JP4791138B2 - レーザー加工方法およびレーザー加工装置 - Google Patents
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Description
被加工物に形成された複数の第1のストリートに沿って設定された複数の加工領域にレーザー加工溝を形成するレーザー加工方法であって、
被加工物の第1のストリートに沿って設定され、かつ隣り合う第2のストリート間の各始点位置と終点位置に、それぞれパルスレーザー光線を照射してレーザー加工穴を形成する加工穴形成工程と、
該加工穴形成工程において該始点位置と該終点位置に形成された各レーザー加工穴間にパルスレーザー光線を照射してレーザー加工溝を形成する加工溝形成工程と、
該第2のストリートに沿ってスクライブラインを形成する工程とを含み、
第1のストリートはレーザー加工溝に沿って被加工物を分割し、
第2のストリートは該スクライブラインに沿って被加工物を分割するようにした、
ことを特徴とするウエーハのレーザー加工方法が提供される。
図4には、レーザー加工される被加工物としての光デバイスウエーハ20が、環状のフレーム21に装着されたポリオレフィン等の合成樹脂シートからなる保護テープ22に表面200aを上側にして貼着された状態が示されている。光デバイスウエーハ20は、窒化ガリウム(GaN)基板200の表面200aに第1の方向に形成された複数の第1のストリート201と該第1のストリート201と直交する方向に形成された複数の第2のストリート202によって複数の領域が区画され、この区画された領域にレーザーダイオードからなる光デバイス203が形成されている。この各光デバイス203は、全て同一の構成をしている。このように構成された光デバイスウエーハ20は、第1のストリート201に沿って上述したレーザー加工装置を用いてレーザー加工溝を形成しも光デバイス203の輝度に影響を及ぼすことがなく、第2のストリート202に沿ってレーザー加工溝を形成すると光デバイス203の輝度が低下する。従って、図示の光デバイスウエーハ20には、第1のストリート201に沿ってはレーザー加工溝を形成し、第2のストリート202に沿ってはポイントスクライバーを用いて傷(スクライブライン)を付けた後に、該両ストリートに沿って外力を付与することにより個々の光デバイス203に分割する。
上記のように構成された光デバイスウエーハ20は、図4に示すように環状のフレーム21に装着された保護テープ22に表面200aを上側にして貼着された状態で、図1に示すレーザー加工装置のチャックテーブル36上に保護テープ22を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより光デバイスウエーハ20は、保護テープ22を介してチャックテーブル36上に吸引保持される。また、環状のフレーム21は、クランプ362によって固定される。
レーザー光線の光源 :YVO4レーザーまたはYAGレーザー
波長 :355nm
平均出力 :3W
繰り返し周波数 :10kHz
加工送り速度 :300mm/秒
から例えば130μm右側の位置が集光器53の直下即ち集光スポットSの中心位置に達したら、レーザー光線照射手段52を制御してパルスレーザー光線を照射する。そして、制御手段10は、加工送り量検出手段374からの検出信号に基づいて、図7の(a)において第2の終点C2(x4,y1)より例えば130μm手前位置(図7の(a)において左側)が集光器53の直下即ち集光スポットSの中心位置に達したら、レーザー光線照射手段52を制御してパルスレーザー光線の照射を停止する。以後図5に示す第3の始点B3(x5,y1)から第3の終点C3(x6,y1)間および第4の始点B4(x7,y1)から第4の終点C4x8,y1)間に上述したと同様に加工溝形成工程を実施する。この結果、光デバイスウエーハ20には、第1のストリート201における最上位のA1行には図7の(b)に示すように各始点位置に形成されたレーザー加工穴210と各始点位置 に形成されたレーザー加工穴210との間に確実に形成される。従って、レーザー加工溝210が第2のストリート202を跨いで形成されることはない。
3:チャックテーブル機構
31:案内レール
36:チャックテーブル
37:加工送り手段
374:加工送り量検出手段
38:第1の割り出し送り手段
4:レーザー光線照射ユニット支持機構
41:案内レール
42:可動支持基台
43:第2の割り出し送り手段
433:割り出し送り量検出手段
5:レーザー光線照射ユニット
51:ユニットホルダ
52:レーザー光線加工手段
53:集光器
6:撮像手段
10:制御手段
20:光デバイスウエーハ
201:第1のストリート
202:第2のストリート
203:デバイス
210:レーザー加工穴
220:レーザー加工溝
21:環状のフレーム
22:保護テープ
Claims (2)
- 被加工物の表面に配列された複数の第1のストリートと該第1のストリートと直交する方向に形成された複数の第2のストリートによって複数の領域が格子状に区画され、
被加工物に形成された複数の第1のストリートに沿って設定された複数の加工領域にレーザー加工溝を形成するレーザー加工方法であって、
被加工物の第1のストリートに沿って設定され、かつ隣り合う第2のストリート間の各始点位置と終点位置に、それぞれパルスレーザー光線を照射してレーザー加工穴を形成する加工穴形成工程と、
該加工穴形成工程において該始点位置と該終点位置に形成された各レーザー加工穴間にパルスレーザー光線を照射してレーザー加工溝を形成する加工溝形成工程と、
該第2のストリートに沿ってスクライブラインを形成する工程とを含み、
第1のストリートはレーザー加工溝に沿って被加工物を分割し、
第2のストリートは該スクライブラインに沿って被加工物を分割するようにした、
ことを特徴とするウエーハのレーザー加工方法。 - 該被加工物は光デバイスウエーハであって、該光デバイスウエーハの第1のストリートはレーザー加工溝を形成しても光デバイスの輝度が低下しない方向に形成し、第2のストリートはレーザー加工溝を形成すると光デバイスの輝度が低下する方向に形成するようにした請求項1に記載のウエーハのレーザー加工方法。
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