JP2004019964A - Fan filter unit - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、定期的な交換を要するフィルタを備えたファンフィルタユニットに係り、特に、半導体製造装置などの清浄雰囲気中に供給される空気を化学的に浄化処理するフィルタを備えたファンフィルタユニットに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
清浄雰囲気を必要とする半導体製造装置などにおいては、空気を化学的に浄化処理して上記雰囲気中に供給するファンフィルタユニットが使用されている。このファンフィルタユニットは、周辺雰囲気の空気をファンにより吸引してフィルタに導入し、フィルタにて空気を化学的に浄化処理した後に高い清浄度が必要とされる雰囲気中に供給するように構成されている。
【0003】
従来のファンフィルタユニットを図4に示す。図4(a)は従来のファンフィルタユニットの平面図であり、図4(b)は従来のファンフィルタユニットの正面図である。
図4(a)及び図4(b)に示すように、ファンフィルタユニットは、箱状のケーシング2と、空気を化学的に浄化処理するフィルタ3と、空気をフィルタ3に導入するためのファン1とから基本的に構成される。ファン1はケーシング2の上部に固定され、フィルタ3はケーシング2の下部に着脱可能に配置されている。
【0004】
一般に、このファンフィルタユニットは、清浄雰囲気を必要とする所定の装置上に設置される。ファンフィルタユニットの設置作業は、まず、フィルタ3が設置面20の上に置かれ、このフィルタ3の上にケーシング2及びファン1が載置される。そして、ケーシング2の側壁部に固着されたブラケット10を設置面20にねじ16で締め付けることによりフィルタ3が固定される。
【0005】
この種のファンフィルタユニットは、使用するに従ってフィルタ3の空気の浄化処理能力が低下するためフィルタ3を定期的に交換する必要がある。このフィルタ3の交換作業の工程は、まず、ブラケット10を設置面20に固定しているねじ16を外し、作業員によりケーシング2及びファン1を一括して持ち上げて他所に移動させる。そして、ケーシング2から分離されたフィルタ3を新しいものと交換し、その後、ケーシング2及びファン1をフィルタ3の上に戻し、ブラケット10をねじ16で締め付けて新しいフィルタを固定する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなフィルタ交換作業は、相当の重量を有するケーシング2及びファン1を持ち上げて移動させる必要があるため、作業員に多大な負担を強いることになる。また、限られた作業空間内でフィルタ3の交換作業を行うことは作業性が悪く、特に、ケーシング2及びファン1を持ち運びする際に、これらを落として故障させるおそれがあり、さらには、作業員が不測の事故に巻き込まれるおそれがある。
【0007】
また、従来のファンフィルタユニットでは、ファン1及びケーシング2を安全に持ち上げるためのスペースと、取り外したファン1及びケーシング2を一時的に仮置きするためのスペースをファンフィルタユニットの周辺に確保する必要がある。このため、仮置き用のスペースが確保できないために、所望の場所にファンフィルタユニットを設置できない場合があった。
【0008】
本発明は、このような従来の問題点を解決するために為されたもので、フィルタの交換時に、作業員のフィルタ交換作業の負担を大幅に軽減させることができると共に、少ない作業スペースでフィルタの交換作業を安全かつ容易に行うことができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上述した従来の課題を解決するために、本発明は、ケーシングの所定の部位にファンが配置され、前記ケーシングの下部にフィルタが着脱可能に配置されたファンフィルタユニットであって、前記ケーシングの下部を前記フィルタに圧接させて前記フィルタを固定する固定手段と、前記ファン及び前記ケーシングを上方に押圧する押圧手段とを設け、前記押圧手段は、前記固定手段による前記フィルタの固定を解除したときに前記ファン及び前記ケーシングを上昇させることを特徴とする。
【0010】
このように構成された本発明によれば、固定手段によるフィルタの固定を解除するとファン及びケーシングが押圧手段により持ち上げられる。従って、作業員に特段の負担をかけることなくケーシングとフィルタとを簡単に切り離して、安全かつ容易にフィルタの交換作業を行うことができる。しかも、フィルタの交換作業の際に、ファン及びケーシングを他の場所に移動させる必要がないので、ファン及びケーシングを仮置きするためのスペースが不要になる。
【0011】
本発明の好ましい態様は、前記ファン及び前記ケーシングが上昇する際に前記フィルタに係止して前記フィルタを上昇させる係止部材を前記ケーシングに設けたことを特徴とする。この場合において、前記係止部材は、前記フィルタを略水平方向にスライドさせるように構成されたガイドレールであることが好ましい。本発明によれば、固定手段を解除してケーシング及びファンが押圧手段により上昇すると、係止部材(ガイドレール)を介してフィルタがケーシングと共に持ち上げられる。その結果、フィルタを係止部材に支持させた状態でフィルタをスライドさせて着脱することができる。また、フィルタの下面と設置面とを摺接させることなくフィルタの交換作業を行うことができるので、フィルタの下面を保護することができる。
【0012】
本発明の好ましい態様は、前記固定手段は、前記ファン及び前記ケーシングの上下方向の動きをガイドするボルトと、前記ファン及び前記ケーシングの上方への動きを規制する前記ボルトに螺合させたナットとを備え、前記押圧手段は、前記ファン及び前記ケーシングを上方に押圧する前記ボルトに装着されたばねであることを特徴とする。このように、固定手段及び押圧手段を簡単な機構で構成したことにより、ファンフィルタユニットを安価に提供することが可能となる。
【0013】
本発明の好ましい他の態様は、前記フィルタを複数に分割し、分割された各フィルタを連結部材で連結したことを特徴とする。このように構成された本発明によれば、フィルタ交換時に連結部材を外すことにより、分割された小さいフィルタを1つずつ交換することができ、フィルタの交換作業に必要なスペースを更に少なくすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の実施形態について図面を参照して説明する。
図1(a)は本実施形態に係るファンフィルタユニットの平面図であり、図1(b)は本実施形態に係るファンフィルタユニットの正面図である。
【0015】
図1(a)及び図1(b)に示すように、本実施形態に係るファンフィルタユニットは、空気を吸入するための3基のファン1と、内部が中空な箱状のケーシング2と、ファン1により吸入された空気を化学的に浄化処理するフィルタ3とから基本的に構成される。各ファン1はケーシング2の上部に固定されており、フィルタ3はケーシング2の下部に着脱可能に配置されている。
【0016】
本実施形態に係るファンフィルタユニットは、半導体製造装置などの清浄雰囲気を必要とする装置などに設置される。このファンフィルタユニットによれば、ファンフィルタユニットの周辺雰囲気の空気がファン1により吸引されてフィルタ3に導入され、フィルタ3にて化学的に浄化処理される。そして、浄化された空気が所望の雰囲気中に供給されることにより高度の清浄雰囲気が実現される。
【0017】
ファンフィルタユニットが設置される設置面20には、ケーシング2の側壁部に近接して4つのボルト6が垂直方向に立設されている。これらのボルト6には、それぞればね8が装着されている。これらのばね8は、ばね8の伸縮方向の動きがガイドされるようにボルト6に挿入され、ばね8の下端に当接するストッパー9により支持されている。ケーシング2の側壁部には、上述した各ボルト6に対応した位置に4つのブラケット10が固着されている。各ブラケット10には挿通孔(図示せず)が形成されており、これらの挿通孔に各ボルト6が緩やかに挿通されている。
【0018】
このような構成により、ファン1及びケーシング2は、ブラケット10を介して上下方向の動きが4本のボルト6によってガイドされると共に、ばね8により上方に押圧される。なお、本実施形態では、ケーシング2、ファン1及びフィルタ3の自重を支持するのに十分な押圧力を有するばねが使用される。
【0019】
各ボルト6には、ブラケット10の上部に当接するナット7が螺合されており、このナット7により、ばね8により押圧されたファン1及びケーシング2の上方への動きが規制される。また、このナット7を締め付けることにより、ばね8の押圧力に抗してブラケット10を介してケーシング2及びファン1が押し下げられ、ケーシング2の下部がフィルタ3の上部に圧接するようになっている。なお、本実施形態において、ボルト6及びナット7は固定手段を構成し、ばね8は押圧手段を構成する。
【0020】
フィルタ3は、金属又は樹脂製の外枠部材11で覆われており、その外枠部材11にはリブ12が設けられている。なお、このリブ12は外枠部材11の補強用部材としても機能させることができる。フィルタ3の上面及び下面には、ケーシング2及び設置面20との気密性を確保するためのガスケット13が設けられている。一方、ケーシング2の側壁部には、上述したリブ12に係止する形状を有したガイドレール(係止部材)14が設けられている。
【0021】
上述したように、ナット7を締め付けることにより、ケーシング2及びファン1がばね8の押圧力に抗して押し下げられ、ケーシング2の下面及び設置面20によりフィルタ3が固定される。この状態では、フィルタ3の上面及び下面に配置されたガスケット13により、設置面20とフィルタ3、及びケーシング2とフィルタ3が密着され、浄化すべき空気の流路の気密状態が確保される。また、フィルタ3が固定されている状態では、図1(b)に示すように、ガイドレール14とリブ12とは当接しておらず、両者間には上下方向に隙間が形成されている。
【0022】
次に、フィルタ3を交換する作業工程について図2を参照して説明する。図2は本実施形態に係るファンフィルタユニットのフィルタ交換時の状態を示す正面図である。
図2に示すように、各ナット7を緩めることにより、ケーシング2及びファン1は、ボルト6でガイドされたばね8の押圧力を受けてナット7と共に上昇し、フィルタ3の固定が解除される。ナット7を緩めるに従って、ケーシング2及びファン1は更に上昇し、ケーシング2に取り付けられたガイドレール14もケーシング2と共に上昇する。やがて、ガイドレール14の上昇途中でガイドレール14がリブ12に係止し、ガイドレール14を介してケーシング2と共にフィルタ3が引き上げられる。そして、図2に示すように、フィルタ3の下部に取り付けられているガスケット13が設置面20から切り離される。
【0023】
フィルタ3の交換作業は、ガイドレール14を介してフィルタ3が設置面20から引き上げられた状態で行われる。即ち、図2に示すように、ガイドレール14によりフィルタ3が支持された状態では、フィルタ3の上下に隙間ができるので、ガイドレール14に沿って図1(a)における長手方向(水平方向)へ容易にスライドさせることできる。
【0024】
このように、フィルタ3の取り出し及び装着は、フィルタ3の上下に隙間が設けられた状態で行われるので、ガスケット13が設置面20とこすれることがない。従って、ガスケット13の損傷が防止されると共に、フィルタ3の出し入れ時にガスケット13のちぎれによるゴミの発生を防止でき、更には、ガスケット13のシール機能の健全性を容易に確保できる。なお、ガイドレール14がリブ12と摺動する摺動面に、フッ素樹脂、ポリアセタール樹脂又はナイロン樹脂を取り付けることにより摺動抵抗を軽減させることができると共に、フィルタ交換時に摺動面からの粒子の発生を軽減させることができる。
【0025】
次に、本発明の第2の実施形態について図3を参照して説明する。図3は本実施形態に係るファンフィルタユニットに使用されるフィルタの斜視図である。なお、特に説明しない構成については上述した第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【0026】
図3に示すように、本実施形態では、略正方形の2つのフィルタ3a,3bが使用される。各フィルタ3a,3bの側面には各フィルタ3a,3bを互いに連結するための連結用バックル(連結部材)15が設けられている。この連結用バックル15は、2つのフィルタ3a,3bの連結及び連結解除が容易に行えるように構成されている。フィルタ3a,3bは、互いに連結された状態でケーシング2(図1(b)参照)の下部に装着される。
【0027】
フィルタの交換時には、第1の実施形態と同様に、ナット7を緩めてガイドレール14を介してフィルタ3a,3bを持ち上げ、フィルタ3a,3bをスライドさせて取り外す(図1(b)参照)。本実施形態では、連結用バックル15による各フィルタ3a,3bの連結を解除することにより1つずつフィルタ3a,3bの交換作業を行うことができる。その結果、第1の実施形態よりも更に少ないスペースでフィルタの交換作業を行うことができる。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、フィルタ交換時に、ケーシング及びファンを押圧手段により支持させた状態でフィルタの交換作業を行うことができるので、作業員の負担を大幅に軽減させることが可能となる。また、作業員によるケーシング及びファンの移動作業が不要となるので、フィルタ交換作業の安全性を大きく向上させることが可能となる。更に、ケーシング及びファンを一時的に仮置きするためのスペースを確保する必要がないので、少ないスペースでフィルタ交換作業を行うことが可能となる。
【0029】
フィルタを固定する固定手段としてボルト及びナットを用い、ファン及びケーシングを押圧する押圧手段としてばねを用いることにより、安価なファンフィルタユニットを提供することができる。なお、ファン及びケーシングの押圧手段として空気圧等のシリンダーを使用することも考えられるが、ばねを用いた場合よりも機構が複雑となるためコストが上昇すると考えられる。
【0030】
ケーシングに係止部材を設けたことにより、係止部材を介して押圧手段によりフィルタを持ち上げることができる。その結果、設置面からフィルタを容易に切り離すことができ、フィルタ交換時の作業員の負担をより一層軽減することができる。また、係止部材(ガイドレール)上でフィルタをスライドさせることにより、設置面とフィルタの下面との摺動を防止することができる。その結果、例えば、フィルタの下面に気密性を確保するためのガスケットを装着した場合には、ガスケットのちぎれによるゴミの発生を防止することができ、さらには、摺動によるガスケットの損傷を防止してガスケットによる気密性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は本発明の第1の実施形態に係るファンフィルタユニットの平面図であり、図1(b)は本発明の第1の実施形態に係るファンフィルタユニットの正面図である。
【図2】本発明の第1の実施形態に係るファンフィルタユニットのフィルタ交換時の状態を示す正面図である。
【図3】本発明の第2の実施形態に係るファンフィルタユニットに使用されるフィルタの斜視図である。
【図4】図4(a)は従来のファンフィルタユニットの平面図であり、図4(b)は従来のファンフィルタユニットの正面図である。
【符号の説明】
1 ファン
2 ケーシング
3 フィルタ
6 ボルト
7 ナット
8 ばね
9 ストッパー
10 ブラケット
11 外枠部材
12 リブ
13 ガスケット
14 ガイドレール(係止部材)
15 連結用バックル
16 ねじ
20 設置面[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a fan filter unit including a filter that requires periodic replacement, and more particularly to a fan filter unit including a filter that chemically purifies air supplied to a clean atmosphere such as a semiconductor manufacturing apparatus. Things.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In a semiconductor manufacturing apparatus or the like that requires a clean atmosphere, a fan filter unit that chemically purifies air and supplies the air to the atmosphere is used. This fan filter unit is configured to suck air in the surrounding atmosphere by a fan, introduce the air into the filter, chemically purify the air with the filter, and then supply the air to an atmosphere where high cleanliness is required. ing.
[0003]
FIG. 4 shows a conventional fan filter unit. FIG. 4A is a plan view of a conventional fan filter unit, and FIG. 4B is a front view of the conventional fan filter unit.
As shown in FIGS. 4A and 4B, the fan filter unit includes a box-
[0004]
Generally, this fan filter unit is installed on a predetermined device requiring a clean atmosphere. In the installation work of the fan filter unit, first, the
[0005]
In this type of fan filter unit, it is necessary to periodically replace the
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, such a filter replacing operation requires lifting and moving the
[0007]
In the conventional fan filter unit, it is necessary to secure a space for safely lifting the
[0008]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and can greatly reduce the burden of an operator replacing a filter when replacing a filter. It is an object of the present invention to provide a fan filter unit capable of safely and easily performing a replacement operation of a fan filter unit.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned conventional problems, the present invention provides a fan filter unit in which a fan is disposed at a predetermined portion of a casing, and a filter is detachably disposed at a lower portion of the casing, wherein a lower portion of the casing is provided. And fixing means for fixing the filter by pressing the filter against the filter, and pressing means for pressing the fan and the casing upward, wherein the pressing means releases the fixing of the filter by the fixing means. The fan and the casing are raised.
[0010]
According to the present invention thus configured, when the fixing of the filter by the fixing means is released, the fan and the casing are lifted by the pressing means. Therefore, the casing and the filter can be easily separated from each other without any extra burden on the operator, and the filter replacement operation can be performed safely and easily. In addition, since there is no need to move the fan and the casing to another place when the filter is replaced, no space is required for temporarily placing the fan and the casing.
[0011]
In a preferred aspect of the present invention, a locking member that locks the filter and raises the filter when the fan and the casing are raised is provided on the casing. In this case, it is preferable that the locking member is a guide rail configured to slide the filter in a substantially horizontal direction. According to the present invention, when the fixing means is released and the casing and the fan rise by the pressing means, the filter is lifted together with the casing via the locking member (guide rail). As a result, the filter can be slid and attached / detached while the filter is supported by the locking member. In addition, since the filter can be replaced without sliding the lower surface of the filter and the installation surface, the lower surface of the filter can be protected.
[0012]
In a preferred aspect of the present invention, the fixing means includes a bolt for guiding the vertical movement of the fan and the casing, and a nut screwed to the bolt for controlling the upward movement of the fan and the casing. Wherein the pressing means is a spring mounted on the bolt for pressing the fan and the casing upward. As described above, since the fixing means and the pressing means are constituted by a simple mechanism, the fan filter unit can be provided at low cost.
[0013]
In another preferred aspect of the present invention, the filter is divided into a plurality of filters, and the divided filters are connected by a connecting member. According to the present invention configured as described above, by removing the connecting member at the time of filter replacement, the divided small filters can be replaced one by one, and the space required for the filter replacement operation can be further reduced. Can be.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1A is a plan view of the fan filter unit according to the embodiment, and FIG. 1B is a front view of the fan filter unit according to the embodiment.
[0015]
As shown in FIGS. 1A and 1B, the fan filter unit according to the present embodiment includes three
[0016]
The fan filter unit according to the present embodiment is installed in a device requiring a clean atmosphere, such as a semiconductor manufacturing device. According to this fan filter unit, air in the atmosphere around the fan filter unit is sucked by the
[0017]
Four
[0018]
With such a configuration, the vertical movement of the
[0019]
A
[0020]
The
[0021]
As described above, by tightening the
[0022]
Next, an operation process for replacing the
As shown in FIG. 2, when the
[0023]
The replacement work of the
[0024]
As described above, since the
[0025]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a perspective view of a filter used in the fan filter unit according to the present embodiment. Note that the configuration that is not particularly described is the same as that of the above-described first embodiment, and a description thereof will not be repeated.
[0026]
As shown in FIG. 3, in this embodiment, two substantially
[0027]
When replacing the filter, as in the first embodiment, the
[0028]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, at the time of filter replacement, the filter replacement operation can be performed while the casing and the fan are supported by the pressing means, so that the burden on the operator can be greatly reduced. It becomes possible. In addition, since the operation of moving the casing and the fan by the operator is not required, the safety of the filter replacement operation can be greatly improved. Furthermore, since there is no need to secure a space for temporarily placing the casing and the fan temporarily, the filter replacement operation can be performed in a small space.
[0029]
An inexpensive fan filter unit can be provided by using bolts and nuts as fixing means for fixing the filter and using springs as pressing means for pressing the fan and the casing. Although it is conceivable to use a cylinder of air pressure or the like as the pressing means for the fan and the casing, it is considered that the cost is increased because the mechanism becomes more complicated than when a spring is used.
[0030]
By providing the locking member on the casing, the filter can be lifted by the pressing means via the locking member. As a result, the filter can be easily separated from the installation surface, and the burden on the operator when replacing the filter can be further reduced. In addition, by sliding the filter on the locking member (guide rail), sliding between the installation surface and the lower surface of the filter can be prevented. As a result, for example, when a gasket for ensuring airtightness is attached to the lower surface of the filter, it is possible to prevent dust from being generated due to tearing of the gasket, and further to prevent damage to the gasket due to sliding. Thus, airtightness by the gasket can be secured.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A is a plan view of a fan filter unit according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a front view of the fan filter unit according to the first embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 2 is a front view showing a state of the fan filter unit according to the first embodiment of the present invention when the filter is replaced.
FIG. 3 is a perspective view of a filter used in a fan filter unit according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 4A is a plan view of a conventional fan filter unit, and FIG. 4B is a front view of the conventional fan filter unit.
[Explanation of symbols]
15
Claims (5)
前記ケーシングの下部を前記フィルタに圧接させて前記フィルタを固定する固定手段と、
前記ファン及び前記ケーシングを上方に押圧する押圧手段とを設け、
前記押圧手段は、前記固定手段による前記フィルタの固定を解除したときに前記ファン及び前記ケーシングを上昇させることを特徴とするファンフィルタユニット。A fan filter unit in which a fan is disposed at a predetermined portion of the casing, and a filter is detachably disposed at a lower portion of the casing,
Fixing means for fixing the filter by pressing the lower part of the casing against the filter,
Pressing means for pressing the fan and the casing upward,
The fan filter unit, wherein the pressing unit raises the fan and the casing when the fixing of the filter by the fixing unit is released.
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