JP4729912B2 - Fan filter unit - Google Patents

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本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットに関する。 The present invention relates to a fan filter unit used in a clean room requiring a clean space such as a semiconductor factory or a food factory.

従来、この種のファンフィルタユニットの取付装置は、ファンフィルタユニット構造体のチャンバ下流側に設けられる除塵フィルタと共に積層構造を成してクリーンルーム内の構造物天面に取付けられたものが知られている（例えば特許文献１参照）。   Conventionally, this type of fan filter unit mounting device is known to have a laminated structure with a dust filter provided on the downstream side of the chamber of the fan filter unit structure to be mounted on the top surface of the structure in the clean room. (For example, refer to Patent Document 1).

ここで、ファンフィルタユニットについて具体的な構成を図８を参照しながら説明する。 Here, a specific configuration of the fan filter unit will be described with reference to FIG.

図に示すように、ファンフィルタユニット５はファン１とモータ２からなるファンユニットを内包するチャンバ３とチャンバ３の下方に着脱可能な除塵フィルタ４からなり、前記除塵フィルタ４の断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けたフィルタの上流側貫通穴１０１と下流側貫通穴１０２を設け、固定手段１０３により上流側貫通穴１０１で前記チャンバ３に固定される。また、ファンフィルタユニット５は、開口部を設けた構造物１０６の開口部天面１０４に配し、前記チャンバ３に配した本体固定金具１１により開口部縁部に固定している。また前記除塵フィルタ４の下流側貫通穴１０２は、前記チャンバ３に除塵フィルタ４固定後は、穿孔手段１０５を施している。   As shown in the figure, the fan filter unit 5 includes a chamber 3 containing a fan unit including a fan 1 and a motor 2 and a dust filter 4 that can be attached to and detached from the lower part of the chamber 3. The upstream through hole 101 and the downstream through hole 102 of the filter provided in the square frame are provided, and fixed to the chamber 3 by the upstream through hole 101 by the fixing means 103. The fan filter unit 5 is disposed on the top surface 104 of the opening 106 of the structure 106 provided with the opening, and is fixed to the edge of the opening by the body fixing bracket 11 disposed in the chamber 3. Further, the downstream through hole 102 of the dust filter 4 is provided with a punching means 105 after the dust filter 4 is fixed to the chamber 3.

また、フィルタの交換やモータのメンテナンス交換などの際、ファンフィルタユニットを除塵フィルタと共に構造物から一旦メンテナンスのための作業スペースに移動し、フィルタ、モータなどをファンフィルタユニットから分離する必要がある。除塵フィルタを分離する際、一般的に除塵フィルタは本体下面よりねじ等の固定手段で固定されているので、除塵フィルタが固定された状態でファンフィルタユニットを天地逆にひっくり返し、穿孔手段を取り除き、構成部品の除塵フィルタを取り外す必要があり、着脱に有する時間と手間がかかるものであった。   In addition, when the filter is replaced or the motor is replaced, it is necessary to move the fan filter unit together with the dust filter from the structure to the work space for maintenance, and to separate the filter, motor, and the like from the fan filter unit. When separating the dust filter, the dust filter is generally fixed from the bottom of the main body with fixing means such as screws, so the fan filter unit is turned upside down with the dust filter fixed, and the punching means is removed. Therefore, it is necessary to remove the dust filter of the component, which takes time and labor to attach and detach.

特開２０００−２４４１４７号公報（［００２７］〜［００３４］、図１〜図１６）JP 2000-244147 A ([0027] to [0034], FIGS. 1 to 16)

このような従来のファンフィルタユニットでは、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内外に人が入って除塵フィルタの交換作業をおこなうことにより、内部のクリーン環境に障害を及ぼすという課題があり、クリーン環境をできるだけ損なわずに除塵フィルタの交換作業をおこなうことが要求されている。 In such a conventional fan filter unit , there is a problem that an internal clean environment is disturbed by a person entering the inside or outside of a clean space where a clean environment should be maintained and replacing the dust filter. It is required to replace the dust filter with as little damage as possible.

また、設置当初に比べ稼動時の構造物上部のメンテナンス空間は、設備のユニット化、省スペース化により縮小傾向にあり、メンテナンススペースの確保が困難なため、除塵フィルタ着脱構造に関し省スペース化が要求されている。   In addition, the maintenance space above the structure during operation tends to shrink due to the unitization and space saving of the equipment compared to the beginning of installation, and it is difficult to secure the maintenance space. Has been.

また、除塵フィルタの下流側貫通穴の穿孔手段は、突起物として構造物に接すため配設安定性を損なうという課題があり、ファンフィルタユニットを安定して設置できることが要求されている。   Further, the drilling means for the downstream through-hole of the dust filter has a problem that the arrangement stability is impaired because it comes into contact with the structure as a protrusion, and it is required that the fan filter unit can be stably installed.

また、ファンフィルタユニットの大型化に伴い、除塵フィルタの交換作業が大掛かりになるという課題があり、除塵フィルタの大きさに係らず容易に交換できることが要求されている。   In addition, as the size of the fan filter unit increases, there is a problem that the replacement work of the dust filter becomes large, and it is required that the dust filter can be easily replaced regardless of the size of the dust filter.

本発明は、このような従来のフィルタ着脱の課題を解決するものであり、クリーン空間でのフィルタ着脱を省スペースで容易にかつ短時間におこなうことができ、また、固定部品の有効利用を図り、省力化ができるファンフィルタユニットを提供することを目的としている。 The present invention solves such a problem of conventional filter attachment and detachment, and allows the filter attachment and detachment in a clean space to be easily performed in a short time in a space-saving manner, and to make effective use of fixed parts. An object of the present invention is to provide a fan filter unit that can save labor.

本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するために、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、この除塵フィルタと前記チャンバとを、前記チャンバ側から固定する固定手段を設け、前記除塵フィルタは、構造物の天面上部に載せて置き、その上に前記チャンバを載せて前記固定手段で固定したものである。 In order to achieve the above object, a fan filter unit of the present invention has a chamber containing a fan unit composed of a fan and a motor, and a dust filter provided on the lower side of the chamber. The dust filter and the chamber and the fixing means for fixing from the chamber side is provided, the dust filter is placed put on top top of the structure is to be calculated and fixed by the fixing means to put said chamber thereon.

また、他の手段は、固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに螺合する固定用ボルトからなるものである。 Further, the other means is that the fixing means is a through hole provided in the chamber, a fixing nut provided in a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped cross section of the dust filter, and the fixing nut passed through the through hole. also the in is ing from the fixing bolts to be screwed to.

また、他の手段は、固定手段は、チャンバの側方に延設したＬ形フランジと、このＬ形フランジに設けた貫通穴と、除塵フィルタ断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットに螺合する固定ねじからなるものである。 Further, as other means, the fixing means is provided in an L-shaped flange extending to the side of the chamber, a through hole provided in the L-shaped flange, and a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped dust filter cross section. ing from a fixed screw is screwed into the fixing nut is also of the.

また、他の手段は、固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部から上方に突出して設けた固定用ボルトと、前記貫通穴を通した前記固定用ボルトに螺合する固定用ナットからなるものである。 Further, as other means, the fixing means passes through a through hole provided in the chamber, a fixing bolt provided to protrude upward from a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped cross section of the dust filter, and the through-hole. also the in is ing from fixing nut screwed to the fixing bolts.

また、他の手段は、固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに下端部で螺合する固定用ねじ棒と、この固定用ねじ棒の上端部に螺合する第２の固定用ナットからなるものである。 Further, the other means is that the fixing means is a through hole provided in the chamber, a fixing nut provided in a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped cross section of the dust filter, and the fixing nut passed through the through hole. a fixing screw rods screwed in the lower end, even for a is ing the second locking nut that is screwed to the upper end of the fixing screw rod.

これらの手段によりクリーン空間でのフィルタ着脱を省スペースで容易にかつ短時間におこなうことができ、また、固定部品の有効利用を図り、省力化ができるファンフィルタユニットを提供することができる。 With these means, it is possible to provide a fan filter unit that can easily attach and detach a filter in a clean space in a short time and in a short time, and that can effectively use fixed parts and save labor.

除塵フィルタはチャンバの天面側から固定され、設置現場で除塵フィルタを着脱する作業時間の短縮ができる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。 The dust filter is fixed from the top side of the chamber, and a fan filter unit that can shorten the work time for attaching and detaching the dust filter at the installation site can be provided.

また、構造物からファンフィルタユニットを取外した際の除塵フィルタ交換時ファンフィルタユニットの姿勢を反転せずにメンテナスでき、設置場所での作業性を改善したファンフィルタユニットを提供できる。 In addition, when replacing the dust filter when the fan filter unit is removed from the structure, maintenance can be performed without reversing the orientation of the fan filter unit , and a fan filter unit with improved workability at the installation location can be provided.

また、除塵フィルタ下流面に貫通穴を設ける必要がないので、エアリークを防ぐための後加工が不要になり、さらに構造体を安定して設置できるファンフィルタユニットを提供できる。 In addition, since it is not necessary to provide a through hole on the downstream surface of the dust filter, post-processing for preventing air leakage is unnecessary, and a fan filter unit that can stably install the structure can be provided.

本発明の実施の形態１の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態２の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 2 of this invention 本発明の実施の形態３の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 3 of this invention 本発明の実施の形態４の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of Embodiment 4 of this invention 参考例１の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the reference example 1 参考例２の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the reference example 2 参考例３の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the reference example 3 従来の実施の形態を示す断面図Sectional drawing which shows conventional embodiment

本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、この除塵フィルタと前記チャンバとを、前記チャンバ側から固定する固定手段を設け、前記除塵フィルタは、構造物の天面上部に載せて置き、その上に前記チャンバを載せて前記固定手段で固定したものであり、除塵フィルタの上にチャンバを重ねた姿勢のままでチャンバの天面側より除塵フィルタが固定できるという作用を有する。 The invention according to claim 1 of the present invention includes a chamber containing a fan unit including a fan and a motor, and a dust filter provided on a lower side of the chamber. The dust filter and the chamber are connected to the chamber side. fixing means for fixing the formed, the dust filter is placed put on top top of the structure, which was fixed with the fixing means to put said chamber thereon, superimposed chambers on the dust filter The dust removal filter can be fixed from the top surface side of the chamber while maintaining the posture.

また、固定手段をチャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに螺合する固定用ボルトとしたものであり、チャンバの貫通穴に上から固定用ボルトを通し、除塵フィルタ枠部に設けた固定用ナットに螺合させて固定するという作用を有する。 The fixing means is screwed into the through-hole provided in the chamber, the fixing nut provided in the frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped cross section of the dust filter, and the fixing nut passed through the through-hole. A bolt is used, and a fixing bolt is passed through the through hole of the chamber from above, and has an action of being screwed and fixed to a fixing nut provided in the dust filter frame portion.

また、固定手段をチャンバの側方に延設したＬ形フランジと、このＬ形フランジに設けた固定用穴と、除塵フィルタ断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットに螺合する固定ねじとしたものであり、チャンバのＬ形フランジの固定用穴に上から固定ねじを通し、除塵フィルタ枠部に設けた固定用ナットに螺合させて固定するという作用を有する。 Further, the fixing means is screwed into an L-shaped flange extending to the side of the chamber, a fixing hole provided in the L-shaped flange, and a fixing nut provided in a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped dust filter cross section. The fixing screw is to be fitted, and has a function of passing the fixing screw through the fixing hole of the L-shaped flange of the chamber from above and screwing the fixing screw to the fixing nut provided on the dust removing filter frame portion.

また、固定手段をチャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部から上方に突出して設けた固定用ボルトと、前記貫通穴を通した前記固定用ボルトに螺合する固定用ナットとしたものであり、除塵フィルタ枠部から上方に向けて固定した固定用ボルトに、チャンバの貫通穴を合わせて通し、固定ボルトの先端に固定ナットを締め付けて固定するという作用を有する。 Further, the fixing means is screwed into the through-hole provided in the chamber, the fixing bolt provided to project upward from the substantially C-shaped or □ -shaped frame portion of the dust filter, and the fixing bolt through the through-hole. The fixing nut that is to be joined is passed through the fixing bolt that is fixed upward from the dust filter frame and the through hole of the chamber is aligned, and the fixing nut is tightened and fixed to the tip of the fixing bolt. Have

また、固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに下端部で螺合する固定用ねじ棒と、この固定用ねじ棒の上端部に螺合する第２の固定用ナットからなるものとしたものであり、除塵フィルタ枠部に固定した固定ナットに、チャンバの貫通穴を通した固定用ねじ棒の下端部を螺合させて固定し、さらに固定用ねじ棒の上端を第２の固定用ナットで締め付けて固定するという作用を有する。 The fixing means includes a through-hole provided in the chamber, a fixing nut provided in a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped cross section of the dust filter, and a screw threaded at a lower end to the fixing nut through the through-hole. And a second fixing nut screwed onto the upper end of the fixing screw rod. The fixing nut fixed to the dust filter frame portion is connected to the through-hole of the chamber. The lower end of the fixing screw rod passed through is screwed and fixed, and the upper end of the fixing screw rod is fastened and fixed with a second fixing nut.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（実施の形態１）
図１に示すようにファン１とモータ２を内包したチャンバ３とチャンバ３の下側に除塵フィルタ４を配設した形でファンフィルタユニット５を構成している。チャンバ３と除塵フィルタ４の固定手段として、チャンバ３の外周寄りの天面部６と底面部６Ａに対面して設けた複数の貫通穴７と除塵フィルタ４の断面略Ｃ形状または□形状の枠部４ａに固着された固定用ナット９と、貫通穴７を貫いて固定用ナット９に螺合する固定用ボルト８を有している。 (Embodiment 1)
As shown in FIG. 1, a fan filter unit 5 is configured in a form in which a dust removal filter 4 is disposed on a lower side of a chamber 3 including a fan 1 and a motor 2. As a means for fixing the chamber 3 and the dust removal filter 4, a plurality of through holes 7 provided facing the top surface portion 6 and the bottom surface portion 6A near the outer periphery of the chamber 3 and a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped cross section of the dust removal filter 4 A fixing nut 9 fixed to 4a and a fixing bolt 8 that passes through the through hole 7 and is screwed into the fixing nut 9 are provided.

上記構成において除塵フィルタ４の上にチャンバ３を重ねて配置し、固定用ナット９をチャンバ３の貫通穴７に上方から挿入し、除塵フィルタ４の枠部４ａに固着された固定用ナット９に螺合することにより、チャンバ３に除塵フィルタを固定することができるものである。   In the above configuration, the chamber 3 is placed over the dust filter 4, the fixing nut 9 is inserted into the through hole 7 of the chamber 3 from above, and the fixing nut 9 fixed to the frame portion 4 a of the dust filter 4 is attached. The dust filter can be fixed to the chamber 3 by screwing.

（実施の形態２）
図２に示すようにチャンバ３の側面部３ａにＬ形フランジ３ｂを有し、Ｌ形フランジ３ｂに複数の貫通穴７を備えている。固定ねじ８ａはフランジ部分３ｂの貫通穴７を貫き、除塵フィルタ４の枠部４ａに固着された固定用ナット９に螺合できるようになっている。 (Embodiment 2)
As shown in FIG. 2, the side surface 3a of the chamber 3 has an L-shaped flange 3b, and the L-shaped flange 3b is provided with a plurality of through holes 7. The fixing screw 8a passes through the through hole 7 of the flange portion 3b, and can be screwed into a fixing nut 9 fixed to the frame portion 4a of the dust removing filter 4.

上記構成において除塵フィルタ４の上にチャンバ３を重ねて配置し、固定ねじ８ａをＬ形フランジ３ｂの貫通穴７に上方から挿入して、除塵フィルタ４の枠部４ａに固定された固定用ナット９に螺合させて、容易に固定できるものである。   In the above configuration, the chamber 3 is placed over the dust filter 4, and a fixing screw 8 a is inserted into the through hole 7 of the L-shaped flange 3 b from above to fix the nut to the dust filter 4. 9 and can be fixed easily.

（実施の形態３）
図３に示すように除塵フィルタ４の枠部４ａに複数の固定用ボルト８を上向きに固着している。チャンバ３の天面部６に対面する複数の貫通穴７を備え、固定用ボルト８に嵌入可能に設けている。除塵フィルタ４にチャンバ３を重ねたあと、ナット９を締め付けてチャンバ３に除塵フィルタ４が固定されるようになっている。 (Embodiment 3)
As shown in FIG. 3, a plurality of fixing bolts 8 are fixed upward to the frame portion 4 a of the dust filter 4. A plurality of through holes 7 facing the top surface portion 6 of the chamber 3 are provided so as to be fitted into the fixing bolts 8. After the chamber 3 is stacked on the dust filter 4, the nut 9 is tightened to fix the dust filter 4 to the chamber 3.

上記構成において除塵フィルタ４にチャンバ３を重ねるときは、固定用ボルト８に沿ってチャンバ３の貫通孔７が移動するので、位置決めが確実に行え、安全で正確な接合作業ができるものである。   When the chamber 3 is stacked on the dust removal filter 4 in the above configuration, the through-hole 7 of the chamber 3 moves along the fixing bolt 8, so that positioning can be performed reliably and a safe and accurate joining operation can be performed.

（実施の形態４）
図４に示すように除塵フィルタ４の枠部４ａに複数の固定用ナット９を固着し、複数の固定用ねじ棒１０を固定ナット９に螺合すると、ねじ棒１０は所定高さで保持されるようになっている。チャンバ３の天面部６に複数の貫通穴７を備え、チャンバ３の天面部６の貫通穴７から突き出た固定用ねじ棒１０の先端に第２の固定用ナット９を締め付けてくと底面部６Ａ、チャンバ３に除塵フィルタ４が固定される。 (Embodiment 4)
As shown in FIG. 4, when a plurality of fixing nuts 9 are fixed to the frame portion 4a of the dust filter 4, and the plurality of fixing screw rods 10 are screwed into the fixing nut 9, the screw rods 10 are held at a predetermined height. It has become so. When the top surface portion 6 of the chamber 3 is provided with a plurality of through holes 7, and the second fixing nut 9 is fastened to the tip of the fixing screw rod 10 protruding from the through hole 7 of the top surface portion 6 of the chamber 3, the bottom surface portion 6A. The dust filter 4 is fixed to the chamber 3.

上記構成において除塵フィルタ４にチャンバ３を重ね、チャンバ３の天面部６側から固定用ねじ棒１０を、貫通穴７を通して固定ナット９に螺合させて、所定高さに固定する。次に天面部６の上に突出した固定用ねじ棒１０の上端に第２の固定ナット９ａを締め付けることにより、チャンバ３と除塵フィルタ４を固定することができる。これにより、着脱可能な固定用ねじ棒１０は分離するとき除塵フィルタ４から取外して小型化でき、接合時は除塵フィルタ４から突き出してチャンバ３を容易に取付けることができる。   In the above configuration, the chamber 3 is overlaid on the dust filter 4, and the fixing screw rod 10 is screwed into the fixing nut 9 from the top surface 6 side of the chamber 3 through the through hole 7 and fixed to a predetermined height. Next, the chamber 3 and the dust removal filter 4 can be fixed by tightening the second fixing nut 9 a to the upper end of the fixing screw rod 10 protruding above the top surface portion 6. As a result, the removable fixing screw rod 10 can be removed from the dust removal filter 4 when separated, and the chamber 3 can be easily attached by protruding from the dust removal filter 4 at the time of joining.

（参考例１）
図５に示すようにチャンバ３と除塵フィルタ４の側方に密接して、少なくとも４個の本体固定金具１１を設け、本体固定金具１１は除塵フィルタ４が載置される構造物１４に脚部１１ａで固定される。チャンバ３の上端面に、固定金具１１と連結されるＬ形固定金具１２の結合穴１２ａを形成している。固定ボルト８はＬ形固定金具１２の結合穴１２ａとチャンバ３の上下２ヶ所の貫通穴７を通して、除塵フィルタ４の固定用ナット９に螺合することにより、チャンバ３に除塵フィルタ４を固定するとともに、チャンバ３と除塵フィルタ４の両者を構造物１４に固定できるようになっている。 ( Reference Example 1 )
As shown in FIG. 5, at least four body fixing brackets 11 are provided in close contact with the sides of the chamber 3 and the dust removal filter 4, and the body fixing bracket 11 is attached to the structure 14 on which the dust removal filter 4 is placed. It is fixed with 11a. A coupling hole 12 a of an L-shaped fixture 12 connected to the fixture 11 is formed on the upper end surface of the chamber 3. The fixing bolt 8 is screwed into the fixing nut 9 of the dust removing filter 4 through the coupling hole 12a of the L-shaped fixing bracket 12 and the two through holes 7 in the upper and lower portions of the chamber 3, thereby fixing the dust removing filter 4 to the chamber 3. At the same time, both the chamber 3 and the dust removal filter 4 can be fixed to the structure 14.

上記構成において、設置時は除塵フィルタ４を構造物１４の所定位置に載置し、さらにチャンバ３を穴位置を合わせて除塵フィルタ４に重ね、本体固定金具１１をチャンバ３と
除塵フィルタ４の側方に密接して脚部１１ａを構造物に固定する。次にチャンバ３の天面部６の貫通穴７にＬ形固定金具１２の結合穴１２ａを位置合わせして、本体固定金具１１と結合する。さらに、固定用ボルト８を結合穴１２ａ、上下の貫通穴７の順に通して、除塵フィルタ４の枠部４ａに固着した固定用ナット９に螺合させる。これにより、チャンバ３への除塵フィルタ４の固定と、チャンバ３と除塵フィルタ４を構造物１４へ固定するのが同時に行うことができ、また分離することも簡単に行うことができる。 In the above configuration, at the time of installation, the dust filter 4 is placed at a predetermined position of the structure 14, and the chamber 3 is aligned with the hole position so as to overlap the dust filter 4, and the main body fixing bracket 11 is placed on the side of the chamber 3 and the dust filter 4. The legs 11a are fixed to the structure in close contact with each other. Next, the coupling hole 12 a of the L-shaped fixing bracket 12 is aligned with the through hole 7 of the top surface portion 6 of the chamber 3 and coupled to the main body fixing bracket 11. Further, the fixing bolt 8 is passed through the coupling hole 12 a and the upper and lower through holes 7 in this order, and screwed into the fixing nut 9 fixed to the frame portion 4 a of the dust filter 4. Accordingly, the dust filter 4 can be fixed to the chamber 3 and the chamber 3 and the dust filter 4 can be fixed to the structure 14 at the same time, and can be easily separated.

（参考例２）
図６に示すように、本体固定金具１１を除塵フィルタ４とチャンバ３に密接すると共に脚部１１ａを構造物１４に固定している。また、Ｌ形固定金具１２と固定用ボルト８は分離して取り除き、チャンバ３を上方に平行移動し、保持用部品１３を本体固定金具１１に設けた支持穴（図示せず）に挿入することにより、図６で示すように、チャンバ３を仮固定できるようになっている。 ( Reference Example 2 )
As shown in FIG. 6, the main body fixing bracket 11 is in close contact with the dust removal filter 4 and the chamber 3, and the leg portion 11 a is fixed to the structure 14. The L-shaped fixing bracket 12 and the fixing bolt 8 are separated and removed, the chamber 3 is translated upward, and the holding component 13 is inserted into a support hole (not shown) provided in the main body fixing bracket 11. Thus, as shown in FIG. 6, the chamber 3 can be temporarily fixed.

上記構成において、除塵フィルタ４を交換するときは、Ｌ形固定金具１２と固定用ボルト８を取り外し、チャンバ３を上方に引き上げて保持用部品１３を挿入することで仮固定することにより、除塵フィルタ４を構造物１４に沿って引き出すことができる。このようにチャンバ３を少し移動するだけで、簡単に除塵フィルタ４の交換作業を行うことができる。   In the above configuration, when the dust filter 4 is replaced, the dust filter 4 is temporarily fixed by removing the L-shaped fixture 12 and the fixing bolt 8 and pulling the chamber 3 upward and inserting the holding component 13. 4 can be pulled out along the structure 14. Thus, the dust filter 4 can be easily replaced by moving the chamber 3 a little.

（参考例３）
図７に示すように、参考例２で説明した保持用部品１３の代わりに、固定用ボルト８を本体固定金具１１の支持穴（図示せず）に挿入して、チャンバ３を仮固定できるようにしている。 ( Reference Example 3 )
As shown in FIG. 7, instead of the holding part 13 described in the reference example 2 , the fixing bolt 8 is inserted into a support hole (not shown) of the main body fixing bracket 11 so that the chamber 3 can be temporarily fixed. I have to.

上記構成において、除塵フィルタ４を交換するときは、チャンバ３を上方に平行移動したときに、先に取り外した固定用ボルト８を本体固定金具１１の支持穴（図示せず）に挿入して、チャンバ３を仮固定することにより、不使用部品を有効利用して、部品点数を削減できるとともに、不使用時に紛失することを防ぐことができる。   In the above configuration, when the dust filter 4 is replaced, when the chamber 3 is translated upward, the fixing bolt 8 previously removed is inserted into the support hole (not shown) of the main body fixing bracket 11, By temporarily fixing the chamber 3, it is possible to effectively use unused parts, reduce the number of parts, and prevent them from being lost when not in use.

立壁面をなす構造物にファンフィルタユニットを取付けた場合に、除塵フィルタの交換に際して、チャンバのみをスライドして仮固定することにより、設置方向の異なるフィルタの交換作業の用途に適用できる。   When the fan filter unit is attached to a structure having a standing wall surface, when replacing the dust removal filter, only the chamber is slid and temporarily fixed, so that it can be applied to the replacement work of filters having different installation directions.

１ ファン
２ モータ
３ チャンバ
３ｂ Ｌ形フランジ（固定手段）
４ 除塵フィルタ
４ａ 枠部
５ ファンフィルタユニット
７ 貫通穴（固定手段）
８ 固定用ボルト（固定手段）
８ａ 固定ねじ（固定手段）
９ 固定用ナット（固定手段）
９ａ 第２の固定用ナット（固定手段）
１０ 固定用ねじ棒（固定手段）
１１ 本体固定金具
１４ 構造物 1 fan 2 motor 3 chamber 3b L-shaped flange (fixing means)
4 Dust filter 4a Frame 5 Fan filter unit 7 Through hole (fixing means)
8 Fixing bolt (fixing means)
8a Fixing screw (fixing means)
9 Fixing nut (fixing means)
9a Second fixing nut (fixing means)
10 Fixing screw rod (fixing means)
11 Main body fixing bracket 14 Structure

Claims (5)

ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、
このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、
この除塵フィルタと前記チャンバとを、前記チャンバ側から固定する固定手段を設け、
前記除塵フィルタは、構造物の天面上部に載せて置き、
その上に前記チャンバを載せて前記固定手段で固定したファンフィルタユニット。 A chamber containing a fan unit comprising a fan and a motor;
It has a dust filter provided on the lower side of this chamber,
A fixing means for fixing the dust filter and the chamber from the chamber side is provided ,
The dust filter is placed on the top surface of the structure,
A fan filter unit on which the chamber is mounted and fixed by the fixing means . 固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに螺合する固定用ボルトからなる請求項１記載のファンフィルタユニット。 The fixing means includes a through hole provided in the chamber, a fixing nut provided in a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped cross section of the dust filter, and a fixing bolt that is screwed into the fixing nut through the through hole. The fan filter unit according to claim 1, comprising: 固定手段は、チャンバの側方に延設したＬ形フランジと、このＬ形フランジに設けた貫通穴と、除塵フィルタ断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットに螺合する固定ねじからなる請求項１記載のファンフィルタユニット。 The fixing means is screwed into an L-shaped flange extending to the side of the chamber, a through hole provided in the L-shaped flange, and a fixing nut provided in a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped dust filter cross section. The fan filter unit according to claim 1, comprising a fixing screw. 固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部から上方に突出して設けた固定用ボルトと、前記貫通穴を通した前記固定用ボルトに螺合する固定用ナットからなる請求項１記載のファンフィルタユニット。 The fixing means is screwed into the through hole provided in the chamber, the fixing bolt protruding upward from a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped section of the dust filter, and the fixing bolt through the through hole. The fan filter unit according to claim 1, comprising a fixing nut. 固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに下端部で螺合する固定用ねじ棒と、この固定用ねじ棒の上端部に螺合する第２の固定用ナットからなる請求項１記載のファンフィルタユニット。 The fixing means is screwed at the lower end portion with a through hole provided in the chamber, a fixing nut provided in a frame portion having a substantially C-shaped or □ -shaped cross section of the dust filter, and the fixing nut through the through hole. The fan filter unit according to claim 1, comprising a fixing screw rod and a second fixing nut screwed into an upper end portion of the fixing screw rod.
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