JP4367778B2 - ディスク支持装置 - Google Patents
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Description
以上のような請求項2の発明では、開閉部が規制部内に形成されているので、特別なスペースが不要となる。
以上のような請求項3の発明では、開閉部が規制部と一体に形成されているので、構成が単純である。
以上のような請求項4の発明では、ディスクの中心穴を規制する部材によって、吸着の解放を行うことができるので、ディスクの周囲の所要スペースが不要となる。
[装置の構成]
まず、本実施形態に使用するディスク支持装置(以下、本装置と呼ぶ)の構成を、図1〜3を参照して説明する。なお、本装置は、例えば、貼り合せ後のディスクに対する紫外線照射装置の一部を構成するものであり、本装置の上流工程に配設される基板の貼り合せ装置、各装置間で基板を受け渡す機構等については、公知のあらゆる技術を適用可能であるため、説明を省略する。また、本装置は、ディスクの保持及び解放に特徴を有するため、紫外線照射のためのみの部材や機構についても、説明を省略する。
以上のような本実施形態において、ディスク2を支持及び解放する手順を説明する。すなわち、図1に示すように、ディスク2がサセプタ1上に載置された場合、キャビティ3を真空引きすることにより、吸着孔31がディスク2を吸着保持している。このとき、ヘッド61は上昇しており、ディスク2の中心穴に挿入されているので、ディスク2の移動が規制されている。この状態で、紫外線を照射して接着剤を硬化させた後、以下のようにディスク2が搬出される。
以上のような本実施形態によれば、規制部6のヘッド61の移動とともに、通気路63も移動し、ディスク2の中心穴がヘッド61から解放されると同時に、吸着孔31による吸着から解放される。従って、搬出アーム4によるディスク2の搬出タイミングとのずれが生じ難く、搬出の際に、ディスク2の規制若しくは吸着が維持されていることによるトラブルを防止できる。
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。例えば、上記の実施形態で示した通気路63における大気側の端部は、ヘッド61のどの位置にあってもよい。一例として、図4に示すように、ヘッド61の下部に設けられていてもよい。また、図5に示すように、ヘッド61に通気路63を形成するのではなく、下部に達する延長部32を開閉する弁部64を、ヘッド61と一体に形成することによっても、上記実施形態と同様の作用効果が得られる。
2…ディスク
3…キャビティ
4…搬出アーム
5…バキュームパッド
6…規制部
11…貫通穴
31…吸着孔
32…延長部
61…ヘッド
62…シリンダ
63…通気路
64…弁部
Claims (4)
- ディスクを支持する支持部内に、減圧可能な空間と、前記減圧可能な空間に連通し、減圧時にディスクを吸着保持する吸着部とが設けられたディスク支持装置において、
ディスクに接離する方向に移動可能に設けられ、その移動位置によって前記支持部上のディスクの移動を規制する規制部を備え、
前記規制部には、その移動に従って、前記減圧可能な空間と外部との連通を開閉する開閉部が設けられていることを特徴とするディスク支持装置。 - 前記開閉部は、前記規制部内に形成された通気路を有することを特徴とする請求項1記載のディスク支持装置。
- 前記開閉部は、前記規制部と一体に形成された弁部を有することを特徴とする請求項1記載のディスク支持装置。
- 前記規制部は、ディスクの中心穴に挿排される頭部を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のディスク支持装置。
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