JP4757912B2 - 一体型接合部を備えた位置決め装置 - Google Patents
一体型接合部を備えた位置決め装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4757912B2 JP4757912B2 JP2008515038A JP2008515038A JP4757912B2 JP 4757912 B2 JP4757912 B2 JP 4757912B2 JP 2008515038 A JP2008515038 A JP 2008515038A JP 2008515038 A JP2008515038 A JP 2008515038A JP 4757912 B2 JP4757912 B2 JP 4757912B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning device
- sliding
- adhesive
- joint
- adhesive drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 53
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 51
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 50
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001227561 Valgus Species 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/025—Inertial sliding motors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q2210/00—Machine tools incorporating a specific component
- B23Q2210/002—Flexures
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Paper (AREA)
Description
Claims (10)
- 位置決め装置であって、
第1部材(1、1’)と、
前記第1部材に対して移動可能な第2部材(4,5)と、
前記第1部材と前記第2部材との間において動作し、前記第1部材(1、1’)と前記第2部材(4,5)との間に直動移動を生じさせる滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)と、
前記第1部材(1、1’)と前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)とに結合され、前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)の直動シャフト(3)を機械的に保護し、前記直動シャフト(3)の回転移動および/もしくは側方移動を防ぐ一体型接合部(12、13)と、を備え、
前記直動シャフト(3)および前記第2部材(4,5)は、前記一体型接合部(12、13)および前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)のアクチュエータ(2)を除き、さらなる固着点もしくは軸受点を必要としないことを特徴とする位置決め装置。 - 前記一体型接合部(12、13)は、前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)の前記直動シャフト(3)に対して垂直に延びる平らで一体型の帯鋼であることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- 前記平らで一体型の帯鋼は、薄片部(12.1、13.1)を有することを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)のアクチュエータ(2)は、前記一体型接合部(13)にしっかりと結合され、前記一体型接合部(13)は、前記直動シャフト(13)にしっかりと結合されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の位置決め装置。
- 前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)の前記直動シャフト(3)は、前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)のアクチュエータ(2)と前記一体型接合部(12)とに取り付けられることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の位置決め装置。
- 前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)の前記直動シャフト(3)は、少なくとも2つの一体型接合部(12、13)に取り付けられることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の位置決め装置。
- 前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)のアクチュエータ(2)は、その一面が、前記第1部材(1、1’)にしっかりと結合され、もう一方の面が、前記一体型接合部(13)あるいは前記直動シャフト(3)のどちらか一方にしっかりと結合されていることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の位置決め装置。
- 前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)は、圧電素子(2)として実現されるアクチュエータを有することを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の位置決め装置。
- 前記第1部材(1、1’)は、2つの脚部(1.2、1.3)と、前記脚部(1.2、1.3)とに結合する底部(1.1)と、を有するU字型で構成され、
前記一体型接合部(12;13)、若しくは複数の前記一体型接合部(12、13)が前記筐体の2つの脚部(1.2、1.3)の間に伸長していることを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載の位置決め装置。 - 前記滑動・粘着ドライブ(2、3、4、5)の前記アクチュエータ(2)は、筐体(1’)の前記底部(1.1)に固定されていることを特徴とする請求項9に記載の位置決め装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005026708A DE102005026708B4 (de) | 2005-06-09 | 2005-06-09 | Positionierer mit Festkörpergelenk |
DE102005026708.4 | 2005-06-09 | ||
PCT/DE2006/000867 WO2006131089A1 (de) | 2005-06-09 | 2006-05-19 | Positionierer mit festkörpergelenk |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008545977A JP2008545977A (ja) | 2008-12-18 |
JP4757912B2 true JP4757912B2 (ja) | 2011-08-24 |
Family
ID=36869862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008515038A Active JP4757912B2 (ja) | 2005-06-09 | 2006-05-19 | 一体型接合部を備えた位置決め装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7579752B2 (ja) |
EP (1) | EP1894258B1 (ja) |
JP (1) | JP4757912B2 (ja) |
AT (1) | ATE410790T1 (ja) |
DE (2) | DE102005026708B4 (ja) |
WO (1) | WO2006131089A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013201604B4 (de) * | 2013-01-31 | 2014-10-23 | Picofine GmbH | Kippvorrichtung und Verfahren zum Kippen |
CN103618473B (zh) * | 2013-11-27 | 2016-08-17 | 苏州大学 | 一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台 |
JP6406593B2 (ja) * | 2013-12-28 | 2018-10-17 | 株式会社ミクロブ | 駆動機構 |
CN104079204B (zh) * | 2014-06-19 | 2016-05-04 | 哈尔滨工程大学 | 跨行程精密定位操作台 |
DE102014014997B4 (de) | 2014-10-09 | 2018-05-17 | Attocube Systems Ag | Haft-Gleit-Antrieb, insbesondere piezo-aktuierter Trägheitsantrieb |
DE102014221001A1 (de) | 2014-10-16 | 2016-04-21 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen und/oder rotatorischen Positionierung |
DE102019200943B4 (de) | 2019-01-25 | 2020-10-08 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Elektromechanischer Linearantrieb |
DE102020118300A1 (de) | 2020-07-10 | 2022-01-13 | SmarAct Holding GmbH | Trägheitsantrieb und entsprechendes Verfahren |
CN113721005A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-11-30 | 深圳市国赛生物技术有限公司 | 分析仪 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6468691A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-14 | Toshiba Corp | Positioning apparatus |
JPS6468981A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-15 | Hitachi Metals Ltd | Manufacture of composite piezoelectric material |
US5912527A (en) * | 1996-08-05 | 1999-06-15 | Dr. Khaled Karrai Und Dr. Miles Haines Gesellschaft Burgerlichen Rechts | Inertial positioner |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63299785A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-07 | Res Dev Corp Of Japan | 圧電・電歪素子を用いた衝撃力による微小移動装置 |
DE3933296C2 (de) * | 1988-12-28 | 1994-06-01 | Prima Meat Packers Ltd | Mikromanipulator |
FR2702895B1 (fr) * | 1993-03-19 | 1995-04-21 | Renault | Système d'entraînement linéaire utilisant des actionneurs piézoélectriques. |
DE19644550C1 (de) * | 1996-10-26 | 1998-06-10 | Artur Dr Zrenner | Piezoelektrischer oder elektrostriktiver Trägheitsantrieb zum Verschieben oder Positionieren von insbesondere schweren Objekten |
TW360115U (en) * | 1998-03-12 | 1999-06-01 | Ind Tech Res Inst | Micro-positioning platform |
US6870304B2 (en) * | 2000-03-23 | 2005-03-22 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
GB2369489B (en) * | 2000-11-23 | 2004-03-10 | Khaled Karrai | Inertial rotation device |
-
2005
- 2005-06-09 DE DE102005026708A patent/DE102005026708B4/de active Active
-
2006
- 2006-05-19 EP EP06753183A patent/EP1894258B1/de active Active
- 2006-05-19 WO PCT/DE2006/000867 patent/WO2006131089A1/de active Application Filing
- 2006-05-19 JP JP2008515038A patent/JP4757912B2/ja active Active
- 2006-05-19 DE DE502006001782T patent/DE502006001782D1/de active Active
- 2006-05-19 AT AT06753183T patent/ATE410790T1/de active
-
2007
- 2007-12-07 US US12/000,099 patent/US7579752B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6468981A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-15 | Hitachi Metals Ltd | Manufacture of composite piezoelectric material |
JPS6468691A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-14 | Toshiba Corp | Positioning apparatus |
US5912527A (en) * | 1996-08-05 | 1999-06-15 | Dr. Khaled Karrai Und Dr. Miles Haines Gesellschaft Burgerlichen Rechts | Inertial positioner |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102005026708B4 (de) | 2007-05-03 |
EP1894258B1 (de) | 2008-10-08 |
DE502006001782D1 (de) | 2008-11-20 |
DE102005026708A1 (de) | 2006-12-21 |
JP2008545977A (ja) | 2008-12-18 |
US20080148589A1 (en) | 2008-06-26 |
EP1894258A1 (de) | 2008-03-05 |
US7579752B2 (en) | 2009-08-25 |
ATE410790T1 (de) | 2008-10-15 |
WO2006131089A1 (de) | 2006-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4757912B2 (ja) | 一体型接合部を備えた位置決め装置 | |
KR101504048B1 (ko) | 부착 메커니즘 | |
US7656073B2 (en) | Driving device | |
US10250164B2 (en) | Inertial drive | |
JP5673649B2 (ja) | レンズ駆動装置 | |
US7567017B2 (en) | Piezoelectric linear motor with displacement amplifying means | |
CN110730918B (zh) | 调节装置 | |
US20120098388A1 (en) | Dome-shaped piezoelectric linear motor | |
JP3826137B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2012029495A (ja) | 駆動装置 | |
WO2010041663A1 (ja) | ステージ駆動装置 | |
KR102294805B1 (ko) | 렌즈 구동장치, 카메라 장치 및 전자기기 | |
JPWO2007032254A1 (ja) | 駆動機構および光ヘッド | |
JP6650637B2 (ja) | アクチュエータおよびステージ装置 | |
JP4742519B2 (ja) | 電気機械変換素子を用いた駆動装置 | |
JP4444395B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
KR101021285B1 (ko) | 압전 액츄에이터를 구비하는 초정밀 회전 위치결정 장치 | |
JP4574731B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
JP7228689B2 (ja) | リニアドライブ | |
JP5183131B2 (ja) | 超音波モータ | |
US8390171B2 (en) | Ultrasonic motor mechanism | |
JP4467538B2 (ja) | 光ピックアップ装置 | |
JP2005287167A (ja) | 駆動装置 | |
JP3732101B2 (ja) | 傾動装置 | |
RU2624773C1 (ru) | Усиливающий пьезоэлектрический актюатор повышенной точности позиционирования |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110601 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4757912 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140610 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |