JP4722951B2 - フェライト構造体を備えるプラズマソース及びこれを採用するプラズマ発生装置 - Google Patents
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Description
前記反応チャンバの内側上部で前記反応チャンバを貫通して互いに一定の間隔で配置される第1及び第2の線形アンテナと、を含み、前記第1の線形アンテナは、前記反応チャンバの外部に露出され、互いに隣接する線形の第1アンテナ及び第2アンテナを備え、前記第1アンテナ及び前記第2アンテナは、一側を連結してループ型に形成され、前記第2の線形アンテナは、前記第1及び第2のアンテナの間毎に互い一定の間隔で配置される第3及び第4のアンテナを含むプラズマ発生装置において、前記第1及び第2線形アンテナの一側に各々電気的に接続される電源供給部と、前記反応チャンバの内側に形成される前記アンテナ各々の上に位置し、前記線形アンテナから放射状に形成されるフィールド(field)を前記反応チャンバの内部に配設された処理基板方向に集中させるフェライト構造体と、を含むことを特徴とする。
また、本発明の説明においては、同一部分は同一符号を付け、その繰り返し説明は省略する。
23a、23b フェライト構造体
25、27、51 アンテナ
29 誘導コイル保護管
31 テフロン
41 反応チャンバ
43 ステージ
47、55 電源供給部
100、101 プラズマソース
Claims (14)
- 線形の第1アンテナ及び第2アンテナ各々の一側を連結してループ型に形成された1つの線形アンテナと、
前記線形アンテナの第1アンテナ及び第2アンテナ各々の上に位置する、アーチ型(arch type)に形成されたフェライト(ferrite)構造体であって、前記アンテナから放射状に形成されたフィールド(field)を、前記フェライト構造体が形成されていない方向に集中させるフェライト構造体と、を含み、
前記フェライト構造体は、多数個からなり、前記各々のフェライト構造体の間にテフロン(teflon)が介在され、
前記多数個のフェライト構造体は、互いに異なる大きさまたは厚さで形成されることを特徴とするプラズマソース。 - 前記テフロンは、PTFE(Polytetrafluoroethylene)、PFA(Perfluoroalkoxy)、FEP(Fluoroethylenepropylene)及びPVDF(Poly vinylidene fluoride)の中から選択されるいずれか1つの物質で構成されることを特徴とする請求項1に記載のプラズマソース。
- 前記線形アンテナは、石英(quartz)からなる誘導コイル保護管の内部に挿入されることを特徴とする請求項2に記載のプラズマソース。
- 前記線形アンテナは、銅、ステンレススチール、銀及びアルミニウムの中から選択されるいずれか1つの物質からなることを特徴とする請求項3に記載のプラズマソース。
- プラズマが生成される空間である反応チャンバと
前記反応チャンバの内側上部で前記反応チャンバを貫通して互いに一定の間隔で配置され、前記反応チャンバの外部に露出され、互いに隣接する線形の第1アンテナ及び第2アンテナの一側を連結してループ型に形成された少なくとも1つの線形アンテナと、を含むプラズマ発生装置において、
前記線形アンテナの一側に電気的に連結される電源供給部と、
前記反応チャンバの内側に形成される前記第1アンテナ及び前記第2アンテナ各々の上に位置し、前記線形アンテナから放射状に形成されるフィールド(field)を前記反応チャンバの内部に配設された処理基板方向に集中させるフェライト構造体と、をさらに含み、
前記フェライト構造体は、アーチ型(arch type)に形成され、
前記フェライト構造体は、多数個からなり、前記各々のフェライト構造体の間にテフロンが介在され、
前記多数個のフェライト構造体は、互いに異なる大きさまたは厚さで形成されること
を特徴とするプラズマ発生装置。 - 前記テフロンは、PTFE(Polytetrafluoroethylene)、PFA(Perfluoroalkoxy)、FEP(Fluoroethylenepropylene)及びPVDF(Poly vinylidene fluoride)中から選択されたいずれか1つの物質で構成されることを特徴とする請求項5に記載のプラズマ発生装置。
- 前記電源供給部は、100KHz乃至30MHzの範囲の周波数で駆動されることを特徴とする請求項5に記載のプラズマ発生装置。
- 前記線形アンテナ各々の他側は、接地されることを特徴とする請求項7に記載のプラズマ発生装置。
- 前記線形アンテナの各々に連結される電源供給部は、前記反応チャンバの内部のプラズマ密度を均一にするように、互いに独立的に制御されることを特徴とする請求項8に記載のプラズマ発生装置。
- プラズマが生成される空間が形成された反応チャンバと
前記反応チャンバの内側上部で前記反応チャンバを貫通して互いに一定の間隔で配置される第1及び第2の線形アンテナと、を含み、
前記第1の線形アンテナは、前記反応チャンバの外部に露出され、互いに隣接する線形の第1アンテナ及び第2アンテナを備え、
前記第1アンテナ及び前記第2アンテナは、一側を連結してループ型に形成され、前記第2の線形アンテナは、前記第1及び第2のアンテナの間毎に互い一定の間隔で配置される第3及び第4のアンテナを含むプラズマ発生装置において、
前記第1及び第2線形アンテナの一側に各々電気的に接続される電源供給部と、
前記反応チャンバの内側に形成される前記アンテナ各々の上に位置し、前記線形アンテナから放射状に形成されるフィールド(field)を前記反応チャンバの内部に配設された処理基板方向に集中させるフェライト構造体と、を含み、
前記フェライト構造体は、アーチ型(arch type)に形成され、
前記フェライト構造体は、多数個からなり、前記各々のフェライト構造体の間にテフロンが介在され、
前記多数個のフェライト構造体は、互いに異なる大きさまたは厚さで形成される
ことを特徴とするプラズマ発生装置。 - 前記テフロンは、PTFE(Polytetrafluoroethylene)、PFA(Perfluoroalkoxy)、FEP(Fluoroethylenepropylene)及びPVDF(Poly vinylidene fluoride)中から選択されたいずれか1つの物質で構成されることを特徴とする請求項10に記載のプラズマ発生装置。
- 前記電源供給部は、100KHz乃至30MHzの範囲の周波数で駆動されることを特徴とする請求項10に記載のプラズマ発生装置。
- 前記線形アンテナ各々の他側は、接地されることを特徴とする請求項12に記載のプラズマ発生装置。
- 前記線形アンテナの各々に連結される電源供給部は、前記反応チャンバの内部のプラズマ密度を均一にするように、互いに独立的に制御されることを特徴とする請求項13に記載のプラズマ発生装置。
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