JP4797447B2 - 光学用被加工部材,光学部材,光学系及び光露光装置 - Google Patents
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Description
[基準]
[実施例1]
[実施例2]
[実施例3]
[実施例4]
S サブグレインバウンダリー
E1 面方位が光軸方向と一致する領域
E2 サブグレインバウンダリーで囲まれた領域
α 相対ズレ角
O 光軸
Claims (8)
- 波長250nm以下の光を透過する等軸晶系に属するフッ化物単結晶であり、該フッ化物単結晶の光透過面にサブグレインバウンダリーを有し、前記フッ化物単結晶の面方位が光軸方向と一致、又は、略一致するように加工される光学用被加工部材であって、
前記サブグレインバウンダリーの単位面積当たりの長さの合計が、0.1cm/cm2以下であることを特徴とする光学用被加工部材。 - 波長250nm以下の光を透過する等軸晶系に属するフッ化物単結晶であり、該フッ化物単結晶の光透過面にサブグレインバウンダリーを有し、前記フッ化物単結晶の面方位が光軸方向と一致、又は、略一致するように加工される光学用被加工部材であって、
前記フッ化物単結晶の光透過面内の、面方位が前記光軸方向と一致する領域と、前記サブグレインバウンダリーで囲まれた領域との、それぞれの面方位の相対ズレ角が±5°以内であることを特徴とする光学用被加工部材。 - 波長250nm以下の光を透過する等軸晶系に属するフッ化物単結晶であり、該フッ化物単結晶の光透過面にサブグレインバウンダリーを有し、前記フッ化物単結晶の面方位が光軸方向と一致、又は、略一致するように加工される光学用被加工部材であって、
前記サブグレインバウンダリーの単位面積当たりの長さの合計が、0.1cm/cm2以下で、且つ、前記フッ化物単結晶の光透過面内の、面方位が前記光軸方向と一致する領域と、前記サブグレインバウンダリーで囲まれた領域との、それぞれの面方位の相対ズレ角が±5°以内であることを特徴とする光学用被加工部材。 - 請求項1乃至3の何れか一つに記載の光学用被加工部材はフッ化カルシウムのフッ化物単結晶であることを特徴とする光学用被加工部材。
- 請求項1乃至4の何れか一つに記載の光学用被加工部材の光透過面を曲面形状としたことを特徴とする光学部材。
- 請求項5に記載の光学部材の直径を150mm以上としたことを特徴とする光学部材。
- 請求項5又は6に記載の光学部材を所定枚数使用して構成されることを特徴とする光学系。
- 請求項7に記載の光学系を有することを特徴とする光露光装置。
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