JP4815995B2 - 光配向用偏光光照射装置 - Google Patents
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Description
光配向膜は、液晶パネルの大型化と共に大型化しており、それと共に光配向膜に偏光光を照射する偏光光照射装置も大型化している。
上記光配向膜において、例えば視野角補償フィルムは、帯状で長尺のワークであり、配向処理後、所望の長さに切断し使用する。最近は、パネルの大きさに合わせて大きくなり、幅1500mm以上のものもある。
このような大型の光配向膜に対して光配向を行うために、配向膜の幅に合せた線状の光源(棒状ランプ)を使った装置(例えば特許文献1、特許文献2、特許文献6)や、配向膜の幅に合せて照射ヘッドを多連化した装置が提案されている(例えば特許文献3)。
高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等の光配向を行うための波長の光を放射する棒状ランプ21と、ランプ21からの光を反射する断面が楕円形の樋状集光鏡22を備えた光照射部20を、ランプ21の長手方向が、ワーク50上に形成された光配向膜51の幅方向(搬送方向に対して直交方向)になるように配置する。棒状ランプ21の長さは、棒状ランプ21からの光が、光配向膜51の全幅を照射できるように、光配向膜51の幅よりも広くなるものを選択する。
光照射部20には、ワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせた偏光素子ユニット10が設けられている。偏光素子ユニット10の構造については、後述する。
棒状ランプ21は、その長手方向が樋状集光鏡22の長手方向と一致するように、また、断面が楕円形の樋状集光鏡22の第1焦点位置に一致するように配置され、ワーク50上に形成された光配向膜51は、樋状集光鏡22の第2焦点位置に配置されている。
ワーク50は例えば長尺の連続ワークであり、送り出しローラR1にロール状に巻かれており、送り出しローラR1から引き出されて搬送され、光照射部20の下を通って巻き取りローラR2に巻き取られる。
ワイヤーグリッド偏光素子については、例えば特許文献4や特許文献5に詳細が示されている。
ワイヤーグリッド偏光子は、長さが幅よりもはるかに長い複数の直線状の電気導体(例えばクロムやアルミニウム等の金属線、以下グリッドと呼ぶ)を、石英ガラスなどの基板上に平行に配置形成したものである。電気導体のピッチPは、入射する光の波長以下、望ましくは1/3以下がよい。
電磁波中に上記偏光素子を挿入すると、グリッドの長手方向に平行な偏波(偏光)成分は大部分反射され、直交する偏波(偏光)成分は通過する。
したがって、図7に示す装置においては、光配向膜51に対して、ワーク50の幅方向(ランプ21の長手方向)に沿った偏光光が照射される。
現在、光配向には波長280nm〜320nmの紫外線が用いられる。したがって、光配向用偏光光照射装置に用いるワイヤーグリッド偏光素子は、100nm程度のグリッドを形成する、微細な加工技術が必要である。
そのため、半導体製造に使われる技術を利用して、ガラス基板(ガラスウエハ)上にグリッドを形成し、適度な大きさに切断して用いる。
そこで、発光長の長い棒状の光源、例えば長さ1500mmの棒状の高圧水銀ランプやメタルハライドランプに応じた、大きな偏光素子が必要な場合、前記特許文献2においてはガラス基板から切り出したワイヤーグリッド偏光素子を1個の偏光子とし、この偏光子を複数、グリッドの方向をそろえ、ランプの長手方向に沿って並べ、一つの偏光素子として使用することが提案されている。
しかし、単にワイヤーグリッド偏光素子を並べだけでは、個々のワイヤーグリッド偏光素子の基板である石英ガラスのエッジは微小な欠けや凹凸が生じており、その隙間から、光源からの直射光、即ち無偏光光が漏れ、消光比が悪くなる。また、上記したエッジ付近の欠けが、グリッドの欠損を引き起こし、偏光素子の周辺部においては消光比が悪くなる。
この問題を防ぐために、われわれは偏光素子の突き合わせ部分から無偏光光が漏れないように偏光素子の配列方向の端部に遮光部分を設けることを、特願2004−314056号において提案した。
図8(a)(b)に示すように、上フレーム2a、下フレーム2bからなるフレーム2内にガラス基板から切り出されたワイヤーグリッド偏光素子1が複数並べて配置されている。
偏光素子1の配列方向端部(境界部分)には、遮光板3が設けられる。
遮光板3は、例えば図8(c)に示すように取り付けられる。すなわち、フレーム2を上フレーム2a、下フレーム2bから構成し、下フレーム2bの上に複数のワイヤーグリッド偏光素子1を並べ、その上から遮光板と一体となった上フレーム2aをかぶせ固定する。
同図においては、偏光素子に形成されたワイヤーグリッドの方向は、ワーク50の搬送方向(ランプ21の長手方向に対して直交する方向)であり、したがって、光配向膜51には、ワーク50の幅方向(ランプ21の長手方向に沿った方向)の偏光光が照射される。
このように、図8に対してワイヤーグリッド偏光素子1を90°回転させて配置した場合においても、上記と同様に、偏光素子の周辺部においては、石英ガラスのエッジの微小な欠けや凹凸や、グリッドの欠損により消光比が悪くなるという問題が生じるため、遮光板3を設ける必要がある。
照度分布が悪化すると、配向膜において他よりも低いエネルギーの偏光光で照射される部分が生じる場合がある。配向膜に照射される偏光光のエネルギーが低いと、その配向膜が使用された製品において、液晶の配向を十分に行うことができない場合があり、ディスプレイとして使用される場合は、画面のむらやコントラストの低下といった製品不良の原因となる。
遮光板がないと、照度の低下はないが、ワイヤーグリッド偏光子の周辺部や境界部から無偏光光が透過するので、光配向膜に照射される消光比が悪化する。
消光比が悪化すると、照度が低下した場合と同様に、その配向膜が使用された製品において、液晶の配向を十分に行うことができない場合がある。
しかし、このような光照射領域が重なり合う部分においては、照度が二つの照射ヘッドからの光の合算になるため、一つの照射ヘッドからの光により照射されている他の領域比べて照度の制御が難しい。そのため他の領域に比べて照度が高くなったり低くなったりして照度分布が悪化する場合があり、上記と同様の問題が生じる。
同様に、蒸着膜を蒸着させた偏光素子や、ガラス板をブリュースタ角で傾けた偏光素子の場合も、製作できる大きさには限界があり、一枚の偏光素子で大面積のワークに対応できる大型のものは製作できない。
そこで、例えば前記特許文献3に示すように、照射ヘッドを多連化して複数の偏光素子を並べて使用することになるが、この場合も各照射ヘッドに設けれられた偏光素子による偏光光の間には境界部が生じており、この部分の照度が他の領域に比べて照度が高くなったり低くなったりして照度分布が悪化するため照射エネルギー分布が悪化するといった問題がある。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、大型の配向膜に対して偏光光を照射し光配向を行なう偏光光照射装置において、配向膜に対し均一なエネルギー分布で偏光光を照射できる光配向用偏光光照射装置を提供することを目的とする。
連続または間歇的に直線状に搬送される光配向膜に対し、光配向膜の搬送方向に沿って光照射部を多段に配置する。
多段に配置された各光照射部に、光配向膜の搬送方向に対して直交する方向に伸びる線状の光源と、複数のワイヤーグリッド偏光素子を上記線状の光源の伸びる方向に沿って並べた偏光素子ユニットを設ける。
そして、各段の光照射部の偏光素子間の境界部が、他の段の光照射部の偏光素子の境界部と光配向膜の搬送方向に対して互い重ならないように、各段に配置された各光照射部を、光配向膜の搬送方向に直交する方向に位置をずらして配置する。
すなわち、偏光素子の境界部に対応した光配向膜上の照度は低く(あるいは高く)なるが、各段の光照射部の偏光素子の境界部は、光配向膜の搬送方向に直交する方向に位置をずらして配置されており、多段の光照射部から光配向膜上に順次光を照射することにより、光配向膜上の照度分布は積算され、結果として光配向膜全体は均一なUVエネルギー分布で偏光光が照射されることになる。
したがって、光配向膜において、照射される偏光光のエネルギーが不足する部分が生じるのを防ぐことができる。
光照射部20A,20Bには、線状の光源である、高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等の棒状のランプ21と、ランプ21からの光を反射する断面が楕円形の樋状集光鏡22が内蔵されている。
光照射部20A,20Bは、ランプ21の長手方向が、ワーク50上に形成された光配向膜51の幅方向(搬送方向に対して直交方向)になるように配置されている。
棒状ランプ21は、その長手方向が樋状集光鏡22の長手方向と一致するように、また、断面のほぼ中心部が楕円形の樋状集光鏡22の第1焦点位置に一致するように配置され、ワーク50上に形成された光配向膜51は、樋状集光鏡22の第2焦点位置に配置されている。
ワーク50は例えば長尺の連続ワークであり、不図示の送り出しローラにロール状に巻かれており、送り出しローラから引き出されて搬送され、光照射部20A,20Bの下を通って不図示の巻き取りローラに巻き取られる。
光照射部20A,20Bの光出射側には、図8に示したワイヤーグリッド偏光素子ユニット10,10’が設けられている。前述したように、ワイヤーグリッド偏光素子ユニット10,10’には、偏光素子1の配列方向端部(境界部分)には、遮光板3が設けられている。
また、現在光配向膜の材料としては、波長260nm±20nmの光で配向されるもの、280nm〜330nmの光で配向されるもの、365nmの光で配向されるものなどが知られており、光源の種類は必要せされる波長に応じて適宜選択する。
このような偏光光を出射する光照射部20A,20Bを、複数、ワーク50の搬送方向に沿って多段に設ける。図1は光照射部20A,20Bを2段に並べた場合を示し、以下2段の場合を例にして説明するが、3段以上設けても良い。
ここで、各段に配置された各光照射部20A,20Bは、各段の光照射部20A,20Bの偏光素子1の間の境界部(遮光板3の設けられている部分)が、他の段の光照射部の偏光素子1の境界部と、光配向膜51の搬送方向に対して互い重ならないように、搬送方向に直交する方向に位置をずらして配置されている。
すなわち、図2に示すように、2段に設けた光照射部20Aと20Bのワイヤーグリッド偏光素子ユニット10,10’の遮光板3が、ワークの搬送方向に対して重ならないように(一直線状に並ばないように)ずらして配置される。光照射部を3段以上設ける場合も同様に、遮光板3が、ワークの搬送方向に対して重ならないように(一直線状に並ばないように)ずらして配置される。
なお、図1では光照射部20A,20Bにそれぞれ5枚と6枚のワイヤーグリッド偏光素子を設けた場合を示しているが、図2では8枚のワイヤーグリッド偏光素子からなるワイヤーグリッド偏光素子ユニットを用いた場合を示している。
ワーク50が搬送されると、光配向膜51は、まず、光照射部20Bからの偏光光が照射され、次に光照射部20Aからの偏光光が照射される。
光照射部20Bの偏光素子ユニット10’に並べられた複数のワイヤーグリッド偏光子1の境界には、遮光板3が設けられており、したがって、遮光板3の直下を搬送される光配向膜51の部分には、図2の(a)に示すように照度の低い偏光光が照射される。
光照射部20Aの偏光素子ユニット10に並べられた複数のワイヤーグリッド偏光子1の境界にも、遮光板3が設けられており、したがって、遮光板3の直下を搬送される光配向膜51の部分には、図2(b)に示すように照度の低い偏光光が照射される。
しかし、偏光素子ユニット10’と10の遮光板3の位置が、ワークの搬送方向に対して重ならないように(一直線状に並ばないように)ずらして配置されているので、光照射部20Bによる偏光光照射において低い照度で照射された部分は、次の光照射部20Aによる偏光光照射において高い照度で照射され、また、光照射部20Aによる偏光光照射において低い照度で照射される部分は、先に光照射部20Bによる偏光光照射において高い照度で照射されている。
したがって、光照射部20Aと20Bの両方の下を通過して偏光光が照射された光配向膜51は、図2(c)に示すように両者の照度分布が積算され、結果として均一なエネルギー分布で偏光光が照射されることになる。このことにより、光配向膜51において、照射される偏光光のエネルギーが不足する部分が生じるのを防ぐことができる。
ワーク50が矩形状の場合、ワーク50は図示しないワークステージ上に載置され、光照射部20A、20Bから偏光光を照射しながらワークステージを直線移動させて、光配向膜の光配向処理をする。
なお、ワーク50の光配向膜51に偏光光を照射し、光配向処理を行なう際、偏光光を照射しながらワーク50を連続的に移動させてもよいし、ワークを間歇的に移動させながら偏光光を照射してもよい。
ワーク50を間歇的に移動させる場合には、例えば、ワーク50を一定量移動させた後、ワーク50を停止させて偏光光を照射し、ついで偏光光の照射を停止してワークを一定量移動させた後、ワークを停止させて偏光光を照射する動作を繰り返す。
また、一方向だけでなくワーク50を往復移動させて、例えば光照射部20B→20A→20A→20Bのように偏光光を照射するようにしても良い。
さらに、ワークステージを移動させる代わりに、ワーク50上で光照射部20A,20Bを移動させてワーク50の光配向処理を行ってもよい。
図3は、ワークの搬送方向に多段に並べて配置した光照射部の、ワイヤーグリッド偏光素子ユニットの並べ方を示す図である。
図3に示すように光照射部は、光照射部1〜4の4台あり、ワークの搬送方向に沿って並べられている。同図に示されるように、各光照射部のワイヤーグリッド偏光素子ユニットの遮光板3は、ワークの搬送方向に対して重ならないように(一直線状に並ばないように)ずらして配置されている。
このようなワイヤーグリッド偏光素子ユニットの配置において、光照射部(ワイヤーグリッド偏光素子ユニット)が1段のみ、光照射部(ワイヤーグリッド偏光素子ユニット)が2段、光照射部(ワイヤーグリッド偏光素子ユニット)が4段の、各場合に関するUVエネルギー(平均照度)分布を測定した。ここで平均照度とは、ワークを搬送方向に移動させたときの平均的な照度のことをいう。
縦軸は光配向膜に照射されるUVエネルギー(単位mJ/cm2)であり、横軸はワークの中心から幅方向の距離(単位mm)であり、図5,6も同様である。
図4に示すように、光照射部1のみでは、遮光部により照度分布が生じ、下記式で光照射領域のエネルギー分布を計算すると、±8.5%であった。
エネルギー分布(±%)={(エネルギー最大値−エネルギー最小値)/(エネルギー最大値+エネルギー最小値)}×100
図5は、光照射部として図3の光照射部1と光照射部2の2段を使用した場合である。同図下のほうのグラフは、光照射部1と光照射部2のそれぞれでのエネルギー分布であり、エネルギー分布は上式より±8%〜10%程度であるが、両方が重ね合わされて照射されると、照射されるUVエネルギーが倍になるとともに、一方の光照射部の照度の低い部分が他方の光照射部の照度の高い部分で打ち消され、上のほうに示されるグラフのように、エネルギー分布は±2.8%に改善された。
図6は、光照射部として図3の光照射部1から光照射部4までの4段を全て使用した場合である。同図下のほうのグラフは、光照射部1から光照射部4のそれぞれのエネルギー分布であり、エネルギー分布は上式より±8%〜10%程度であるが、すべてが重ね合わされて照射されると、照射されるUVエネルギーが4倍になるとともに、各光照射部の照度分布の凹凸が相殺され、上のほうに示されるグラフのように、エネルギー分布は±1.5%に改善された。
3 遮光板
10,10’ 偏光素子ユニット
11 偏光素子
20A,20B 光照射部
21 棒状のランプ
22 樋状集光鏡
23 ブロック
24 支柱
50 ワーク
51 光配向膜
Claims (1)
- 連続または間歇的に直線状に搬送される光配向膜に対し、光配向膜の搬送方向に沿って光照射部が多段に配置され、多段に配置された各光照射部から上記光配向膜に偏光光を照射して光配向を行う偏光光照射装置であって、
上記多段に配置された各光照射部は、
光配向膜の搬送方向に対して直交する方向に伸びる線状の光源と、
上記線状の光源の伸びる方向に沿って複数のワイヤーグリッド偏光素子が並べられ、該並べられたワイヤーグリッド偏光素子の間に境界部が生じている偏光素子ユニットを有しており、
各段に配置された各光照射部は、各段の光照射部の上記偏光素子の間の境界部が、他の段の光照射部の偏光素子の境界部と光配向膜の搬送方向に対して互い重ならないように、光配向膜の搬送方向に直交する方向に位置をずらして配置されている
ことを特徴とする光配向用偏光光照射装置。
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