JP5242735B2 - インピーダンス測定装置 - Google Patents
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Description
2 信号供給部
5 歪み検出部
6 演算制御部
11 測定対象体
I1 電流
ME 測定部
Vs 交流信号
Z インピーダンス
Claims (4)
- ダイオードに検査用信号を供給する信号供給部と、当該検査用信号の供給時における前記ダイオードを流れる交流電流および当該交流電流の供給に起因して当該ダイオードの両端に発生する両端間電圧に基づいて当該ダイオードのインピーダンスを測定する測定部とを備え、
前記信号供給部は、前記検査用信号として交流信号を前記ダイオードに供給し、
前記測定部は、前記交流電流および前記両端間電圧の少なくとも一方に含まれている前記検査信号の歪みを検出すると共に当該歪みが規定値以上のときに検出信号を出力する歪み検出部と、当該歪み検出部から前記検出信号が出力されているときに前記信号供給部を制御して前記交流信号の電圧値および電流値のいずれかを低下させることにより、前記ダイオードに対して、直流的には双方向で非導通で、かつ当該交流信号に対しては電流がほぼ線形に変化する線形特性を示す状態とする制御部とを備えているインピーダンス測定装置。 - ダイオードに検査用信号を供給する信号供給部と、当該検査用信号の供給時における前記ダイオードを流れる交流電流および当該交流電流の供給に起因して当該ダイオードの両端に発生する両端間電圧に基づいて当該ダイオードのインピーダンスを測定する測定部とを備え、
前記信号供給部は、第1交流信号、および直流信号が重畳された第2交流信号のいずれかを前記検査用信号として前記ダイオードに供給可能に構成され、
前記測定部は、
前記交流電流および前記両端間電圧の少なくとも一方に含まれている前記検査信号の歪みを検出すると共に当該歪みが規定値以上のときに検出信号を出力する歪み検出部と、
前記信号供給部が前記第1交流信号を前記ダイオードに供給している状態において、前記歪み検出部から前記検出信号が出力されているときには、当該信号供給部を制御して当該第1交流信号の電圧値および電流値のいずれかを低下させることにより、前記ダイオードに対して、直流的には双方向で非導通で、かつ当該交流信号に対しては電流がほぼ線形に変化する線形特性を示す状態としてその状態での前記インピーダンスを測定し、前記信号供給部が前記第2交流信号を前記ダイオードに供給している状態において、前記歪み検出部から前記検出信号が出力されているときには、当該信号供給部を制御して前記直流信号の電圧値および電流値のいずれかを増加させることにより、前記ダイオードに対して、順方向電圧が所定値以上で電圧−電流特性が線形となる状態としてその状態での前記インピーダンスを測定する制御部とを備えているインピーダンス測定装置。 - 前記歪み検出部は、フーリエ変換演算によって前記検査信号の歪みを検出する請求項1または2記載のインピーダンス測定装置。
- 前記歪み検出部は、バンドエリミネーションフィルタを備えて構成されて、当該バンドエリミネーションフィルタを通過した前記検査信号の高調波成分に基づいて当該検査信号の歪みを検出する請求項1または2記載のインピーダンス測定装置。
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