JP4742511B2 - 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 - Google Patents
塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4742511B2 JP4742511B2 JP2004110234A JP2004110234A JP4742511B2 JP 4742511 B2 JP4742511 B2 JP 4742511B2 JP 2004110234 A JP2004110234 A JP 2004110234A JP 2004110234 A JP2004110234 A JP 2004110234A JP 4742511 B2 JP4742511 B2 JP 4742511B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- pressure
- die
- substrate
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 198
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 181
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 88
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 100
- 239000002585 base Substances 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 12
- 238000009500 colour coating Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 5
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 239000005002 finish coating Substances 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- -1 titanic acid nitride Chemical class 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
370×470mmで厚さ0.7mmの無アルカリガラス基板を洗浄後に、ダイコータ1を用いて塗布をした。ダイは吐出口の長手方向長さが370mm、吐出口面の塗布方向長さが0.5mm、スリットの間隙が100μmで、基板に370mm幅の塗布膜が形成できるものであり、塗布速度は100mm/sにした。シリンジポンプ50にはシリンジ内径がφ16mmのものを用いた。また塗布液は液晶TFTの製造の用いられるポジレジストで、固形分濃度23%、粘度が10mPaSであった。シリンジポンプ50のピストン52の動作速度は、真空乾燥後の厚さが1.5μmになるように、1.2mm/sに設定した。そして、まず、ダイ20を停止している基板の塗布開始部に近接させ、ダイ20の吐出口面36と基板との間のすきまであるクリアランスを100μmにした。クリアランス設定後にピストン54を1.2mm/sで動作開始した。そしてピストン動作開始から待機時間t=0.1秒後にステージ6の動作も開始して塗布を行い、基板端(塗布開始位置)から465mmのガラス基板の位置にダイ20の吐出口34がきたときに、シリンジポンプ50を停止した。その後、基板端から470mmのガラス基板位置が吐出口34の真下に来たところで、ダイ20を塗布終了のために引き上げた。以上の塗布後に、27秒で到達真空度65Paの真空乾燥を行った。そして塗布方向の膜厚分布を、光干渉式の膜厚計で測定し、図4に破線で示す膜厚分布を得た。このときの膜厚精度Uを、端部10mmを除く領域でU=(最大値−最小値)/(2×平均値)で求め、3.4%の値を得た。目標が3%未満であり、膜厚分布を見ると図4の破線のように、塗布開始部がかなりのアンダーシュートとなった。圧力計48で塗布開始時の圧力を測定したところ、図5(a)の破線に示すように、開始部は膜厚分布と同様なアンダーシュートとなった。シリンジポンプ50のピストンの動作速度は、図5(b)の破線に示すように制御していたが、圧力の開始部アンダーシュートを解消するために、図5(b)の実線のように、ピストン速度を、動作開始から0.1秒後に、目標膜厚塗布時のピストン速度1.2mm/sに対して1.5倍の大きさである1.8mm/sに、さらにその0.1秒後に目標膜厚塗布時のピストン速度である1.2mm/sになるよう調整した。まず圧力を測定したところ、図5(a)の実線のようになり、アンダーシュートは解消された。同じピストン動作速度パターンで再度塗布を行い、真空乾燥後に膜厚分布を実施例1と同様に測定したところ、図4の実線に示すものとなり、アンダーシュートが解消されているとともに、膜厚精度Uも端部10mm除外で2.5%となり、目標の3%以下を達成した。
実施例2
ダイコータ1を用いてカラーフィルターを製造した。
2 基台
4 ガイドレール
6 ステージ
10 支柱
20 ダイ(塗布器)
22 フロントリップ
24 リアリップ
26 マニホールド
28 スリット
32 シム
34 吐出口
36 吐出口面
40 塗布液供給装置
42 供給バルブ
44 吸引バルブ
46 フィルター
47 絞りバルブ
48 圧力計
50 シリンジポンプ
52 シリンジ
54 ピストン
56 本体
60 供給ホース
62 吸引ホース
64 タンク
66 塗布液
68 圧空源
70 上下昇降ユニット
72 モータ
74 ガイド
78 昇降台
80 吊り下げ保持台
90 拭き取りユニット
92 拭き取りヘッド
94 ブラケット
96 スライダー
98 駆動ユニット
100 トレイ
102 台車
120 厚さセンサー
122 支持台
130 制御装置
132 操作盤
A 基板(被塗布部材)
B ビード
C 塗布膜
Claims (3)
- 一方向に延びる吐出口を有する塗布器を被塗布部材に近接させ、定容量ポンプから塗布器に粘度が1〜50mPaSの塗布液を供給して被塗布部材に塗布器から塗布液を吐出するとともに、被塗布部材の塗布器に対する相対移動をして、被塗布部材上に塗膜を形成する塗布方法において、予め塗布時と同じ条件にて定容量ポンプから塗布器に至る経路中で塗布時の圧力を検知する予備試験を繰り返し、前記検知した圧力波形形状が所望の形状になるように、前記定容量ポンプの機械駆動部の動作速度を目標とする膜厚をえるための動作速度に達するよう立ち上げる時に、圧力波形の立上げ時間よりも短い任意の時間間隔ごとに、アンダーシュートする動作速度に達するように変化させて行うことで各パラメータを定めた後に、圧力を制御して実際の塗布をすることを特徴とする塗布方法。
- 塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、塗布器に粘度が1〜50mPaSの塗布液を供給する定容量ポンプと、被塗布部材を保持する載置台と、前記塗布器および載置台のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段と、塗布器を被塗布部材に近接させる近接手段とを備えて、被塗布部材に塗膜を形成する塗布装置であって、さらに定容量ポンプから塗布器に至る経路中に圧力検知器を設けるとともに、予備試験で予め塗布時と同じ条件にて該圧力検知器により検知した圧力波形形状を所望の形状になるように、前記定容量ポンプの機械駆動部の動作速度を目標とする膜厚をえるための動作速度に達するよう立ち上げる時に、圧力波形の立上げ時間よりも短い任意の時間間隔ごとに、アンダーシュートする動作速度に達するように変化させて行うことで各パラメータを定めて、実際の塗布の圧力を制御する圧力制御装置を備えたことを特徴とする塗布装置。
- 請求項1に記載の塗布方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004110234A JP4742511B2 (ja) | 2004-04-02 | 2004-04-02 | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004110234A JP4742511B2 (ja) | 2004-04-02 | 2004-04-02 | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005288387A JP2005288387A (ja) | 2005-10-20 |
JP4742511B2 true JP4742511B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=35321942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004110234A Expired - Lifetime JP4742511B2 (ja) | 2004-04-02 | 2004-04-02 | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4742511B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008173526A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
JP5338071B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2013-11-13 | 東レ株式会社 | 塗布方法および塗布装置並びに液晶ディスプレイ用部材の製造方法 |
JP2012226038A (ja) * | 2011-04-18 | 2012-11-15 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 光学フィルムの製造方法、偏光板および画像表示装置 |
JP6098282B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2017-03-22 | 日本電気株式会社 | 間欠塗布装置及び間欠塗布方法 |
JP6304617B2 (ja) * | 2013-09-09 | 2018-04-04 | 兵神装備株式会社 | 流体塗布システムおよび流体塗布方法 |
JP6213102B2 (ja) * | 2013-09-26 | 2017-10-18 | 日本電気株式会社 | 送液装置 |
JP5782172B1 (ja) * | 2014-10-29 | 2015-09-24 | 中外炉工業株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
JP6426491B2 (ja) * | 2015-02-13 | 2018-11-21 | 中外炉工業株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
JP2018008216A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 株式会社テクノスマート | 塗工装置 |
JP7399737B2 (ja) * | 2020-02-13 | 2023-12-18 | 株式会社安川電機 | 塗料供給装置、ロボット、吐出制御システム、吐出制御方法、および吐出制御プログラム |
JP7492992B2 (ja) | 2022-07-21 | 2024-05-30 | 株式会社Screenホールディングス | 塗布方法、プログラムおよび記録媒体 |
JP7492993B2 (ja) | 2022-07-21 | 2024-05-30 | 株式会社Screenホールディングス | 制御パラメータ調整方法、プログラムおよび記録媒体 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2693043B2 (ja) * | 1991-01-22 | 1997-12-17 | 旭有機材工業株式会社 | ダイヤフラムバルブ |
JPH0531434A (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-09 | Sony Corp | 塗布装置 |
JPH11156270A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-06-15 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 塗工装置 |
JP4294757B2 (ja) * | 1998-06-18 | 2009-07-15 | 平田機工株式会社 | スリットコート式塗布装置及びスリットコート式塗布方法 |
JP4366757B2 (ja) * | 1999-05-27 | 2009-11-18 | 東レ株式会社 | 塗布装置、塗布方法ならびにプラズマディスプレイまたはディスプレイ用部材の製造方法 |
JP2002086044A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-03-26 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材およびプラズマディスプレイの製造方法およびその製造装置 |
-
2004
- 2004-04-02 JP JP2004110234A patent/JP4742511B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005288387A (ja) | 2005-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5061421B2 (ja) | 塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 | |
US7622004B2 (en) | Slit die, and method and device for producing base material with coating film | |
JP4742511B2 (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
KR100369571B1 (ko) | 도포방법및도포장치 | |
US7169229B2 (en) | Moving head, coating apparatus | |
TWI270414B (en) | Method of manufacturing substrate having resist film | |
KR101311841B1 (ko) | 청소 부재와 도포기의 청소 방법 및 청소 장치 및 디스플레이용 부재의 제조 방법 | |
JP2014180604A (ja) | 間欠塗布装置および間欠塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP4876820B2 (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2004223439A (ja) | 塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2002086044A (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材およびプラズマディスプレイの製造方法およびその製造装置 | |
JP4218376B2 (ja) | 塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2008075537A (ja) | 脈動吸収装置、それを用いた塗布方法および塗布装置並びに液晶ディスプレイ用部材の製造方法 | |
KR20070074269A (ko) | 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드 | |
TW201138982A (en) | Method of setting dispensing conditions of dispenser and dispenser using the same | |
JP2008114137A (ja) | 塗布器、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造装置および製造方法 | |
JP3139377B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法ならびにカラーフィルタの製造装置および製造方法 | |
JP4006799B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置 | |
JP2012192332A (ja) | 塗布装置、塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP4868269B2 (ja) | 塗布方法およびカラーフィルターの製造方法 | |
JP2001252609A (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置 | |
KR101089748B1 (ko) | 도포장치의 제어 방법 | |
JP3561998B2 (ja) | 枚葉塗工方法およびその装置 | |
JP2010069375A (ja) | 塗布器、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造装置および製造方法 | |
JP3588837B2 (ja) | 枚葉塗工方法およびその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070330 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110412 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110425 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4742511 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 3 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |