JP4817987B2 - インピーダンス測定装置 - Google Patents
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Description
2 信号供給部
5 歪み検出部
6 演算制御部
11 測定対象体
I1 電流
ME 測定部
Vs 交流信号
Z インピーダンス
Claims (3)
- 測定対象体に検査用信号を供給する信号供給部と、当該検査用信号の供給時における前記測定対象体を流れる交流電流および当該交流電流の供給に起因して当該測定対象体の両端に発生する両端間電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備え、
前記信号供給部は、前記検査用信号として直流信号が重畳された交流信号を前記測定対象体に供給し、
前記測定部は、前記交流電流および前記両端間電圧の少なくとも一方に含まれている前記検査信号の歪みを検出すると共に当該歪みが規定値以上のときに検出信号を出力する歪み検出部と、当該歪み検出部から前記検出信号が出力されているときに前記信号供給部を制御して前記直流信号の電圧値および電流値のいずれかを増加させる制御部とを備えているインピーダンス測定装置。 - 前記歪み検出部は、フーリエ変換演算によって前記検査信号の歪みを検出する請求項1記載のインピーダンス測定装置。
- 前記歪み検出部は、バンドエリミネーションフィルタを備えて構成されて、当該バンドエリミネーションフィルタを通過した前記検査信号の高調波成分に基づいて当該検査信号の歪みを検出する請求項1記載のインピーダンス測定装置。
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