JP4774753B2

JP4774753B2 - 熱交換器及びその製造方法

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Publication number: JP4774753B2
Application number: JP2005035624A
Authority: JP
Inventors: 光徳谷口; 長生木戸
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2005-02-14
Filing date: 2005-02-14
Publication date: 2011-09-14
Anticipated expiration: 2025-02-14
Also published as: JP2006220387A

Description

本発明は冷却システム、放熱システムや加熱システム等用の熱交換器に関するもので、特に情報機器などコンパクト性を要求されるシステムで使用される液体と気体の熱交換器及びその製造方法に関するものである。

従来、この種の熱交換器としては、管とフィンとから構成されたものが一般的であるが、近年はそのコンパクト化を図るために、管径及び管ピッチを小さくし、管を高密度化する傾向にある。その極端な形態としては、管外径が０．５ｍｍ程度の非常に細い管のみから熱交換部が構成されたものがある（例えば、特許文献１参照）。

図１７は、特許文献１に記載された従来の熱交換器の正面図である。

図１７に示すように、従来の熱交換器は、所定間隔を置いて対向配置される入口タンク１と出口タンク２と、入口タンク１と出口タンク２の間に断面円環の複数の管３が配置され、管３の外部を外部流体が流通されるコア部４が構成されている。管３内を流通する内部流体としては主に水や不凍液が用いられ、外部流体としては空気が主流であり、それぞれが流通し、熱交換を行う。

そして、管３を碁盤目状に配置するとともに、管３の外径を０．２ｍｍ以上０．８ｍｍ以下とし、隣接する管３のピッチを管外径で除した値を０．５以上３．５以下とすることで、使用動力に対する熱交換量を大幅に向上できるとしている。
特開２００１−１１６４８１号公報

上記従来の熱交換器を構成する具体的な要素や製造方法については示されていないが、一般的には、多数の細い管３と、特定の面に多数の細かい円孔を予め空けた入口タンク１と出口タンク２を用意し、入口タンク１及び出口タンク２の円孔に管３の両端を挿入し、溶接等によって管３の挿入部を入口タンク１及び出口タンク２に接着する方法が考えられる。しかしながら、長くて細い管３は非常に高価であるばかりでなく、入口タンク１や出口タンク２に管３の挿入用の微細な円孔を所定の微細なピッチで設けることと、非常に多くの管３を入口タンク１や出口タンク２に挿入し接着する工程が非常に困難であり、熱交換性能が高くても、非常に高価でかつ洩れに対する信頼性が低いものになるという課題を有していた。

本発明は、上記従来の課題を解決するもので、非常に優れた熱交換性能を保持しながら、非常に製造が容易な構造で、安価で、かつ信頼性の高い熱交換器を提供することを目的とする。

上記従来の課題を解決するために、本発明の熱交換器は、内部流体と外部流体とが熱交換する熱交換部と、前記熱交換部の両端に取り付けられる出入口ヘッダーとからなり、前記熱交換部は、長いスリットと短いスリットとを略平行に設けた第１の基板と、前記短いスリットと略同形状のスリットを設けてかつ前記スリットの長手方向となる方向の寸法を前記長いスリットの長手方向の長さよりも短くした第２の基板とを有し、前記第１の基板の短いスリットと前記第２の基板のスリットとが連通して前記外部流体が流れる管外流路を構成すると共に前記長いスリットの両端が前記第２の基板の両端よりも外側になって前記長いスリットの両端以外の部分が前記第２の基板に挟まれることにより前記内部流体が流れる管内流路が構成されるように前記第１の基板と前記第２の基板とを複数枚積層して、前記長いスリットの両端が前記管内流路の出入り口となる前記熱交換部が構成されるものである。

これにより、管のみによって構成された熱交換部をスリットを設けた基板から構成することができ、容易に製作することができる。

また、本発明の熱交換器は前記第１の基板を前記第２の基板間に複数積層したものである。

これにより、前記第１の基板の積層枚数を変えることにより、容易に管内流路断面積を変えることができる。

また、本発明の熱交換器は前記管内流路を外部流体の流入側ほど前記基板積層方向に大きくしたものである。

これにより、外部流体と内部流体の温度差が大きく、熱交換量が大きい外部流体の流入側ほど、内部流体を多く流すことができ、効率よく熱交換することができるため、熱交換器をさらに小さくすることができる。

また、本発明の熱交換器は前記管内流路の出入り口を前記管外流路方向に拡大したものである。

これにより、内部流体の出入り口の開口面積を大きくすることができ、管内抵抗を低減し、内部流体の流量を増加させることにより、熱交換器の能力を向上させることができるため、熱交換器を小さくすることができる。

また、本発明の熱交換器の製造方法は前記基板をプレスにより加工したものである。

これにより、容易且つ安価に基板を製作することができる。

また、本発明の熱交換器の製造方法は前記基板をエッチングにより加工したものである。

これにより、前記長いスリットと短いスリットの間を短くし、管内流路壁厚を薄くしても、スリット製作時に応力がかからないため、容易に製作することができる。

また、本発明の熱交換器の製造方法は前記基板相互を熱溶着接合により接合したものである。

これにより、ロウ材を用いず容易に接合することができ、管内流路を目詰まりさせることがなく、信頼性が向上する。

また、本発明の熱交換器の製造方法は前記基板相互を超音波接合により接合したものである。

これにより、接合部のみ基材が溶融するため溶融した基材で管内流路を目詰まりさせることがなく、さらに信頼性が向上する。

また、本発明の熱交換器の製造方法は前記基板相互を拡散接合により接合したものである。

これにより、基材も溶融しないため、管内流路を目詰まりさせることはなくさらに信頼性が向上する。

本発明の熱交換器は、製造が容易な構造のため、安価に熱交換器を提供することができる。

また、本発明の熱交換器の製造方法は、容易かつ信頼性の高い熱交換器を提供することができる。

請求項１に記載の発明は、内部流体と外部流体とが熱交換する熱交換部と、前記熱交換部の両端に取り付けられる出入口ヘッダーとからなり、前記熱交換部は、長いスリットと短いスリットとを略平行に設けた第１の基板と、前記短いスリットと略同形状のスリットを設けてかつ前記スリットの長手方向となる方向の寸法を前記長いスリットの長手方向の長さよりも短くした第２の基板とを有し、前記第１の基板の短いスリットと前記第２の基板のスリットとが連通して前記外部流体が流れる管外流路を構成すると共に前記長いスリットの両端が前記第２の基板の両端よりも外側になって前記長いスリットの両端以外の部分が前記第２の基板に挟まれることにより前記内部流体が流れる管内流路が構成されるように前記第１の基板と前記第２の基板とを複数枚積層して、前記長いスリットの両端が前記管内流路の出入り口となる前記熱交換部が構成される熱交換器であり、従来は管のみによって構成された熱交換部をスリットを設けた基板から構成するため、容易に製作することができ、安価に熱交換器を提供することができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記長いスリットと前記短いスリットとを交互に配置したものであり、管外流路と管内流路とが交互に配置されるようにして熱交換効率をより高め、かつ基板全体領域を効率よく活用できるようになる。

請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明の第１の基板を第２の基板間に複数積層した熱交換器であり、第１の基板の積層枚数を変えることにより、容易に管内流路断面積を変えることができ、容易に熱交換器の仕様変更が行えるため、安価に熱交換器を提供することができる。

請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか一項に記載の発明の管内流路を外部流体の流入側ほど前記基板積層方向に大きくした熱交換器であり、外部流体と内部流体の温度差が大きく、熱交換量が大きい外部流体の流入側ほど、内部流体を多く流すことにより、効率よく熱交換することができるため、熱交換器をさらに小さくすることができ、安価に熱交換器を提供することができる。

請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか一項に記載の発明の管内流路の出入り口を管外流路方向に拡大した熱交換器であり、内部流体の出入り口の開口面積を大きくすることができ、管内抵抗を低減し、内部流体の流量を増加させることにより、熱交換器の能力を向上させることができるため、熱交換器を小さくすることができる。

請求項６に記載の発明は請求項１から５のいずれか一項に記載の発明の基板をプレスにより加工した熱交換器の製造方法であり、容易且つ安価に基板を製作することができ、安価に熱交換器を提供することができる。

請求項７に記載の発明は請求項１から５のいずれか一項に記載の発明の基板をエッチングにより加工した熱交換器の製造方法であり、長いスリットと短いスリットの間を短くし、管内流路壁厚を薄くしても、容易に製作することができ、安価に熱交換器を提供することができる。

請求項８に記載の発明は請求項１から５のいずれか一項に記載の発明の基板相互を熱溶着接合により接合した熱交換器の製造方法であり、ロウ材を用いず容易に接合することができるため、ロウ材により管内流路を目詰まりさせることがなく、信頼性が向上するとともに、安価に熱交換器を提供することができる。

請求項９に記載の発明は請求項１から５のいずれか一項に記載の発明の基板相互を超音波接合により接合した熱交換器の製造方法であり、接合部のみ基材が溶融するため溶融した基材で管内流路を目詰まりさせることがなく、さらに信頼性が向上するとともに、安価に熱交換器を提供することができる。

請求項１０に記載の発明は請求項１から５のいずれか一項に記載の発明の基板相互を拡散接合により接合した熱交換器の製造方法であり、拡散接合は基材も溶融しないため、管内流路を目詰まりさせることがなく、さらにさらに信頼性が向上するとともに、安価に熱交換器を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明するが、従来例または先に説明した実施の形態と同一構成については同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。なお、この実施の形態によってこの発明が限定されるものではない。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における熱交換部の斜視図である。熱交換部は第１の基板１０と第２の基板２０とが交互に積層され構成されている。

図２は同実施の形態の第１の基板の正面図であり、図３は同実施の形態の第２の基板の正面図である。第１の基板１０には複数の短いスリット３０と複数の長いスリット４０が略平行に一つずつ交互になるように配置されている。第２の基板２０には短いスリット３０と同形状のスリット５０が短いスリット３０の投影と同位置に設けられている。

このように、短いスリット３０とスリット５０とが投影面上で重なるために相互に連通することになり、管外流路６０が構成される。また、第２の基板２０の寸法に関して、スリット５０の長手方向となる方向の寸法は長いスリット４０の長手方向の長さよりも短く、長いスリット４０の両端が第２の基板２０の両端よりも外側になるよう設置されており、長いスリット４０の両端以外の部分が第２の基板２０に挟まれることにより管内流路７０が構成され、長いスリット４０の両端が管内流路７０の出入り口となる。なお、本実施の形態では第１の基板１０と第２の基板２０を交互に設置したが、管内流路７０の断面積を大きくしたい場合など、第２の基板２０間に第１の基板１０を複数設置しても良い。

第１の基板１０と第２の基板２０相互は熱溶着接合により接合すれば、ロウ材を用いず、基材を溶融させて接合するため、ロウ材が管内流路７０内に流れ出すことはなく、管内流路７０が目詰まりすることによる不良を低減することができる。特に、超音波接合では接合部分のみを加熱することができるため、さらに信頼性が向上する。また、拡散接合は基材が溶融しない温度までの加熱と加圧を同時に掛けることにより原子の拡散（相互拡散）現象が生じ、原子の結びつきにより接合を行うため、拡散接合で接合すれば基材の溶融もなく、管内流路７０の目詰まりを防止でき、さらに信頼性が向上する。

第１の基板１０と第２の基板２０をプレス加工により成形すれば、比較的容易にかつ大量に成形できるため、熱交換器を安価に提供できる。この際、管内流路７０の壁となる短いスリット３０と長いスリット４０の間隔は第１の基板１０の肉厚よりも大きく、プレス加工時の応力で管内流路７０壁が捩れることがなく、不良率を低減できる。よって、熱交換器を安価に提供することができる。また、第１の基板１０及び第２の基板２０をエッチングにより成形すれば、スリット成形時に応力がかからないため、管内流路７０の壁が捩れること無く、管内流路７０壁を小さくしても、容易に製作することができ、安価に熱交換器を提供することができる。

図４は、本発明の実施の形態１における熱交換器の正面図であり、図５は同実施の形態の熱交換器の側面図である。また、図６は図４のＡ−Ａ線断面図であり、図７は図４のＢ−Ｂ線断面図である。図８は図５のＣ−Ｃ線断面図である。通常、熱交換部の両端に内部流体入口ヘッダー８０および出口ヘッダー９０を取り付けて使用される。なお、入口ヘッダー８０と出口ヘッダー９０を入れ替えても良い。

以上のように構成された熱交換器について、以下その動作、作用を説明する。

入口ヘッダー８０から流入した内部流体が分岐されて管内流路７０内を流れ、出口ヘッダー９０から流出する。また外部流体は管外流路６０を第１の基板１０や第２の基板２０の平面方向に流れる。この内部流体と外部流体とが熱交換部において熱交換する。この際、第１の基板１０に設けた長いスリット４０の幅を微細にし、短いスリット３０と長いスリット４０の間隔を小さくすることにより、管を細くし、かつ短いスリット３０とスリット５０の幅を小さくすることで、管のピッチを小さくすることが容易にできるので、非常にコンパクトな熱交換器を容易に構成できる。

以上のように、本実施の形態においては、複数の長いスリット４０と複数の短いスリット３０とを略平行に一つずつ交互に配置した第１の基板１０と、短いスリット３０と略同形状のスリット５０を短いスリット３０の投影と略同位置に設けてかつ長いスリット４０よりも短い第２の基板２０とを複数積層し、短いスリット３０とスリット５０が管外流路６０を構成し、長いスリット４０とこれを挟む第２の基板２０とで管内流路７０を構成する構造であり、従来は管のみによって構成された熱交換部をスリットを設けた基板から構成しており、容易に製作することができ、安価に熱交換器を提供することができる。

また、本実施の形態では第１の基板１０と第２の基板２０をプレスにより加工したものであり、容易且つ大量・安価に基板を製作することができ、安価に熱交換器を提供することができる。

また、本実施の形態では、第１の基板１０と第２の基板２０相互は熱溶着接合により接合すれば、ロウ材を用いず、基材を溶融させて接合するため、ロウ材が管内流路７０内に流れ出すことはなく、管内流路７０が目詰まりすることによる不良を低減することができる。特に、超音波接合では接合部分のみを加熱することができるため、さらに信頼性が向上する。また、拡散接合は基材が溶融しない温度までの加熱と加圧を同時に掛けることにより原子の拡散（相互拡散）現象が生じ、原子の結びつきにより接合を行うため、拡散接合で接合すれば基材の溶融もなく、管内流路７０の目詰まりを防止でき、さらに信頼性が向上し、不良品の低減が図れ、安価に熱交換器を提供することができる。

なお、本実施の形態では複数の短いスリット３０と複数の長いスリット４０とを一つずつ交互になるように配置することにより、管外流路６０と管内流路７０とが交互に配置されるようにして熱交換効率をより高め、かつ基板全体領域を効率よく活用できるようにしたが、この形態に限定されるものではなく、例えば短いスリット３０相互間に複数の長いスリット４０を配置したり、長いスリット４０相互間に複数の短いスリット３０を配置してもよい。

また、敢えて複数の短いスリット３０と複数の長いスリット４０の領域を分けて配置することも設計上の都合や他の条件とのバランスで可能である。

さらに、形状としては短いスリット３０と長いスリット４０との代わりに同様の作用が期待できるものであれば必ずしもスリット形状にこだわらない。

また、短いスリット３０と長いスリット４０とを略平行に配置することが、流路の形成においてスペースファクタや熱交換の効率面で好ましくはあるが、この点も必ずしも略平行の配置に限らず設計上や加工上の事情に応じて適宜変形して実施することも可能である。

（実施の形態２）
図９は、本発明の実施の形態２における熱交換部の斜視図である。熱交換部は第１の基板１１０を第２の基板１２０が挟み込むように積層されて構成されており、実施の形態１と同様に短いスリット１３０とスリット１５０で管外流路１６０を構成しており、長いスリット１４０と第２の基板１２０で管内流路１７０が構成されている。ここで、外部流体の流入側では第２の基板１２０間に第１の基板１１０が３枚積層され、続いて２枚、外部流体の出口では１枚積層することにより、管内流路１７０を外部流体の流入側ほど基板積層方向に大きくしている。本実施の形態では、外部流体の流れ方向に３列配置したが、複数列で有れば、３列でなくとも良い。また、第１の基板１１０の積層枚数を変えて、管内流路１７０の基板積層方向の長さを大きくしたが、第１の基板１１０の厚みを変えて、基板積層方向の長さを大きくすることもできる。

図１０は同実施の形態の第１の基板の正面図であり、図１１は同実施の形態の第２の基板の正面図である。第１の基板１１０には短いスリット１３０と長いスリット１４０が略平行に複数設けられている。長いスリット１４０の管内流路入口１７１と管内流路出口１７２が管外流路１６０方向に拡大されている。第２の基板１２０には実施の形態１と同様に短いスリット１３０と同形状のスリット１５０が短いスリット１３０の投影と同位置に設けられている。

第１の基板１１０と第２の基板１２０相互は熱溶着接合により接合すれば、ロウ材を用いず、基材を溶融させて接合するため、ロウ材が管内流路１７０内に流れ出すことはなく、管内流路１７０が目詰まりすることによる不良を低減することができる。特に、超音波接合では接合部分のみを加熱することができるため、さらに信頼性が向上する。また、拡散接合は基材が溶融しない温度までの加熱と加圧を同時に掛けることにより原子の拡散（相互拡散）現象が生じ、原子の結びつきにより接合を行うため、拡散接合で接合すれば基材の溶融もなく、管内流路１７０の目詰まりを防止でき、さらに信頼性が向上する。

第１の基板１１０と第２の基板１２０をプレス加工により成形すれば、比較的容易にかつ大量に成形できるため、熱交換器を安価に提供できる。この際、管内流路１７０の壁となる短いスリット１３０と長いスリット１４０の間隔は第１の基板１１０の肉厚よりも大きく、プレス加工時の応力により、管内流路１７０壁が捩れにくくなり、不良率が低減し、熱交換器を安価に提供することができる。また、第１の基板１１０及び第２の基板１２０をエッチングにより成形すれば、管内流路１７０の壁が捩れることが無く、管内流路１７０壁を小さくしても、容易に製作することができ、安価に熱交換器を提供することができる。

図１２は、本発明の実施の形態２における熱交換器の正面図であり、図１３は同実施の形態の熱交換器の側面図である。また、図１４は図１２のＤ−Ｄ線断面図であり、図１５は図１２のＥ−Ｅ線断面図である。図１６は図１３のＦ−Ｆ線断面図である。通常、熱交換部の両端に内部流体入口ヘッダー８０および出口ヘッダー９０を取り付けて使用される。なお、入口ヘッダー８０と出口ヘッダー９０を入れ替えても良い。

入口ヘッダー８０から流入した内部流体が分岐されて管内流路入口１７１から管内流路１７０内を流れ、管内流路出口１７２を通って出口ヘッダー９０から流出する。この時、管内流路入口１７１及び管内流路出口１７２が拡大されているため流路抵抗が小さく、同じポンプ動力でも内部流体の循環量を増加させることができる。よって、熱交換量が向上し、熱交換器を小さくすることができるため、安価に熱交換器を提供することができる。また外部流体は管外流路１６０を第１の基板１１０や第２の基板１２０の平面方向に流れる。この内部流体と外部流体とが熱交換部において熱交換する。この際、外部流体と内部流体の温度差が大きい外部流体上流側で第１の基板１１０の積層枚数を多くして、基板積層方向の長さを大きくしたことにより、内部流体を多く流すことができ熱交換量が向上し、熱交換器を小さくすることができ、安価に熱交換器を提供することができる。

以上のように、本実施の形態においては、長いスリット１４０と短いスリット１３０とを略平行に複数設けた第１の基板１１０と、短いスリット１３０と略同形状のスリット１５０を短いスリット１３０の投影と略同位置に設け、かつ長いスリット１４０よりも短い第２の基板１２０を複数積層し、短いスリット１３０とスリット１５０が管外流路１６０を構成し、長いスリット１４０と第２の基板１２０が管内流路１７０を構成したため、容易に製作することができ、安価に熱交換器を提供することができる。

また、本実施の形態においては、管内流路１７０を外部流体の流入側ほど基板積層方向に大きくしたため、外部流体と内部流体の温度差が大きく、熱交換量が大きい外部流体の流入側ほど、内部流体を多く流すことにより、熱交換量が向上し、熱交換器をさらに小さくすることができ、安価に熱交換器を提供することができる。

また、本実施の形態においては、第２の基板１２０間に積層する第１の基板１１０の枚数を増減し、管内流路１７０の基板積層方向の大きさを変更したため、熱交換器を容易に製作でき、安価に熱交換器を提供することができる。

また、本実施の形態では、管内流路１７０の入口１７１及び出口１７２を管外流路１６０方向に拡大したため、内部流体の出入り口の開口面積を大きくすることができ、管内抵抗を低減し、内部流体の流量を増加させることにより、熱交換器量を向上させることができるため、熱交換器を小さくすることができる。

また、本実施の形態では、プレス加工により第１の基板１１０及び第２の基板１２０を成形すれば、比較的容易にかつ大量に成形できるため、熱交換器を安価に提供できる。この際、管内流路１７０の壁となる短いスリット１３０と長いスリット１４０の間隔は第１の基板１１０の肉厚よりも大きく、プレス加工時の応力により、管内流路１７０壁が捩れにくくなり、不良率が低減し、熱交換器を安価に提供することができる。また、第１の基板１１０及び第２の基板１２０をエッチングにより成形すれば、管内流路１７０の壁が捩れることが無く、管内流路１７０壁を小さくしても、容易に製作することができ、安価に熱交換器を提供することができる。

また、本実施の形態では、第１の基板１１０と第２の基板１２０相互は熱溶着接合により接合すれば、ロウ材を用いず、基材を溶融させて接合するため、ロウ材が管内流路１７０内に流れ出すことはなく、管内流路１７０が目詰まりすることによる不良を低減することができる。特に、超音波接合では接合部分のみを加熱することができるため、さらに信頼性が向上する。また、拡散接合は基材が溶融しない温度までの加熱と加圧を同時に掛けることにより原子の拡散（相互拡散）現象が生じ、原子の結びつきにより接合を行うため、拡散接合で接合すれば、基材の溶融もなく、管内流路１７０の目詰まりを防止でき、さらに信頼性が向上し、不良品の低減が図れ安価に熱交換器を提供することができる。

以上のように、本発明にかかる熱交換器は、非常に優れた熱交換性能を維持しながら、安価に実現でき、冷凍冷蔵機器や空調機器用の熱交換器や、廃熱回収機器等の用途にも適用できる。

本発明の実施の形態１における熱交換部の斜視図本発明の実施の形態１における第１の基板の正面図本発明の実施の形態１における第２の基板の正面図本発明の実施の形態１における熱交換器の正面図同実施の形態の熱交換器の側面図図４のＡ−Ａ線断面図図４のＢ−Ｂ線断面図図５のＣ−Ｃ線断面図本発明の実施の形態２における熱交換部の斜視図本発明の実施の形態２における第１の基板の正面図本発明の実施の形態２における第２の基板の正面図本発明の実施の形態２における熱交換器の正面図同実施の形態の熱交換器の側面図図１２のＤ−Ｄ線断面図図１２のＥ−Ｅ線断面図図１３のＦ−Ｆ線断面図従来の熱交換器の正面図

符号の説明

１０、１１０第１の基板
２０、１２０第２の基板
３０、１３０短いスリット
４０、１４０長いスリット
５０、１５０スリット
６０、１６０管外流路
７０、１７０管内流路
１７１管内流路入口
１７２管内流路出口

Claims

内部流体と外部流体とが熱交換する熱交換部と、前記熱交換部の両端に取り付けられる出入口ヘッダーとからなり、前記熱交換部は、長いスリットと短いスリットとを略平行に設けた第１の基板と、前記短いスリットと略同形状のスリットを設けてかつ前記スリットの長手方向となる方向の寸法を前記長いスリットの長手方向の長さよりも短くした第２の基板とを有し、前記第１の基板の短いスリットと前記第２の基板のスリットとが連通して前記外部流体が流れる管外流路を構成すると共に前記長いスリットの両端が前記第２の基板の両端よりも外側になって前記長いスリットの両端以外の部分が前記第２の基板に挟まれることにより前記内部流体が流れる管内流路が構成されるように前記第１の基板と前記第２の基板とを複数枚積層して、前記長いスリットの両端が前記管内流路の出入り口となる前記熱交換部が構成される熱交換器。
前記長いスリットと前記短いスリットとを交互に配置した請求項１に記載の熱交換器。
前記第１の基板を前記第２の基板間に複数積層した請求項１または２に記載の熱交換器。
前記管内流路を外部流体の流入側ほど前記基板積層方向に大きくした請求項１から３のいずれか一項に記載の熱交換器。
前記管内流路の出入り口を前記管外流路方向に拡大した請求項１から４のいずれか一項に記載の熱交換器。
前記基板をプレスにより加工した請求項１から５のいずれか一項に記載の熱交換器の製造方法。
前記基板をエッチングにより加工した請求項１から５のいずれか一項に記載の熱交換器の製造方法。
前記基板相互を熱溶着接合により接合した請求項１から５のいずれか一項に記載の熱交
換器の製造方法。
前記基板相互を超音波接合により接合した請求項１から５のいずれか一項に記載の熱交換器の製造方法。
前記基板相互を拡散接合により接合した請求項１から５のいずれか一項に記載の熱交換器の製造方法。