JP2005248249A - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 同一の真空チャンバ2内に、基板5とマスク6とを位置合わせするアライメントユニット3と、このアライメントユニット3から基板5とマスク6とを受け取る搬送トレイ4と、この搬送トレイ4の搬送経路に沿って配置される複数の成膜源81A〜81Fとを備え、アライメントユニット3と搬送トレイ4との間における基板5及びマスク6の移載は、マグネット昇降機構12に対してマグネットホルダ61を係止部67を介して分離させる。
【選択図】 図2
Description
2 真空チャンバ
3 アライメントユニット
4 搬送トレイ
5 基板
6 マスク
7 マグネット
8 成膜部
10 基板支持ユニット
11 マスクホルダ
12 マグネット昇降機構
13 支持プレート
21 フック
21A 昇降軸
31 基板昇降機構部
33 ガイドロッド
34 支軸
41 第1駆動部
42 第2駆動部
43 第3駆動部
51 支持爪
54 中空軸
56 モータ
58 X−Y方向移動部
59 CCDカメラ
60 吊下げプレート
61 マグネットホルダ
62 マグネット昇降軸
64 基板押え
67 係止部
70 トレイ本体
71 開口部
73A,73B 車輪
74A,74B 搬送レール
81A〜81F スパッタターゲットユニット
Claims (10)
- 同一の真空チャンバ内に、基板とマスクとを位置合わせするアライメントユニットと、このアライメントユニットから前記基板と前記マスクとを受け取る搬送用トレイと、この搬送用トレイの搬送経路に沿って配置される成膜手段とを備えたことを特徴とする成膜装置。
- 前記アライメントユニットは、マスクホルダに支持されている磁性材料製の前記マスクに対して前記基板を昇降自在に支持する基板支持機構と、前記マスクと前記基板とを位置合わせするアライメント機構と、前記マスクと前記基板とを密着させるマグネットを前記基板に対して昇降させるマグネット昇降機構とを有し、前記マグネットには、前記マグネット昇降機構に対して離脱可能な係止部が設けられている請求項1に記載の成膜装置。
- 前記マグネット昇降機構は、昇降軸の下端に固定され前記マグネットを保持するマグネットホルダと、このマグネットホルダに対して相対移動自在に吊り下げられ前記基板の上面に対向配置される基板押えとを有している請求項2に記載の成膜装置。
- 前記搬送用トレイは、前記基板の成膜面をトレイ外部へ露出させる開口部が形成されたトレイ本体と、このトレイ本体を前記搬送経路に案内するガイド機構とを備えている請求項1に記載の成膜装置。
- 前記成膜手段は、前記搬送経路に沿って配置される複数の蒸発源又はスパッタターゲットである請求項1に記載の成膜装置。
- 前記アライメントユニットは、前記真空チャンバの天板上に配置された支持プレート上に支持されている請求項1に記載の成膜装置。
- 同一の真空チャンバにおいて、アライメントユニットにより基板とマスクとを位置合わせするアライメント工程と、前記アライメントユニットから前記基板及び前記マスクを搬送用トレイへ移載する移載工程と、前記搬送用トレイを搬送経路に沿って搬送しながら前記基板の成膜面に成膜する成膜工程とを有することを特徴とする成膜方法。
- 前記基板の成膜後、前記基板及び前記マスクを前記搬送用トレイから前記アライメントユニットへ移載する工程を更に有する請求項7に記載の成膜方法。
- 前記アライメント工程では、磁性材料でなる前記マスクに対し前記基板を介してマグネットを取り付けることにより前記基板と前記マスクとが密着され、前記移載工程では、前記マグネットを保持し前記基板と前記マスクとを位置合わせするアライメントユニットから前記マグネットを分離する工程が含まれる請求項7に記載の成膜方法。
- 前記成膜工程では、前記基板は、前記搬送経路に沿って配置された複数の蒸発源又はスパッタターゲット上を搬送される請求項7に記載の成膜方法。
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Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007119794A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着用アライメント装置 |
WO2007110937A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Tohoku Seiki Industries, Ltd. | スパッタリング装置および薄膜成膜方法 |
WO2008026524A1 (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing organic light-emitting display device |
JP2009064758A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Canon Inc | 有機elディスプレイパネル製造装置 |
JP2009277655A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Samsung Mobile Display Co Ltd | 有機電界発光表示装置の製造装置及び製造方法 |
JP2010086956A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-04-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
JP2010248583A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 成膜装置及び成膜システム |
JP2011518252A (ja) * | 2008-03-05 | 2011-06-23 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 回転モジュールを備えたコーティング装置 |
JP2011187456A (ja) * | 2011-06-15 | 2011-09-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
JP2012503714A (ja) * | 2008-09-24 | 2012-02-09 | アイクストロン、エスイー | 基板支持体上に磁気的に保持されるシャドーマスク |
CN102668215A (zh) * | 2009-10-27 | 2012-09-12 | 应用材料公司 | 阴影掩膜对准和管理*** |
CN105887033A (zh) * | 2016-06-02 | 2016-08-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 夹持设备及其工作方法、磁控溅射装置 |
KR101877336B1 (ko) * | 2011-07-13 | 2018-07-12 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판처리장치 |
KR101926693B1 (ko) * | 2012-09-20 | 2018-12-07 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판처리장치 |
KR102017626B1 (ko) | 2018-11-27 | 2019-09-03 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막장치, 성막방법 및 전자 디바이스 제조방법 |
KR20220020211A (ko) | 2020-08-11 | 2022-02-18 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
KR20220053108A (ko) * | 2020-10-21 | 2022-04-29 | 아이엠에스(주) | 기판처리장치 |
KR20220100532A (ko) | 2021-01-08 | 2022-07-15 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치, 반송 방법, 성막 방법 및 전자 디바이스 제조 방법 |
KR20220107970A (ko) | 2021-01-26 | 2022-08-02 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치 |
KR20220163265A (ko) | 2021-06-02 | 2022-12-09 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 반송 장치 및 성막 장치 |
KR20230151455A (ko) | 2022-04-25 | 2023-11-01 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 워크 보유지지 장치, 얼라인먼트 장치 및 성막 장치 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE602007006772D1 (de) | 2007-04-27 | 2010-07-08 | Applied Materials Inc | Substratverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Platzieren eines Substrats |
KR101410984B1 (ko) * | 2013-03-12 | 2014-06-23 | 주식회사 선익시스템 | 기판 정렬장치의 샤프트 위치제어 구조 |
CN111924539B (zh) * | 2020-07-15 | 2021-03-02 | 深圳新益昌科技股份有限公司 | 自动合片机 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002302757A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-10-18 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2003332052A (ja) * | 2002-05-09 | 2003-11-21 | Sony Corp | 有機電界発光表示素子の製造装置および製造方法 |
JP2005222729A (ja) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Ulvac Japan Ltd | 有機薄膜蒸着方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4078813B2 (ja) * | 2001-06-12 | 2008-04-23 | ソニー株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
-
2004
- 2004-03-04 JP JP2004060097A patent/JP4549697B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-02-25 WO PCT/JP2005/003171 patent/WO2005085492A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002302757A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-10-18 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2003332052A (ja) * | 2002-05-09 | 2003-11-21 | Sony Corp | 有機電界発光表示素子の製造装置および製造方法 |
JP2005222729A (ja) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Ulvac Japan Ltd | 有機薄膜蒸着方法 |
Cited By (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007119794A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着用アライメント装置 |
JP4624236B2 (ja) * | 2005-10-25 | 2011-02-02 | 日立造船株式会社 | 真空蒸着用アライメント装置 |
WO2007110937A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Tohoku Seiki Industries, Ltd. | スパッタリング装置および薄膜成膜方法 |
US8591706B2 (en) | 2006-03-28 | 2013-11-26 | Tohoku Seiki Industries, Ltd. | Sputtering system and method for depositing thin film |
US20100006422A1 (en) * | 2006-03-28 | 2010-01-14 | Masayoshi Yokoo | Sputtering system and method for depositing thin film |
JP4763040B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2011-08-31 | 東北精機工業株式会社 | スパッタリング装置および薄膜成膜方法 |
US7964421B2 (en) | 2006-08-29 | 2011-06-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing organiclight-emitting display device |
WO2008026524A1 (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing organic light-emitting display device |
JP2008059757A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Canon Inc | 有機発光表示装置の製造方法 |
KR101122585B1 (ko) * | 2006-08-29 | 2012-03-16 | 캐논 가부시끼가이샤 | 유기발광 표시장치의 제조방법 |
JP2009064758A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Canon Inc | 有機elディスプレイパネル製造装置 |
JP2011518252A (ja) * | 2008-03-05 | 2011-06-23 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 回転モジュールを備えたコーティング装置 |
US8815015B2 (en) | 2008-05-15 | 2014-08-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus and method for fabricating organic light emitting diode display device |
JP2009277655A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Samsung Mobile Display Co Ltd | 有機電界発光表示装置の製造装置及び製造方法 |
JP2010086956A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-04-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
JP2012503714A (ja) * | 2008-09-24 | 2012-02-09 | アイクストロン、エスイー | 基板支持体上に磁気的に保持されるシャドーマスク |
JP2010248583A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 成膜装置及び成膜システム |
CN102668215A (zh) * | 2009-10-27 | 2012-09-12 | 应用材料公司 | 阴影掩膜对准和管理*** |
US10199660B2 (en) | 2009-10-27 | 2019-02-05 | Applied Materials, Inc. | Shadow mask alignment and management system |
JP2013509002A (ja) * | 2009-10-27 | 2013-03-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | シャドーマスクアラインメント及び管理システム |
US9325007B2 (en) | 2009-10-27 | 2016-04-26 | Applied Materials, Inc. | Shadow mask alignment and management system |
KR101770638B1 (ko) * | 2009-10-27 | 2017-08-25 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 섀도우 마스크 정렬 및 관리 시스템 |
JP2011187456A (ja) * | 2011-06-15 | 2011-09-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
KR101877336B1 (ko) * | 2011-07-13 | 2018-07-12 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판처리장치 |
KR101926693B1 (ko) * | 2012-09-20 | 2018-12-07 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판처리장치 |
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