ましい。通常動作を変更しない限り、さらにハードウェアを変更することなく、ミラー形状に関する情報をインサイチュで抽出することができる。
【0031】
しかしながら、y軸方向に平行移動させた場合には、ステージベアリング等によってステージがぐらつき、方向の誤差が大きくなるために、第2の方向の第2の測定が必要となる。したがって、ミラー面61を用い、ビーム22の反射ビームの一部を調べることによって、ステージの方向の偏差または変化を測定する。このこともまた好ましくはダイナミック干渉計を用いて行われる。
【0032】
このアプリケーションの場合に単一ビーム干渉計を用いる重要な特徴は、1つのビームが、1/d(dはビーム直径)によって与えられるカットオフ周波数までのすべての空間周波数を含むということである。一方、二重ビーム干渉計(例えば、HSPMI)を用いることによって、2つの二重ビームまたはその高調波のビーム間隔に等しい波長を有するすべての空間周波数を損失し、その結果、形状を回復できなくなる。
【0033】
第2の干渉計20が、本発明の範囲および意図から逸脱することなく、複数のビーム干渉計(図示せず)を含む角測定干渉計の別の形態であり得ることは、当業者にとって明白である。ただし、図示するタイプは、例えば、「Differential Interferometer Arrangements for Distance and Angle Measurements:Principles, Advantages, and Applications」、C. Zanoni、VDI Berichte NR.749、(1989)に示されており、この内容の全体を本明細書中において参考として援用する。
【0034】
次に、図2を参照する。図2は、システム115として示される干渉計装置の模式的斜視図である。システム115は、一対の直交して配置されたダイナミック干渉計を採用している。それにより、ステージがまず一方の方向に平行移動され、その後直交方向に移動された場合に、ステージ上に直交するように取り付けられた細長い対物ミラーの形状が、各ミラーに関連する基準線に沿ってインサイチュで特徴付けられ得るか、または、ミラーの相対形状が、直交方向に沿ってステージを移動させると同時に得られ得る。
【0035】
図2に示されるように、システム115は、ここでもやはり面内平行移動するように取り付けられたステージ16を備える。ただし、ステージ16は、ここでは通常、x方向およびy方向の両方への移動を測定するように動作される。薄く高いアスペクト比のミラー150は、y軸方向に細長いミラー面151を有しており、ステージ16に固定されている。薄く高いアスペクト比のミラー160は、x軸方向に細長い細長反射面161を有しており、これもまたステージ16に固定して取り付けられており、ミラー150と名目上直交している。
【0036】
システム115はまた、2つのミラー特徴モードのうちいずれかで動作され、表面151および161をインサイチュで測定し得る。第1のミラー特徴モードでは、システム115は、図1のシステム15のミラー特徴モードの様態で動作され、表面151の形状を得る。その後、ステージ16は、y軸方向の並進は固定したままx軸方向に移動され、ミラー151の形状を得るのと同様の様態でミラー161の形状を得る。したがって、これは2段階動作である。
【0037】
第2のミラー特徴モードでは、ステージ16は、x軸方向およびy軸方向に同時に移動され得る。しかしながら、ミラー面の形状間の関係のみを得ることができる。限られた情報のみをこのモードを用いて得るが、この情報が意図した下流での使用に十分である場合には、このモードによって、以前のプロセスにおける1ステップが省略される。
【0038】
図1の実施形態および図2の実施形態のいずれの通常動作にも関わる目的は、ミラーの形状に関する情報を得て、この情報を用いてミラーの形状が精度の及ぼす影響を補正し得ることである。これにより距離を測定することができる。この点について、ルックアップテーブル(LUT)または多項式あるいはフーリエ級数閉近似式を用いて実現され得る距離補正アルゴリズムは、測定距離を調整するために用いられ得る。1ナノメートルの1/10のオーダの補正が可能である。
【0039】
図3は、直交して配置された3つのダイナミック干渉計を採用する干渉計装置の模式的斜視図である。これにより、ステージが3つの直交方向x、yおよびzに沿って平行移動されると、ステージ上に直交して取り付けられた細長い対物ミラーの形状は、各ミラーに関連する複数の直交する基準線(x−z平面、x−y平面およびy−z平面)に沿ってインサイチュで特徴付けられ得る。
【0040】
次に図3を参照する。図3において、この実施形態の装置は、ステージ16を備えたシステム202として示されている。ステージ16の上部には、平面ミラー270および平面ミラー260が固定して取り付けられている。平面ミラー260は、x−z平面の向きに、x軸方向に細長い反射面261を有する。平面ミラー270は、y−z平面の向きに、y軸方向に細長い反射面271を有する。ミラー270はまた、x−y平面の向きに、y軸方向に細長い上部反射面272も有する。
【0041】
基準体(図示せず)には細長い平面ミラー280が固定して取り付けられている。このミラー280は、下向き、すなわちステージ16の方向に面する下部反射面を有する。単一ビーム干渉計231は、x軸方向にのみ平行移動するステージ16のある部分に対して固定して取り付けられている。この干渉計231は、ミラー面272とミラー280の下面との間の垂直方向の間隔または高さを測定するように適応されている。
【0042】
ビーム212内に出射ビーム成分および反射ビーム成分を有する単一ビーム干渉計210は、上述したように、x、および、y軸およびz軸まわりのピッチならびに揺れ角を測定する。ビーム222内に出射ビーム成分および反射ビーム成分を有する単一ビーム干渉計220は、これも上述したように、y、および、それぞれx軸およびz軸まわりのピッチならびに揺れ角を測定する。
【0043】
任意の高さにおける、ミラー270および260のxおよびyプロフィールは、上述した手順を用いて測定され得る。しかしながら、これに加えて、この実施形態によれば、異なる高さにおいても、ミラー260および270のxおよびy形状を測定することが可能となる。例えば、xおよびy形状は、ステージ16のある高さにて決定され得、その後、垂直方向に間隔を空けられ得る別の高さ(例えば、最初の高さの上下4〜5mm)にて測定され得る。このことを行うために、z軸方向への移動によって生じるステージ16の角変化を最適精度に考慮する必要がある。
【0044】
干渉計231は、ステージ16の方向の変化に敏感となるように上述された様態で適応されてる。これにより、単一ビーム干渉計は、表面280および272の1つの光路をなし、さもなくば、ビーム233のピッチおよび揺れ角を測定するように構成される。光源/検出器230は、干渉計231にビームを提供する(図4aおよび図4bを参照のこと)。したがって、ステージ16がx軸またはy軸のまわりを回転する場合、干渉計231は、z軸方向へ平行移動している間にそれを補正する。ビーム233が、ビーム212に対してx軸のまわりを回転し、かつ、ビーム222に対してy軸のまわりを回転する場合も補正が行われる。ステージ16の回転は、z軸方向への移動の情報を用いて、表面271および261が、z軸方向およびy軸方向、ならびにx軸方向にマッピングされ得るように、補正されたzの移動をともなって決定され得る。
【0045】
表面272の形状もまた表面261および271の形状を決定するプロセスにより得られることは、当業者には明らかである。
【0046】
図4aおよび図4bは、それぞれ、図3のシステム202に用いられる干渉計231の模式的平面図および正面図である。図から分かるように、干渉計231は、紙面に垂直な方向に配置された偏光ビームスプリッタ層302を有する第1の偏光ビームスプリッタ300(PBS)を備える。PBS300は、PBS層302に直角の向きのPBS層324を有するPBS312に続く。PBS312は、1/4波長板314、その後、ポロプリズム316に続く。
【0047】
PBS300は、一方の側面に1/4波長板304を有しており、その上部にはミラー反射面306が位置し、PBS300の反対の側面には1/4波長板308が設けられている。この1/4波長板308の上には、反射面310が位置する。
【0048】
PBS312は、上面には1/4波長板326および下面には別の1/4波長板330を有する。ミラー280は1/4波長板326の上に、ミラー270は1/4波長板330の下に位置する。
【0049】
第3のPBS318は、PBS300の出射端部に設けられており、PBS層319を含む。ビーム232の反射成分は、PBS318によって2つのビーム343および345に分けられる。これらのビーム343および345は、光検出器322および320にそれぞれ送られ、さらなる解析を行うために電気信号に変換される。
【0050】
この構成によれば、干渉計231が回転している場合には、出射ビームの方向を変更させない。しかしながら、ミラー270または280のいずれかが回転している場合には、それに対応する角が測定される。
【0051】
図4aの干渉計の平面図は、基準ビームが干渉計231を伝搬する場合の光路を示している。図4bの正面図は、測定ビームが干渉計231を伝搬する場合の光路を示している。
【0052】
ステージミラーがインサイチュで特徴付けられ得る上述の装置を説明してきたが、次に、図5に注目する。図5は、ステージミラーのトポグラフィをインサイチュで特徴付ける方法のフローチャートを示す。図から分かるように、この方法は、まずブロック400から開始する。ここで、ステージ16は、好ましくは、パーク位置にある。次のステップは、ブロック402に示されるように、面内移動するために、平行移動ステージに細長い平面対物ミラーを取り付けるステップである。この次は、干渉計から1つのビームを対物ミラーに指向させるステップである。次に、ブロック406に示されるように、ステージは、ビームがミラーに指向されている間、ミラーの細長い方向に沿って移動され、ビームが基準線に沿ってミラーを走査する。この後、ブロック408に示されるように、ミラーが、基準線に沿ってミラー面の局所的な傾きに関する情報を含む信号を生成するように走査される間、ミラーからの反射ビームがモニタされ、反射ビームの角変化が測定される。その後、ブロック410に示されるように、ステージがミラーの長い寸法の方向に移動すると、ステージの角方向は、もう一方の直行するように位置付けられた干渉計からの1つのビームを平行移動しないステージ上のある点に指向することによって測定される。この後、第1の干渉計からの信号を測定されたステージ方向情報と組み合わせて、ステージの変位を変数として、ミラー面の局所的な傾きを決定する。その後、ブロック414において、傾き情報を積分して、基準線に沿ったミラーのトポグラフィが得られる。最後に、ブロック416に示されるようにプロセスを繰り返し、もう一方の直交するように位置付けられたステージミラーをマッピングするか、または、z軸方向の初期基準線から間隔を空けて配置された同じミラー上を基準線に沿って走査し得る。
【0053】
上述のプロセスは、適切にプログラムされた汎用コンピュータ、または、システムハードウェアエレメントの全制御を行い、システム制御および人間の介入用にユーザインターフェースを提供し、一般的なハウスキーピング機能を実行するためにさらに用いられ得る専用マイクロプロセッサを介して実行され得ることを理解されたい。
【0054】
種々の実施形態を説明してきたが、当業者であれば、本発明の教示内容に基づいてさらなる変更をどのようにして行うかは明らかであり、このような変更は本発明の範囲内であるとみなされる。例えば、リソグラフィツールウェハステージの計測学において、ウェハステージ上に干渉計を配置し、リソグラフィツールの基準フレーム上にウェハステージ外の関連するバーミラーを配置することもまた公知である。例えば、Carl A. Zanoniによる1998年3月に付与された、「Interferometric Apparatus For Measuring Motions Of A Stage Relative to Fixed Reflectors」と称する同一人に譲渡された米国特許第5,724,136号、および、Justin Kreuzerによる1998年5月に付与された、「Moving Interferometer Wafer Stage」と称する米国特許第5,757,160号を参照されたい。同特許のいずれも本明細書中において参考として援用する。
【0055】
上述の方法および装置はまた、ウェハステージ上に位置する干渉計として用いられるダイナミック干渉計を用いて、ウェハステージ外に位置するバーミラーの形状をインサイチュで特徴付けるために用いられ得る。したがって、ウェハステージ上のウェハの平面に直交する方向に向けられた測定表面(単数または複数)を有するバーミラー(単数または複数)の形状(単数または複数)を特徴付けることに関連する上述の実施形態の各々について、リソグラフィツールの基準フレームに固定されたウェハステージ外に位置付けられたバーミラー(単数または複数)およびウェハステージ上に位置付けられた1つ以上のダイナミック干渉計を有する実施形態のセットに相当する。このような実施形態の一例が図6に示され得る。次に、図6を参照する。
【0056】
図6は、干渉計装置602の模式的斜視図である。干渉計装置602は、ステージ上に直交して配置された3つのダイナミック干渉計または干渉計サブシステムを採用しており、これにより、ステージ外に直交して取り付けられた、薄く細長い対物ミラーの形状、および、ステージ上に取り付けられた薄く細長いミラーの形状は、平行移動ステージ616が3つの直交する方向(x、yおよびz)に沿って平行移動されると、各ミラーに関連する複数の基準線(好ましくは、x−z平面、x−y平面およびy−z平面)に沿ってインサイチュで特徴付けられ得る。理解されるように、関連するミラー(単数または複数)と組み合わされた各干渉計サブシステムは、平行移動ステージ616の変位を測定するために主に用いられる干渉計であり、それにより、ウェハホルダ603によってステージ616上の所定位置で保持されるウェハ604は、基準フレーム600(一部分を示す)によって取り付けられた周知の露光ユニット601によって生成される露光ビーム606に正確に位置付けられ得る。干渉計サブシステムは、好ましくは、単一ビーム平面ミラー干渉計であるが、これは、本発明の動作に必須ではない。
【0057】
続いて、図6を参照する。システム602は、平行移動ステージ616を備えることが分かり得る。その平行移動ステージ616の上には、干渉計サブシステム610および干渉計サブシステム620が固定して取り付けられている。平面ミラー650および670は、基準フレーム600に固定して取り付けられている。平面ミラー650は、実質的にx−z平面に向いており、実質的にx軸方向に細長い反射面661を有する。平面ミラー670は、実質的にy−z平面に向いており、実質的にy軸方向に細長い反射面671を有する。
【0058】
ミラー680は、平行移動ステージ616の上部に固定して取り付けられ、実質的にx−y平面に向いており、実質的にy軸方向に細長い上部反射面682も有する。
【0059】
基準フレーム600(ここでもやはり一部を示す)には、下方向、すなわちステージ616方向に面する下部反射面を有する細長い平面ミラー690が固定して取り付けられている。実質的にx軸方向にのみ平行移動するステージ616のある部分には、単一ビーム干渉計631が固定して取り付けられている。この単一ビーム干渉計631は、ミラー面682およびミラー690の下面との間の垂直方向の間隔または高さを測定するように適応さている。
【0060】
ビーム612内に出射ビーム成分および反射ビーム成分を有する単一ビーム干渉計610は、上述したように、x軸方向の実質的な変位、および、y軸およびz軸まわりの実質的なピッチならびに揺れ角をそれぞれ測定する。ビーム622内に出射ビーム成分および反射ビーム成分を有する単一ビーム干渉計620は、これも上述したように、y軸方向の実質的な変位、および、x軸およびz軸まわりの実質的なピッチならびに揺れ角をそれぞれ測定する。
【0061】
任意の高さにおける、ミラー650および670のxおよびyプロフィールは、上述した手順を用いて測定され得る。しかしながら、これに加えて、この実施形態によれば、異なる高さにおいても、高さを変数として、ミラー650および670のxおよびy形状を測定することが可能となる。例えば、xおよびy形状は、ステージ616のある高さにて決定され得、その後、垂直方向に間隔を空けられ得る別の高さ(例えば、最初の高さの上下4〜5mm)にて測定され得る。このことを行うために、z軸方向への移動によって生じるステージ616の角変化を最適精度に考慮する必要がある。
【0062】
干渉計サブシステム631は、ステージ616の方向の変化に敏感となるように上述された様態で適応されてる。これにより、単一ビーム干渉計は、下部690および表面682の1つの光路をなし、さもなくば、ビーム634のピッチおよび揺れ角に対する、ビーム633のピッチおよび揺れ角を測定するように構成される。したがって、ステージ616がx軸またはy軸のまわりを回転する場合、干渉計631は、z軸方向へ平行移動している間にそれを補正する。z軸方向への移動の情報を用いて、ステージ616の回転は、表面671および661が、z軸方向およびy軸方向、ならびにx軸方向にマッピングされ得るように、補正されたzの移動を用いて決定され得る。光源/検出器630は、類似する図4aおよび図4bの装置に関連して説明された様態で干渉計サブシステム631にビームを提供する。
【0063】
表面682の形状およびミラー690の下面もまた表面661および671の形状を決定するプロセスにより得られ得ることは、当業者には明らかである。
【0064】
上述の記載から、フォトリソグラフィ用途および機器に用いる薄く、細長いミラーは、ミラー特徴モードで動作中の平行移動ステージの移動を制御することによって得られる相対移動を有するミラーに関連付けられた干渉計サブシステムを用いることで、インサイチュにて特徴付けられ得ることが分かる。相対移動は、平行移動ステージ上に干渉計サブシステムを取り付け、ステージ外に取り付けられた薄く細長いミラーのうちいくつかを基準フレームに固定して取り付ける(または、その逆)と得られ得る。ミラーが一旦特徴付けされると、装置が測定モードで動作している場合、基準フレームに対して、その後ウェハを露光するために用いられるマスクに対して、ウェハを正確に位置付けるために、エラー訂正信号が用いられ得る。
【0065】
図6のステージ上のダイナミック干渉計へのレーザビームの提供は、光源/検出器630を介して、または、Zanoniによるop. cit.に記載される光ファイバ、あるいは、例えば、Kreuzerによるop. cit.に記載される自由空間輸送、もしくは、これらの組み合わせによって説明され得る。
【0066】
上述の教示内容および実施形態に基づく本発明の他の改変は、当業者には明らかであり、このような改変は、特許請求の範囲内であるとみなされる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、一対の直交して配置されたダイナミック干渉計を採用している干渉計装置の模式的斜視図である。これにより、ステージ上に取り付けられた細長い対物ミラーの形状は、ステージが一方の方向に平行移動されると、基準線に沿ってインサイチュにて特徴付けられ得る。
【図2】 図2は、一対の直交して配置されたダイナミック干渉計を採用している干渉計装置の模式的斜視図である。これにより、ステージ上に直交するように取り付けられた細長い対物ミラーの形状は、ステージが好ましくは、まず、一方の方向に平行移動され、その後直交方向に移動された場合に、各ミラーに関連する基準線に沿ってインサイチュで特徴付けられ得るか、または、ミラーの相対形状が、直交方向に沿ってステージを移動させると同時に得られ得る。
【図3】 図3は、直交して配置された3つのダイナミック干渉計を採用する干渉計装置の模式的斜視図である。これにより、ステージ上に直交して取り付けられた細長い対物ミラーの形状は、ステージが3つの直交方向に沿って平行移動されると、各ミラーに関連する複数の直交する基準線に沿ってインサイチュで特徴付けられ得る。
【図4a】 図4aは、図3の装置に用いられる干渉計の模式的平面図である。
【図4b】 図4bは、図3の装置に用いられる干渉計の模式的正面図である。
【図5】 図5は、本発明の方法によるフローチャートである。
【図6】 図6は、ステージ上に直交して配置された3つのダイナミック干渉計を採用している干渉計装置の模式的斜視図である。これにより、対応するステージ外に直交して取り付けられた、細長い対物ミラーの形状は、ステージが3つの直交方向に沿って平行移動されると、各ミラーに関連する複数の基準線に沿ってインサイチュで特徴付けられ得る。
Claims (18)
- 基準フレームを含む平行移動ステージと、
該平行移動ステージを該基準フレームに対して少なくとも2つの直交方向のうちの少なくとも1つの方向に選択的に平行移動する電気機械的構成と、
該基準フレームに対して所定の態様で取り付けられた少なくとも1つの薄く細長いミラーであって、反射面と、自身の長手方向の寸法に沿って延びる公称基準線とを有する、少なくとも1つの薄く細長いミラーと、
ダイナミック干渉計を含む少なくとも1つの干渉計サブシステムであって、該少なくとも1つの干渉計サブシステムは、該少なくとも1つの薄く細長いミラーに対して所定の態様で取り付けられ、該少なくとも1つの薄く細長いミラーと協働して、少なくとも1つの方位における該平行移動ステージの変位を測定するように適応されており、該少なくとも1つの薄く細長いミラーの基準線に沿って該少なくとも1つの薄く細長いミラーの局所的な傾きを測定し、該少なくとも1つの薄く細長いミラーの該反射面に垂直な方向の局所的な変位を測定するように適応されており、該局所的な傾きは、該少なくとも1つの薄く細長いミラーに照射された単一の干渉計ビームが該少なくとも1つの薄く細長いミラーによって遮断される点の直径における傾きである、少なくとも1つの干渉計サブシステムと
動作モード時に、該平行移動ステージと、該少なくとも1つの薄く細長いミラーとを、該少なくとも1つの干渉計サブシステムに対して移動するように選択的に平行移動する動作モードを有する制御手段であって、該少なくとも1つの干渉計サブシステムは、該動作モード中に、対応する基準線に沿って該少なくとも1つの薄く細長いミラーの該反射面の局所的な傾きおよび局所的な変位を走査して、該電気機械的構成自身から現れる変化に起因する何らかの寄与成分とともに、該反射面のトポグラフィを示す情報を含む信号を生成する、制御手段と、
該信号に含まれる該情報を抽出し、該制御手段が該動作モード中に、該反射面の形状に関する光路長の誤差およびビーム方向の誤差を補償するために訂正信号を生成する信号合成および信号解析手段であって、該制御手段は、該平行移動ステージの該選択的な平行移動においてフィードバックとして該訂正信号を用いる、信号合成および信号解析手段と
を備える、干渉計装置。 - 前記少なくとも1つの薄く細長いミラーは、前記平行移動ステージとともに移動するように、該平行移動ステージに取り付けられ、前記少なくとも1つの干渉計サブシステムは、該平行移動ステージ外に固定して取り付けられている、請求項1に記載の干渉計装置。
- 前記少なくとも1つの干渉計サブシステムは、前記平行移動ステージとともに移動するように該平行移動ステージに固定して取り付けられており、前記少なくとも1つの薄く細長いミラーは、該平行移動ステージ外に固定して取り付けられている、請求項1に記載の干渉計装置。
- 前記制御手段は、前記平行移動ステージの移動が、前記基準フレームに対して少なくとも1つの方位で測定される別の動作モードを有するように構成され、かつ、配置されている、請求項1に記載の干渉計装置。
- 少なくとも2つの薄く細長いミラーであって、互いに対して直交するように配置された反射面を有し、該少なくとも2つの薄く細長いミラーの各々が自身の長手方向の寸法に沿って延びる公称基準線を含む、少なくとも2つの薄く細長いミラーと、
前記平行移動ステージ外に少なくとも一部分が取り付けられた少なくとも2つの干渉計サブシステムであって、該少なくとも2つの干渉計サブシステムの各々が、該薄く細長いミラーのうちの対応する1つを走査するように適応されており、走査されたミラーの基準線に沿った、および、該走査されたミラーの基準線に直交した、該走査されたミラーの局所的な傾きと、該反射面に垂直方向の該走査されたミラーの局所的な変位とを測定するように構成されている、少なくとも2つの干渉計サブシステムと
を備え、
前記制御手段は、前記動作モードにおいて、前記平行移動ステージの可能な移動方向の1つまたはすべてに該平行移動ステージを選択的に平行移動するようにさらに構成されており、これにより、該干渉計サブシステムのうちの少なくとも1つは、対応する基準線に沿って該薄く細長いミラーのうちの対応する1つを走査して、前記電気機械的構成自身から現れる変化に起因する何らかの寄与成分とともに、対応する反射面の表面トポグラフィを示す情報を含む信号を生成する一方、該干渉計サブシステムのうちの他方は、少なくとも該平行移動ステージの角変化に関する情報を含む信号を生成し、
前記信号合成および信号解析手段は、該信号に含まれる情報を抽出して、該少なくとも2つの薄く細長いミラーの形状に関する光路長の誤差およびビーム方向の誤差を補償するために訂正信号を生成する、請求項1に記載の干渉計装置。 - 前記少なくとも1つの干渉計サブシステムは、単一ビーム平面ミラー干渉計サブシステムを含む、請求項1に記載の干渉計装置。
- 前記干渉計装置は、直交するように配置された3つの薄く細長いミラーと、前記制御手段が3つの方向における該ミラーの表面トポグラフィを測定するために前記動作モードにある間に互いに相対移動するように取り付けられた対応する3つの干渉計サブシステムとを備える、請求項1に記載の干渉計装置。
- 前記平行移動ステージとともに移動するように該平行移動ステージ上に位置付けられたフォトリソグラフィウェハマウントをさらに備える、請求項1に記載の干渉計装置。
- 前記平行移動ステージ上に位置付けられたウェハ上にマスクパターンを形成するために、前記基準フレームに固定して取り付けられたフォトリソグラフィ露光ユニットをさらに備える、請求項8に記載の干渉計装置。
- 平行移動ステージを基準フレームに対して移動するように提供するステップと、
該平行移動ステージを該基準フレームに対して少なくとも2つの直交方向のうちの少なくとも1つの方向に選択的に平行移動するステップと、
該基準フレームに対して所定の態様で少なくとも1つの薄く細長いミラーを取り付けるステップであって、該少なくとも1つの薄く細長いミラーは、反射面と、自身の長手方向の寸法に沿って延びる公称基準線とを有する、ステップと、
該少なくとも1つの薄く細長いミラーに対して所定の態様で、ダイナミック干渉計を含む少なくとも1つの干渉計サブシステムを取り付けるステップであって、該少なくとも1つの干渉計サブシステムは、該少なくとも1つの薄く細長いミラーと協働して、少なくとも1つの方位における該平行移動ステージの変位を測定するように適応されており、該少なくとも1つの薄く細長いミラーの基準線に沿って該少なくとも1つの薄く細長いミラーの局所的な傾きを測定し、該少なくとも1つの薄く細長いミラーの該反射面に垂直な方向の局所的な変位を測定するようにも適応されており、該局所的な傾きは、該少なくとも1つの薄く細長いミラーに照射された単一の干渉計ビームが該少なくとも1つの薄く細長いミラーによって遮断される点の直径における傾きである、ステップと、
動作モード時に該平行移動ステージを選択的に平行移動するステップであって、該少なくとも1つの薄く細長いミラーと該少なくとも1つの干渉計サブシステムとは、該動作モード時に、互いに相対移動し、該少なくとも1つの干渉計サブシステムは、該動作モード中に、対応する基準線に沿って該少なくとも1つの薄く細長いミラーの該反射面の局所的な傾きおよび局所的な変位を走査して、該平行移動ステージを選択的に平行移動するステップ時に現れる変化に起因する何らかの他の寄与成分とともに、該反射面のトポグラフィを示す情報を含む信号を生成する、ステップと、
該信号に含まれる該情報を抽出し、該動作モード中に、該少なくとも1つの薄く細長いミラーの該反射面の形状に関する光路長の誤差およびビーム方向の誤差を補償するために訂正信号を生成するステップであって、該選択的に該平行移動ステージを平行移動することは、該訂正信号をフィードバックとして用いることを含む、ステップと
を包含する、干渉計による方法。 - 前記少なくとも1つの薄く細長いミラーは、前記平行移動ステージとともに移動するように、該平行移動ステージに取り付けられ、前記少なくとも1つの干渉計サブシステムは、該平行移動ステージ外に固定して取り付けられている、請求項10に記載の干渉計による方法。
- 前記少なくとも1つの干渉計サブシステムは、前記平行移動ステージとともに移動するように該平行移動ステージに固定して取り付けられており、前記少なくとも1つの薄く細長いミラーは、該平行移動ステージ外に固定して取り付けられている、請求項10に記載の干渉計による方法。
- 前記平行移動ステージの移動が、前記基準フレームに対して少なくとも1つの方位で測定される別の動作モードを有する、請求項10に記載の干渉計による方法。
- 少なくとも2つの薄く細長いミラーであって、互いに対して直交するように配置された反射面を有し、該少なくとも2つの薄く細長いミラーの各々が自身の長手方向の寸法に沿って延びる公称基準線を含む、少なくとも2つの薄く細長いミラーと、
前記平行移動ステージ外に少なくとも一部分が取り付けられた少なくとも2つの干渉計サブシステムであって、該少なくとも2つの干渉計サブシステムの各々が、該薄く細長いミラーのうちの対応する1つを走査するように適応されており、走査されたミラーの基準線に沿った、および、該走査されたミラーの基準線に直交した、該走査されたミラーの局所的な傾きと、該反射面に垂直方向の該走査されたミラーの局所的な変位とを測定するように構成されている、少なくとも2つの干渉計サブシステムと
が提供されており、
前記方法は、前記動作モードにおいて、該平行移動ステージの可能な移動方向の1つまたはすべてに該平行移動ステージを選択的に平行移動するようにさらに構成されており、これにより、該干渉計サブシステムのうちの少なくとも1つは、対応する基準線に沿って該薄く細長いミラーのうちの対応する1つを走査して、該平行移動ステージを選択的に平行移動するステップ時に現れる何らかの他の寄与成分から生じる変化に起因する何らかの寄与成分とともに、対応する反射面のトポグラフィを示す情報を含む信号を生成する一方、該干渉計サブシステムのうちの他方は、少なくとも該平行移動ステージの角変化に関する情報を含む信号を生成し、
該信号に含まれる情報を抽出するステップは、該少なくとも2つの薄く細長いミラーの形状に関する光路長の誤差およびビーム方向の誤差を補償するために訂正信号を生成する、請求項10に記載の干渉計による方法。 - 前記少なくとも1つの干渉計サブシステムは、単一ビーム平面ミラー干渉計サブシステムを含む、請求項10に記載の干渉計による方法。
- 直交するように配置された3つの薄く細長いミラーと、3つの方向において該ミラーの局所的な形状を測定するために前記動作モードにある間に互いに相対移動するように取り付けられた対応する3つの干渉計サブシステムとが提供されている、請求項10に記載の干渉計による方法。
- 前記平行移動ステージとともに移動するように該平行移動ステージ上にフォトリソグラフィウェハを取り付けるステップをさらに包含する、請求項10に記載の干渉計による方法。
- 照射のマスクパターンによって、前記基準フレームから前記ウェハをフォトリソグラフィ露光することをさらに包含する、請求項17に記載の干渉計による方法。
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