JP4741621B2 - Electronic component sealing substrate, electronic device using the same, and electronic device manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、電子部品の微小電子機械機構を封止するための電子部品封止用基板、およびそれを用いて電子部品の微小電子機械機構を封止することにより形成される電子装置、およびそのような電子装置の製造方法に関する。 The present invention relates to an electronic component sealing substrate for sealing a micro electro mechanical mechanism of an electronic component, an electronic device formed by sealing the micro electro mechanical mechanism of an electronic component using the same, and the same The present invention relates to a method for manufacturing such an electronic device.
近年、シリコンウェハ等の半導体基板の主面に、半導体集積回路素子等の微細配線を形成する加工技術を応用して、極めて微小な電子機械機構、いわゆるMEMS(Micro Electromechanical System)を形成した電子部品が注目され、実用化に向けて開発が進められている。 2. Description of the Related Art In recent years, an electronic component in which a very small electromechanical mechanism, so-called MEMS (Micro Electromechanical System), is formed by applying a processing technique for forming fine wiring such as a semiconductor integrated circuit element on the main surface of a semiconductor substrate such as a silicon wafer. Has been attracting attention, and is being developed for practical use.
このような微小電子機械機構としては、加速度計,圧力センサ,アクチュエータ等のセンサや、微細な鏡面体を可動式に形成したマイクロミラーデバイス,光デバイスあるいはマイクロポンプ等を組み込んだマイクロ化学システム等の非常に広い分野にわたるものが試作、開発されている。 Such micro-electromechanical mechanisms include sensors such as accelerometers, pressure sensors, actuators, micro-mirror devices with movable micro-mirrors, optical devices or micro-chemical systems incorporating micro-pumps, etc. Prototypes have been developed and developed over a very wide field.
そのような微小電子機械機構を形成した電子部品を用いて電子装置を構成するための従来の電子部品封止用基板およびそれを用いて成る電子装置の一例を図4に断面図で示す。図4に示す例では、微小電子機械機構22が形成された半導体基板21の主面には、微小電子機械機構22に電力を供給したり、微小電子機械機構22から外部電気回路に電気信号を送り出したりするための電極23が微小電子機械機構22と電気的に接続されて形成されており、これら半導体基板21,微小電子機械機構22および電極23により、1つの電子部品24が構成される。
FIG. 4 is a cross-sectional view of an example of a conventional electronic component sealing substrate for configuring an electronic device using an electronic component having such a micro-electromechanical mechanism and an electronic device using the same. In the example shown in FIG. 4, power is supplied to the main surface of the
なお、このような電子部品24は、通常、後述するように、半導体基板21の主面に多数個が縦横に配列形成された多数個取りの形態で形成された後、個々の半導体基板21に切断することにより製作されるので、この切断の際に切削粉等の異物が微小電子機械機構22に付着して作動の妨げになることを防止するために、ガラス板25等で覆われて保護されている。
Note that such an
そして、この電子部品24を、電子部品収納用の凹部Aを有する電子部品収納用パッケージ(以下、パッケージともいう)31の凹部A内に収納するとともに、電子部品24の電極23をパッケージ31の電極パッド32にボンディングワイヤ33等の導電性接続材を介して接続した後、パッケージ31の凹部Aを蓋体34で覆って電子部品24を凹部A内に気密封止することにより、電子装置として完成する。この場合、電子部品24は、微小電子機械機構22の動作を妨げないようにするため、中空状態で気密封止する必要がある。
The
この電子装置について、あらかじめパッケージ31の電極パッド32から外表面に導出するようにして形成しておいた配線導体35の導出部分を外部電気回路に接続することにより、気密封止された微小電子機械機構22が、電極23,ボンディングワイヤ33,電極パッド32および配線導体35を介して外部電気回路と電気的に接続される。
For this electronic device, a microelectronic machine hermetically sealed by connecting a lead-out portion of the
また、このような電子部品24は、通常、広面積の半導体基板の主面に多数個を縦横に配列形成させることにより製作されており、この場合の電子装置の製造方法は、従来、以下のようなものであった。すなわち、半導体基板の主面に、微小電子機械機構22およびこれに電気的に接続された電極23が形成されて成る電子部品領域を多数個縦横に配列形成した電子部品を準備する工程1と、各電子部品24の微小電子機械機構22を、その周囲が中空状態となるようにして、ガラス板25等で覆って封止する工程2と、半導体基板にダイシング加工等の切断加工を施して、個々の電子部品24に分割する工程3と、個々の電子部品24を、パッケージ31内に気密封止する工程4と、により製作される。
In addition, such an
このような従来の製造方法においては、半導体基板の主面に配列形成された多数の電子部品領域の1個ずつをガラス板25等で封止して保護しておく必要があること、また、一旦ガラス板25で封止した電子部品24を、個片の電子部品24に分割した後、改めてパッケージ31内に気密封止するとともに、その電極23をパッケージ31の電極パッド32等に接続して外部接続させる必要があること等のため、生産性が悪く、実用化が難しいという問題があった。
In such a conventional manufacturing method, it is necessary to seal and protect each of a large number of electronic component regions arranged on the main surface of the semiconductor substrate with a
この問題に対し、半導体基板の主面に配列形成された多数個の微小電子機械機構22を一括して覆い、封止するような基板が提案されている。このような封止用の基板としては、半導体基板を材料とするものや導電性の金属板等を材料にするもの等が知られている。
To solve this problem, a substrate has been proposed in which a large number of
半導体基板を材料とする場合は、例えば、主面に多数個の電子部品領域が配列形成された第1の半導体基板とは別に、この電子部品領域の配列に対応させて多数の凹部を配列形成した封止用の第2の半導体基板を準備し、第1の半導体基板の主面上に第2の半導体基板を、第2の半導体基板の凹部が第1の半導体基板の電子部品領域を覆うようにして接合し、第2の半導体基板の内側に第1の半導体基板の電子部品領域(特に微小電子機械機構)を封止するようにした技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 In the case of using a semiconductor substrate as a material, for example, apart from the first semiconductor substrate in which a large number of electronic component regions are arranged on the main surface, a large number of recesses are formed corresponding to the arrangement of the electronic component regions. The second semiconductor substrate for sealing is prepared, the second semiconductor substrate is covered on the main surface of the first semiconductor substrate, and the concave portion of the second semiconductor substrate covers the electronic component region of the first semiconductor substrate. Thus, a technique has been proposed in which the electronic component region (especially the microelectromechanical mechanism) of the first semiconductor substrate is sealed inside the second semiconductor substrate (see, for example, Patent Document 1). ).
また、導電性を有する金属板を材料とする場合には、導電性を有するカバー用の金属板にパターン溝を形成するとともに、このパターン溝をガラスやセラミック材料で充填して平坦化させた後、その上にボンディングパターン(電極パッド等)を形成し、このボンディングパターンに電子部品の電極を接続するとともに金属板を半導体基板の主面に接合し、その後、電子部品領域をセラミックやガラス等で封着するとともに、ボンディングパターンを外部に導出するための外部配線用電極パターンを形成するようにした技術が提案されている(例えば、特許文献2参照)。 When a conductive metal plate is used as a material, a pattern groove is formed in the conductive cover metal plate, and the pattern groove is filled with glass or a ceramic material and flattened. Then, a bonding pattern (electrode pad, etc.) is formed thereon, the electrodes of the electronic component are connected to the bonding pattern, and a metal plate is bonded to the main surface of the semiconductor substrate. Thereafter, the electronic component region is made of ceramic or glass, etc. A technique has been proposed in which an electrode pattern for external wiring is formed for sealing and for leading out a bonding pattern to the outside (see, for example, Patent Document 2).
また、微小電子機械機構、いわゆるMEMS(Micro Electromechanical System)を形成した電子部品においては、近年、低電圧駆動かつ高速化が行われるようになってきており、電子部品の外部から侵入する高調波ノイズの影響を受けやすいと同時に、配線導体を伝播する信号に含まれる高調波ノイズが電子部品の外部に放出され易いものとなってきている。
しかしながら、上記従来の封止用基板を用いて半導体基板の主面の電子部品領域を封止する場合、多数個の電子部品領域を一括して封止することはできるものの、例えば、半導体基板を材料とした封止用基板の場合であれば、半導体基板の内部に3次元的な配線導体を形成することができないため、封止用の第2の半導体基板の、電子部品領域が配列形成された第1の半導体基板に接合される主面から対向する他方主面にかけて配線導体を導出することができず、電子部品の電極は、第1の半導体基板の主面に形成された電極の一部を封止部の外側に延出させるとともに、この延出部をボンディングワイヤを介してパッケージの電極パッドや外部電気回路に接続する必要がある。そのため、実装工程(電子部品領域の封止から電子装置として完成させて外部電気回路に接続するまでの工程)が長く、また、個々の電子装置のサイズが大きくなってしまうという問題があった。また、電子装置を組み込んだ電子システムの小型化に有利な表面実装ができないという問題もあった。 However, when the electronic component region on the main surface of the semiconductor substrate is sealed using the conventional sealing substrate, a large number of electronic component regions can be collectively sealed. In the case of the sealing substrate made of the material, since the three-dimensional wiring conductor cannot be formed inside the semiconductor substrate, the electronic component region of the second semiconductor substrate for sealing is arranged and formed. The wiring conductor cannot be led out from the main surface bonded to the first semiconductor substrate to the other main surface facing the first semiconductor substrate, and the electrode of the electronic component is one of the electrodes formed on the main surface of the first semiconductor substrate. It is necessary to extend the portion to the outside of the sealing portion and to connect the extended portion to an electrode pad of the package or an external electric circuit via a bonding wire. Therefore, the mounting process (the process from sealing the electronic component region to completing the electronic device and connecting it to the external electric circuit) is long, and there is a problem that the size of each electronic device is increased. There is also a problem that surface mounting that is advantageous for downsizing an electronic system incorporating an electronic device cannot be performed.
また、導電性の金属板等を材料とした封止用基板の場合、金属板に電極パッド等の導体パターンを形成することができるように、一旦ガラスやセラミックスで金属板の表面に形成したパターン溝等を埋めて絶縁部を形成したり、その絶縁部の表面に実装工程の途中で導体部を形成したりする必要があるため、この場合も電子部品の実装工程を短くすることが困難であるという問題があった。 In the case of a sealing substrate made of a conductive metal plate or the like, a pattern once formed on the surface of the metal plate with glass or ceramics so that a conductor pattern such as an electrode pad can be formed on the metal plate. In this case, it is difficult to shorten the mounting process of the electronic component because it is necessary to form an insulating part by filling a groove or the like, or to form a conductor part on the surface of the insulating part in the middle of the mounting process. There was a problem that there was.
さらに、微小電子機械機構(MEMS)を形成した電子部品においては、近年、低電圧駆動かつ高速化が行われるようになってきており、電子部品の外部から侵入する高調波ノイズの影響を受けやすいと同時に、配線導体を伝播する信号に含まれる高調波ノイズが電子部品の外部に放出され易いものとなってきていることから、電子部品の外部の近接位置にノイズ発生源があると絶縁基板に被着形成された配線導体を伝播する信号に電磁波ノイズが入り込み、微小電子機械機構に伝播されて誤動作させてしまう。また、電子部品の外部の近傍位置に電磁波ノイズに対して影響を受け易い電子機器等があると、電子部品より放出された電磁波ノイズがこの電子機器等に悪影響を及ぼすという問題があった。 Furthermore, in recent years, electronic components formed with micro-electromechanical mechanisms (MEMS) have been driven at a low voltage and speeded up, and are easily affected by harmonic noise entering from outside the electronic components. At the same time, harmonic noise contained in the signal propagating through the wiring conductor is becoming more likely to be emitted to the outside of the electronic component. Therefore, if there is a noise source outside the electronic component, the insulating substrate Electromagnetic wave noise enters the signal propagating through the deposited wiring conductor and propagates to the microelectromechanical mechanism, causing malfunction. In addition, when there is an electronic device or the like that is easily affected by electromagnetic noise at a position near the outside of the electronic component, there is a problem that the electromagnetic noise emitted from the electronic component has an adverse effect on the electronic device or the like.
本発明は上記従来の技術における諸問題に鑑みて完成されたものであり、その目的は、半導体基板の主面に形成された微小電子機械機構を容易かつ確実に封止することができるとともに、この微小電子機械機構と接続された半導体基板の主面に形成されている電極を容易かつ確実に、例えば表面実装が可能な形態で外部接続させることができ、かつ微小電子機械機構を形成した電子部品の外部から侵入する高調波ノイズの影響を受けにくいと同時に、配線導体を伝播する信号に含まれる高調波ノイズが電子部品の外部に放出されにくい電子部品封止用基板を提供することにある。 The present invention has been completed in view of the above-described problems in the prior art, and its purpose is to easily and reliably seal the microelectromechanical mechanism formed on the main surface of the semiconductor substrate, Electrodes formed on the main surface of the semiconductor substrate connected to the microelectromechanical mechanism can be externally connected easily and reliably, for example, in a form that can be surface-mounted, and the microelectromechanical mechanism is formed. To provide an electronic component sealing substrate that is not easily affected by harmonic noise entering from the outside of the component, and at the same time, the harmonic noise contained in the signal propagating through the wiring conductor is not easily emitted to the outside of the electronic component. .
また、本発明の他の目的は、このような微小電子機械機構および電極から成る電子部品領域が半導体基板の主面に多数個縦横に配列形成されていたとしても、これらを容易かつ確実に封止することが可能な封止用基板を提供するとともに、このような封止用基板を用いて、微小電子機械機構が封止されて成る多数個の電子装置を、例えば表面実装が可能な形態で一括して形成することが可能な電子装置の製造方法を提供することにある。 Another object of the present invention is to easily and surely seal even if a large number of electronic component regions composed of such micro-electromechanical mechanisms and electrodes are arranged vertically and horizontally on the main surface of the semiconductor substrate. The present invention provides a sealing substrate that can be stopped, and uses such a sealing substrate to form a large number of electronic devices in which a microelectromechanical mechanism is sealed, for example, in a surface mountable form. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an electronic device that can be collectively formed.
本発明の電子部品封止用基板は、半導体基板と該半導体基板の表面に設けられた微小電子機械機構と前記の表面に設けられるとともに前記の微小電子機械機構に電気的に接続される電極とを有する電子部品の前記の微小電子機械機構を封止するための電子部品封止用基板であって、一方主面から他方主面または側面に導出された配線導体が形成された絶縁基板と、該絶縁基板の前記の一方主面に形成された、前記の配線導体と電気的に接続される接続端子と、前記の絶縁基板の前記の一方主面に形成された、前記の微小電子機械機構を取り囲んで気密封止するための導電性枠状封止部と、該導電性枠状封止部に電気的に接続されて前記の絶縁基板に形成された接地用貫通導体とを有し、前記の接地用貫通導体は、平面視して、前記の微小電子機械機構を取り囲むように複数形成されており、前記接地用貫通導体の隣接間隔が前記電子部品で使用される高周波信号の波長の1/2以下である。
The electronic component sealing substrate of the present invention includes a semiconductor substrate, a microelectromechanical mechanism provided on the surface of the semiconductor substrate, an electrode provided on the surface and electrically connected to the microelectromechanical mechanism. An electronic component sealing substrate for sealing the micro-electromechanical mechanism of an electronic component having an insulating substrate on which a wiring conductor led out from one main surface to the other main surface or side surface is formed; A connection terminal electrically connected to the wiring conductor formed on the one main surface of the insulating substrate, and the microelectromechanical mechanism formed on the one main surface of the insulating substrate. A conductive frame-shaped sealing portion that surrounds and hermetically seals, and a grounding through conductor electrically connected to the conductive frame-shaped sealing portion and formed on the insulating substrate, The grounding through conductor is a microscopic electron in plan view. And a plurality of formed to surround the械mechanism, Ru der below half the wavelength of the high frequency signal adjacent interval of the ground through conductors are used in the electronic component.
前記の電子部品封止用基板において、好ましくは、前記の接地用貫通導体は、平面視して、前記の電極の周辺を囲むように形成されている。 In the electronic component sealing substrate, preferably, the grounding through conductor is formed so as to surround the periphery of the electrode in plan view.
前記の電子部品封止用基板において、好ましくは、前記の接続端子は、前記の導電性枠状封止部の内側に形成されている。 In the electronic component sealing substrate, it is preferable that the connection terminal is formed inside the conductive frame-shaped sealing portion.
前記の電子部品封止用基板において、好ましくは、前記の接地用貫通導体は、前記の絶縁基板の主面に垂直な直線部分を有する。 In the electronic component sealing substrate, it is preferable that the grounding through conductor has a linear portion perpendicular to the main surface of the insulating substrate.
前記の電子部品封止用基板において、好ましくは、前記の接続端子と前記の配線導体との間に接続パッドが設けられ、前記の導電性枠状封止部と前記の接地用貫通導体との間に導体層が設けられている。 In the electronic component sealing substrate, preferably, a connection pad is provided between the connection terminal and the wiring conductor, and the conductive frame-shaped sealing portion and the grounding through conductor are provided. A conductor layer is provided between them.
前記の電子部品封止用基板において、好ましくは、前記の接続パッドと前記の導体層は同一の材料からなる。 In the electronic component sealing substrate, the connection pad and the conductor layer are preferably made of the same material.
前記の電子部品封止用基板において、好ましくは、前記の接続端子と前記の導電性枠状封止部が多数個縦横に配列形成されている。 In the electronic component sealing substrate, a plurality of the connection terminals and the conductive frame-shaped sealing portions are preferably arranged in rows and columns.
本発明の電子装置は、半導体基板と該半導体基板の表面に設けられた微小電子機械機構と前記の表面に設けられるとともに前記の微小電子機械機構に電気的に接続される電極とを有する電子部品と、一方主面から他方主面または側面に導出された配線導体が形成された絶縁基板と、前記の電極と前記の配線導体とを電気的に接続する接続端子と、前記の半導体基板と前記の絶縁基板との間で前記の微小電子機械機構を取り囲んで気密封止する導電性枠状封止部と、前記の絶縁基板に形成された、前記の導電性枠状封止部に電気的に接続される接地用貫通導体とを有し、前記の接地用貫通導体は、平面視して、前記の微小電子機械機構を取り囲むように複数形成されており、前記接地用貫通導体の隣接間隔が、前記電子部品で使用される高周波信号の波長の1/2以下である。 Electronic device of the present invention, electrons having an electrode electrically connected to the microelectromechanical system with provided semiconductors substrate and the semiconductor substrate surface micro electronic mechanical system and the surface provided on the A component, an insulating substrate on which a wiring conductor led out from one main surface to the other main surface or side surface is formed, a connection terminal that electrically connects the electrode and the wiring conductor, and the semiconductor substrate A conductive frame-shaped sealing portion that surrounds the micro-electromechanical mechanism and hermetically seals with the insulating substrate, and an electric current is supplied to the conductive frame-shaped sealing portion that is formed on the insulating substrate. A plurality of the grounding through conductors are formed so as to surround the microelectromechanical mechanism in a plan view, and are adjacent to the grounding through conductors. The spacing is the high frequency used in the electronic component Is less than or equal to ½ of the wavelength of the issue.
前記の電子装置において、好ましくは、前記の接地用貫通導体は、前記の電極の周辺を囲むように形成されている。 In the electronic device, preferably, the grounding through conductor is formed so as to surround the periphery of the electrode.
前記の電子装置において、好ましくは、前記の接続端子は、前記の導電性枠状封止部の内側に形成されている。 In the electronic device, it is preferable that the connection terminal is formed inside the conductive frame-shaped sealing portion.
前記の電子装置において、好ましくは、前記の接地用貫通導体は、前記の絶縁基板の主面に垂直な直線部分を有する。 In the electronic device, it is preferable that the grounding through conductor has a straight portion perpendicular to the main surface of the insulating substrate.
本発明の電子装置の製造方法は、半導体基板の表面に、微小電子機械機構およびこれに電気的に接続された電極を有する電子部品領域を多数個縦横に配列形成した電子部品を準備する工程と、一方主面から他方主面または側面に導出された配線導体が形成された絶縁基板と、該絶縁基板の前記の一方主面に形成された、前記の配線導体と電気的に接続される接続端子と、前記の絶縁基板の前記の一方主面に形成された、前記の微小電子機械機構を取り囲んで気密封止するための導電性枠状封止部と、該導電性枠状封止部に電気的に接続されて前記の絶縁基板に形成された接地用貫通導体とを有し、前記の接地用貫通導体は、平面視して、前記の微小電子機械機構を取り囲むように複数形成されており、該接地用貫通導体の隣接間隔が前記電子部品で使用される高周波信号の波長の1/2以下である電子部品封止領域を多数個前記の電子部品の前記の電子部品領域に対応させて配列形成した電子部品封止用基板を準備する工程と、前記の電子部品を、前記の電極を前記の接続端子に接合するとともに、前記の微小電子機械機構の周囲の前記の半導体基板の前記の表面を前記の導電性枠状封止部に接合して、前記の微小電子機械機構を前記の導電性枠状封止部の内側に気密封止する工程と、互いに接合された前記の電子部品および前記の電子部品封止用基板を前記の電子部品封止領域毎に分割して、前記の電子部品封止領域に前記の電子部品領域が接合された個々の電子装置を得る工程とを具備する。
The method of manufacturing an electronic device according to the present invention includes a step of preparing an electronic component in which a plurality of electronic component regions having a microelectromechanical mechanism and electrodes electrically connected thereto are arranged in a vertical and horizontal direction on a surface of a semiconductor substrate. An insulating substrate on which a wiring conductor led out from one main surface to the other main surface or side surface is formed, and a connection formed on the one main surface of the insulating substrate and electrically connected to the wiring conductor A terminal, a conductive frame-shaped sealing portion formed on the one main surface of the insulating substrate for hermetically sealing the micro-electromechanical mechanism, and the conductive frame-shaped sealing portion And a plurality of the grounding through conductors are formed so as to surround the microelectromechanical mechanism in plan view. and, adjacent intervals of the ground through-conductor said electronic Prepare the electronic component sealing substrate for a large number of electronic
本発明の電子部品封止用基板によれば、半導体基板と該半導体基板の表面に設けられた微小電子機械機構と前記表面に設けられるとともに前記微小電子機械機構に電気的に接続される電極とを有する電子部品の前記微小電子機械機構を封止するための電子部品封止用基板であって、一方主面から他方主面または側面に導出された配線導体が形成された絶縁基板と、該絶縁基板の前記一方主面に形成された、前記配線導体と電気的に接続される接続端子と、前記絶縁基板の前記一方主面に形成された、前記微小電子機械機構を取り囲んで気密封止するための導電性枠状封止部と、該導電性枠状封止部に電気的に接続されて前記絶縁基板に形成された接地用貫通導体とを有する電子部品封止用基板であって、半導体基板の表面に微小電子機械機構およびこれに電気的に接続された電極が形成されている電子部品が、電極が接続端子に接合され、半導体基板の表面が導電性枠状封止部に接合されることによって、導電性枠状封止部の内側に電子部品の微小電子機械機構が気密封止されていることから、導電性枠状封止部を半導体基板の表面に接合させるだけで、電子部品の微小電子機械機構を、枠部材と絶縁基板とにより容易かつ確実に封止することができる。
According to the electronic component sealing substrate of the present invention, a semiconductor substrate, a microelectromechanical mechanism provided on the surface of the semiconductor substrate, an electrode provided on the surface and electrically connected to the microelectromechanical mechanism, An electronic component sealing substrate for sealing the microelectromechanical mechanism of an electronic component having an insulating substrate on which a wiring conductor led out from one main surface to the other main surface or side surface is formed; A connection terminal electrically connected to the wiring conductor formed on the one main surface of the insulating substrate, and an airtight seal surrounding the microelectromechanical mechanism formed on the one main surface of the insulating substrate. An electronic component sealing substrate having a conductive frame-shaped sealing portion for connecting to the conductive frame-shaped sealing portion and a grounding through conductor formed on the insulating substrate and electrically connected to the conductive frame-shaped sealing portion. , Micro-electromechanical mechanism on the surface of the semiconductor substrate And an electronic component on which an electrode electrically connected thereto is formed is bonded to the connection terminal, and the surface of the semiconductor substrate is bonded to the conductive frame-shaped sealing portion. Since the micro electro mechanical mechanism of the electronic component is hermetically sealed inside the stopper, the micro electro mechanical mechanism of the electronic component can be attached to the frame simply by joining the conductive frame-shaped sealing portion to the surface of the semiconductor substrate. The member and the insulating substrate can be easily and reliably sealed.
また、導電性枠状封止部の表面の高さが、接続パッド上に形成された接続端子の高さと同じである場合には、導電性枠状封止部の表面を半導体基板の表面に接合するときに、半導体基板の表面に形成されている電極を接続端子に容易かつ確実に接続することができる。また、この接続端子から接続パッドおよび配線導体を介して、電子部品の電極を外部に導出することもできる。 Further, when the height of the surface of the conductive frame-shaped sealing portion is the same as the height of the connection terminal formed on the connection pad, the surface of the conductive frame-shaped sealing portion is placed on the surface of the semiconductor substrate. When joining, the electrode formed on the surface of the semiconductor substrate can be easily and reliably connected to the connection terminal. Moreover, the electrode of an electronic component can also be derived | led-out outside from this connection terminal via a connection pad and a wiring conductor.
また、本発明の電子部品封止用基板は、例えば、セラミック多層配線基板等の絶縁基板を用いて形成したものとすることにより、配線導体を、接続パッドや枠部材が形成され接合されている一方主面から他方主面や側面にかけて、基板の内部や表面に自由に形成して導出させることができ、この導出された端部に外部接続用の金属バンプを取着させること等により、容易に表面実装することが可能な電子装置として完成させることができる。 Further, the electronic component sealing substrate of the present invention is formed by using an insulating substrate such as a ceramic multilayer wiring substrate, for example, so that the wiring conductor is bonded to the connection pad or the frame member. From one main surface to the other main surface or side surface, it can be freely formed on the inside or surface of the substrate and led out, and by attaching metal bumps for external connection to this derived end, etc. It can be completed as an electronic device that can be surface-mounted.
さらに、導電性枠状封止部と電気的に接続された接地用貫通導体を絶縁基板に設けたことから、安定したグランドネットワークが形成できるので、良好なシールド性を得ることができる。よって、微小電子機械機構を形成した電子部品の外部から侵入する高調波ノイズを有効に除去することができ、電子部品等を正常かつ安定に作動させるとともに、配線導体を伝播する信号に含まれる高調波ノイズが電子部品の外部に対して放出されにくい電子部品封止用基板を提供することができる。 Further, since the grounding through conductor electrically connected to the conductive frame-shaped sealing portion is provided on the insulating substrate, a stable ground network can be formed, and thus good shielding properties can be obtained. Therefore, it is possible to effectively remove harmonic noise that enters from the outside of the electronic component that forms the microelectromechanical mechanism, to operate the electronic component etc. normally and stably, and to include harmonics included in the signal propagating through the wiring conductor. An electronic component sealing substrate in which wave noise is less likely to be emitted to the outside of the electronic component can be provided.
また、本発明の電子部品封止用基板において、接地用貫通導体は、複数形成されているとともに、それらの隣接間隔が電子部品で使用される高周波信号の波長の1/2以下であることから、高周波グランドの不安定性から誘発される伝播モードのミスマッチが軽減される。また、導電性枠状封止部と接地用貫通導体が直接電気的に接続されているため、グランドネットワーク経路が短くなり、インダクタンス成分の増大を防ぐことができるので安定した接地状態を構成することができ、良好な電磁シールド性を保持することができる。よって、微小電子機械機構を形成した電子部品の外部から侵入する高調波ノイズの影響を受けにくいと同時に、配線導体を伝播する信号に含まれる高調波ノイズが電子部品の外部に放出されにくい電子部品封止用基板を得ることができる。
It Te electronic component sealing substrate smell of the invention, the ground through conductors, together formed with a plurality, their adjacent intervals is less than half of the wavelength of the high frequency signals used in the electronic component Therefore, the propagation mode mismatch induced by the instability of the high-frequency ground is reduced. In addition, since the conductive frame-shaped sealing portion and the grounding through conductor are directly electrically connected, the ground network path is shortened, and an increase in inductance component can be prevented, so that a stable grounding state is configured. And good electromagnetic shielding properties can be maintained. Therefore, an electronic component that is not easily affected by harmonic noise that enters from the outside of the electronic component that forms the microelectromechanical mechanism, and at the same time, that the harmonic noise included in the signal propagating through the wiring conductor is not easily emitted to the outside of the electronic component A sealing substrate can be obtained.
また、本発明の電子部品封止用基板において好ましくは、接続パッドおよび接続端子が内側に形成された導電性枠状封止部を多数個縦横に配列形成した場合には、半導体基板の主面に多数の電子部品領域が縦横に配列形成されていたとしても、これらを一括して外部接続が可能なようにして封止することができる。 Further, in the electronic component sealing substrate of the present invention, preferably, when a plurality of conductive frame-shaped sealing portions in which connection pads and connection terminals are formed are arranged in rows and columns, the main surface of the semiconductor substrate Even if a large number of electronic component regions are arranged vertically and horizontally, they can be sealed together so that they can be externally connected together.
本発明の電子装置の製造方法によれば、上記各工程を具備することから、互いに接合された電子部品および電子部品封止用基板から成る電子装置を、容易かつ確実に多数個製造することができる。また、互いに接合された電子部品および電子部品封止用基板を電子部品封止領域毎に分割することにより、電子部品封止領域に電子部品領域が接合されて成る個々の電子装置を多数個同時に製造することができる。この分割の際、電子部品領域の微小電子機械機構は封止用基板により封止されているので、ダイシング加工等による分割で発生するシリコン等の半導体基板の切削粉が微小電子機械機構に付着するようなことはなく、分割後の電子装置において微小電子機械機構を確実に作動させることができる。
According to the method for manufacturing an electronic device of the present invention, since each of the above steps is provided, a large number of electronic devices each including an electronic component and an electronic component sealing substrate bonded to each other can be manufactured easily and reliably. it can. In addition, by dividing the electronic component and the electronic component sealing substrate bonded to each other into each electronic component sealing region, a large number of individual electronic devices formed by bonding the electronic component region to the electronic component sealing region can be simultaneously performed. Can be manufactured. At the time of the division, the micro electro mechanical mechanism in the electronic component region is sealed by the sealing substrate, so that the cutting powder of the semiconductor substrate such as silicon generated by the dicing process or the like adheres to the micro electro mechanical mechanism. There is no such thing, and the micro electromechanical mechanism can be reliably operated in the divided electronic device.
また、分割して得られた電子装置は、絶縁基板の他方主面や側面に配線導体が導出されているので、この導出された端部に金属バンプ等の端子を取着するだけで、表面実装等により外部電気回路基板に実装することができるものとなり、実装の工程を非常に短く、かつ容易なものとすることができる電子装置となる。 Moreover, since the wiring conductor is led out to the other main surface or side surface of the insulating substrate, the electronic device obtained by dividing the surface can be obtained by simply attaching a terminal such as a metal bump to the lead end. The electronic device can be mounted on the external electric circuit board by mounting or the like, and the mounting process can be made extremely short and easy.
本発明の電子部品封止用基板およびそれを用いた電子装置の製造方法について以下に詳細に説明する。図1は本発明の電子部品封止用基板の実施の形態の一例を示す断面図である。図1において、1は絶縁基板、2は配線導体、3は接続パッド、4は枠部材、5は接続端子である。これら絶縁基板1,配線導体2,接続パッド3,枠部材4,接続端子5および接地用貫通導体12により電子部品封止用基板6が基本的に構成される。
The electronic component sealing substrate of the present invention and an electronic device manufacturing method using the same will be described in detail below. FIG. 1 is a sectional view showing an example of an embodiment of an electronic component sealing substrate of the present invention. In FIG. 1, 1 is an insulating substrate, 2 is a wiring conductor, 3 is a connection pad, 4 is a frame member, and 5 is a connection terminal. The insulating
この電子部品封止用基板6を用いて、半導体基板7の主面(図1の例では下面)に、微小電子機械機構8と電極9とを互いに電気的に接続するようにして形成して成る電子部品10を封止することにより、微小電子機械機構8が外部接続可能な状態で封止されてなる電子装置が形成される。
The electronic
本実施の形態における微小電子機械機構8は、例えば電気スイッチ,インダクタ,キャパシタ,共振器,アンテナ,マイクロリレー,光スイッチ,ハードディスク用磁気ヘッド,マイク,バイオセンサー,DNAチップ,マイクロリアクタ,プリントヘッド,加速度センサ,圧力センサなどの各種センサ、ディスプレイデバイスなどの機能を有する電子装置であり、半導体微細加工技術を基本としたいわゆるマイクロマシニング法で作る部品であり、1素子あたり10μm〜数百μm程度の寸法を有する。
The micro electro
絶縁基板1は、微小電子機械機構8を封止するための蓋体として機能するとともに、配線導体2,接続パッド3,枠部材4,接続端子5および接地用貫通導体12を形成するための基体として機能する。
The insulating
この絶縁基板1は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体,炭化珪素質焼結体,窒化珪素質焼結体,ガラスセラミックス焼結体等のセラミックス材料や、ポリイミド,ガラスエポキシ樹脂等の有機樹脂材料、セラミックスやガラス等の無機粉末をエポキシ樹脂等の有機樹脂で結合して成る複合材等により形成される。
The insulating
絶縁基板1は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウムとガラス粉末等の原料粉末をシート上に成形して成るグリーンシートを積層し、焼成することにより形成される。なお、絶縁基板1は、酸化アルミニウム質焼結体で形成するものに限らず、用途や気密封止する電子部品10の特性等に応じて適したものを選択することが好ましい。
If the insulating
例えば、絶縁基板1は、後述するように、枠部材4を介して半導体基板7と機械的に接合されるので、半導体基板7との接合の信頼性、つまり微小電子機械機構8の封止の気密性を高くするためには、ムライト質焼結体または例えばガラス成分の種類や添加量を調整することにより熱膨張係数を半導体基板7に近似させるようにした酸化アルミニウム−ホウ珪酸ガラス系等のガラスセラミックス焼結体等のような、半導体基板7との熱膨張係数の差が小さい材料で形成することが好ましい。
For example, since the insulating
また、絶縁基板1は、配線導体2により伝送される電気信号の遅延を防止するような場合には、ポリイミド,ガラスエポキシ樹脂等の有機樹脂材料、セラミックスやガラス等の無機粉末をエポキシ樹脂等の有機樹脂で結合して成る複合材、または、酸化アルミニウム−ホウ珪酸ガラス系や酸化リチウム系等のガラスセラミックス焼結体等のような比誘電率の小さい材料で形成することが好ましい。
Further, in the case of preventing the delay of the electrical signal transmitted by the
また、絶縁基板1は、封止する微小電子機械機構8の発熱量が大きく、この熱の外部への放散性を良好とするような場合には、窒化アルミニウム質焼結体等のような熱伝導率の大きな材料で形成することが好ましい。
Further, the insulating
また、絶縁基板1の一方主面に、電子部品10の微小電子機械機構8を内側に収めるような凹部1aを形成しておいてもよい。凹部1a内に微小電子機械機構8の一部を収めるようにしておくと、微小電子機械機構8を取り囲むための枠部材4の高さを低く抑えることができ、電子装置の低背化に有利なものとなる。
Further, a concave portion 1a may be formed on one main surface of the insulating
絶縁基板1の一方主面(微小電子機械機構8を封止する側)からは、他方主面または側面に配線導体2および接地用貫通導体12が導出されている。また、絶縁基板1の一方主面側の枠部材4の内側の部位には、配線導体2と接続された接続パッド3が形成されている。これらの配線導体2および接続パッド3は、接続パッド3上に形成される接続端子5を介して電子部品10の電極9と電気的に接続され、これを絶縁基板1の他方主面や側面に導出する機能を有する。
A
これらの配線導体2、接続パッド3および接地用貫通導体12は、銅,銀,金,パラジウム,タングステン,モリブデン,マンガン等の金属材料により形成される。この形成の手段としては、メタライズ層,めっき層,蒸着膜等として形成する手段、すなわち金属を薄膜層として被着させる手段等を用いることができる。例えば、タングステンのメタライズ層から成る場合であれば、タングステンのペーストを絶縁基板1となるグリーンシートに印刷してこれをグリーンシートとともに焼成することにより形成される。
The
接続端子5は、錫−銀系,錫−銀−銅系等の半田、金−錫ろう等の低融点ろう材、銀−ゲルマニウム系等の高融点ろう材、導電性有機樹脂、あるいはシーム溶接,電子ビーム溶接等の溶接法による接合を可能とするような金属材料等により形成されている。
The
この接続端子5を電子部品10の電極9に接合することにより、電子部品10の電極9が、接続端子5,接続パッド3および配線導体2を介して、絶縁基板1の他方主面または側面に導出される。そして、この導出された端部を外部電気回路に錫−鉛半田等を介して接合することにより、電子部品10の電極9が外部電気回路と電気的に接続される。
By joining the
また、絶縁基板1の一方主面には、接続パッド3を取り囲むようにして導電体から成る枠部材4が接合されている。枠部材4は、電子部品10の微小電子機械機構8をその内側に気密封止するための側壁として機能する。この枠部材4の主面(図1の例では上面)を電子部品10の主面(図1の例では下面)に接合させることにより、枠部材4の内側に微小電子機械機構8が気密封止される。なお、この場合、半導体基板7が底板となり、絶縁基板1が蓋体となる。
Further, a
枠部材4は、鉄−ニッケル−コバルト合金や鉄−ニッケル合金等の鉄−ニッケル系合金,無酸素銅,アルミニウム,ステンレス鋼,銅−タングステン合金,銅−モリブデン合金等の金属材料から成る。また、枠部材4は、酸化アルミニウム質焼結体,ガラスセラミックス焼結体等の無機系材料、あるいはPTFE(ポリテトラフルオロエチレン),ガラスエポキシ樹脂等の有機樹脂系材料等から成り、その表面にAu,Ag,Cu,Al,Pt,Pd等の金属層をめっき法等で形成した導電性被膜を形成したものであってもよい。
The
また、枠部材4の主面を電子部品10の半導体基板7の主面に接合する方法としては、錫−銀系等の半田,金−錫ろう等の低融点ろう材,銀−ゲルマニウム系等の高融点ろう材,導電性有機樹脂等の接合材を介して接合する方法、あるいはシーム溶接,電子ビーム溶接等の溶接法を用いることができる。
Further, as a method for joining the main surface of the
そして、半導体基板7の主面に微小電子機械機構8およびこれに電気的に接続された電極9が形成されて成る電子部品10について、電極9を接続端子5に接合し、半導体基板7の主面を枠部材4の主面に接合させることによって、枠部材4の内側に電子部品10の微小電子機械機構8が気密封止された電子装置が形成される。
Then, with respect to the
また、枠部材4が接合される絶縁基板1の一方主面に、接続パッド3と同様の材料により導体層3aを形成し、この導体層3aから絶縁基板1の他方主面にかけて枠部材4と電気的に接続された接地用貫通導体12が導出されている。この構成により、安定したグランドネットワークが形成できるため、良好な電磁シールド性を得ることができ、微小電子機械機構8を形成した電子部品10に外部から侵入する高調波ノイズを有効に除去することが可能となり、電子部品10等を正常かつ安定に作動させるとともに、配線導体2を伝播する信号に含まれる高調波ノイズが電子部品10の外部に対して放出されにくい電子部品封止用基板6を提供することができる。
In addition, a
さらに、枠部材4と電気的に接続された複数の接地用貫通導体12の隣接間隔が電子部品10で使用される高周波信号(数百MHz〜100GHz程度で特にはGHz帯域の高周波信号)の波長の1/2以下であることから、高周波グランドの不安定性から誘発される伝播モードのミスマッチが軽減される。また、導電体から成る枠部材と接地用貫通導体が直接、電気的に接続されているため、グランドネットワーク経路が短くなり、インダクタンス成分の増大を防ぐことができるので安定した接地状態とすることができ、良好な電磁シールド性を保持することができる。よって、微小電子機械機構8を形成した電子部品10が外部から侵入する高調波ノイズの影響を受けにくくなる同時に、配線導体2を伝播する信号に含まれる高調波ノイズが電子部品10の外部に放出されにくい電子部品封止用基板6を得ることができる。
Furthermore, the wavelength of a high frequency signal (a high frequency signal of about several hundred MHz to 100 GHz, particularly a GHz band) used in the
従って、電子部品10には常に正確な信号が配線導体2を介して伝播されることとなり、高速駆動される電子部品10を正常かつ安定に作動させることが可能となるとともに、本実施の形態による電子部品封止用基板6が使用された電子部品10は外部に対して電磁波ノイズを放出することもない。
Accordingly, an accurate signal is always propagated to the
本実施の形態において、複数の接地用貫通導体12は、絶縁基板1に微小電子機械機構8を取り囲むように形成されていることが好ましい。これにより、微小電子機械機構8に対してより良好な電気的な電磁シールド壁を形成することができる。また、複数の接地用貫通導体12は、少なくとも微小電子機械機構8が接続される電極9の周辺を囲むように形成されているのがよい。この場合、高周波信号が微小電子機械機構8に入出力される電極9の周辺を、複数の接地用貫通導体12で重点的に囲むことで、外部から侵入する高調波ノイズの影響を有効に抑制することができる。
In the present embodiment, the plurality of grounding through
上記の構成の電子部品10を有する本実施の形態の電子装置は、配線導体2および接地用貫通導体12の導出部分を、半田ボール等の外部端子11を介して外部電気回路に接続することにより、微小電子機械機構8が外部電気回路と電気的に接続される。この場合、接続端子5と電極9との接合、および枠部材4の主面と半導体基板7の主面との接合を一つの工程で確実かつ容易に行なうことを可能とするために、接続端子5の高さと枠部材4の高さとは同じ高さとしておく必要がある。
In the electronic device of the present embodiment having the
また、本実施の形態の電子部品封止用基板6は、図2に実施の形態の他の例を断面図で示すように、接続パッド3および枠部材4を広面積の母基板の一方主面に縦横に配列形成した、いわゆる多数個取りの形態としておくことが好ましい。なお、図2において、図1と同じ部位には同じ符号を付してある。
In addition, the electronic
このような多数個取りの形態としておくと、半導体基板7の主面に微小電子機械機構8およびこれに電気的に接続された電極9が多数個配列形成された、多数個取りの形態で製作される電子部品10を、多数個同時に気密封止することができ、生産性に優れたものとすることができる。また、半導体基板7の主面に微小電子機械機構8およびこれに電気的に接続された電極9が多数個配列形成された、多数個取りの形態で製作される電子部品10を一括して封止しておくと、半導体基板7(および電子部品封止用基板6)にダイシング加工等の切断加工を施して、個々の電子部品10(電子装置)に分割する際に、切断に伴って発生する切削粉等が微小電子機械機構8に付着してその作動を妨害するという不具合の発生を効果的に防止することができる。
In such a multi-cavity configuration, a
次に、電子部品封止用基板6を用いた電子装置の製造方法について、図3(a)〜(e)に基づいて説明する。図3は本発明の電子装置の製造方法の実施の形態の一例をそれぞれ工程順に示した断面図であり、図3において図1および図2と同じ部位には同じ符号を付してある。
Next, a method for manufacturing an electronic device using the electronic
まず、図3(a)に示すように、半導体基板7の主面に、微小電子機械機構8およびこれに電気的に接続された電極9が形成されて成る電子部品領域10aを多数個縦横に配列形成した多数個取りの電子部品10bを準備する。
First, as shown in FIG. 3A, a large number of
また、半導体基板7は例えば単結晶や多結晶等のシリコン基板から成る。このシリコン基板の表面に酸化シリコン層を形成するとともに、フォトリソグラフィ等の微細配線加工技術を応用して、微小な振動体等の微小電子機械機構8および円形状パターン等の導体から成る電極9が形成された電子部品領域10aを多数個配列形成することにより、多数個取りの電子部品10bが形成される。なお、この例においては、微小電子機械機構8と電極9とは、それぞれ半導体基板7の主面に形成された微細配線(図示せず)を介して電気的に接続されている。
The
次に、図3(b)に示すように、一方主面から他方主面または側面に導出された配線導体2が形成された絶縁基板1と、この絶縁基板1の一方主面に形成された、配線導体2と電気的に接続された接続パッド3と、絶縁基板1の一方主面に接続パッド3を取り囲むようにして接合された枠部材4と、接続パッド3上に形成された、枠部材4と同じ高さの接続端子5とから成る電子部品封止領域6aを多数個電子部品の電子部品領域10aに対応させて配列形成した多数個取りの電子部品封止用基板6bを準備する。
Next, as shown in FIG. 3B, the insulating
一方主面から他方主面または側面に導出された配線導体2および接地用貫通導体12が形成された絶縁基板1は、例えば、絶縁基板1が酸化アルミニウム質焼結体から成り、配線導体2および接地用貫通導体12がタングステンのメタライズ層から成る場合、酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化カルシウム等の原料粉末を有機樹脂,バインダとともに混練してスラリーを得て、このスラリーをドクターブレード法やリップコータ法等によりシート状に成形して複数のグリーンシートを形成し、このグリーンシートの表面および必要に応じてグリーンシートに予め形成しておいた貫通孔内に、タングステンのメタライズペーストを印刷塗布、充填し、その後、これらのグリーンシートを積層して焼成することにより形成することができる。
For example, the insulating
なお、これらのグリーンシートのうち、一部のものに打ち抜き加工を施して四角形状等の開口部を形成しておき、これを一方主面側の最表層に配置し、または最表層から内部に向かって数層積層することにより、焼成後の絶縁基板1の一方主面に、電子部品領域10aの配列に対応する凹部1aが配列形成されるようにしておいてもよい。このように凹部1aを形成しておくと、凹部1aの内側に微小電子機械機構8を収めることができるので、微小電子機械機構8を取り囲むための枠部材4の高さを低く抑えることができ、電子装置の低背化に有利なものとなる。
Of these green sheets, some of them are punched to form square-shaped openings, etc., which are arranged on the outermost layer on one main surface side, or from the outermost layer to the inside. By laminating several layers toward the front, the recesses 1a corresponding to the arrangement of the
また、接続パッド3は、配線導体2および接地用貫通導体12と同様の材料からなり、例えば、タングステンのペーストを絶縁基板1となるグリーンシートのうち最表面に、配線導体2となる印刷されたペーストと接続されるようにして、かつ多数個が縦横に配列形成されるようにして、スクリーン印刷法等により印刷しておくことにより形成される。
The
また、枠部材4は、例えば鉄−ニッケル−コバルト合金から成る場合であれば、鉄−ニッケル−コバルト合金の金属板に圧延加工や金型による打ち抜き加工またはエッチング加工を行ない、枠状に成形することにより製作される。
Further, if the
枠部材4と絶縁基板1との接合は、錫−銀系等の半田,金−錫ろう等の低融点ろう材や銀−ゲルマニウム系等の高融点ろう材,導電性有機樹脂等の接合材を介して接合する方法、あるいはシーム溶接,電子ビーム溶接等の溶接法により行なうことができる。
The
この枠部材4と同じ高さとなるようにして、接続端子5が接続パッド3上に形成される。接続端子5は、例えば錫−銀系等の半田から成る場合であれば、この半田のボールを接続パッド3上に位置決めして加熱、溶融、接合させることにより形成される。
接続端子5の高さを枠部材4の高さと同じとする方法としては、例えば接続端子5となる錫−銀半田を溶融させて接続パッド3上に取着形成する際に、その上面を枠部材4と同じ高さとなるようにしてセラミックス製の治具等で押さえておく等の方法を用いることができる。
As a method of making the height of the
次に、図3(c)に示すように、電子部品10bを電子部品封止用基板6bに対し各電子部品領域10aと各電子部品封止領域6aとを対応させて重ね合わせ、電極9を接続端子5に接合するとともに、微小電子機械機構8の周囲の半導体基板7の主面を枠部材4の主面に接合して、微小電子機械機構8を枠部材4の内側に気密封止する。
Next, as shown in FIG. 3C, the
ここで、電極9と接続端子5との接合は、例えば接続端子5が錫−銀系半田から成る場合であれば、電極9上に接続端子5を位置合わせして載せ、これらを約250〜300℃程度の温度のリフロー炉中で熱処理すること等により行なわれる。
Here, when the
また、微小電子機械機構8の周囲の半導体基板7の主面と枠部材4の主面との接合は、例えばこの接合面に接続端子5と同様の錫−銀系の半田を挟んでおき、上述の電極9と接続端子5との接合と同時にリフロー炉中で熱処理することにより行なうことができる。この場合、接続端子5の高さを枠部材4の高さと同じとしていることから、電極9と接続端子5との接合と、枠部材4の主面と半導体基板7の主面との接合を容易かつ確実に、同時に行なうことができる。
The main surface of the
このように、本実施の形態の電子装置の製造方法によれば、電子部品領域10aの電極9の外部導出のための接合と、微小電子機械機構8の気密封止のための接合とを同時に行なうことができるため、数時間程度を要する半田(ろう)付け等の接合の工程を、従来の製造方法に比べて、確実に少なくとも1工程減らすことができるので、電子装置の生産性を非常に高めることができる。
As described above, according to the method of manufacturing the electronic device of the present embodiment, the bonding for leading out the
そして、図3(d)に示すように、互いに接合された多数個取りの形態の電子部品10bおよび電子部品封止用基板6bを電子部品封止領域6a毎に分割して、電子部品封止領域6aが分割された電子部品封止用基板6に電子部品領域10aが分割された電子部品10が接合されて成る個々の電子装置を得る。
Then, as shown in FIG. 3D, the
互いに接合されるとともにそれぞれ多数個取りの形態とされた、電子部品10bおよび電子部品封止用基板6bの接合体の切断は、この接合体に対してダイシング加工等の切断加工を施すことにより行なうことができる。
Cutting the joined body of the
本実施の形態の電子装置の製造方法においては、このダイシング加工等の切断加工の際に、各微小電子機械機構8は枠部材4の内側でこの枠部材4と半導体基板7と絶縁基板1とにより気密封止されているので、半導体基板7や絶縁基板1等の切断に伴って発生するシリコンやセラミックス等の切削粉等が微小電子機械機構8に付着することはなく、完成した電子装置において微小電子機械機構8を確実に正常に作動させることができる。
In the manufacturing method of the electronic device according to the present embodiment, each
このように、本実施の形態の電子装置の製造方法によれば、従来のように、半導体基板7の主面に多数個を縦横に配列形成した電子部品領域10aを切断する際に、その微小電子機械機構8をガラス板等で覆って保護するような工程を別途追加する必要はなく、従来の保護のためだけの工程を確実に削除することができるので、電子装置の生産性を非常に高いものとすることができる。
As described above, according to the manufacturing method of the electronic device of the present embodiment, when the
また、上記のようにして製造された電子装置は、すでに気密封止されているとともに、その電極が配線導体2を介して外部に導出された状態であるので、これを別途パッケージ内に実装するような工程を追加する必要はなく、配線導体2および接地用貫通導体12の導出された部分を外部電気回路に半田ボール等の外部端子11を介して接続するだけで、外部電気回路基板に実装して使用することができる。
In addition, the electronic device manufactured as described above is already hermetically sealed, and the electrode is led out to the outside via the
また、この場合、配線導体2は、絶縁基体1の他方主面または側面に導出されているので、外部電気回路に表面実装の形態で接続することができ、高密度に実装したり外部電気回路基板を効果的に小型化することができる。
Further, in this case, since the
なお、本発明は上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形は可能である。例えば、上述の実施の形態の例では一つの電子装置内に一つの微小電子機械機構を気密封止したが、一つの電子装置内に複数の微小電子機械機構を気密封止してもよい。また、図1に示した例では、配線導体2および接地用貫通導体12は絶縁基板1の他方主面側に導出されているが、これを側面に導出したり側面および他方主面の両方に導出したりしてもよい。また、この導出された部分の外部電気回路への電気的な接続は、外部端子として半田ボールを介して行なうものに限らず、リード端子や導電性接着剤等を介して行なってもよい。
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the gist of the present invention. For example, in the example of the above-described embodiment, one microelectromechanical mechanism is hermetically sealed in one electronic device, but a plurality of microelectromechanical mechanisms may be hermetically sealed in one electronic device. Further, in the example shown in FIG. 1, the
1:絶縁基板
2:配線導体
3:接続パッド
4:枠部材
5:接続端子
6:電子部品封止用基板
6a:電子部品封止領域
6b:多数個取りの電子部品封止用基板
7:半導体基板
8:微小電子機械機構
9:電極
10:電子部品
10a:電子部品領域
10b:多数個取りの電子部品
12:接地用貫通導体
1: an insulating substrate 2: conductor 3: connection pads 4: the frame member 5: connection terminal 6: electronic
10 : Electronic components
10 a: Electronic component area
10 b: the electronic components of the multi-cavity
12 : Grounding through conductor
Claims (12)
前記配線導体とを電気的に接続する接続端子と、前記半導体基板と前記絶縁基板との間で前記微小電子機械機構を取り囲んで気密封止する導電性枠状封止部と、前記絶縁基板に形成された、前記導電性枠状封止部に電気的に接続される接地用貫通導体とを有し、前記接地用貫通導体は、平面視して、前記微小電子機械機構を取り囲むように複数形成されており、前記接地用貫通導体の隣接間隔が、前記電子部品で使用される高周波信号の波長の1/2以下である電子装置。 An electronic component having an electrode electrically connected to the micro electronic mechanical system with provided semiconductors substrate and the semiconductor substrate microelectromechanical mechanism provided on a surface of said surface, while the other main from the main surface An insulating substrate on which a wiring conductor led out on a surface or a side surface is formed; a connection terminal for electrically connecting the electrode and the wiring conductor; and the microelectromechanical mechanism between the semiconductor substrate and the insulating substrate. A conductive frame-shaped sealing portion that surrounds and hermetically seals, and a grounding through conductor formed on the insulating substrate and electrically connected to the conductive frame-shaped sealing portion. A plurality of through conductors are formed so as to surround the microelectromechanical mechanism in a plan view, and an interval between adjacent grounding through conductors is ½ of a wavelength of a high-frequency signal used in the electronic component. An electronic device that is:
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