JP4743663B2 - 除振装置及び除振方法 - Google Patents
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- 除振対象物の振動を除振する空気ばね式アクチュエータと、
前記空気ばね式アクチュエータに搭載され、その可動部に前記除振対象物が載置されたパラレルメカニズムと、
前記空気ばね式アクチュエータの鉛直方向の移動成分が前記除振対象物の鉛直方向の移動成分と等しくなるように前記パラレルメカニズムを駆動して前記可動部の姿勢を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする除振装置。 - 前記パラレルメカニズムは、少なくも4本の直動型アクチュエータを有し、ピッチング方向、及びローリング方向の4自由度を持つリニア駆動アクチュエータであることを特徴とする請求項1に記載の除振装置。
- 前記パラレルメカニズムは、少なくも5本の直動型アクチュエータを有し、ピッチング方向、ローリング方向、及び鉛直方向の5自由度を持つリニア駆動アクチュエータであることを特徴とする請求項1に記載の除振装置。
- 前記パラレルメカニズムは、少なくも6本の直動型アクチュエータを有し、ピッチング方向、ローリング方向、鉛直方向、及びヨーイング方向の6自由度を持つリニア駆動アクチュエータであることを特徴とする請求項1に記載の除振装置。
- 空気ばね式アクチュエータに搭載されたパラレルメカニズムの可動部に除振対象物を載置し、
前記空気ばね式アクチュエータの鉛直方向の移動成分が前記除振対象物の鉛直方向の移動成分と等しくなるように前記パラレルメカニズムを駆動して前記可動部の姿勢を制御部により制御した後、
前記空気ばね式アクチュエータを駆動して前記除振対象物の振動を除振することを特徴とする除振方法。
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