JP4763040B2 - スパッタリング装置および薄膜成膜方法 - Google Patents
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Description
101 真空チャンバー
102 ターゲット
103 ディスク受け皿
104 ディスクキャリア
105 ロードロックプッシャ
106 スパッタプッシャ
107 ロードロック室フランジ
2 ディスク基板
201 開口部
3 ディスク基板搬入・搬出部
301 基板ホルダーチャック
302 基板ホルダーチャック開閉ローラー
303 インナーマスクチャック
304 インナーマスクチャック開ローラー
305 インナーマスクチャック閉バネ
306 アウターマスクチャック
307 アウターマスクチャック開ローラー
308 アウターマスクチャック閉バネ
309 チャック閉カム
310a,310b チャック開カム
311 ロードロック室蓋フランジ
312 ロードロック室蓋フランジ上下駆動源
313 チャック開閉駆動軸
314 チャック開閉駆動源
315 プレート
316 ガイド軸
4 ディスク基板交換ユニット
5 基板ホルダー
501 位置決め部
501a 基板ホルダー保持用溝
601 インナーマスク
601a 溝
602 アウターマスク
602a 溝
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは、同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
Claims (5)
- 基板の表面に薄膜を成膜する薄膜成膜部と、前記薄膜成膜部の外部から供給される前記基板を前記薄膜成膜部に搬入し、前記薄膜成膜部で薄膜を形成した前記基板を前記薄膜成膜部の外部に搬出する基板搬入・搬出部とを有し、
基板ホルダーに載せられた前記基板の表面に、前記基板の表面の一部の領域を覆うマスク部材を設置して、前記基板の表面の前記マスク部材で覆われていない領域に、スパッタリングで前記薄膜を成膜するスパッタリング装置であって、
前記基板搬入・搬出部は、前記基板を載せた前記基板ホルダーの機械的保持および開放を行う基板ホルダー保持・開放手段と、前記マスク部材の機械的保持および開放を行うマスク部材保持・開放手段とを有することを特徴とするスパッタリング装置。 - 前記基板は、中央に開口部を有する円盤状であり、
前記基板ホルダーは、前記基板の前記開口部に通して前記基板の位置決めを行う円筒状の位置決め部を有し、
前記マスク部材は、前記基板の開口部の周囲を覆い、かつ、前記基板ホルダーの位置決め部が通る開口部を有する環状のインナーマスクと、前記基板の外周部を覆い、かつ、前記基板ホルダーの外周と係合する環状のアウターマスクからなり、
前記基板搬入・搬出部は、前記基板ホルダー保持・開放手段と、
前記インナーマスクの機械的保持および開放を行うインナーマスク保持・開放手段と、
前記アウターマスクの機械的保持および開放を行うアウターマスク保持・開放手段と、
前記基板ホルダー保持・開放手段による前記基板ホルダーの保持または開放の切り替え制御、および前記インナーマスク保持・開放手段による前記インナーマスクの保持または開放の制御を行う保持・開放制御手段を有し、
前記薄膜成膜部は、前記アウターマスク保持・開放手段による前記アウターマスクの保持または開放の制御を行う保持・開放制御手段を有することを特徴とする請求項1に記載のスパッタリング装置。 - 前記基板ホルダー保持・開放手段は、前記基板ホルダーの前記位置決め部の内径側の側面で、前記基板ホルダーを保持または開放するものであり、
前記インナーマスク保持・開放手段は、前記インナーマスクの外径側の側面で、前記インナーマスクを保持または開放するものであり
前記アウターマスク保持・開放手段は、前記アウターマスクの外径側の側面で、前記アウターマスクを保持または開放するものであることを特徴とする請求項2に記載のスパッタリング装置。 - 前記基板ホルダーの前記位置決め部は、内径側の側面に溝を有し、
前記インナーマスクおよび前記アウターマスクは、外周側の側面に溝を有し、
前記基板ホルダー保持・開放手段は、前記基板ホルダーの前記位置決め部の内径側の側面に設けられた溝に係合するツメを有し、
前記インナーマスク保持・開放手段は、前記インナーマスクの外径側の側面に設けられた溝に係合するツメを有し、
前記アウターマスク保持・開放手段は、前記アウターマスクの外径側の側面に設けられた溝に係合するツメを有することを特徴とする請求項3に記載のスパッタリング装置。 - 基板を載せた基板ホルダーの機械的保持および開放を行う基板ホルダー保持・開放手段と、マスク部材の機械的保持および開放を行うマスク部材保持・開放手段とを有する基板搬入・搬出部を備えたスパッタリング装置を用いる薄膜成膜方法であって、
前記基板ホルダーに載せられた前記基板を前記基板搬入・搬出部により前記スパッタリング装置に搬入する第1の工程と、前記スパッタリング装置で前記基板の表面に薄膜を成膜する第2の工程と、前記薄膜を成膜した前記基板が載せられた基板ホルダーを前記基板搬入・搬出部により前記スパッタリング装置の外部に搬出する第3の工程とを有し、
前記第1の工程は、前記スパッタリング装置の外部から供給される、前記基板ホルダーに載せられた前記基板の表面に、前記基板の表面の一部の領域を覆うマスク部材を設置した後、前記基板ホルダーに載せられた前記基板とともに、前記マスク部材を前記スパッタリング装置の内部に搬入し、
前記第2の工程は、前記基板ホルダーに載せられた前記基板の表面のうち、前記マスク部材で覆われていない領域に前記薄膜を成膜し、
前記第3の工程は、前記基板ホルダーに載せられた前記基板とともに、前記マスク部材を前記スパッタリング装置の外部に取り出した後、前記基板および前記基板ホルダーのみを搬出することを特徴とする薄膜成膜方法。
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