JP4733959B2 - プローブ接触方法及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
被検査試料の配線レイアウトのデータ(以下、CAD像データと称する)は、CAD用ワークステーション(WS)117に格納される。WS117は、配線レイアウトを表示するための画像表示手段を備える。CAD用WS117は、制御コンピュータ114に接続されており、必要に応じてCAD像データを制御コンピュータ114に伝送する。
本実施例では、制御コンピュータ114とCAD用WS117を別のコンピュータとして構成したが、両者を統合し一台のコンピュータで構成してもよい。さらに、これに加えて、116も統合し、全体を一台のコンピュータで構成してもよい。
以上のステップを実行することにより、SEM像の倍率を大きくした際に、目標とする触針位置を自動的にSEM像の視野内に移動することができ、従来の装置ユーザの労力を低減することができる。
このように、本実施例の不良検査装置は、SEM像の視野変化に追従して、表示されるCAD像を更新する機能を備えているため、本実施例の不良検査装置においては、プロービング時における装置ユーザの負担が非常に低減される。
以上の図2AからDで示したフローのうち、装置が行なうステップに関しては、全てシーケンス制御用のソフトウェアとして、図1に示した検査装置の記憶手段115に格納されている。
この構成により、試料118に形成されている微細配線の導通不良を検査する電子線吸収電流(EBAC)法が可能となる。
試料118の内部に微細配線が敷設されており、この配線に接続されている複数の金属プラグが試料118の表面に露出している場合を考える。これを通常のSEM観察をすると、図8(a)に示すようなSEM像が得られる。このとき実施例1で詳細に説明した方法により、図8(a)のSEM像領域に相当するCAD像が図8(c)のように得られる。このCAD像情報をもとに、プローブ106を任意のプラグに接触させる。この状態で、電子銃101から放出された1次電子線103を試料118の表面上で走査する。通常、このとき放出される2次電子105の強度を輝度信号とし、1次電子線108の走査周期と同期させて画面上に表示させたものが図8(a)に示したSEM像となる。
本実施例の不良検査装置は、図7では2本のメカニカルプローブ106しか使用されてないように見えるが、実際にはもっと複数のプローブが使用される場合もある。
本実施例では、実施例1と同様、領域を示す矢印を低倍率CAD像上に示すことにより(不図示)、装置ユーザがマニュアル操作でプローブを移動する際の使い勝手を向上することが可能となる。
プローブユニット933はx、y、zテーブル(不図示)を備え、3次元方向へプローブ903を移動させることができる。
面板971には、プローブユニット933のx、y、zテーブルの動作を制御する信号と、試料ステージ950のx、y、zテーブル961、962、963、963aの動作を制御する信号を試料室907の外部から送るために、フィールドスルーが設けられている。
プローブユニット制御部およびステージ制御部からなる制御装置913およびTMP911およびDP912による高真空処理を制御する他の制御装置913Aが設けてある。制御装置913AはTMP951、DP952をも制御する。
プローブ交換するときは、プローブユニット933のyテーブル、xテーブルを所定の位置(例えば後端)に、そしてzテーブルを所定の位置(例えば上端まで)移動させた後に行う。
1.装置の主要要素の構成および動作
(1)ステージ
ステージの詳細図を図9(b)、(c)、(d)に示す。ステージは大ステージ949と試料ステージ950を備える。
試料ステージ950は、yテーブル962、xテーブル961、およびzテーブル963、963aを備え、それぞれのテーブルは駆動機構によってy、xおよびz方向に移動させられる。ここで試料ステージ950が、z(垂直)方向への駆動手段を備えていることにより、xy方向への大ステージ949および試料ステージ950の移動の前に、z方向に試料ステージ950を下げておくことで、試料902aと電子銃904の先端部との機械的な干渉を避けられる効果がある。さらに、実際、本実施例を用いてSEM観察を行う場合に、z方向に試料ステージ950を上げることで、電子銃904の先端から試料902aまでのワーキングディスタンスを小さくすることができ、これによってSEMの空間分解能を向上させることができる効果がある。本実施例では、z方向の駆動手段を試料ステージ950に組み込んだが、大ステージ949に組み込んでもよいし、その両方に組み込んでもよく、これによっても同様の効果が得られる。
図9(a)および図9(b)に示すように、大ステージ949はyテーブル965、およびxテーブル964からなり、駆動装置(不図示)によってy方向およびx方向に移動される。試料ステージ950は大ステージ949上に載置されて駆動される。
従って、試料902aおよびプローブ903は、プローブ粗寄せ画像取得装置910の垂直方向の位置と電子光学系装置904の垂直方向の位置と、そしてプローブ交換室909の垂直方向の位置との間を移動させられる。
従って、移動機構は、試料902aおよびプローブ903を、電子光学系装置904に並列して設けられたプローブ粗寄せ画像取得装置910の直下位置から電子光学系装置904の直下位置に移動させることを高真空を維持しながら行うことができる。
電子光学系装置904の一例であり、プローブ903を試料902aの目的とする場所に接触させるための観察手段に用い、試料室907の上部に配置される。真空排気はイオンポンプ944でなされる。
試料室907は上蓋と筐体である試料室ケースからなり、試料室ケースにはその側面に固定部材947を介して面板971にベース948が取り付けられ、試料室907内の大ステージ949の上にプローブユニット933が載せられ、他の側面に試料交換室908が取り付けられる。上蓋にはSEMの電子光学系装置904、プローブ粗寄せ画像取得装置910、プローブ交換室909が取り付けられる。試料室907は架台925に取り付けられた除振マウントの上に取り付けられた荷重板の上に固定される。試料室907はTMP911とDP912により真空排気される。
電気特性を測定する試料902aはたとえば半導体であり、通常ソース、ドレイン、ゲート、ウェルにつながるプラグにプローブ903を接触させる。プラグは小さいもので直径数10nmの大きさであり、これにプローブを接触させるためには分解能の高いSEMが必要である。しかし、半導体試料に電子ビームを照射すると電子ビームによりダメージを受ける恐れがあり、できるだけビームの照射時間を短くすることが望ましい。そのため、プローブ粗寄せ画像取得装置910の検出値に基づいてあらかじめ複数のプローブを水平方向に近づけ、垂直方向は試料表面に近づけておくことを行う。プローブ粗寄せ光顕とそれに取り付けられたCCDカメラから得られる像を画像表示部915のモニタ上に表示し、この画像を見ながらこの作業を行う。
プローブ粗寄せ光顕に隣接して光源が配置される。プローブ粗寄せ光顕とCCDカメラによる観察と、光源からの光の試料室への導入は図9(a)に示したのぞき窓939を通して行う。
試料交換室908は試料室907の真空を破らずに試料902aを交換するために設けられ、DP952で真空排気される。試料交換室908はゲートバルブ921で試料室907と仕切られる。試料902aを導入する場合は試料902aを接着した試料ホルダ902に設けられたメネジに試料902aおよび試料ホルダ902の搬送手段929である交換棒先端のオネジをねじ込み、ゲートバルブ921を開けて、試料ステージ950のzテーブル963の上端に取り付けられたホルダ受け917に挿入することによって行われる。試料902aを取り出すときはこの逆の作業を行う。これにより試料交換時間の短縮が図られる。
プローブ交換室909は試料室907の真空を破らずにプローブ903を交換するために設けられ、プローブ交換時間を短縮するためのものである。プローブ交換室909はゲートバルブ923で試料室907と仕切られる。プローブ交換室909はTMP951とDP952で真空排気される。TMP951を用いたのはプローブ交換室909が大きいのでDP952だけで排気すると、プローブ交換室909の圧力が高い状態でゲートバルブ923を開けることになり、交換後の試料室907の圧力がもとの値に回復する時間が長くなるためである。
SEM、プローブユニット933、ステージ各部の制御は制御装置913に内蔵するそれぞれの制御回路とコンピュータを使って制御する。また、SEM、プローブユニット933、ステージは各操作パネルおよびモニタ上のGUIどちらでも操作が可能である。
電子銃で発生した電子ビームは集束レンズ、対物レンズを通して試料902aに照射され、試料902aから発生した2次電子を2次電子検出器で検出し、その信号をディスプレイ内で種々の電気的処理を行い、ディスプレイ装置914の画像表示部915上のモニタに試料表面の画像を映し出す。
プローブユニット933のx、y、zテーブルの動作を制御する信号は、図9(a)に示したように架台925内の制御回路913の信号をステージの面板971に取り付けられたフィールドスルーを介して試料室907内のプローブユニット933に与えられる。
ステージ上の試料ステージ950のx、y、zテーブル961、962、963、963aの動作を制御する信号は、架台925内の制御回路の信号を面板971に取り付けられたフィールドスルーを介して試料室907内の試料ステージ950に与えられる。
ディスプレイ装置914は、プローブ粗寄せ画像取得装置910で取得した粗寄せ画像および電子光学系装置904で取得したプローブ903の試料902aへの触針画像を表示する。すなわち、プローブ操作画面および操作手順内容を示す操作手順画面を表示する。
不良検査装置901は、画像表示部982および画像表示制御部983を備えたCAD用WS981を備えている。このCAD用WS981はディスプレイ装置914に接続されており、必要に応じてCAD像データをディスプレイ装置914に伝送する。
さらに、本実施例の不良検査装置は、図9(a)では2本のプローブ903しか使用されてないように見えるが、実際にはもっと複数のプローブが使用される場合もある。
さらに、本実施例では、実施例1と同様、領域を示す矢印を低倍率CAD像上に示すことにより(不図示)、装置ユーザがマニュアル操作でプローブを移動する際の使い勝手を向上することが可能となる。
このようにCADナビゲーション導入により、プローブを触針位置にプロービングする際のユーザ利便性が顕著に向上する効果がある。
Claims (13)
- 少なくとも1つ以上のプローブと、
該プローブを駆動する第1の駆動手段と、
配線パターンが形成された試料を保持する試料ステージと、
該試料ステージを移動する第2の駆動手段と、
前記試料ステージと前記プローブとを一体として駆動する第3の駆動手段と、
前記試料に対して荷電粒子線を照射する手段と、
照射された荷電粒子線に起因して発生する2次的な荷電粒子線を検出して前記試料の画
像を取得する手段と、
前記画像を表示する表示手段と、
前記画像の任意箇所を指定するための入力手段とを備えた荷電粒子線装置におけるプローブ接触方法において、
倍率が可変である前記試料の画像を取得し、
前記入力手段からの入力情報を元に、取得画像の最低倍率画像の視野内に少なくとも前記プローブの1つが収まるように前記第3の駆動手段を動作し、
前記取得画像の視野内にプローブの目標接触位置が収まるように前記第2の駆動手段を
動作させ、
前記第2の駆動手段を動作させた後に、該配線パターンの画像を前記取得画像と併せて前記表示手段に表示し、
前記入力手段により指定された前記画像の任意箇所へ前記プローブを移動させることを
特徴とするプローブ接触方法。 - 請求項1に記載のプローブ接触方法において、
前記第3の駆動手段を動作させる際に、前記最低倍率画像の視野内に全てのプローブが収まるようにしたことを特徴とするプローブ接触方法。 - 請求項1に記載のプローブ接触方法において、
前記試料は半導体ウェハであることを特徴とするプローブ接触方法。 - 請求項1に記載のプローブ接触方法において、
前記試料は配線パターンの形成された半導体ウェハであり、
前記荷電粒子線装置としてさらに、該配線パターンの情報を格納した記憶手段と、
前記取得画像を前記表示手段に表示するための画像処理を行なう画像処理手段と、
前記記憶手段と該画像処理手段とを接続する通信手段とを備えた荷電粒子線装置を用い、
前記入力手段からの入力情報を元に、前記表示手段に前記配線パターンと前記取得画像とを表示し、
前記配線パターンと前記取得画像の同一箇所の指定を、装置ユーザに対して要求する情報を前記表示手段に表示し、
指定された位置の座標情報を前記記憶手段から前記画像処理手段に対して送信し、
取得画像の視野内に少なくとも前記プローブの1つが収まるように前記第3の駆動手段を動作し、
前記取得画像の視野内にプローブの目標接触位置が収まるように前記第2の駆動手段を動作させることを特徴とするプローブ接触方法。 - 少なくとも1つ以上のプローブと、
該プローブを駆動する第1の駆動手段と、
配線パターンが形成された試料を保持する試料ステージと、
該試料ステージを移動する第2の駆動手段と、
前記試料ステージと前記プローブとを一体として駆動する第3の駆動手段と、
前記第1の駆動手段、第2の駆動手段及び第3の駆動手段とを制御する制御手段と、
前記試料に対して荷電粒子線を照射する手段と、
照射された荷電粒子線に起因して発生する2次的な荷電粒子線を検出して倍率が可変である前記試料の画像を取得する手段と、
前記画像を表示する表示手段と、
前記画像の任意箇所を指定するための入力手段とを備え、
前記入力手段により指定された前記画像の任意箇所へ前記プローブを移動させ前記試料に接触させる荷電粒子線装置において、
前記表示手段に、前記画像と前記配線パターンの双方を表示し、
前記制御手段は、前記入力手段により入力される位置情報を元に、前記画像の最低倍率画像の視野内に少なくとも前記プローブの1つが収まるように前記第3の駆動手段を動作し、
前記画像の視野内にプローブの目標接触位置が収まるように前記第2の駆動手段を動作させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、
前記試料ステージは、試料に対して電流または電圧を印加するための給電プラグを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、
前記第1の駆動手段及び第2の駆動手段は、前記第3の駆動手段上に形成されたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、
前記試料が配線パターンの形成された半導体ウェハである場合に該配線パターンの情報を格納する記憶手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記表示手段に、前記画像と前記配線パターンを重ねて表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記表示手段に、前記配線パターンの全体図と、前記プローブの目標接触位置を含む領域を該全体図よりも拡大した拡大図とを表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置において、
前記拡大図の範囲を示すポインタを前記配線パターンの全体図上に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置において、
前記拡大図上に前記プローブを重ねて表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記配線パターンの情報の処理を行なう第1の画像処理手段と、
前記画像の画像処理を行なう第2の画像処理手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
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