JP4760696B2 - 液晶装置及び液晶装置の製造方法 - Google Patents
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このため、無機配向膜の間隙、あるいはシール材と無機配向膜との間隙から液晶パネル内に水分が侵入してしまい、液晶パネルの耐湿性が低下してしまうという問題があった。
ところが、この方法では、アルキル材の処理のムラ等によって、表示領域の配向膜特性が変化し、表示品質の低下を招く。
そこで、さらに、シール材を形成するシール領域にのみ、アルキル材による撥水処理を行う方法が提案されている。
このような場合には、アルキル材等の液状材が侵入した表示領域の無機配向膜の特性が変化し、表示品質が低下する。
上記目的を達成するために、本発明は、 表示領域の外側を囲うシール領域に形成されたシール材を介して貼り合わされた一対の基板と、前記基板間の前記表示領域に挟持される液晶とを有する液晶装置の製造方法であって、前記シール領域から前記表示領域への液状材の侵入を防止する絶縁部を形成する第1工程と、少なくとも前記表示領域に対応するいずれか一方の基板上の領域に、前記液晶の液晶分子の配向方向を規制する無機配向膜を形成する第2工程と、前記シール領域に液状材を塗布する第3工程と、前記シール領域にシール材を形成し、前記シール材を介して一対の基板を貼り合わせるとともに、前記基板間に前記液晶を封入させる第4工程とを有し、前記第3工程が、前記液状材としてアルキル材を塗布する工程であることを特徴とする。
上記目的を達成するために、本発明の液晶装置は、表示領域の外側を囲うシール領域に形成されたシール材を介して貼り合わされた一対の基板と、上記基板間の上記表示領域に挟持される液晶とを有する液晶装置であって、少なくとも上記表示領域のいずれか一方の基板に形成されるとともに、上記液晶の液晶分子の配向方向を規制する無機配向膜と、上記シール領域から上記表示領域に形成される上記無機配向膜への液状材の侵入を防止する絶縁部とを備えることを特徴とする。
このため、絶縁部によって、シール領域に配置された液状材が表示領域に侵入することが防止される。
したがって、本発明の液晶装置によれば、無機配向膜を備える液晶装置において、シール領域に配置された液状材が、表示領域に侵入することを防止することによって、表示品質の低下を防止することが可能となる。
このような構成を採用することによって、表示領域とシール領域との境界領域に突出して形成される突出部によって、シール領域に配置された液状材が表示領域の無機配向膜と接触することが防止され、シール領域に配置された液状材が、表示領域に侵入することを防止することができる。
このような構成を採用することによって、上記シール領域に突出して形成される突出部によって、表示領域とシール領域とに段差が形成される。そして、当該段差によって、シール領域に配置された液状材が表示領域の無機配向膜と接触することが防止され、シール領域に配置された液状材が、表示領域に侵入することを防止することができる。
このような構成を採用することによって、バリア層がパシベーション膜として機能し、基板側からの水分の侵入を防止することができる。
このような構成を採用することによって、無機配向膜の体積を減少させることができる。すなわち、間隙を有する構造を減少させることができ、より確実にシール領域に配置された液状材が、表示領域に侵入することを防止することができる。
シール領域に形成された無機配向膜は、液晶装置の表示には寄与しないが、液状材とシール材の密着性を向上させる機能を発揮する。このため、本構成によれば、液状材が配置されたシール領域にシール材を確実に形成することができる。
このような構成を採用することによって、シール領域が撥水処理されるため、外部から表示領域に水分が侵入することを防止することができる。
したがって、本実施形態の液晶装置の製造方法によれば、第3工程においてシール領域に液状材が塗布された後、絶縁部によって、シール領域に塗布された液状材が表示領域へ侵入することが防止される。
よって、シール領域に配置された液状材が、表示領域に侵入することを防止することによって、表示品質の低下を防止することができる。
このような構成を採用することによって、第1工程において、表示領域とシール領域との境界領域に突出して突出部が形成され、当該突出部によって、シール領域に配置された液状材が表示領域の無機配向膜と接触することが防止され、シール領域に配置された液状材が、表示領域に侵入することを防止することができる。
このような構成を採用することによって、第1工程において、シール領域に突出して突出部が形成され、当該突出部によって、表示領域とシール領域とに段差が形成される。そして、当該段差によって、シール領域に配置された液状材が表示領域の無機配向膜と接触することが防止され、シール領域に配置された液状材が、表示領域に侵入することを防止することができる。
このような構成を採用することによって、マスクを用いて突出部が形成される。このため、容易に突出部を形成することができる。
このような構成を採用することによって、基板と無機配向膜との間にバリア層が形成される。このバリア層がパシベーション膜として機能し、基板側からの水分の侵入を防止するため、本構成の液晶装置の製造方法によれば、基板側からの水分の侵入を防止可能な液晶装置を製造することができる。
このような構成を採用することによって、シール領域を含めて無機配向膜が形成される。シール領域に形成された無機配向膜は、液晶装置の表示には寄与しないが、液状材とシール材の密着性を向上させる機能を発揮する。このため、本構成の液晶装置の製造方法によれば、第4工程において、液状材が配置されたシール領域にシール材を確実に形成することができる。
このような構成を採用することによって、シール領域が撥水処理されるため、外部から表示領域に水分が侵入することを防止することができる。
本発明の液晶装置は、シール領域に配置された液状材が、表示領域に侵入することを防止することによって、表示品質の低下を防止することができる。
このため、本発明の電子機器によれば、優れた表示特性を発揮することができる。
(第1実施形態)
図1は、本実施形態の液晶装置を示す図である。図1(a)が同液晶装置の平面構成図、(b)が(a)図のH−H’線に沿う断面構成図である。
すなわち、本実施形態の液晶装置100は、表示領域の外側を囲うシール領域に形成されたシール材を介して貼り合わされた一対の基板と、基板間の表示領域に狭持される液晶とを備えている。また、突出部53,54は、画像表示領域10aとシール領域との間の境界領域に形成されている。
この図に示すように、また上述のように、本実施形態の液晶装置100においては、画像表示領域10aとシール領域10bとの間の境界領域10cに突出部53(54)が形成されている。
突出部53(54)は、酸窒化膜等の緻密な構造を有する膜によって形成されている。
無機配向膜16(22)は、画像表示領域10a及びシール領域10bに形成されており、突出部53(54)によって、画像表示領域10aとシール領域10bとに分断されて形成されている。なお、突出部53(54)上にも、画像表示領域10aに形成された無機配向膜16(22)及びシール領域10bに形成された無機配向膜16(22)と分断された無機配向膜16(22)が形成されているが、図2においてはその図示を省略している。
無機配向膜16(22)としては、SiO2やSiO等の珪素酸化物、又はAl2O3、ZnO、MgOやITO等の金属酸化物等により、厚さ0.02〜0.3μm(好ましくは、0.02〜0.08μm)程度に形成されたものである。また、無機配向膜16(22)の製造には、イオンビームスパッタ法やマグネトロンスパッタ法等のスパッタ法、蒸着法、ゾルゲル法、自己組織化法などが採用可能である。本実施形態では、無機配向膜16(22)はいずれもSiO2を主とする珪素酸化物からなり、従来公知の斜方蒸着法で形成されたものとなっている。
また、両基板10、20の外側には、ポリビニルアルコール(PVA)にヨウ素をドープした材料等からなる偏光板24、28(図5参照)が配置されている。なお、各偏光板24、28は、サファイヤガラスや水晶等の高熱伝導率材料からなる支持基板上に装着して、液晶装置100から離間配置することが望ましい。各偏光板24、28は、その吸収軸方向の直線偏光を吸収し、透過軸方向の直線偏光を透過する機能を有する。TFTアレイ基板10側の偏光板24は、その透過軸が無機配向膜16の配向規制方向と略一致するように配置され、対向基板20側の偏光板28は、その透過軸が無機配向膜22の配向規制方向と略一致するように配置されている。
また、TFT素子30の形成領域に対応する基板本体10Aの表面に、第1遮光膜11aが形成されている。第1遮光膜11aは、液晶装置に入射した光が、半導体層1aのチャネル領域1a’、低濃度ソース領域1b及び低濃度ドレイン領域1cに侵入することを防止するものである。
非選択電圧印加時の液晶装置100では、基板に対して水平配向した液晶分子が液晶50の厚さ方向に約90°ねじれたらせん状に積層配置されている。そのため、液晶装置100に入射した直線偏光は、約90°旋光されて液晶装置100から出射する。この直線偏光は、偏光板24の透過軸と一致するため、偏光板24を透過する。従って、非選択電圧印加時の液晶装置100では白表示が行われるようになっている(ノーマリーホワイトモード)。
また、境界領域10cに形成された突出部53,54によって、シール領域10bに塗布されたアルキル材55と、画像表示領域10aに形成される無機配向膜16(22)との接触が防止され、シール領域10bから画像表示領域10aにアルキル材が侵入することを防止することができる。
したがって、本実施形態の液晶装置100によれば、無機配向膜を備える液晶装置において、シール領域10bに配置されたアルキル材55が、画像表示領域10aに侵入することを防止することによって、表示品質の低下を防止することが可能となる。
シール領域10bに形成された無機配向膜16(22)は、液晶装置100の表示には寄与しないが、アルキル材55とシール材52の密着性を向上させる機能を発揮する。このため、本構成によれば、アルキル材55が配置されたシール領域10bにシール材52を確実に固着形成することができる。
また、シール領域10bにおけるアルキル材55の濡れ性を向上させるためには、無機配向膜(SiO2等)と接触することが好ましい。したがって、本実施形態の液晶装置のように、シール領域10bにも無機配向膜16(22)を形成することによって、シール領域10bにおけるアルキル材55の濡れ性を向上させることもできる。
次に、本実施形態の液晶装置の製造方法について説明する。
図6(a)〜(c)は本実施形態の液晶装置100の製造工程を示す断面図であり、図7(a)は無機配向膜16(22)を形成するための装置であり、(b)は係る装置を用いて成膜した無機配向膜16(22)を説明するための図である。なお、以下の説明においては、本発明の特徴的な工程である突出部53,54の形成工程(第1工程)、無機配向膜16(22)の形成工程(第2工程)、アルキル材を塗布する工程(第3工程)を主として説明し、その他の工程(例えば第4工程)については公知の方法が採用されるため説明を省略する。
具体的には、スパッタ装置や蒸着装置を用いて、図8に示すような、突出部53(54)の形状に応じて開口部Maが形成されたマスクM1を介して、一度に複数の基板10(20)に対して突出部53の形成材料が付着されることによって、突出部53(54)が形成される。
図7(a)は、斜方蒸着法による成膜を行う蒸着装置の一例としての、蒸着装置503である。この蒸着装置503には、無機配向膜材料の蒸気流を発生させる蒸着源512と、無機配向膜形成前の上記TFTアレイ基板10、あるいは無機配向膜形成前の上記対向基板20(以下、単に基板10(20)と記す)を保持する保持機構514とが備えられている。この蒸着装置503において基板10(20)は、蒸着源512と基板10(20)の基板面重心位置とを結ぶ基準線X1と、基板10(20)の被成膜面と垂直に交わる直線X2とのなす角θ0が、所定値となるように、保持機構514によって保持されている。従って、図7(a)、(b)において矢印Y1によって示される、蒸着源512で発生された無機材料の進行方向、すなわち無機材料が飛ぶ方向と、基板10(20)において配向膜が形成される基板面(被成膜面)とのなす角度θ1は、角度θ0を変化させることによって調整可能となっている。なお、この角度θ1は、無機配向膜16(22)において配向制御を行うための表面形状効果が得られるように、後述する柱状構造物を基板面上に配列させるための所定値に設定されている。ただし、本実施形態では斜方蒸着を行うことから、角度θ1は90°未満となっている。
ここで、図9を参照してインクジェット法によってアルキル材55を塗布するのに好適に用いられる液滴吐出装置IJについて説明する。なお、図9は、液滴吐出装置IJの概略構成を示す斜視図である。液滴吐出装置IJは、吐出ヘッド301と、X軸方向駆動軸304と、Y軸方向ガイド軸305と、制御装置CONTと、ステージ307と、クリーニング機構308と、基台309と、ヒータ315とを備えている。
Y軸方向ガイド軸305は、基台309に対して動かないように固定されている。ステージ307は、Y軸方向駆動モータ303を備えている。Y軸方向駆動モータ303はステッピングモータ等であり、制御装置CONTからY軸方向の駆動信号が供給されると、ステージ307をY軸方向に移動する。
クリーニング機構308は、吐出ヘッド301をクリーニングするものである。クリーニング機構308には、図示しないY軸方向の駆動モータが備えられている。このY軸方向の駆動モータの駆動により、クリーニング機構は、Y軸方向ガイド軸305に沿って移動する。クリーニング機構308の移動も制御装置CONTにより制御される。
ヒータ315は、ここではランプアニールにより基板Pを熱処理する手段であり、基板P上に塗布された液体材料に含まれる溶剤の蒸発及び乾燥を行う。このヒータ315の電源の投入及び遮断も制御装置CONTにより制御される。
なお、シール材配置工程以降の工程については、公知の方法が採用されるため詳細な説明を省略する。
したがって、本実施形態の液晶装置の製造方法によれば、シール領域10bへアルキル材55が塗布された後、突出部53,54によって、シール領域10bに塗布されたアルキル材55が画像表示領域へ侵入することが防止される。よって、製造される液晶装置は、表示品質の低下を起こさないものとなる。
シール領域10bに形成された無機配向膜16,22は、液晶装置の表示には寄与しないが、アルキル材55とシール材52との密着性を向上させる機能を発揮する。このため、本実施形態の液晶装置の製造方法によれば、アルキル材55が配置されたシール領域10bにシール材52を確実に形成することができる。
次に、本発明の液晶装置の第2実施形態について説明する。なお、本第2実施形態の説明において、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
上記実施形態の液晶装置が備えるTFTアレイ基板10(対向基板20)においては、突出部53,54が画像表示領域10aとシール領域10bとの間の境界領域10cに形成されていた。これに対して、本実施形態の液晶装置は、図10に示すように、境界領域10cが設けられておらず、突出部56がシール領域10bに突出して形成されている。
また、本実施形態の液晶装置においては、シール領域10bにおける配向膜16(22)の形成面である、突出部56の上面を遮るものがないため、シール領域10bに配向膜16(22)をムラ無く形成することができる。よって、シール領域10bにおけるアルキル材55の濡れ性を向上させることができる。
また、境界領域10cを形成する必要がないため、TFTアレイ基板10上の無駄なスペースを削減することができる。
次に、本発明の液晶装置の第3実施形態について説明する。なお、本第3実施形態の説明においても、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
本実施形態の液晶装置は、上記第1実施形態の液晶装置の構成に加え、無機配向膜16(22)と基板10(20)との間に形成されるバリア層57を備えている。そして、バリア層57は、無機配向膜16と同一組成材料からなる、すなわち珪素酸化膜の緻密層である。
また、バリア層57が、無機配向膜16,22と同一組成材料からなる緻密層であるため、無機配向膜16,22の体積を減少させることができる。すなわち、間隙を有する構造を減少させることができ、より確実にシール領域10bに配置されたアルキル材55が、画像表示領域10aに侵入することを防止することができる。
次に、本発明の液晶装置の第4実施形態について説明する。なお、本第4実施形態の説明においても、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
この図に示すように、本実施形態の液晶装置は、上記第2実施形態の液晶装置と上記第3実施形態の液晶装置とを組合わせた構成を有している。すなわち、本実施形態の液晶装置は、境界領域10cが設けられておらず、突出部56がシール領域10bに突出して形成されており、かつ、無機配向膜16(22)と基板10(20)との間に形成されるバリア層57を備えている。
次に、本発明の電子機器の一実施形態としてのプロジェクタについて、図14を用いて説明する。図14は、プロジェクタの要部を示す概略構成図である。このプロジェクタは、上記実施形態に係る液晶装置を光変調手段として備えたものである。
例えば、上記実施形態ではスイッチング素子としてTFTを備えた液晶装置を例にして説明したが、スイッチング素子として薄膜ダイオード(Thin Film Diode)等の二端子型素子を備えた液晶装置に本発明を適用することも可能である。
また、上記実施形態では透過型液晶装置を例にして説明したが、反射型液晶装置に本発明を適用することも可能である。
また、上記実施形態ではTN(Twisted Nematic)モードで機能する液晶装置を例にして説明したが、VA(Vertical Alignment)モードで機能する液晶装置に本発明を適用することも可能である。
また、実施形態では3板式の投射型表示装置(プロジェクタ)を例にして説明したが、単板式の投射型表示装置や直視型表示装置に本発明を適用することも可能である。
Claims (2)
- 表示領域の外側を囲うシール領域に形成されたシール材を介して貼り合わされた一対の基板と、前記基板間の前記表示領域に挟持される液晶とを有する液晶装置であって、
少なくとも前記表示領域のいずれか一方の基板に形成されるとともに、前記液晶の液晶分子の配向方向を規制する無機配向膜と、
前記シール領域から前記表示領域に形成される前記無機配向膜への液状材の侵入を防止する絶縁部と
を備え、
前記シール領域に前記液状材としてアルキル材が塗布されていることを特徴とする液晶装置。 - 表示領域の外側を囲うシール領域に形成されたシール材を介して貼り合わされた一対の基板と、前記基板間の前記表示領域に挟持される液晶とを有する液晶装置の製造方法であって、
前記シール領域から前記表示領域への液状材の侵入を防止する絶縁部を形成する第1工程と、
少なくとも前記表示領域に対応するいずれか一方の基板上の領域に、前記液晶の液晶分子の配向方向を規制する無機配向膜を形成する第2工程と、
前記シール領域に液状材を塗布する第3工程と、
前記シール領域にシール材を形成し、前記シール材を介して一対の基板を貼り合わせるとともに、前記基板間に前記液晶を封入させる第4工程と
を有し、
前記第3工程は、前記液状材としてアルキル材を塗布する工程であることを特徴とする液晶装置の製造方法。
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