JP4704897B2 - パラメトリック公差を用いる３次元測定データ検査方法 - Google Patents

パラメトリック公差を用いる３次元測定データ検査方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4704897B2
JP4704897B2 JP2005343626A JP2005343626A JP4704897B2 JP 4704897 B2 JP4704897 B2 JP 4704897B2 JP 2005343626 A JP2005343626 A JP 2005343626A JP 2005343626 A JP2005343626 A JP 2005343626A JP 4704897 B2 JP4704897 B2 JP 4704897B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tolerance
parametric
design data
data
allowable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005343626A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006343311A (ja
Inventor
ベ・ソクフン
イ・ドンフン
Original Assignee
株式会社 アイナス技術
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社 アイナス技術 filed Critical 株式会社 アイナス技術
Publication of JP2006343311A publication Critical patent/JP2006343311A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4704897B2 publication Critical patent/JP4704897B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G06T7/0006—Industrial image inspection using a design-rule based approach
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B13/00—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/10—Image acquisition modality
    • G06T2207/10004—Still image; Photographic image
    • G06T2207/10008—Still image; Photographic image from scanner, fax or copier
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108—Industrial image inspection
    • G06T2207/30164—Workpiece; Machine component

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Description

本発明は、パラメトリック公差を用いる3次元測定データの検査に関するものであって、さらに詳しくは、検査対象物の設計データに含まれた許容公差の個数だけパラメトリック公差オブジェクトを設定し、上記検査対象物の設計データに各領域別許容公差を直接数字で入力せず、上記設定されたパラメトリック公差オブジェクトを連結することにより、設計変更によって許容公差の範囲が変更されても、該当設計データ領域の公差値を各々変更せずに上記パラメトリック公差値さえ変更すれば、連結された上記設計データと連結された領域の許容公差値を自動で変更して上記検査対象物を検査するパラメトリック公差を用いる3次元測定データの検査に関するものである。
一般的に、3次元スキャナーを用いる測定は、測定対象物と直接的に接触する接触方式と、 接触せずに映像装備を用いる撮影で得られた形状をデジタルデータで処理する方式を用いることによって、物体に対する形状情報が得られるものである。
このような3次元スキャナーを用いる測定は、半導体ウエハーの生産、精密機器の測定、3次元映像の復元等、測定対象物に外的な力が加えられた場合、破損が発生しやすい物体、又は高精度の小型部品等の形状情報を得ようとするに際して使用され、上記3次元スキャナーを介して獲得した形状情報は予め設定された設計データと比較検査される。
従来の産業製品は、特徴的な形状の組合せで表現されるモデルが大部分であったが、近年は、モデリング技術の発達とともに、消費者の要求に応じて審美的な曲面を有する形状の製品が多く開発されつつある。
よって、曲面、曲線等を有する製品の形状を効率的に取り扱うための技術が要求されていて、こうした製品をモデリングするための技法は、主にグラフィクス分野で研究されていたが、最近には、これを製品開発に適用する事例も増えつつある。
一方、多くの製品設計データは、各要素別に多様な公差を有し、特に許容公差が低い程、加工に多くの時間や費用がかかってしまうため、設計者が製品の特徴的な要素別に、重要度によって複数の許容公差を図面上に表記することもある。
しかしながら、一般的な設計データと試製品に対する3次元スキャニング測定データとの差異を検査する技術の多くは、一つの許容公差だけを設計データ全体に指定して各種検査を行うものであって、複数の許容公差を設計データの関心領域に指定して各種検査を行う技術もあるものの、設計データの該当測定要素を選択してから許容公差領域を各々直接入力する方式を使用しているため、作業過程が複雑である問題がある。
さらに、上述の方式は、製品設計者が許容公差を変更する場合、最初から改めて検査対象物の設計データを修正する作業を繰り返して行う問題がある。
従って、本発明は、製品の許容公差が変更されても、使用者が最初から改めて検査対象物の設計データを修正する不便さを解消し、体系的な許容公差管理が可能になるように、パラメトリック公差を用いるデータ検査方法を提案するものである。
上記の問題を解決するため、本発明は、検査対象物の設計データに含まれた許容公差の個数だけパラメトリック公差オブジェクトを設定し、上記検査対象物の設計データに各領域別許容公差を直接数字で入力せず、上記設定されたパラメトリック公差オブジェクトを連結することにより、設計変更によって許容公差の範囲が変更されても、該当設計データ領域の公差値を各々変更せずに上記パラメトリック公差値さえ変更すれば、上記設計データと連結された領域の許容公差値を自動で変更して上記検査対象物を検査するパラメトリック公差を用いる3次元測定データの検査方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明は、設計データに許容公差別にパラメトリック公差を設定して測定データを検査する方法であって、ａ）制御部が検査対象物の設計データを検出し、上記検出された設計データで使用される許容公差を分類してパラメトリック公差に設定するステップ；ｂ）上記制御部がステップa）において設定された上記パラメトリック公差を上記設計データに指定するステップ；ｃ）上記制御部がスキャナーを介して測定された検査対象物の測定データを上記設計データと比較検査するステップ；及び、ｄ）上記比較検査結果によって、上記制御部が、上記測定データの検査結果ディスプレー用レポートを作成したり上記パラメトリック公差を修正したりするステップを含む。
また、上記制御部が、上記許容公差によって分類された上記設定されたパラメトリック公差を上記設計データに指定するステップにおいて、上記パラメトリック公差は、上記設計データの曲線、曲面及び幾何公差分析(GD&T)の中で少なくとも一つを指定することを特徴とする。
また、上記比較検査結果によって、上記制御部が、上記測定データの検査結果ディスプレー用レポートを作成したり上記パラメトリック公差を修正したりするステップにおいて、上記レポートは、上記比較検査結果が数値情報及びイメージ情報で表示されるようにすることを特徴とする。
また、上記比較検査結果によって、上記制御部が、上記測定データの検査結果ディスプレー用レポートを作成したり上記パラメトリック公差を修正したりするステップにおいて、上記パラメトリック公差修正は、上記検出された設計データで使用される許容公差を分類してパラメトリック公差に設定するステップにおいて設定されたパラメトリック公差を修正し、上記修正されたパラメトリック公差によって上記比較検査を再計算することを特徴とする。
以下、添付された図面を用いて本発明の実施の形態を次のように説明する。
図1は、本発明によるパラメトリック公差を用いてデータを検査するためのシステムの構成を示すブロック図である。図1において、本発明によるパラメトリック公差を用いてデータを検査するためのシステムは、測定対象物をスキャニングする3次元スキャナー100と、上記測定対象物から測定されたデータの比較検査のための設計データ、及び上記設計データの許容公差情報を貯蔵するデータ貯蔵部300と、3次元スキャナー100から検出された測定情報とデータ貯蔵部300に貯蔵された上記測定対象物の検査案内情報を出力する表示部400と、検査案内システムの全般的な動作を制御する制御部500を含む。200は、設計データの許容公差と関連した情報を入力するキー入力部である。
また、データ貯蔵部300に貯蔵される上記設計データは、上記測定対象物の設計情報であって、CADプログラムでモデリングされた設計データである。
図2は、本発明によるパラメトリック公差を用いるデータ検査方法を示すフロー図である。図1及び図2を用いてパラメトリック公差を用いるデータ検査方法をさらに詳しく次のように説明する。
制御部500が、データ貯蔵部300に予め貯蔵されていた検査対象物の設計データを検出したり、又は上記制御部500に外部入力装置(図示せず)から上記検査対象物の設計データが入力されたりする(S100)と、制御部500は、上記入力された設計データに含まれた許容公差を検出して、許容公差の個数だけパラメトリック公差を設定する(S110)。すなわち、検査対象物の設計データに測定領域及び重要度により分類されている測定要素の許容公差を検出し、上記検出された許容公差に対応するパラメトリック公差オブジェクト（以下、「パラメトリック公差」という）を生成する。
上記S110を行った後、制御部500は、測定領域及び重要度によって分類し定義された上記設計データの許容公差が、上記パラメトリック公差と連動されるように指定する(S120)。すなわち、制御部500は、上記S120において設計データに曲線、曲面及び幾何公差分析（Geometrical Dimensioning & Tolerancing:GD&T）等に許容公差を指定するものであって、上記設計データの曲面群と許容公差とのデータを連動させるものである。これは、検査対象物の設計データに、各領域別許容公差に上記設定されたパラメトリック公差を連結させることによって、設計データの設計変更により許容公差の値や上記許容公差の範囲が修正された場合、上記許容公差を直接数字で入力して各々変更することなく、該当設計データ領域の許容公差と連動される上記パラメトリック公差値だけ変更して、設計データ領域の許容公差値が自動で変更されるようにする。
図3は、図2の検査方法によって、許容公差によるパラメトリック公差を設定する過程であり、図4は、図3において指定したパラメトリック公差を設計データに指定する過程を示す例示図である。
すなわち、検査対象物の設計データ600の表面で検査対象要素のパラメトリック公差T1、T2及びT3を定義する。例えば、T1は、検査対象物の設計データ600に設計された構成要素の曲面に対する長さ又は大きさの許容公差を定義するパラメトリック公差であり、その範囲が-0.1〜0.1に設定されたパラメトリック公差として登録される。
T2もまた検査対象物の設計データ600に設計された他の構成要素の曲面に対する長さ又は大きさの許容公差を定義するパラメトリック公差であり、その範囲が-0.3〜0.3に設定されたパラメトリック公差として登録される。
また、検査対象物の設計データ600に設計された構成要素の曲面に対する長さや大きさ以外に、上記構成要素の角度に対するパラメトリック公差を定義することも可能である。すなわち、T3は、検査対象物の角度に対する許容公差を定義するものであり、曲面が形成された角度の許容公差が-1〜1に設定されたパラメトリック公差である。
すなわち、図3において連動されたパラメトリック公差は、図4の検索対象物の設計データ600と連動して、上記設計データの許容公差領域を自動で設定することになる。これは、T1のパラメトリック公差が-0.1〜0.1であるため、設計データが-0.1縮小されたり0.1増加された領域を有する設計データを提供することと同様の効果を提供することになる。
また、図1及び図2を参照すると、上記S120を行った後、制御部500には、スキャナー100を介して検査対象物から測定(S130)された上記検査対象物の測定データが入力(S140)されて、上記設計データと比較検査(S150)が行われる。この際、測定データと設計データの位置が一致されるようにし、上記測定データの点群から上記設計データの検査対象構成要素と一致される点群を検出する。
また、上記S150において、上記設計データの検査対象と一致される上記測定データを上記設計データに指定された上記パラメトリック公差と比較して、上記測定された構成要素のデータが、例えば、パラメトリック公差T1及びT2(図3及び図4参照)の条件を満足させるか否かを判断(S160)し、上記S160において上記測定されたデータが上記パラメトリック公差の条件を満足させる場合、制御部500は、上記測定データ及び設計データの検査結果に対するテキスト情報、数値情報及びイメージ情報を作成してレポートを作成(S170)し、上記作成されたレポートを、表示部400を介して出力する。
上記S170を行った後、制御部500は、キー入力部200を介して入力される制御信号から、設計データの許容公差を変更するか否かを判断(S181)し、上記設計データの許容公差を変更しない信号、例えば、キー入力部200から、上記作成されたレポートがデータ貯蔵部300に貯蔵されるようにする信号を検出すると、上記レポートをデータ貯蔵部300に貯蔵して終了する。
しかし、上記S181において、キー入力部200から、上記設計データの許容公差を変更するための制御信号が検出された場合、制御部500は、キー入力部200から上記設計データの許容公差を修正するための修正値を検出して、上記S110において設定された上記パラメトリック公差を修正(S180)し、上記修正されたパラメトリック公差によって上記測定データと設計データの比較検査を自動で再計算して、上記測定データの検査結果に対するレポートを生成する。
一方、上記S160において上記測定されたデータが、上記パラメトリック公差の条件を満足しない場合、又は上記設計データの許容公差値や許容公差の範囲が変更された場合、制御部500は、上記設計データのあらゆる曲面を１つずつ選択し、最初から改めて許容公差を修正することなく、上記S110において設定された上記パラメトリック公差を修正(S180)して、上記修正されたパラメトリック公差により上記測定データと設計データの比較検査が自動で再計算されるようにして、上記測定データの検査結果に対するレポートを生成する。
また、図示しないが、上記パラメトリック公差の変化によって上記設計データと測定データの差異を所定のカラーで表示することもできる。
上記のように、本発明によるパラメトリック公差を用いる3次元データ検査方法は、設計データの許容公差域を変更するために設計データのあらゆる曲面を選択して最初から公差値を各々変更することなく、パラメトリック公差値だけを変更して、連結された許容公差値を自動で変更することによって簡便に修正することができる利点がある。
また、許容公差のデータ値を変更し、自動で再計算することにより、設計データの曲線、曲面及びGD&T検査値などが変化される公差シミュレーションを確認することができる利点がある。
以上では、本発明を特定の実施の形態について図示し説明した。しかし、本発明は、上述の実施の形態に限られるものではなく、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者なら以下の特許範囲に記載の本発明の技術的な思想を逸脱することなく、多様な変更を実施することが可能である。
本発明によるパラメトリック公差を用いてデータを検査するためのシステムの構成を示すブロック図である。 本発明によるパラメトリック公差を用いる3次元測定データ検査方法を示すフロー図である。 図２の検査方法によって、許容公差によるパラメトリック公差を設定する過程を示す例示図である。 図３において指定したパラメトリック公差を設計データに指定する過程を示す例示図である。
符号の説明
100・・・スキャナー 200・・・キー入力部 300・・・データ貯蔵部 400・・・表示部 500・・・制御部 600・・・測定データ

Claims (4)

  1. 設計データに含まれた許容公差別にパラメトリック公差を設定して3次元測定データを検査する方法であって、
    ａ）制御部が検査対象物の設計データを検出し、上記検出された設計データで使用される許容公差を分類して、上記分類された許容公差をパラメトリック公差に設定するステップ；
    ｂ）上記制御部は、上記設計データの設計変更によって許容公差が修正される場合、上記設計データの許容公差と連動された上記パラメトリック公差のみ変更して上記設計データ領域の許容公差が自動で変更されるように、ステップa）において設定された上記パラメトリック公差を上記設計データに指定するステップ；
    ｃ）上記制御部がスキャナーを介して測定された検査対象物の測定データの構成要素と上記設計データの構成要素が一致するのかを比較検査するステップ；
    ｄ）上記比較検査の結果、上記測定データの構成要素と上記設計データの構成要素が一致する場合、上記制御部が上記検査結果に対するディスプレイ用レポートを作成して出力されるようにし、上記測定データの構成要素と上記設計データの構成要素が一致しない場合、上記パラメトリック公差を修正して再計算するステップを含むパラメトリック公差を用いる3次元測定データ検査方法。
  2. 上記ステップb）の上記パラメトリック公差は、上記設計データの曲線、曲面及び幾何公差分析(ＧＤ&Ｔ)の中で少なくとも一つに許容公差を指定することを特徴とする請求項1に記載のパラメトリック公差を用いる3次元測定データ検査方法。
  3. 上記ステップd）のレポートは、上記比較検査結果がテキスト情報、数値情報及びイメージ情報で作成されて表示部を通して出力され、上記作成されたレポートはデータ貯蔵部に貯蔵されることを特徴とする請求項1に記載のパラメトリック公差を用いる3次元測定データ検査方法。
  4. 上記ステップd）の上記パラメトリック公差修正は、上記設計データの許容公差を修正するための修正値を検出してステップa）において設定されたパラメトリック公差を修正し、上記修正されたパラメトリック公差によって上記比較検査を再計算することを特徴とする請求項1に記載のパラメトリック公差を用いる3次元測定データ検査方法。
JP2005343626A 2005-06-10 2005-11-29 パラメトリック公差を用いる３次元測定データ検査方法 Active JP4704897B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050049785A KR100637727B1 (ko) 2005-06-10 2005-06-10 파라메트릭 공차를 이용한 3차원 측정 데이터 검사 방법
KR10-2005-0049785 2005-06-10

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006343311A JP2006343311A (ja) 2006-12-21
JP4704897B2 true JP4704897B2 (ja) 2011-06-22

Family

ID=37489749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005343626A Active JP4704897B2 (ja) 2005-06-10 2005-11-29 パラメトリック公差を用いる３次元測定データ検査方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20060282232A1 (ja)
JP (1) JP4704897B2 (ja)
KR (1) KR100637727B1 (ja)
CN (1) CN100541481C (ja)
DE (1) DE102005058701A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8065116B2 (en) 2008-10-08 2011-11-22 Robert Bosch Gmbh Systems, methods, and tools for proofing a computer-aided design object
US8095341B2 (en) 2008-10-08 2012-01-10 Robert Bosch Gmbh Systems, methods, and tools for proofing a computer-aided design object
KR101498726B1 (ko) * 2013-05-16 2015-03-03 삼성중공업(주) 구조물 검사 장치 및 방법
WO2015171110A1 (en) * 2014-05-05 2015-11-12 Empire Technology Development Llc Systems and methods for automated preparation of design patent applications for three-dimensional objects
DE102017122063A1 (de) * 2017-09-22 2019-03-28 Volume Graphics Gmbh Verfahren zur Erkennung einer Geometrie eines Teilbereichs eines Objekts
CN109918000A (zh) * 2019-03-12 2019-06-21 苏州乐模软件科技有限公司 电极图形化检测报告自动生成方法及生成***
KR102320887B1 (ko) * 2020-10-30 2021-11-01 안진우 기하공차 검사 기능을 구비한 3차원 형상정보 제공 시스템 및 방법과 이를 위한 컴퓨터 프로그램

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63206607A (ja) * 1987-02-23 1988-08-25 Mitsutoyo Corp 三次元測定機
JPH06176107A (ja) * 1992-12-04 1994-06-24 Canon Inc 距離画像処理方法及び装置
JPH0721238A (ja) * 1993-06-22 1995-01-24 Toyota Motor Corp 三次元形状加工物の評価装置
JPH0785142A (ja) * 1993-09-16 1995-03-31 Hitachi Tool Eng Ltd 自動設計システム
JPH0882575A (ja) * 1994-09-14 1996-03-26 Nikon Corp 評価表の作成表示方法および装置
JP2001357088A (ja) * 2000-06-16 2001-12-26 Denso Corp パラメトリック機能を有する３次元モデリングシステムと、同システムによるパラメータ編集方法
JP2002149721A (ja) * 2000-11-14 2002-05-24 Toshiba Corp 物品の製造方法及び物品の設計支援方法並びに記憶媒体
JP2002350122A (ja) * 2001-02-20 2002-12-04 Canon Inc 属性情報処理装置、及び方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5552995A (en) * 1993-11-24 1996-09-03 The Trustees Of The Stevens Institute Of Technology Concurrent engineering design tool and method
EP1302878A3 (en) * 2001-10-10 2006-01-25 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha System and method for product designing, and recording medium

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63206607A (ja) * 1987-02-23 1988-08-25 Mitsutoyo Corp 三次元測定機
JPH06176107A (ja) * 1992-12-04 1994-06-24 Canon Inc 距離画像処理方法及び装置
JPH0721238A (ja) * 1993-06-22 1995-01-24 Toyota Motor Corp 三次元形状加工物の評価装置
JPH0785142A (ja) * 1993-09-16 1995-03-31 Hitachi Tool Eng Ltd 自動設計システム
JPH0882575A (ja) * 1994-09-14 1996-03-26 Nikon Corp 評価表の作成表示方法および装置
JP2001357088A (ja) * 2000-06-16 2001-12-26 Denso Corp パラメトリック機能を有する３次元モデリングシステムと、同システムによるパラメータ編集方法
JP2002149721A (ja) * 2000-11-14 2002-05-24 Toshiba Corp 物品の製造方法及び物品の設計支援方法並びに記憶媒体
JP2002350122A (ja) * 2001-02-20 2002-12-04 Canon Inc 属性情報処理装置、及び方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR100637727B1 (ko) 2006-10-25
DE102005058701A1 (de) 2006-12-21
CN1971550A (zh) 2007-05-30
CN100541481C (zh) 2009-09-16
JP2006343311A (ja) 2006-12-21
US20060282232A1 (en) 2006-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4704897B2 (ja) パラメトリック公差を用いる３次元測定データ検査方法
US9773304B2 (en) Inspection apparatus, inspection method, and program
US7630539B2 (en) Image processing apparatus
US8275189B2 (en) Defect inspection system
JP3834041B2 (ja) 学習型分類装置及び学習型分類方法
JP4611873B2 (ja) 許容誤差領域を用いる３次元測定データの検出方法
US6825856B1 (en) Method and apparatus for extracting measurement information and setting specifications using three dimensional visualization
JP6063630B2 (ja) パターン計測装置、及び半導体計測システム
KR20140138994A (ko) 반도체 소자의 자동화 검사용 레시피 생성을 위한 방법, 컴퓨터 시스템 및 장치
CN105389410B (zh) 三维模型生成方法和三维模型生成***
JP4298698B2 (ja) ３次元スキャナーを用いる実時間検査案内システム及び方法
JP6678841B2 (ja) 表示装置、表示システム、および表示画面生成方法
TW201638784A (zh) 自動測試裝置
JP2007192743A (ja) 画像取り込み方法並びに検査方法及びその装置
KR101615843B1 (ko) 반도체 계측 장치 및 기록 매체
TW201407395A (zh) 產生用於製造工具之配方之方法及其系統
US6807288B2 (en) Image processing apparatus, image processing method, and recording medium recording image processing program
JP4708980B2 (ja) ３次元測定データの分析結果再計算方法
KR20140005316A (ko) 부품과 기준 도면의 적합 여부를 자동적으로 결정하는 방법 및 장치
US20140172144A1 (en) System and Method for Determining Surface Defects
JP2007299167A (ja) 設計検証装置
TW202221549A (zh) 優化光譜儀的輸出結果的方法及使用該方法的電子裝置
JP2005104093A (ja) 回折光学素子の製造方法および回折光学素子
JP2008097086A (ja) ファームウェアテスト自動化方法
JP7152973B2 (ja) 検査条件作成支援装置、検査条件作成支援方法、検査条件作成支援プログラムおよび記録媒体

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080205

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080428

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090407

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090707

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090710

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091104

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100204

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100209

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110208

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110310

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4704897

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250